专利名称：无尘室进气净化设备的制作方法
技术领域：
本发明是有关一种有效去除生产环境的气体中微污染物质的无尘室
进气净化设备，适用于电子制造业的无尘室如IC、 TFT、半导体制造业的 无尘室或类似场地。
背景技术：
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随着半导体技术不断的进步，IC工艺线径不断的缩小，最新进的半导 体技术已进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm工艺技术，也由 于IC线径不断的缩小，因此外部空气中含微污染(Airborne Molecular Contamination, AMC)物质，例如含硫物质SOx、 H2S、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ， (CH3)2SO)、 DMS(Dimethyl Sulfide ， (CH3)2SO)等，含氮物质 NOX、 NH3、 MEA(Monoethanol Amine, NH2C2H40H)等，含低沸点的挥 发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)物质、IPA(Isopr叩yl Alcohol, C3H7OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)等，对于工艺良率的影响，日益扩大。为了提 升工艺良率，半导体厂对于生产环境的净化规格，相对提高更多。
半导体厂对于外部补气的质量要求一向就很高，现因工艺技术提升， 对于无尘室内气体质量要求亦更高。若半导体厂周围处于工厂环布的工业 区，特别是像高科技园区，工厂设立密度很高，往往A工厂产生的废气可 能被B工厂的空调进气吸入，尤其是气体污染物，因无法由HEPA或ULPA 等滤网过滤，必需由化学滤网(Chemical Filter)或空调箱(Air Washer)加以去 除，然而化学滤网(Chemical Filter)或空调箱(Air Washer)对于一些气体染 物，如DMSO、 DMS或IPA等低浓度的分子去除效率并不理想，尤其是 化学滤网(ChemicalFilter)使用一段时间后，必需更换新滤网，使用饱和的 滤网无法再生重复使用，只能直接丢弃，故产生另一种垃圾污染。
发明内容
本发明的目的在于提供一种无尘室进气净化设备，以期有效地将外部 补气的气体内含的微污染物质去除，以供各行各业的无尘室使用。
为实现上述目的，本发明提供的无尘室进气净化设备，主要于外气入
口连设一微污染(Airbome Molecular Contamination,AMC)净化设备，该微
污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以 吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱 (Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；以此， 以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为 一转轮，该转轮具有一吸附区域、 一再生脱附区域及一隔离冷却区域，其 外气经转轮的吸附区域吸附后，再通过再生脱附区域使外气能脱附浓縮成 污染废气，而转轮将污染废气脱附后，转入隔离冷却区域降温，使转轮恢 复具有吸附功能，而污染废气再经反应去除污染物质形成无污染物质的气 体。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的转轮外型结构为旋 转塔(Rotary Cylinder or Rotary Tower)。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的转轮外型结构为旋 转转盘(RotaryDisk)。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为 吸附材，该吸附材为抽换式，当吸附饱合后即抽取更换吸附材，而饱合吸 附材可送出厂外再生重复使用。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为 蜂窝状(Honeycomb)结构，由无机材料制成。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为 多孔洞性结构，由无机材料制成。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为吸附剂，以吸附微污 染物。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为催化剂，以吸附微污 染物。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采 用电热方式将污染废气脱附。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采 用燃烧热方式将污染废气脱附。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采
用等离子体(Plasma)方式将污染废气脱附。
该再生脱附区域的脱附方式是采
该再生脱附区域的脱附方式是采
该污染废气再经反应去除污染物
该污染废气再经反应去除污染物
该污染废气再经反应去除污染物
该污染废气再经反应去除污染物 质的反应方式是采用燃烧热与催化剂组合。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物 质的反应方式是采用导入强氧化剂。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物 质的反应方式是采用导入强氧化剂与催化剂组合。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物 质的反应方式是采用导入等离子体。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物 质的反应方式是采用导入等离子体与催化剂组合。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备设有二吸附机 构，该二吸附机构以三通管与外气入口连设，该三通管上设有一切换开关， 以构成一批次更换操作的设备。
所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备只设一吸附机
