专利名称：单晶硅切方机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种切割单晶硅的机床，特别涉及一种切割单晶硅的切方机构。
现有技术拉制后的单晶硅棒根据使用要求需要进行切割，传统的切割方法采用绳锯或带锯。北京市海淀区学清路16号学知园一号楼1608室苗正华设计的《金刚石绳锯》(专利号CN98218513.8)，该实用新型金刚石绳锯，由机架、工作台、动力装置、绳锯轮、绳锯条和供冷却液装置构成。其特征在于其绳锯条之外圆周面为金刚石材料附着；该实用新型金刚石绳锯结构简单，造价低廉，可方便地对硬脆工件进行各个方向的曲线切割，如玻璃、石材、陶瓷和单晶硅等，但不适合单晶硅棒料的切方加工。北京紫玉电子产品厂和北京欣福盛经贸有限公司研制的《金刚石带锯》(专利号CN98208113.8)，该实用新型金刚石带锯，由机架、工作台、动力装置和供冷却液装置、带锯轮、带锯条构成；其特征在于其带锯条之刃口为金刚石材料的方形、长方形、半圆形、梯形和三角形齿，实践证实，该实用新型金刚石带锯结构简单，造价低廉，可方便的加工大于3～5mm厚度的硬脆工件，如玻璃、石料、单晶硅等，该实用新型同样不能进行单晶硅棒料的切方加工。
发明的目的本发明的目的是提供一种能够对单晶硅棒料进行切方加工的单晶硅切方机构。
技术方案本发明的目的是这样实现的，本发明在床身上固联一支架，支架上固联有直线导轨，直线导轨上设置有工作台，工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置，工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动；工作台上端外侧设置有两台电机，电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动；主轴的前端设置有锯片夹头，锯片夹头上分别夹持有锯片，两锯片间的中心线与单晶硅中心线重合；单晶硅夹持在单晶硅夹具上；单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上，单晶硅夹具体安装在床身上，单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。转动锯片，同时，单晶硅夹具带动单晶硅棒料沿中心线运动，从而切割单晶硅棒料，切割后的单晶硅成对称矩形。锯片为盘锯片，锯片的齿间设置有合金粉末。动力头为机械动力头。
有益效果由于切方锯片的上下垂直运动和旋转运动，保证了切方精度，同时能切割单晶硅棒料。
附图1是本实用新型的结构示意图；附图2是附图1的右视图。
附图中1是工作台驱动装置，2是直线导轨，3是电机，4是皮带，5是动力头，6是支架，7是锯片，8是锯片夹头，9是工作台，10是晶硅棒料，11是单晶硅夹具，12是单晶硅夹具体，13是床身。
实施例本实施例床身(13)上固联一支架(6)，支架上固联有直线导轨(2)，直线导轨(2)上设置有工作台(9)，工作台(9)的上端内侧设置有工作台驱动装置(1)，工作台驱动装置(1)可以驱动工作台(9)沿导轨(2)上下运动；工作台(9)上端外侧设置有两台电机(3)，电机(3)通过皮带(4)带动安装在工作台上动力头(5)的主轴转动；动力头(5)主轴的前端设置有锯片夹头(8)，锯片夹头(8)上分别夹持有锯片(7)，两锯片(7)间的中心线与单晶硅棒料(10)中心线重合；单晶硅棒料(10)夹持在单晶硅夹具(11)上；单晶硅夹具(11)沿锯片(7)间中心线安装在单晶硅夹具体(12)上，单晶硅夹具体(12)安装在床身(13)上，单晶硅夹具体(12)可沿锯片(7)中心线运动。转动锯片(7)，同时，单晶硅夹具(11)带动单晶硅棒料(10)沿中心线运动，从而切割单晶硅棒料(10)，切割后的单晶硅成对称矩形。锯片(7)为盘锯片(7)，锯片(7)的齿间设置有硬质合金粉末。动力头(5)为机械动力头(5)。本发明结构简单，是当前是理想的单晶硅切方机构之一。
权利要求
1.一种单晶硅切方机构由床身等组成，其特征在于床身上固联一支架，支架上固联有直线导轨，直线导轨上设置有工作台，工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置，工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动；工作台上端外侧设置有两台电机，电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动；主轴的前端设置有锯片夹头，锯片夹头上分别夹持有锯片，两锯片间的中心线与单晶硅夹具中心线重合；单晶硅夹持在单晶硅夹具上；单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上，单晶硅夹具体安装在床身上，单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。
2.根据权利要求1所述的单晶硅切方机构，其特征在于锯片为盘锯片。
3.根据权利要求1和2所述的单晶硅切方机构，其特征在于锯片的齿间设置有合金粉末。
4.根据权利要求1所述的单晶硅切方机构，其特征在于动力头为机械动力头。
全文摘要
本发明涉及一种单晶硅切方机构，机构的床身上固联一支架，支架上固联有直线导轨，直线导轨上设置有工作台，工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置，工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动；工作台上端外侧设置有两台电机，电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动；主轴的前端设置有锯片夹头，锯片夹头上分别夹持有锯片，两锯片间的中心线与单晶硅中心线重合；单晶硅夹持在单晶硅夹具上；单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上，单晶硅夹具体安装在床身上，单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。转动锯片，同时，单晶硅夹具带动单晶硅棒料沿中心线运动，从而切割单晶硅棒料，切割后的单晶硅成对称矩形。锯片为盘锯片，锯片的齿间设置有合金粉末。动力头为机械动力头。本发明结构简单，是当前是理想的单晶硅切方机构之一。
文档编号B28D1/00GK1951658SQ20051009490
公开日2007年4月25日 申请日期2005年10月20日 优先权日2005年10月20日
发明者冯金生, 蔡平 申请人:冯金生