专利名称：自动感知止动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种自动感知止动装置，特别是涉及一种可应用于如晶圆劈裂机...等自动化机械中，提供自动化机械的驱动组件自动感知停止功能的自动感知止动装置。
背景技术：
近年来，由于科技快速发展，许多加工制造产业以驱于自动化。以半导体元件的制 造过程为例，其主要是将晶圆以切割或裂片的手段分割成多数晶粒，再将晶粒固定在载体 上进行电路布设，最后用封胶体包覆晶粒封装成形，而制成一具有特定功能的半导体元件， 于此过程中，晶圆的裂片制程，主要是将待分割的晶圆先进行预切割，使晶圆表面形成多数 纵横交错的浅沟，并放置于晶圆劈裂机的载台上，再经过对正定位后，由驱动组件中的马达 驱动带动劈刀向下移动抵触晶圆，并藉由冲击装置冲击劈刀，进而给予晶圆一个冲击力量， 使晶圆自其预切割的浅沟位置劈裂。而在晶圆劈裂过程中，现今的做法概是利用控制组件控制马达旋转的角度，并于 马达旋转至设定的角度后使其停止作动，进而控制劈刀的下降行程，但晶圆于制造上并非 完全平整，以固定的劈刀行程进行劈裂，往往会造成劈刀尚未接触晶圆便停止，使劈刀产生 的冲击力道未能有效地传到晶圆上，或者是劈刀接触晶圆后尚持续下移，使晶圆受到压迫 而损坏，这两种情况皆对晶圆劈裂有负面的影响，使晶圆劈裂面产生不平整的问题，降低晶 粒的良率。除上述晶圆劈裂机，在许多其他领域所使用的自动化设备亦有缺乏自动感知停止 功能的缺点，在现今加工、制造精度日益提升的高度工业化社会，仅以固定行程控制机具的 移动恐无法因应需求。由此可见，上述现有的止动装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟 待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道， 但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问 题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的自动感知止动装置，实 属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的止动装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多 年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型 的自动感知止动装置，能够改进一般现有的止动装置，使其更具有实用性。经过不断的研 究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容本实用新型的主要目的在于，克服现有的止动装置存在的缺陷，而提供一种新型 的自动感知止动装置，所要解决的技术问题是使其改善现有习知自动化机械无法因应需求 而自动停止作动的情形，非常适于实用。[0008]本实用新型的另一目的在于，提供一种新型的自动感知止动装置，所要解决的技 术问题是使其藉由摇臂将触接部与感知部间的相对位移的放大，使触接部与感知部的断路 效果更加明显，进而提升止动效果，非常适于实用。 本实用新型的再一目的在于，提供一种新型的自动感知止动装置，所要解决的技 术问题是使其使设于该基座底端的作动件不会因为基座的重量过重而压损外部的抵靠物， 非常适于实用。本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本 实用新型提出的一种自动感知止动装置，用以装设于自动化机械中具有一作动件的驱动组 件上，其特征在于该自动感知止动装置包含一活动座，用以装设于该驱动组件的升降作动 端，而可被驱动上下移动；一基座，其可活动地压抵于该活动座上，并可随该活动座上下移 动，该基座下端用以提供该作动件组设其上；以及一感知装置感知组件，其设于该活动座与 基座之间，用以感知该基座与活动座间的相对移动，且当该基座与活动座产生相对移动时 则回授一信号以停止该驱动组件作动。本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实 现。