专利名称：一种液刀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶面板制 造领域，尤其涉及一种在制造TFT阵列基板过程中进 行清洗用的液刀。
背景技术：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体 管-液晶显示器)阵列基板制造工艺中，需要进行曝光、显影、刻蚀、剥离等构图工艺。其中， 在刻蚀工艺中，玻璃基板经过刻蚀工序之后，需要进行清洗来去除玻璃基板上的刻蚀液。在清洗时，玻璃基板进入喷淋时，首先要进行液刀高压清洗以去除玻璃基板上的 刻蚀液。在实际操作过程中一般用水进行清洗。由于液刀的用水来源于其他几个单元的循 环水，所以，即使循环水通过过滤器的过滤，也还是会有一些细小的异物存在，在液刀进行 清洗工作时这些异物就会附着在刀口，导致液刀在喷水过程中产生分叉。玻璃基板在经过 该液刀进行清洗时，由于液刀产生分叉，就会造成竖线Mura不良，进而导致工艺不良。目前解决液刀刀口分叉的方法是停止设备的运行，人工用薄片刮拭；或者是停 止设备的运行，调节液刀刀口螺丝的松紧度，使异物消除。但是，这些方法，会使设备停机时 间增加，影响生产效率。
实用新型内容本实用新型提供一种液刀，能够自动清理刀口异物，防止清洗用液体喷射不均，提 高了产品合格率，提高了生产效率。为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案一种液刀，包括液刀本体；清理刮片，与所述液刀本体上的刀口相接触，可沿所述刀口移动，用于刮拭所述刀 口上的异物；驱动单元，与所述清理刮片连接，用于驱动所述清理刮片沿所述刀口移动；控制单元，与所述驱动单元连接，用于向所述驱动单元发送控制信号控制所述驱 动单元运行。所述液刀还包括与所述清理刮片卡合的运行轨道。所述清理刮片包括基座，与所述驱动单元连接；刮片，一端与所述基座连接，另 一端与所述刀口相接触。所述驱动单元和所述清理刮片通过丝杠或履带连接。所述驱动单元包括直流无刷马达、气缸驱动装置。所述控制单元包括可编程逻辑控制器。所述清理刮片为PVC材料。所述运行轨道为PVC材料。[0019]所述清理刮片和运行轨道设置在所述液刀本体上。本实用新型提供的液刀，包括液刀本体、清理刮片、驱动单元和控制单元。在控制 单元的控制下，驱动单元可以驱动清理刮片自动清理液刀本体上的刀口。在设定好的时间 间隔内，清理刮片自动清理异物，无需如现有技术那样停机人工进行清理，一方面有效避免 了清洗用液体喷射不均的发生，提高了产品合格率；另一方面，也减少了设备的停机时间， 提高了生产效率。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有液刀的结构立体图；图2为本使用新型提供的液刀的结构立体图3为本使用新型提供的液刀清理刀口过程的立体图；图4为本实用新型提供的液刀的清理刮片的立体图；图5为本实用新型提供的液刀的运行轨道的立体图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。图1为现有液刀的立体图，即为本实用新型中的液刀本体1。本实用新型提供的液刀如图2所示，包括液刀本体1、清理刮片2、驱动单元(图 中未表示)和控制单元(图中未表示)。其中，清理刮片2，与液刀本体1上的刀口 11相接触，可以沿该刀口 11移动，用来 刮拭该刀口 11上的细小异物。驱动单元与清理刮片2连接，用于驱动清理刮片2沿刀口 11 移动。控制单元与驱动单元连接，用于向驱动单元发送控制信号，控制驱动单元运行。图3 即为驱动单元带动清理刮片2处于清理刀口 11过程中的示意图。在本实施例中，具体的，清理刮片2是一个滑动薄片螺母装置，如图4所示，包括与 驱动单元连接基座21、和可伸缩的刮片22。该刮片22在使用时，伸长与刀口 11相接触；不 使用时，收缩与刀口 11分离。在本实施例中，驱动单元是直流无刷马达，如图2、图3所示，通过丝杠3与清理刮 片2连接并传输动力。具体的，该丝杠3被支架5和支架6通过轴承固定在液刀本体1上， 清理刮片2设于该丝杠3上，直流无刷马达的动力输出轴通过联轴器与丝杠3连接，直流无 刷马达转动，带动丝杠3转动，从而带动清理刮片2移动。如图2、图3所示，在液刀本体1上，还可以进一步设置与清理刮片2卡合的运行 轨道4，即清理刮片2和运行轨道4设置在液刀本体1上，这样可以固定清理刮片2，避免晃动。根据图4中清理刮片2的基座21的卡口形状， 本实施例中的运行轨道4如图5所示， 其横截面为一 “工”字形。该运行轨道4也通过支架5和支架6固定在液刀本体1上。当然，驱动单元除直流无刷马达外，还可以是气缸驱动装置等，驱动单元与清理刮 片的连接方式也可以有多种，例如用电磁铁驱动，利用电流方向的改变来改变清理刮片的 运动；或是用履带驱动，将清理刮片固定在履带上，电机带动履带进行运动等等，只要是能 够驱动清理刮片沿刀口移动即可。在本实施例中，控制单元是可编程逻辑控制器(Programmablelogic Controller, PLC)。