专利名称：一种用于扩散炉中石英管的清洗机的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能电池制造工艺技术领域，涉及到在太阳能电池制造过程中 扩散炉的石英管清洗环节，特别是为石英管清洗用的清洗机。
背景技术：
太阳能电池制造成本一直是制约光伏产业发展的重要因素之一，在晶硅太阳电池 PN结的制作过程中，不可避免的会产生偏磷酸等副产物，这些偏磷酸通过挥发粘附在石英 管上，对石英管具有一定的腐蚀作用，使石英管表面产生许多小坑，从而影响石英管的使用 效果。其次偏磷酸的挥发也会落到硅片上，使硅片表面产生杂质，从而影响硅片的光电转换 效率。石英管清洗机采用卧式结构，一般对石英管进行清洗的流程是先用去离子水对石英 管进行冲洗，然后将去离子水排放掉，再用清洗液对石英管清洗，清洗后也要排掉，即清洗 液只清洗一个石英管便排入污水处理站，由于清洗液的价格较高，这样不仅造成清洗液的 浪费，还大大增加了生产成本。而且由于清洗步骤复杂，清洗石英管时间长，人工频繁接触 清洗液，使生产效率低，安全系数差。因此，在太阳能制造领域迫切需要提供一种能够多次 连续清洗石英管的清洗设备，对扩散炉内的石英管进行定期清洗，洗去管内壁上的污物，以 保证硅片扩散的质量和延长石英管的使用寿命。
发明内容本实用新型的目的是为了避免清洗液只清洗一个石英管就排放掉而造成的浪费 问题，设计了一种可循环利用清洗液进行清洗石英管的清洗机结构，增加一个中间存储槽， 将石英管清洗后的清洗液暂时存储在中间存储槽中，便于下一次使用。本实用新型为实现发明目的采用的技术方案是，一种用于扩散炉中石英管的清洗 机，结构中包括清洗机框架、定位在清洗机框架内的清洗槽与排污口，在清洗槽的下方定位 有中间存储槽，中间存储槽借助上端面设置的压缩气体入口与气泵连接，中间存储槽的底 面端口借助气动球阀与配套输送管道与清洗槽的底端连通，压缩气体入口处的阀门与气动 球阀分别与管理控制电路的驱动端连接。由于清洗液的价格昂贵，本实用新型设计了一种循环利用清洗液的结构，增加一 个中间存储槽，将石英管清洗后的清洗液暂时存储在中间存储槽中，当进行下一个石英管 清洗时，将中间存储槽内的清洗液借助高压气体压入清洗槽中，达到循环利用的目的。本实用新型增加了一个中间存储槽，结构简单，通过气动球阀与清洗槽连接，再通 过配套的管理控制电路进行驱动每一个气动阀，节省了用人力频繁更换清洗液，在节省成 本的同时大大提高了工作效率。
以下结合附图对本实用新型进行详细说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
3[0009]图2是图1的左向透视图。附图中，1是清洗槽，IA是第一清洗槽，IB是第二清洗槽，2是排污口，3是中间存储 槽，4是压缩气体入口，5是输送管道，6是管理控制电路，7A是第一气动球阀，7B是第二气动 球阀，8是清洗机框架。
具体实施方式
一种用于扩散炉中石英管的清洗机，结构中包括清洗机框架8、定位在清洗机框架 8内的清洗槽1与排污口 2，在清洗槽的下方定位有中间存储槽3，中间存储槽3借助上端 面设置的压缩气体入口 4与气泵连接，中间存储槽3的底面端口借助气动球阀与配套输送 管道5与清洗槽1的底端连通，压缩气体入口 4处的阀门与气动球阀分别与管理控制电路 6的驱动端连接。由于清洗液的价格昂贵，本实用新型设计了一种循环利用清洗液的结构，增加一 个中间存储槽3，将石英管清洗后的清洗液暂时存储在中间存储槽3中，当进行下一个石英 管清洗时，将中间存储槽3内的清洗液借助高压气体压入清洗槽1中，达到循环利用的目 的。清洗槽的数量设置为两个，第一清洗槽IA和第二清洗槽IB分别借助第一气动球 阀7A和第二气动球阀7B与中间存储槽3连接。两个清洗槽可以循环交替清洗石英管，当 第一清洗槽IA用去离子水进行清洗时，第二清洗槽IB可以用清洗液进行清洗，互不干扰， 而且提高工作效率。由于清洗石英管后会有残渣，清洗槽1的底端面为坡面，排污口 2设置在坡面的最 低处。这样残渣会顺着坡面积蓄到最低处，方便排渣。本实用新型在具体使用时，整个过程通过管理控制电路6进行控制，首先将石英 管放入清洗槽1中，放入去离子水进行第一次表面清洗，然后将去离子水排放掉，此时清洗 液存储在中间存储槽3中，通过开启气动球阀同时通入压缩气体，可以将中间存储槽3中的 清洗液压入清洗槽1中，截至气动球阀。通过浸泡、清洗后，再只开启气动球阀，清洗液会由 于重力流入中间存储槽3中，为下一次清洗做准备，这样则达到了循环利用清洗液的目的， 避免只清洗一个石英管就将清洗液排放而造成浪费。进一步改进时，清洗槽1可以设置为2个，由于清洗程序中是先用去离子水进行清 洗，再用清洗液进行清洗，因此通过两个清洗槽轮换交替使用清洗液，这样更有利于工作效 率的提高。
权利要求1.一种用于扩散炉中石英管的清洗机，结构中包括清洗机框架(8)、定位在清洗机框 架(8)内的清洗槽(1)与排污口(2)，其特征在于在清洗槽的下方定位有中间存储槽(3)， 中间存储槽(3)借助上端面设置的压缩气体入口(4)与气泵连接，中间存储槽(3)的底面 端口借助气动球阀与配套输送管道(5)与清洗槽(1)的底端连通，压缩气体入口(4)处的 阀门与气动球阀分别与管理控制电路(6)的驱动端连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉中石英管的清洗机，其特征在于清洗槽的 数量设置为两个，第一清洗槽(IA)和第二清洗槽(IB)分别借助第一气动球阀(7A)和第二 气动球阀(7B)与中间存储槽(3)连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉中石英管的清洗机，其特征在于清洗槽(1) 的底端面为坡面，排污口(2)设置在坡面的最低处。
专利摘要一种用于扩散炉中石英管的清洗机，避免清洗液只清洗一个石英管就排放掉而造成浪费，采用的技术方案是，结构中包括清洗机框架、定位在清洗机框架内的清洗槽与排污口，关键是在清洗槽的下方定位有中间存储槽，中间存储槽借助上端面设置的压缩气体入口与气泵连接，中间存储槽的底面端口借助气动球阀与配套输送管道与清洗槽的底端连通，压缩气体入口处的阀门与气动球阀分别与管理控制电路的驱动端连接。本实用新型增加了一个中间存储槽，结构简单，通过气动球阀与清洗槽连接，再通过配套的管理控制电路进行驱动每一个气动阀，节省了用人力频繁更换清洗液，在节省成本的同时大大提高了工作效率。
文档编号B08B9/027GK201880715SQ20102060102
公开日2011年6月29日 申请日期2010年11月11日 优先权日2010年11月11日
发明者刘秀, 李兆廷, 王勇飞 申请人:成都泰轶斯太阳能科技有限公司, 河北东旭投资集团有限公司