所述的无尘室进气净化设备，其中， 用废热回收方式将污染废气脱附。
所述的无尘室进气净化设备，其中， 用强氧化剂方式将污染废气脱附。
所述的无尘室进气净化设备，其中， 质的反应方式是采用电热。
所述的无尘室进气净化设备，其中， 质的反应方式是采用电热与催化剂组合。
所述的无尘室进气净化设备，其中， 质的反应方式是采用燃烧热。
所述的无尘室进气净化设备，其中，构，并未做切换操作。
由本发明的实施，具有如下实用优点
1 、由微污染净化设备以及外气空调箱，有效将外部补气中所含的微 污染物有效净化，以供无尘室使用。
2、该微污染净化设备使用饱和后，可经脱附及再生设备，将微污染 净化设备所吸附的污染物脱出，令微污染净化设备恢复吸附微污染物的功
图1为本发明实施例的方块流程示意图。
图2为本发明微污染净化设备的吸附机构的旋转塔示意图。 图3为本发明微污染净化设备的吸附机构的旋转转盘示意图。 图4为本发明实施例的第二应用例的使用示意方块图。 图5为本发明实施例的第二应用例的微污染净化设备的立体外观示 意图。
图6为本发明实施例的第三应用例的使用示意方块图。 附图中主要组件符号说明
1 0 、外气入口
1 1 、三通管
1 2 、切换开关
2 0 、微污染净化设备 2 2 、转轮
2 2 1、吸附区域
2 2 2 、再生脱附区域
2 2 3 、隔离冷却区域
2 3 、吸附材
3 0 、外气空调箱
4 0 、无尘室
具体实施例方式
本发明的其它特点及具体实施例可配合附图和以下的详细说明，得到 进一步了解。
请参图1 3 ，本发明是于外气入口 1 0与一微污染净化设备2 0的
入口连接，该微污染净化设备2 0的出口与一外气空调箱3 O的入口相 接，该外气空调箱3 0的出口再与无尘室4 O的入口连接，而该无尘室4
0的空气出口则直接排至大气中，其中该微污染净化设备2 O设有至少一 吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，而吸附机构为蜂窝状 (Honeycomb)结构，该吸附机构由无机材料制成，其中无机材料可为无机 纤维纸或为无机氧化物，另吸附机构上涂布的吸附层为吸附剂或催化剂以 吸附外气内所含的微污染物。
使用时，当无尘室4 0的生产环境需补充外气时，该外气入口l 0处 开始抽取外部空气，该外部空气含有微污染物质(Airbome Molecular Contamination, AMC)时，例如含硫物质SOx、 H2S、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ， (CH3)2SO)、 DMS(Dimethyl Sulfide ， (013)28)等，含氮物质 NOx、 NH3、 MEA(MonoethanolAmine, NH2C2H4OH )等，含低沸点的挥 发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)物质、IPA(Isopropyl Alcohol, C3H7OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)等，当外部空气通过外气入口 1 0进入微污染 净化设备2 Q，而微污染净化设备2 Q中设有至少一吸附机构，该吸附机 构为一转轮2 2 ，而转轮2 2外型结构可为旋转塔(Rotary Cylinder or Rotary Tower)或旋转转盘(Rotary Disk),且由无机纤维纸或为无机氧化物 制成，而转轮2 2具有一吸附区域2 2 1、 一再生脱附区域2 2 2及一隔 离冷却区域2 2 3，另转轮2 2上涂布有一吸附层，该吸附层为吸附剂或 催化剂，以吸附外气内所含的微污染物，其外气经转轮2 2的吸附区域2
2 l吸附后，再通过再生脱附区域2 2 2来使外气能脱附浓縮成污染废 气，其中该再生脱附区域2 2 2的脱附再生方式是采用电热、燃烧热、等 离子体(Plasma)、废热回收、强氧化剂的任一方式将污染废气脱附，而转 轮2 2将污染废气脱附后，转入隔离冷却区域2 2 3降温，使转轮2 2恢
复具有吸附功能，而污染废气再经反应去除污染物质形成无污染物质的气体，其中该污染废气再经反应去除污染物质的反应方式，可以是采用电热、
燃烧热、导入强氧化剂(如:臭氧)或等离子体(Plasma)、或前项技术与催化 剂组合型式的任一种，而进入外气空调箱3 Q中的已去除微污染物质的外 部空气，再将剩余的污染物去除，即成为干净空气，可直接导入无尘室4
0 Q
请再参图4 6，为本发明实施例的第二、第三应用例，该外气入口
1 0以三通管1 1连接至微污染净化设备2 Q ，该微污染净化设备2 0中 设有二吸附机构，该吸附机构为吸附材2 3，该吸附材2 3为抽换式，该 吸附机构的吸附材2 3上涂布有一吸附层，该吸附层为吸附剂或催化剂， 而该吸附材2 3由无机材料(如无机纤维纸或为无机氧化物)制成复数片蜂
窝状体或是低压降的孔洞性结构体，而该三通管1 1的分歧处设有一切换 开关l 2，该吸附材2 3的另端会合后再连接至外气空调箱3 0，该外气 空调箱3 0则与无尘室4 O连接。
使用时，当无尘室4 0的生产环境需补充外气时，先将切换开关l 2 切成第一吸附材2 3通道畅通，第二吸附材2 3关闭，再启动外气空调箱
3 0的抽风机以抽取外部空气，该外部空气含有微污染物质(Airbome Molecular Contamination ， AMC)时，例如含硫物质SOx 、 H2S 、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ， (CH3)2SO )、 DMS(Dimethyl Sulfide ， (CH3)2S ) 等，含氮物质NOx、 NH3、 MEA(Monoethanol Amine, NH2C2H4OH )等， 含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)物质、 IPA(IsopropylAlcohol, C3H7OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化 合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)等，当外部空气通过外气入口 1
0经由切换开关1 2进入微污染净化设备2 0的吸附材2 3 ，该外部空气 通过由无机材料制成蜂窝状结构的吸附材2 3，因吸附材2 3上涂布有吸
附剂(或催化剂)，故含有微污染物质的外部空气通过吸附机构的吸附材
2 3时，该外部空气内所含的微污染物质被吸附材2 3上吸附剂(或催化 剂)吸附截留下，该通过吸附机构的外部空气进入外气空调箱3 Q，而进 入外气空调箱3 Q中的已去除微污染物质的外部空气，再将剩余的污染物 去除，即成为干净空气，可直接导入无尘室4 Q，而使用一段时间后，该 微污染净化设备2 0的第一吸附材2 3吸附微污染已达饱和程度时，此时
