专利名称：玻璃减薄方法
技术领域：
本发明涉及一种玻璃减薄方法，更具体地是涉及一种其中蚀刻溶 液依靠重力作用沿着玻璃基材的表面从所述玻璃基材的上部向下流到 下部，从而将玻璃基材蚀刻到所希望的厚度，由此在显著减少顆粒产 生的同时将玻璃基材超薄化的玻璃减薄方法。
背景技术：
用于显示器中的玻璃包括碱石灰玻璃，其是通过将碱离子按需要 加到二氧化硅(SK)2)中形成的，和无碱玻璃，其在髙温下几乎不发 生改变。碱石灰玻璃物性温度转变点低，但不责，因而用于采用低温工艺的超扭转向列液晶显示器(STNLCD)或无源矩阵型有机发光二 级管(PMOLED)中，无碱玻璃物性温度转变点高，因而适宜用于形 成TFT阵列的高温工艺中，并因而用于薄膜晶体管-液晶显示器 (TFT-LCD)或有源矩阵型有机发光二级管(AMOLED)中。近来，为了满足显示设备工业的发展需要和顾客对轻、薄、短和 小的产品趋势的需求，迫切需要一种用于减薄通过结合玻璃基材制得 的显示面板的技术.也就是说，要求减薄用于LCD中的玻璃基材以满 足设备的薄轮廊趋势需要。通过蚀刻显示面板来实现玻璃基材的减薄。采用浸渍技术、喷雾技术和浸渍喷雾技术的常规玻璃减薄方法是 广为人知的，下面，参考附困详细描述这些常规的玻璃减薄方法.图1A举例说明了采用浸渍技术的常翔L^L璃减薄方法100。参考 困1A，通过隔膜120在外室150中彼此划分出了单元区130，显示面 板130分别设置在单元区130的各单元内。蚀刻溶液装在外室150中，并供给至各单元。其后，从室110的下端向上提供泡沫140，由此使 分别设置在各单元中的显示面板减薄。该方法的优点在于工艺简单，
并且可以同时减薄多个玻璃基材.但是，该方法减薄坡璃基材所需 要的时间长，当泡沫产生时引起玻璃基材所产生的残余物与玻璃基 材表面碰撞，或者产生各种顆粒，以致在玻璃基材的表面上形成划 痕或者在玻璃M的内表面上形成顆粒。图1B举例说明了采用喷M术的常规J^璃减薄方法200。参考 图1B，喷嘴220设置在显示面板210的两側，所述喷嘴220将蚀刻溶 液喷射在显示面板210的两个表面上以蚀刻显示面板210的表面，由 此减薄显示面板210。该方法类似于采用浸渍技术的玻璃减薄方法， 有少量残余物生成，并且对于减薄大尺寸的玻璃基材而言是有利的。 但是，由于喷射压力高，会在玻璃基材表面产生酒窝形划痕，并且要 求的工艺复杂。图lC举例说明采用浸渍喷f^L术的常M璃减薄方法300，其 中组^^吏用了浸渍和喷i^t术。参考困1C,将显示面板310浸渍到 含有蚀刻溶液330的设备中后，设置在显示面板310两側的喷嘴将蚀 刻溶液330喷射到显示面板310的两个表面上，由此减薄显示面板310. 该方法要求的工艺复杂，成本高，造成维护和修理困难，并且仍然会 在玻璃基材表面产生划痕.尽管这些划痕是细微的，但仍然会给高技术设备，例如给显示 面板带来致命的缺陷，从而显著降低了设备的价值。因此，玻璃基材 上细微的划痕会使得其被丢弃。也就是说，当采用上述任何一种方法通过在蚀刻溶液中产生泡 沫或喷射蚀刻溶液来蚀刻原玻璃基材时，细微划痕或细小顆粒都会 对玻璃基材表面造成损害，从而给通过结合上M材制得并且要求 高精度的显示面板带来致命的质量缺陷。尽管制得的显示面板只有 细微的划痕，但其必须被丢弃。因此，上述常规方法是不利的，因 为其导致显示面板的生产成本增加。发明内容因此，本发明是考虑到上述问趙而作出的，本发明的目的之一是 提供一种玻璃减薄方法，其中蚀刻溶液依靠重力作用沿着玻璃基材或
