专利名称：流量式精准自动补液装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能硅片清洗设备，尤其涉及全自动清洗设备中的补液装置。
技术背景在太阳能电池片的生产过程中，硅片的清洗工序是十分重要的工序，清洗质量直 接影响到太阳能电池片的光电转换性能。硅片在清洗设备中，由于硅片与清洗液之间要 发生化学反应，清洗液中的相关化学成份将被消耗，若不及时补充将直影响硅片的清洗效 果。为了提高硅片清洗工艺的稳定性，在清洗一定次数后必须向清洗液中补充相应的化学 药液。普通清洗机都采用人工添加方法进行补液，人工添加都存在补液量不准确的缺陷，补 液精度人为因素影响很大。为了克服人工补液存在的缺陷，在先进的硅片清洗机中都设置 了集中补液系统，所述集中补液系统由机械式补液泵定时向清洗槽中补充液体，在清洗设 备运转过程中，根据单位时间内液清洗消耗的多少，确定相应流量的机械式补液泵，控制系 统每隔预定时间间隔就向清洗槽中补一次液，这种补液系统虽然能实现对清洗槽的自动补 液，但由于机械补液量的补液精度不高，且以每清洗十次确定为补液间隔，这样清洗液的化 学浓度波动性很大，硅片的清洗质量波动也比较大，要想进一步提高硅片的清洗质量，必须 及时补液，减小清洗液化学浓度波动值，因此，申请人设计了一种定压式自动补液装置，其 补液原理是在定压、流量相同条件下，通过控制补液时间来精确控制补液量，当清洗槽每 清洗一批硅片后补液装置就适时向清洗槽中补液，这就是人们所述的微量精补装置，有了 这种微量补液装置，清洗槽中清洗液的化学浓度的变化波动值就能得到有效控制，从而提 高了硅片的清洗质量
实用新型内容
为了克服现有硅片清洗机中补液装置存在的不足，本实用新型提供了一种硅片清 洗设备的流量式精准自动补液装置，它采用机械泵与恒压罐相配合的方式进行补液，在每 清洗一次硅片后能对清洗槽即时进行微量精准补液，确保每批硅片清洗后清洗槽中的清洗 液得到精准的补充，这样就能比较精确地控制清洗液的浓度，从而保证硅片的清洗质量。本实用新型所采用的技术方案是所述一种流量式精准自动补液装置，其特征是它包括储液罐、机械补液泵、恒压 罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、 手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统，储液罐设置在全自动硅片清洗机旁，储液罐中存放 待补充溶液，在储液罐顶部设有加液开口，供操作人员向其中加注溶液，恒压罐和储液罐之 间由耐酸碱的输液管相连，机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间，在恒压罐的侧壁上从 上到下依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器，在恒压罐底 部引出的补液管经电磁换向阀分出二条支路，一路经手动补液阀通入清洗槽，另一路经手 动定标阀通向量杯，上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器都与控制系统电连接，电磁换向阀和机械补液泵也与控制系统电连接。由于将储液罐中的待加补溶液经机械补液泵先输入恒压罐中，在恒压罐的侧壁上 依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器，机械补液泵的开关 由上液位传感器、下液位传感器和控制系统控制，确保恒压罐内液位处于预定高度范围之 内，从而确保从恒压罐出放出的液体流量相对等值，通过确定量杯测定从恒压罐出放出的 液体流量，再根据清洗槽每次定量清洗硅片所消耗的溶液量，经计算得出每次补液的放液 时间，由控制系统进行控制，从而保证电磁换向阀在清洗槽每次清洗一次后即时精确地进 行补液，使清洗槽中的溶液浓度保持稳定，从根本上保证硅片清洗质量。同时降低了机械泵 开停频率，减少了对机械泵的损伤，大大提高了全自动清洗机的使用效率。
图1为本实用新型结构示意图；图中1-储液罐；2-机械补液泵；3-恒压罐；4-上报警传感器；5-上液位传感器； 6-下液位传感器；7-下位报警传感器；8-电磁换向阀；9-手动补液阀；10-手动定标阀； 11-量杯；12-清洗槽；13-控制系统；14-输液管；15-补液管。
具体实施方式
根据附图详细说明本实用新型的具体实施方式
