一种清洗机安全系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种清洗机安全系统，包括：清洗室，清洗室具有进料口，进料口的上方设置有与进料口匹配的安全门；压力传感器，压力传感器设置于进料口底部；其中，当安全门关闭后，安全门对进料口底部产生压力值，压力传感器感应到压力值后，清洗机进行清洗工艺；当压力传感器感应到压力值消失后，清洗机停止清洗工艺；因此通过该发明可以有效的避免安全隐患的问题，智能化、自动化的实现了对工人的安全保护。
【专利说明】一种清洗机安全系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及到半导体集成电路制造领域，尤其涉及到一种清洗机安全系统。
【背景技术】
[0002]现今，随着经济的发展以及各种高新技术的提高，各个生产设备趋近于安全化、自动化、智能化的发展趋势。因此对这些机器设备改进之后，可以有效节约生产劳动力，提高设备生产的效率，使得工厂的各个生产线逐渐走上了自动化的路线。当然在整个设备生产过程中通常会使用到具有自动操作功能的清洗机对工件进行装配前的清洗程序，为了安全起见在需要清洗的清洗室内设有安全门，在需要的时候可以打开或者关闭安全门对清洗室内的环境进行操作。
[0003]中现有技术中，清洗机在清洗的过程，它的安全门是可以随意开启的，并且由于清洗是按照先进行酸槽浸泡，后进行水槽浸泡并加以冲洗，而水槽是最接近安全门，这样就可能带来一系列难以预料的安全问题，如清洗液溅出对人体皮肤造成损伤、对人员误入的肢体造成损害等其它机械危险。
[0004]中国专利(CN202238730U)公开了一种清洁装置，意在提供一种带安全门锁的清洗机，以解决现有技术中清洗室易被误操作打开的问题。该目的可以通过以下措施来达到:带安全门锁的清洗机包括有机架，机架上的清洗室设有安全门，清洗室内设有喷头，其特征是:所述安全门上设有安全门开关。在上述方案中，在安全门上增加了安全门锁，保证了安全门不会在操作人员不小心的情况下被打开，避免了一系列安全问题的发生。
[0005]中国专利(CN103639165A)公开了一种安全自动清洗装置，包括清洗机头、清洗架、铺设于清洗架上的清洗链以及设置于清洗架侧面的防护板，清洗机头设置于清洗架上，位于清洗架中部，防护板有两块，分别焊接在清洗架两头的侧面，防护板能隔开所述清洗链，使得工人与清洗链不会接触，也并不会因为清洗链的滚动而造成严重的安全隐患。在使得清洗操作趋向于自动化效果的同时也有效保证了工人的安全，符合现今大工业机器化生产的趋势。
[0006]上述两项专利均公开了用于避免安全隐患的清洗装置，虽然在很大的程度上有效的保护了工人的安全，但是对于现今技术的自动化、智能化生产设备，上述的两项清洗装置设计比较复杂，而且需要人工操作，不易实施。
【发明内容】
[0007]鉴于上述问题，本发明提供一种清洗机安全系统，通过该装置可以有效的避免安全隐患，易于操作，而且实现了对工人智能化、自动化的保护。
[0008]本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为:
[0009]一种清洗机安全系统，其特征在于，所述系统包括:
[0010]一清洗室，所述清洗室具有进料口，所述进料口的上方设置有与所述进料口匹配的安全门；
[0011]一压力传感器，所述压力传感器设置于所述进料口底部；
[0012]其中，当所述安全门关闭后，所述安全门对所述进料口底部产生压力值，所述压力传感器感应到所述压力值后，所述清洗机进行清洗工艺；当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述清洗机停止所述清洗工艺。
[0013]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述系统还包括一自动化装置，所述自动化装置与所述压力传感器信号连接；
[0014]当所述压力传感器感应到所述压力值后发送相应的消息至所述自动化装置，所述自动化装置驱动所述清洗机进行清洗工艺；当所述压力传感器感应到所述压力值消失后发送对应的消息至所述自动化装置，所述自动化装置驱动所述清洗机停止所述清洗工艺。
[0015]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述系统还包括一报警装置，所述报警装置与所述压力传感器信号连接，当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述报警装置发出警报。
[0016]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述系统还包括一显示装置，所述显示装置与所述压力传感器信号连接，当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述显示装置上显示警报信息。
[0017]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述压力传感器的数量至少为两个。
[0018]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述压力传感器的数量为两个，且该两个所述压力传感器对称设置于所述进料口的下方两侧。
[0019]上述的一种清洗机安全系统，其中，所述安全门的材质为透明材料。
[0020]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0021]上述技术方案通过在清洗机的进料口下方设有两个压力传感器，该压力传感器通过信号连接于一个自动化装置，只有压力传感器感受到来自安全门的压力值之后，并发出相应的消息发送到该自动化装置，该自动化装置驱动清洗机进行清洗工艺，否则，自动化装置驱动清洗机停止清洗工艺，而且在清洗机进行清洗工艺的过程中该自动化装置无法打开安全门，若强制打开，压力传感器感受到安全门的压力值消失后，发出对应的消息发送到自动化装置，停止驱动清洗机的清洗工艺，与此同时与压力传感器信号连接的一报警装置发出报警。因此通过该技术方案可以有效的避免安全隐患的问题，智能化、自动化的实现了对工人的安全保护。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