可以预先在该PLC上设置好程序，通过PLC向驱动单元发送控制信号控制驱动单元， 以一定时间间隔带动清理刮片2自动清理刀口 11。具体的，根据现有经验，目前液刀在清洗三个块(Lot)时，就会有异物阻塞刀口， 造成液刀分叉，需人工进行清理。所以，在设备运行时，控制单元可以以每三个块为单位，控 制驱动单元带动清理刮片2清理刀口 11。由于两张玻璃基板通过的时间间隔都在20秒以 上，所以，控制单元可以控制每次清理的时间在10秒以内。这样对设备的正常运行没有影 响。另外，设备在空闲时，也可以让控制单元控制驱动单元带动清理刮片2清理刀口 11，以保证设备运行时的正常进行。且此时清理时间比较充裕。需要说明的是，设备运行中的控制单元控制驱动单元驱动的时间间隔、以及每次 驱动的时间并不进行限制，在不影响清洗基板，不影响清洗质量的前提下各种组合均可。另 夕卜，设备运行状态和空闲状态之间切换时的清理也可以自由设定。再有，本实用新型实施例中各部件，如清理刮片2、运行轨道4等所采用的材料均 为PVC材料。PVC材料具有不易燃性、高强度、耐气侯变化性以及优良的几何稳定性。PVC 对氧化剂、还原剂和强酸都有很强的抵抗力。当然，也可以采用其他的耐酸材料。本实用新型提供的液刀，包括液刀本体、清理刮片、驱动单元和控制单元。在控制 单元的控制下，驱动单元可以驱动清理刮片自动清理液刀本体上的刀口。在设定好的时间 间隔内，清理刮片自动清理异物，无需如现有技术那样停机人工进行清理，一方面有效避免 了清洗用液体喷射不均的发生，提高了产品合格率；另一方面，也减少了设备的停机时间， 提高了生产效率。再有，本实施例中液刀所用清洗用液体一般为水，但本实用新型并不只限于水，也 可是其他清洗液体，这需要根据生产工艺或产品特性具体决定。本领域普通技术人员可以理解实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过 程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，该程序 在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括R0M、RAM、磁碟或者 光盘等各种可以存储程序代码的介质。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化 或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权 利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种液刀，其特征在于，包括 液刀本体；清理刮片，与所述液刀本体上的刀口相接触，可沿所述刀口移动，用于刮拭所述刀口上 的异物；驱动单元，与所述清理刮片连接，用于驱动所述清理刮片沿所述刀口移动； 控制单元，与所述驱动单元连接，用于向所述驱动单元发送控制信号控制所述驱动单 元运行。
2.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述液刀还包括 与所述清理刮片卡合的运行轨道。
3.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片包括 基座，与所述驱动单元连接；刮片，一端与所述基座连接，另一端与所述刀口相接触。
4.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述驱动单元和所述清理刮片通过丝杠 或履带连接。
5.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述驱动单元包括直流无刷马达、气缸 驱动装置。
6.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述控制单元包括可编程逻辑控制器。
7.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片为PVC材料。
8.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述运行轨道为PVC材料。
9.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述清理刮片和运行轨道设置在所述液 刀本体上。
专利摘要本实用新型提供一种液刀，涉及液晶显示技术领域，能够自动清理刀口异物，防止清洗用液体喷射不均，提高了产品合格率，提高了生产效率。该液刀，包括液刀本体；清理刮片，与所述液刀本体上的刀口相接触，可沿所述刀口移动，用于刮拭所述刀口上的异物；驱动单元，与所述清理刮片连接，用于驱动所述清理刮片沿所述刀口移动；控制单元，与所述驱动单元连接，用于向所述驱动单元发送控制信号控制所述驱动单元运行。本实用新型用于进行液体清洗。
文档编号B08B7/04GK201886235SQ20102023542
公开日2011年6月29日 申请日期2010年6月13日 优先权日2010年6月13日
发明者孙文昌 申请人:北京京东方光电科技有限公司