将切换开关l 2切成第二吸附材2 3通道畅通，而第一吸附材2 3通道关 闭，令外部空气进入吸附机构的第二吸附材2 3，通过其内部吸附材2 3 的吸附剂(或催化剂)将微污染物吸附截留下，而吸微污染净化设备2 0 的第一吸附材2 3因吸附饱和则可送出厂，利用脱附及再生设备再生后重 复使用。而本发明的另一应用例(如图6所示)亦可设为吸附材仅安置于单 一通道的情况下使用，并未做通道上的切换操作，同样可达到相同目的。 以上所述，仅为本发明的较佳实施例，当不能用以限定本发明可实施 的范围，凡本领域技术人员所明显可作变化与修饰，皆应视为不悖离本发
明的实质内容。
权利要求
1、一种无尘室进气净化设备，主要于外气入口连设一微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)净化设备，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；以此，以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
2 、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化 设备的吸附机构为一转轮，该转轮具有一吸附区域、 一再生脱附区域及一 隔离冷却区域，其外气经转轮的吸附区域吸附后，再通过再生脱附区域使 外气能脱附浓缩成污染废气，而转轮将污染废气脱附后，转入隔离冷却区 域降温，使转轮恢复具有吸附功能，而污染废气再经反应去除污染物质形 成无污染物质的气体。
3、 如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的 转轮外型结构为旋转塔(Rotary Cylinder or Rotary Tower)。
4、 如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的 转轮外型结构为旋转转盘(Rotary Disk)。
5、 如权利要求l所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化 设备的吸附机构为吸附材，该吸附材为抽换式，当吸附饱合后即抽取更换 吸附材，而饱合吸附材可送出厂外再生重复使用。
6、 如权利要求l、 2、 3、 4或5所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为蜂窝状结构，由无机材料制成。
7、 如权利要求l、 2、 3、 4或5所述的无尘室进气净化设备，其 中，该微污染净化设备的吸附机构为多孔洞性结构，由无机材料制成。
8、 如权利要求l所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为吸 附剂，以吸附微污染物。
9、 如权利要求l所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为催 化剂，以吸附微污染物。
10、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用电热方式将污染废气脱附。
11、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用燃烧热方式将污染废气脱附。
12、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附 区域的脱附方式是采用等离子体方式将污染废气脱附。
13、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用废热回收方式将污染废气脱附。
14、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用强氧化剂方式将污染废气脱附。
15、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去除污染物质的反应方式是采用电热。
16、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去賒污染物质的反应方式是采用电热与催化剂组合。
17、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去除污染物质的反应方式是采用燃烧热。
18、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去除污染物质的反应方式是采用燃烧热与催化剂组合。
19、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物质的反应方式是采用导入强氧化剂。
20、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气再经反应去除污染物质的反应方式是采用导入强氧化剂与催化剂组合。
21、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去除污染物质的反应方式是采用导入等离子体。
22、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该污染废气 再经反应去除污染物质的反应方式是采用导入等离子体与催化剂组合。
23、如权利要求l所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净 化设备设有二吸附机构，该二吸附机构以三通管与外气入口连设，该三通 管上设有一切换开关，以构成一批次更换操作的设备。
24、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净 化设备只设一吸附机构，并未做切换操作。
全文摘要
一种无尘室进气净化设备，主要于外气入口连设一微污染(AirborneMolecular Contamination，AMC)净化设备，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；由此，以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
文档编号A61L9/16GK101376033SQ20071014794
公开日2009年3月4日 申请日期2007年8月27日 优先权日2007年8月27日
发明者刘邦昱, 徐瑞珠, 林哲弘, 洪守铭, 郑石治, 陈寿忠 申请人:华懋科技股份有限公司