专利名称：多功能处理槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片、硅料等材料的清洗处理设备，尤其涉及一种硅片、硅料等材 料的清洗多功能处理槽。
背景技术：
在硅片、硅料的化学处理过程中，需要对化学处理过的硅片、硅料进行各种清洗处 理。现有的处理设备和手段功能单一，工作效率较低，而且难以充分的去除各种附着物、残 留药液等污物，清洗的效果也不够理想。业界希望一种清洗效率高、清洗效果好的设备和手 段。
发明内容本实用新型是要解决上述技术问题的问题，提出一种高效、清洗效果好的多功能 处理槽。本实用新型提出的多功能处理槽，其包括上边缘带有溢流口的处理槽体、设于该 处理槽体内腔下部的支撑杆和鼓泡管、与该处理槽体配合的喷淋盖、设置于喷淋盖上的喷 淋管、设于所述处理槽体底部并与其内腔联通的快排阀。其中，所述的溢流口可以呈波浪状。本实用新型集鼓泡、溢流、快排、喷淋等多种清洗功能于一身，具有强大的处理能 力。采用多种清洗方式相结合的处理手段，可以有效彻底的去处各种附着物、残留药液等污 物。同时，本实用新型通用于各种处理过程中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各 功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的清洗效果。
以下结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中
图1为本实用新型较佳实施例结构示意图。
具体实施方式
图1示出了本实用新型较佳实施例的基本结构，所述的多功能处理槽，其特包括 一中空的处理槽体1，其上边缘带有呈波浪状的溢流口 7、其内腔下部设有支撑杆4和与外 部气源连接的鼓泡管5 ；与该处理槽体1配合的喷淋盖2、设置于喷淋盖上与外部供水系统 连接的喷淋管3 ；处理槽体1底部还设有一与其内腔联通的快排阀6。处理硅片时，将装有硅片的清洗篮8放入盛有化学处理液的处理槽体1内的支撑 杆4上，根据工艺需要清洗硅片。例如，可以通过化学处理液的浸泡、通过鼓泡管5曝气、通 过溢流口 7排除泡沫、在通过快排阀6排去化学处理液，并通过喷淋管3喷水冲洗硅片；通 过各种清洗处理，可彻底的去除硅片上的各种附着物、残留药液等污物。本实用新型集鼓泡、溢流、快排、喷淋等多种清洗功能于一身，具有强大的处理能
3力。通用于各种处理过程中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互 不干涉，以便达到最好的清洗效果。 以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术 人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的 范围之内。
权利要求一种多功能处理槽，其特征在于，包括上边缘带有溢流口(7)的处理槽体(1)、设于该处理槽体内腔下部的支撑杆(4)和鼓泡管(5)、与该处理槽体(1)配合的喷淋盖(2)、设置于喷淋盖上的喷淋管(3)、设于所述处理槽体(1)底部并与其内腔联通的快排阀(6)。
2.如权利要求1所述的多功能处理槽，其特征在于所述的溢流口(7)呈波浪状。
专利摘要本实用新型公开了一种多功能处理槽，其包括上边缘带有溢流口(7)的处理槽体(1)、设于该处理槽体内腔下部的支撑杆(4)和鼓泡管(5)、与该处理槽体(1)配合的喷淋盖(2)、设置于喷淋盖上的喷淋管(3)、设于所述处理槽体(1)底部并与其内腔联通的快排阀(6)。本实用新型集鼓泡、溢流、快排、喷淋等多种清洗功能于一身，具有强大的处理能力。通用于各种处理过程中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的清洗效果。
文档编号B08B3/10GK201579220SQ20092026115
公开日2010年9月15日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司