前述的自动感知止动装置，其中所述的基座包含一座体以及设于该座体一侧的触 接部，该感知组件包含一可随该活动座移动的感知部，该触接部与感知部电连接该驱动组 件的作动开关，且该感知部接抵且电性连通该触接部，此为驱动组件的作动状态，该感知部 可随该基座与活动座产生相对位移时脱离触接部，使该感知部与触接部间形成断路，使该 驱动组件停止作动。前述的自动感知止动装置，其中所述的感知组件包含一摇臂，该摇臂一端枢设于 该基座，该摇臂另一端设有该感知部，该摇臂近其枢设于基座处向下抵靠于该活动座的一 抵靠部，当该基座与活动座产生相对位移时，该摇臂随该抵靠部移动而旋摆，使该感知部脱 离该触接部。前述的自动感知止动装置，其中所述的活动座尚包含一弹性体以及一容置槽，该 弹性体设于该容置槽内；该基座尚包含一调整部，该调整部可相对该座体上下活动，该基座 藉由该调整部压抵该弹性体向下抵靠于该活动座。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可知，为了达 到上述目的，本实用新型提供了一种自动感知止动装置用以装设于自动化机械中具有一作 动件的驱动组件上，该自动感知止动装置包含一活动座，用以装设于该驱动组件的升降作动端，而可被驱动上下移动；一基座，其可活动地压抵于该活动座上，并可随该活动座上下移动，该基座下端用 以提供该作动件组设其上；以及一感知组件，其设于该活动座与基座之间，用以感知该基座与活动座间的相对移 动，且当该基座与活动座产生相对移动时则回授一信号以停止该驱动组件作动。本实用新型藉由该基座抵靠于活动座，并利用该基座可相对于该活动座移动的特 点，当作动件接触至外部抵靠物时，该活动座与基座产生相对移动，并藉由该感知组件感知 其相对移动，进而回授一信号致使驱动组件停止，使作动件可以在接触到外部抵靠物时便 停止下移，提供一可因应外部抵靠物状态而自动调整作动件下降行程的装置。[0020]本实用新型令该基座包含一座体以及设于该座体一侧的触接部，该感知组件包含 一可随该活动座移动的感知部，该触接部与感知部电连接该驱动组件的作动开关，且该感 知部接抵且电性连通该触接部，此为驱动组件的作动状态，该感知部可随该基座与活动座 产生相对位移时脱离触接部，使该感知部与触接部间形成断路，使该驱动组件停止作动；该 感知组件包含一摇臂，该摇臂一端枢设于该基座，该摇臂另一端设有该感知部，该摇臂近其 枢设于基座处向下抵靠于该活动座的一抵靠部，当该基座与活动座产生相对位移时，该摇 臂随该抵靠部移动而旋摆，使该感知部脱离该触接部。藉此，利用该基座与活动座相对位移时，该触接部与感知部间形成断路的特点，控 制驱动组件停止作动，效果直接而有效，并藉由摇臂将触接部与感知部间的相对位移的放 大，使触接部与感知部的断路效果更加明显，进而提升止动效果。本实用新型还令该活动座尚包含一弹性体以及一容置槽，该弹性体设于该容置槽 内；该基座尚包含一调整部，该调整部可相对该座体上下活动，该基座藉由该调整部压抵该 弹性体向下抵靠于该活动座。藉由压抵于该基座与活动座之间的弹性体，使该基座相对于该活动座位移时，该 弹性体仍可提供一弹性力支撑该基座，使设于该基座底端的作动件不会因为基座的重量过 重而压损外部的抵靠物。借由上述技术方案，本实用新型自动感知止动装置至少具有下列优点及有益效 果1、本实用新型改善现有习知自动化机械无法因应需求而自动停止作动的情形，非 常适于实用。2、本实用新型藉由摇臂将触接部与感知部间的相对位移的放大，使触接部与感知 部的断路效果更加明显，进而提升止动效果。3、本实用新型使设于该基座底端的作动件不会因为基座的重量过重而压损外部 的抵靠物综上所述，本实用新型是有关于一种自动感知止动装置，用以装设于自动化机械 的驱动组件上，本实用新型主要以一基座向下抵靠一设于该驱动组件的活动座上，并于活 动座与基座间设有一感知组件，当驱动组件驱动作动件的作动过程中，该活动座带动基座 向下移动至设于基座底端的作动件接触外部抵靠物时，该基座停止移动并与该活动座产生 相对位移，藉由该感知组件感知其相对移动进而控制驱动组件停止作动，提供一可因应外 部抵靠物平坦状态，而可自动调整作动件下降行程的自动感知止动装置。本实用新型在技 术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技 术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征 和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