所述一种流量式精准自动补液装置，它包括储液罐1、机械补液泵2、恒压罐3、上 报警传感器4、上液位传感器5、下液位传感器6、下报警传感器7、电磁换向阀8、手动补液 阀9、手动定标阀10、量杯11、清洗槽12和控制系统13，储液罐1设置于全自动硅片清洗机 旁，储液罐1中存放待补充溶液，在储液罐1顶部设有加液开口，供操作人员向其中加注溶 液，恒压罐3和储液罐1之间由耐酸碱的输液管14相连，机械补液泵2设置在恒压罐3和 储液罐1之间，在恒压罐3的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器4、上液位传感器5、下 液位传感器6和下报警传感器7，在恒压罐3底部设有的补液管15经电磁换向阀8分出二 条支路，一路经手动补液阀9通入清洗槽12，另一路经手动定标阀10通向量杯11，上位报 警传感器4、上位液位传感器5、下位液位传感器6和下位报警传感器7都与控制系统13电 连接，电磁换向阀8和机械补液泵2也与控制系统13电连接。本实用新型的具体使用方法如下由控制系统13启动机械补液泵2将储液罐1中的添补液经输液管14输入恒压罐 3中，当液体高度达到上液位传感器5时，便向控制系统13发出信号便自动关闭机械补液 泵2停止补液，然后由控制系统13使电磁换向阀8得电开通，此时关闭手动补液阀9，开启 手动定标阀10，此时恒压罐3中的溶液经过补液管15通向量杯11中，当测试量杯11滴满 时，记录所需时间，然后计算出补液管15的流量，通过试验测得清洗槽12中每一次硅片清 洗后所消耗的溶液量，再计算出应向清洗槽补液所需的时间。打开手动补液阀9，关闭定标 管的手动定标阀10，由控制系统13控制电磁换向阀8的开通时间，当清洗槽12中完成一次 清洗后，由控制系统13控制电磁换向阀8开启，向清洗槽12中注入溶液，达到预定时间后 关闭，然后清洗槽12即可进行下一次清洗。在使用过程中，当恒压罐3中液位低于下液位传感器6时，下液位传感器6将信号传输至控制系统13，控制系统13控制机械补液泵2开启，将储液罐1中的溶液送至恒压罐3 中，当恒压罐3中液位达到上液位传感器5时，上液位传感器5将信号传输至控制系统13， 控制系统13控制机械补液泵2停止运行，若恒压罐3中液位高于上报警传感器4或低于下 报警传感器7时，控制系统13控制发出警报，然后提示人们立即检修。
权利要求1. 一种流量式精准自动补液装置，其特征是它包括储液罐(1)、机械补液泵O)、恒压 罐(3)、上报警传感器G)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)、下报警传感器(7)、电磁 换向阀(8)、手动补液阀(9)、手动定标阀(10)、量杯(11)、清洗槽(12)和控制系统(13)， 储液罐(1)设置于全自动硅片清洗机旁，储液罐(1)中存放待补充溶液，在储液罐(1)顶部 开口，供操作人员向其中注入溶液，恒压罐C3)和储液罐(1)之间由耐酸碱的输液管(14) 相连，机械补液泵( 设置在恒压罐C3)和储液罐(1)之间，在恒压罐C3)的侧壁上从上到 下依次设有上报警传感器G)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)， 在恒压罐C3)底部设有的补液管(1 经电磁换向阀(8)分出二条支路，一路经手动补液阀 (9)通入清洗槽(12)，另一路经手动定标阀(10)通向量杯(11)，上报警传感器G)、上液位 传感器( 、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)都与控制系统(1 电连接，电磁换向阀 ⑶和机械补液泵⑵也与控制系统(13)电连接。
专利摘要一种流量式精准自动补液装置，它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统，机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间，上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器依次从上到下设置在恒压罐的侧壁上，且都与控制系统电连接，补液管经电磁换向阀分出二条支路，一路经手动补液阀通入清洗槽，另一路经手动定标阀通向量杯。它能测定补的流量然后按工艺要求确定补液时间，及时准确地对清洗槽进行补液，使清洗槽中的溶液浓度保持稳定，从根本上保证硅片清洗质量。
文档编号B08B3/08GK201921873SQ201020685360
公开日2011年8月10日 申请日期2010年12月29日 优先权日2010年12月29日
发明者王瑞勋 申请人:常州亿晶光电科技有限公司