显示面板的表面从所述玻璃基材或显示面板的上部流到下部，从而将 玻璃基材或显示面板蚀刻到所希望的厚度，由此在减少顆粒产生的同 时将玻璃基材或显示面板超薄化.根据本发明，通过提供一种玻璃减薄方法能够实现上述或者其它 目的，其中蚀刻溶液沿着玻璃基材或显示面板的表面从所述玻璃基材 或显示面板的上部竖直向下流到下部以减薄玻璃基材或显示面板，由 此防止了外部压力对玻璃基材或显示面板表面的损害，并且在没有颗粒产生的情况下将玻璃基材或显示面板减薄到所希望的厚度。所述蚀刻溶液以固定流速或可变流速沿着玻璃基材或显示面板的 两个側面从所述玻璃基材或显示面板的上部流到下部，由此依靠重力 作用沿着玻璃基材或显示面板的两个側面均匀流动，并因此精确控制 蚀刻厚度。用HF溶液作为所述蚀刻溶液，由此降低了玻璃基材或显示面板 的生产成本。提供用于固定玻璃基材或显示面板的固定单元以及用于均匀控制 所述蚀刻溶液流速的流速控制单元，由此消除了由于玻璃基材或显示 面板的移动带来的蚀刻厚度改变，并将玻璃基材或显示面板减薄到所 希望的厚度。通过用于调节出口宽度的通道部分调节蚀刻溶液流的宽度，其中 所述蚀刻溶液通过所述通道部分流出，由此根据显示面板的宽度调节 蚀刻溶液流的宽度，并使得玻璃基材或显示面板的整个表面能够被同 时均匀地蚀刻。
结合附图，由下列详细描述可以更加清楚地理解本发明的上述和 其它目的、特征和其它优点，其中图1A为举例说明采用浸渍技术的常规玻璃减薄方法的剖面示意困；图1B为举例说明采用喷雾技术的常规玻璃减薄方法的剖面示意困； 图1C为举例说明采用浸渍喷雾技术的常規玻璃减薄方法的剖面示意困；闺2为举例说明根据本发明一个实施方案的玻璃减薄方法的側視 困；和图3A至3C为分别举例说明原玻璃基材表面、根据常规方法减薄 的玻璃基材表面和根据本发明方法减薄的玻璃基材表面的照片。
具体实施方式
现在，参考附困详细描述本发明的优选实施方案。 图2为举例说明根据本发明优选实施方案的玻璃减薄方法的側枧 困。参考图2，蚀刻溶液30沿着要被减薄的显示面板10的两个側面 从所述显示面板10的上部均匀流到所述显示面板10的下部.尽管该 实施方案中仅公开了蚀刻溶液30沿着显示面板10的两个側面从所述 显示面板10的上部流到下部，但是本领域技术人员应当理解蚀刻溶液 可以依靠重力作用从所述显示面板10的上部流到下部以减薄显示面 板IO。更具体地，在显示面板10或玻璃基材的上部设置一个喷嘴单元或 多个喷嘴单元以提供蚀刻溶液30。当使用一个喷嘴单元时，该喷嘴单 元在显示面板10或玻璃基材的两側支化为两部分，以便从该两部分喷 出的蚀刻溶液30沿着显示面板10或玻璃基材的两个側面流动。作为 替代方案，当使用多个喷嘴单元时，所述多个喷嘴单元分别设置在显 示面板10或玻璃基材的两側，以便从所述多个喷嘴单元喷出的蚀刻溶 液沿着显示面板10或玻璃基材的两个側面流动。沿显示面板10的两 个表面流动的蚀刻溶液30的流速可以是均一的，也可以是根据用户搮 作需要改变的，以便有效减薄显示面板10或玻璃基材。可以使用任何能够蚀刻玻璃的物质作为蚀刻溶液30。优选地，从 有利于经济成本的方面考虑，用HF溶液作为蚀刻溶液30。进一步优 选地，提供根据用户要求的蚀刻程度控制蚀刻溶液30流速的流速控制 单元(未示出)。更优选地，流速控制单元连接到自动化设备上来控制 蚀刻时间和蚀刻厚度。