图1为本实用新型自动感知止动装置的一较佳实施例应用于晶圆劈裂机中的外观立体图。图2为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中的剖视立体图。图3为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中的主视图。图4为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中的侧视局部剖视图。图5为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中被驱动状态的局部放大图(一)。图6为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中被驱动状 态的局部放大图(二)。图7为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中被驱动状 态的局部放大图(三)。图8为本实用新型自动感知止动装置较佳实例应用于晶圆劈裂机中停止状态的 局部放大图(一)。图9为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中停止状态 的局部放大图(二)。图10为本实用新型自动感知止动装置较佳实施例应用于晶圆劈裂机中停止状态 的局部放大图(三)。1 活动座11 抵靠部12:容置槽13:弹性体2 基座20 座体21 触接部22 调整部3 感知组件31 感知部32 摇臂4 驱动组件41 马达42 螺杆43 连结块5:劈刀6:晶圆
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下 结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的自动感知止动装置其具体实施方式
、结 构、特征及其功效，详细说明如后。有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较 佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。为了方便说明，在以下的实施例中，相同的元件以 相同的编号表示。本实用新型自动感知止动装置用以装设于自动化机械中具有一作动件的驱动组 件上，用以自动控制该驱动组件停止作动，请参阅图1至图4所示，为本实用新型自动感知 止动装置应用于晶圆劈裂机的一较佳实施例，其装设于晶圆劈裂机中的驱动组件4上，并 提供晶圆劈刀5装设其上，以晶圆劈刀5作为作动件，该驱动组件4包含一马达41、一连结 于该马达41输出轴的螺杆42，以及一具有内螺纹并啮合套设于该螺杆42的连结块43，该 自动感知止动装置包含一活动座1、一基座2以及一感知组件3。[0052]该活动座1是连接设于该晶圆劈裂机的驱动组件4的升降作动端，而可被驱动上 下移动，在本实施例中，该活动座1连结于该驱动组件4的连结块43上并可随其上下运动， 该活动座1可包含一抵靠部U、一容置槽12以及一设于该容置槽12内的弹性体13。该基座2可活动地压抵于该活动座1上，并可随该活动座1上下移动，该基座2下 端用以提供该晶圆劈刀5组设其上，该基座2包含一座体20以及一设于该座体20 —侧的 触接部21，或更进一步包含一调整部22，该调整部22可相对于该座体20上下移动，该基座 2的调整部22压抵该容置槽12内的弹性体13藉以向下抵靠于该活动座1上。 该感知组件3设于该活动座1与基座2之间，用以感知该基座2与活动座1间的相 对移动，且当其间产生相对移动时则送出一信号以停止该驱动组件4作动，在本实施例中， 该感知组件3包含一感知部31，或更进一步包含一摇臂32，该摇臂32 —端枢设于该基座2， 且该摇臂32近该枢设基座2处向下抵靠于该活动座1的抵靠部11，该摇臂32另一端设有 该感知部31，且该感知部31接抵且电性连通该触接部21，在本实施例中，该触接部21与感 知部31电连接该驱动组件4的作动开关，以接触感知的方式控制驱动组件4作动与否，该 触接部21与该感知部31接触导通时为驱动组件4的作动状态；反之则为停止状态。