[0023]图1是本发明中一种清洗机安全系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]本发明提供一种清洗机安全系统，可应用于技术节点为90nm、65/55nm、45/40nm、32/28nm、大于等于130nm以及小于等于22nm的工艺中；可应用于MEMS技术平台中。
[0025]本发明的清洗机安全系统主要包括:
[0026]一清洗室，该清洗室具有进料口，该进料口的上方设置有与该进料口匹配的安全门；
[0027]一压力传感器，该压力传感器设置于该进料口底部；
[0028]其中，当安全门关闭后，安全门对进料口底部产生压力值，压力传感器感应到压力值后，清洗机进行清洗工艺；当压力传感器感应到压力值消失后，清洗机停止清洗工艺。
[0029]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
[0030]在本发明的实施例中，如图1所示，一种清洗机安全系统，其内部设有一清洗室2，在清洗室内2还设有一个进料口 3，进料口 3上方设置有一安全门1，该安全门I与进料口3相匹配可用于关闭进料口 3，防止在清洗机进行清洗工艺时靠近进料口 3的一水槽的酸液溅出，造成人身伤害。
[0031]优选的，上述安全门I的材质为透明材料。
[0032]在上述的进料口 3底部设有若干个压力传感器4，该压力传感器4均通过信号连接一自动化装置。当压力传感器4感应到来自安全门I的压力值后发送相应的消息至该自动化装置，该自动化装置驱动清洗机进行清洗工艺；当压力传感器4感应到来自安全门I的压力值消失后发送对应的消息至该自动化装置，该自动化装置驱动清洗机停止所述清洗工
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[0033]优选的，上述压力传感器4的数量为2个。
[0034]优选的，上述2个压力传感器4对称设置于清洗室2的进料口下方两侧。
[0035]另外，与压力传感器4连接的还包括一报警装置，当压力传感器4感应到来自安全门I的压力值消失后，该报警装置会发出警报，并通过与压力传感器4信号连接的一显示装置显示报警信息，用于及时的通知工作人员清洗机的工作状态。
[0036]其中，上述显示装置中设有控制清洗机运行状态和安全门状态的开关，并与清洗机信号连接。
[0037]在本发明的实施例中，在进行设备工艺生产之前需要对清洗机的清洗室2进行清洗，若控制显示装置上控制安全门I状态的开关使清洗室2的进料口 3处于一种敞开状态，此时两个压力传感器4均未感受到来自安全门I的压力值，上述的自动化装置没有接收到来自压力传感器4发出的信息，此时，与压力传感器4连接的报警装置发出报警信息并通过显示装置显示出来，通过控制清洗机运行状态的开关驱动清洗机停止清洗工艺。
[0038]若通过控制显示装置上的控制安全门I状态的开关室清洗室的进料口 3处于封闭状态，即安全门封闭进料口 3，此时两个压力传感器4均感受到来自安全门I的压力值，上述的自动化装置接收到来自压力传感器4发出的信息，此时，与压力传感器4连接的报警装置未发出报警信息并通过显示装置显示出来，通过控制清洗机运行状态的开关驱动清洗机进行清洗工艺，并且在清洗机进行清洗工艺的过程中，该自动化装置和显示装置均无法打开安全门1，若人为强制性的打开，则会触发报警装置引发报警，同时停止清洗机的清洗工艺。
[0039]综上所述，本实施例中，通过在清洗机的进料口下方设有两个压力传感器，该压力传感器通过信号连接于一个自动化装置，只有压力传感器感受到来自安全门的压力值之后，并发出相应的消息发送到该自动化装置，该自动化装置驱动清洗机进行清洗工艺，否贝1J，自动化装置驱动清洗机停止清洗工艺，而且在清洗机进行清洗工艺的过程中该自动化装置无法打开安全门，若强制打开，压力传感器感受到安全门的压力值消失后，发出对应的消息发送到自动化装置，停止驱动清洗机的清洗工艺，与此同时与压力传感器信号连接的一报警系统发出报警。因此通过该技术方案可以有效的避免安全隐患的问题，智能化、自动化的实现了对工人的安全保护。
[0040]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种清洗机安全系统，其特征在于，所述系统包括: 一清洗室，所述清洗室具有进料口，所述进料口的上方设置有与所述进料口匹配的安全门； 一压力传感器，所述压力传感器设置于所述进料口底部； 其中，当所述安全门关闭后，所述安全门对所述进料口底部产生压力值，所述压力传感器感应到所述压力值后，所述清洗机进行清洗工艺；当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述清洗机停止所述清洗工艺。
2.如权利要求1所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述系统还包括一自动化装置，所述自动化装置与所述压力传感器信号连接； 当所述压力传感器感应到所述压力值后发送相应的消息至所述自动化装置，所述自动化装置驱动所述清洗机进行清洗工艺；当所述压力传感器感应到所述压力值消失后发送对应的消息至所述自动化装置，所述自动化装置驱动所述清洗机停止所述清洗工艺。
3.如权利要求2所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述系统还包括一报警装置，所述报警装置与所述压力传感器信号连接，当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述报警装置发出警报。
4.如权利要求3所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述系统还包括一显示装置，所述显示装置与所述压力传感器信号连接，当所述压力传感器感应到所述压力值消失后，所述显示装置上显示警报信息。
5.如权利要求1所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述压力传感器的数量至少为两个。
6.如权利要求5所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述压力传感器的数量为两个，且该两个所述压力传感器对称设置于所述进料口的下方两侧。
7.如权利要求1所述的一种清洗机安全系统，其特征在于，所述安全门的材质为透明材料。
【文档编号】B08B13/00GK104438267SQ201410164072
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】张瑜, 俞玮, 秦贵明 申请人:上海华力微电子有限公司