在该实施方案的方法中，蚀刻溶液30从所述显示面板10的上部 向下流到所述显示面板10的下部，优选地，通道部分(未示出)设置 在流量控制单元的出口处，且蚀刻溶液30从其中流出，所述通道部分 具有可调宽度。通道部分的宽度根据显示面板10的尺寸增加或减小， 由此实现有效通用的玻璃减薄方法，图3A是原玻璃基材表面的照片，图3B是按照常规方法减薄的玻 璃基材表面的照片，图3C是按照本发明的方法减薄的玻璃基材表面 的照片。上述照片是用扫描电子显微镜(SEM:xlO，OOO)拍摄的。如 图3B所示，在玻璃基材表面按照常规方法完成玻璃减薄工艺后，玻 璃基材表面上产生划痕，即使这些划痕是细微的，也会给高技术设备， 例如给显示面板带来致命的缺陷，从而显著降低设备的价值。因此， 必须将具有细微划痕的薄玻璃基材丢弃，另一方面，如图3C所示， 在玻璃基材表面按照本发明的方法完成玻璃减薄工艺后，在玻璃基材 的表面上没有划痕产生。因此，区别于常规的玻璃减薄方法，本发明的玻璃减薄方法防止 了玻璃基材表面上划痕的产生.因此，可以提高玻璃基材的质量，并 可以修复因具有划痕而通常必须被丢弃的玻璃基材，从而减少了不必 要的花费。从上述描述明显可见，本发明提供了一种玻璃减薄的方法，其中 蚀刻溶液依靠重力作用从玻璃基材或显示面板的上部向下流到下部， 从而将玻璃基材或显示面板蚀刻到所希望的厚度，由此在减少颗粒产 生的同时将玻璃基材或显示面板超薄化。当采用本发明的方法超薄化显示面板时，显示面板表面上没有划 痕产生。因此，本发明的方法能够提供极高质量的薄显示面板。尽管出于举例的目的，公开了本发明的优选实施方案，但是本 领域技术人员应当理解可以在不偏离本发明在所附权利要求书中所 公开的范围和精神的情况下，对本发明进行各种改变、添加和代替。
权利要求
1. 一种玻璃减薄方法，其中蚀刻溶液以固定流速或可变流速沿着玻璃基材或显示面板的表面从所述玻璃基材或显示面板的上部竖直向下流到下部，从而使玻璃基材或显示面板变薄。
2. 权利要求l所迷的玻璃减薄方法，其中在玻璃基材或显示面板 的上部设置一个喷嘴单元或多个喷嘴单元以提供烛刻溶液，并且所述 一个喷嘴单元在玻璃基材或显示面板的两側支化为两部分，或者所述 多个喷嘴单元分别设置在玻璃基材或显示面板的两侧，使得蚀刻溶液 以固定流速或可变流速沿着玻璃基材或显示面板的两个側面流下。
3. 权利要求2所述的玻璃减薄方法，其中用HF溶液作为蚀刻溶液。
4. 权利要求2或3所迷的玻璃减薄方法，其中提供用于固定玻璃 基材或显示面板的固定单元以及用于均匀控制蚀刻溶液流速的流速控 制单元。
5. 权利要求1或2所述的方法，其中通过用于调节出口宽度的通 道部分调节蚀刻溶液流的宽度，所述蚀刻溶液通过所述通道部分流出。
全文摘要
本发明公开了一种玻璃减薄方法，其中蚀刻溶液以固定流速或可变流速沿着玻璃基材或显示面板的表面从玻璃基材或显示面板的上部竖直向下流到下部，从而使玻璃基材或显示面板变薄。用HF溶液作为蚀刻溶液。由于蚀刻溶液依靠重力作用流下并将玻璃基材或显示面板蚀刻到所希望的厚度，因而该方法减少了颗粒的产生，并且使得玻璃基材或显示面板超薄化。进一步地，该方法防止了玻璃基材或显示面板表面划痕的产生，从而得到质量极好的薄玻璃基材或显示面板。
文档编号C03C15/00GK101209902SQ20071007975
公开日2008年7月2日 申请日期2007年3月7日 优先权日2006年12月29日
发明者朴文泳 申请人:崔灒圭