请参照图4所示，本实用新型自动感知止动装置于使用时，以应用于晶圆劈裂机 为例，经由马达41带动该螺杆42旋转，使啮合于该螺杆42上的连结块43带动该活动座1 与基座2向下移动，请配合图5至图7所示，当基座2向下移动至设于基座2下方的晶圆劈 刀5抵靠于晶圆6时，该基座2停止移动；请配合参阅图8至图10，此时，该驱动组件4尚 持续带动该活动座1向下移动，使活动座1与基座2产生相对位移，该活动座1的抵靠部11 相对于该基座2向下移动，抵靠于该抵靠部11的摇臂32随之向下旋摆，使该感知部31脱 离该触接部21形成断路，使驱动组件4停止作动。此外，该感知组件3可为一压力感测器，以压力量测取代接触感知来感测该基座2 与活动座1是否相对位移，该压力感测器可装设于该触接部21与感知部31间，利用该触接 部21与感知部31相对位移时会造成压力骤降的特点，设定该触接部21施与该感知部31 的压力小于某一个设定值时，回授一信号以切断马达41电源使驱动组件4停止作动。该感知组件3可为一光学尺，以位置量测取代接触感知来判断基座2与活动座1 间是否相对移动，该光学尺可装设于该触接部21或感知部31中任一处，以装设于该触接部 21为例，藉此量测该感知部31相对于触接部21的位移量，并设定当该感知部31相对于触 接部21位移时，回授一信号以切断马达41电源使驱动组件停止作动。本实用新型自动感知止动装置的基座2抵靠于该活动座1，且该基座2可相对于 该活动座1移动，当基座2与其底端的劈刀5抵靠于晶圆6而停止移动时，藉由该感知组件 3感测该基座2与活动座1的相对移动，进而致使驱动组件4停止作动，避免因劈刀在未接 触或过度压迫晶圆6的状态下停止，以致于晶圆6的劈裂面产生不平整的情形，提升晶圆6 劈裂的平整度，进而提高晶粒的良率，且藉由摇臂32的设置，放大触接部21与感知部31间 的相对位移，使触接部21与感知部31的断路效果更加明显，进而提升自动感知的效果；其 次，藉由设置于该活动座1与基座2间的弹性体13，使该活动座1与该基座2产生相对位移 时，该弹性体13尚可提供一弹性力支撑该基座2，避免因基座重量过重压迫损坏晶圆6，且 该调整部22可以调整弹性体13的压缩量，进而依需求调整适当的弹性力。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容 作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内 容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求一种自动感知止动装置，用以装设于自动化机械中具有一动作件的驱动组件上，其特征在于该自动感知止动装置包含一活动座，用以装设于该驱动组件的升降动作端，而可被驱动上下移动；一基座，其可活动地压抵于该活动座上，并可随该活动座上下移动，该基座下端用以提供该动作件组设其上；以及一感知装置感知组件，其设于该活动座与基座之间，用以感知该基座与活动座间的相对移动。
2.根据权利要求1所述的自动感知止动装置，其特征在于其中所述的基座包含一座体 以及设于该座体一侧的触接部，该感知组件包含一可随该活动座移动的感知部，该触接部 与感知部电连接该驱动组件的动作开关，且该感知部接抵且电性连通该触接部。
3.根据权利要求2所述的自动感知止动装置，其特征在于其中所述的感知组件包含一 摇臂，该摇臂一端枢设于该基座，该摇臂另一端设有该感知部，该摇臂近其枢设于基座处向 下抵靠于该活动座的一抵靠部。
4.根据权利要求3所述的自动感知止动装置，其特征在于其中所述的活动座尚包含一 弹性体以及一容置槽，该弹性体设于该容置槽内；该基座尚包含一调整部，该调整部相对该 座体上下活动，该基座藉由该调整部压抵该弹性体向下抵靠于该活动座。
专利摘要本实用新型是有关于一种自动感知止动装置，用以装设于自动化机械的驱动组件上，本实用新型主要以一基座向下抵靠一设于该驱动组件的活动座上，并于活动座与基座间设有一感知组件，当驱动组件驱动作动件的作动过程中，该活动座带动基座向下移动至设于基座底端的作动件接触外部抵靠物时，该基座停止移动并与该活动座产生相对位移，藉由该感知组件感知其相对移动进而控制驱动组件停止作动，提供一可因应外部抵靠物平坦状态，而可自动调整作动件下降行程的自动感知止动装置。本实用新型改善现有已知自动化机械无法因应需求而自动停止作动的情形，非常适于实用。
文档编号B28D5/04GK201566056SQ20092026942
公开日2010年9月1日 申请日期2009年10月29日 优先权日2009年10月29日
发明者王裕贤 申请人:竑腾科技股份有限公司