母基板的刻划方法及分断方法

文档序号:1987199阅读:254来源:国知局

专利名称::母基板的刻划方法及分断方法
技术领域
:本发明涉及一种由玻璃基板等脆性材料所构成的母基板的刻划方法及分断方法,特别是涉及一种从形成于大面积的母基板上的刻划线裁切矩形(lath-shaped)基板,且从该矩形基板分断单位产品的分断方法及该分断方法中所使用的刻划方法。此处,所谓矩形基板,是指多个单位基板(单位产品)排列成一行的状态的基板。在矩形基板中,单位基板排列方向成为长度方向。
背景技术
:从玻璃基板等的母基板裁切矩形基板的情形时,已知如图19所示,一边相对于母基板W压接配置于彼此正交的方向的刀轮20、21—边使其等转动,借此,形成彼此交叉的纵、横的多条刻划线Sa、Sb(在图19中仅显示有I条),继而,借由以裂断杆(breakbar)22从纵向刻划线Sb将基板W裂断而形成矩形基板Wa,使该矩形基板Wa旋转90度,以裂断杆23沿着刻划线Sa进行裂断而取出单位产品Wl的方法(例如专利文献I等)。在实施该分断方法的加工装置中,使用沿直线方向搬送基板W的搬送机构、且使矩形基板Wa在载置平面上维持着水平姿势的状态旋转90度的旋转机构。又,在以上述步骤的分断方法中,当以刀轮20、21在母基板W交叉刻划纵、横交叉的刻划线Sa、Sb时,存在有在刻划线Sa、Sb的交点产生被称为“切角”或“挤裂”的加工不良。所谓“切角”,是指如图20所示,在最初形成横向刻划线Sa后,压接转动刀轮21而形成纵向刻划线时,负载有刀轮21的压接力的侧的基板(图左侧的基板)如箭头所示般下沉,越过既设的刻划线Sa时,爬升处于半分断状态的右侧的基板时产生的微细的切角(图中以α显示)。又,所谓“挤裂”,是指如图21所示,在最初形成横向刻划线Sa后形成纵向刻划线时,当刀轮21越过既设的刻划线Sa时,刻划线Sa的垂直方向的裂痕K在基板的背面附近向倾斜方向延伸。图中以β显示该“挤裂”。此“切角”或“挤裂”当然会损及分断后的产品的质量,而成为使制造正品率下降的重大原因。因此,在专利文献2中揭示在交叉刻划母基板时,以在刻划线的交点附近暂时减小刀轮的刻划压力的方式控制按压力,而防止“切角”或“挤裂”的产生的方法。[先前技术文献][专利文献][专利文献I]日本特开2006-315901号公报[专利文献2]日本特开2009-132614号公报
发明内容在上述现有习知的分断方法中,必需使矩形基板Wa在载置平面上维持着水平姿势的状态旋转90度的旋转机构,故需设置旋转盘(turntable)而必需有其设置的设备或空间,进而,若矩形基板Wa旋转则必需进行伴随着旋转的角度位置的微调整作业,而存在制造设备费增加,且生产线变长的缺点。由于在现有习知的分断方法中进行交叉刻划,故存在有产生“切角”或“挤裂”之虞,以防止该现象为目的,虽有时采用如专利文献2记载,以在刻划线的交点附近暂时减小刀轮的刻划压力的方式控制按压力的方法,但为此必需有使按压力复杂变化的专用的控制程序或机械动作系统,因而花费时间与成本。又,存在因具有厚度的基板或材料组成而较无法减小刻划压力,因而无法完全地防止“切角”或“挤裂”。又,若在刻划线的交点附近减小刀轮的刻划压力,则存在产生被称为“交点跳越”的不良现象之虞。该现象是指借由刀轮形成最初所形成的刻划线、及与其交叉的第2刻划线时,之后应形成的刻划线并未在交点附近形成。认为其原因在于,在最初所形成的刻划线的槽两侧残存有应力,当刀轮横切残存有该应力的部位时,刀轮的按压力被削弱。若产生此种“交点跳越”现象,当然在从刻划线分断基板时无法获得美观的分断面,而无法制作高质量的产品。因此,本发明的目的在于提供一种抑制不使用旋转机构分断矩形基板时的“切角”、“挤裂”、“交点跳越”般因交叉亥U划所引起的不良的母基板的刻划方法及分断方法。又,本发明的另一目的在于提供一种在从母基板取出单位产品时,不使用使矩形基板旋转的旋转机构,而将矩形基板的长度方向维持于一方向的状态进行搬送,而进行分断加工的母基板的分断方法。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种母基板的刻划方法,是借由刀轮进行的母基板的刻划方法,其由下述步骤构成借由沿着母基板的第I横刻划预定线进行刻划,形成划分从此处裁切的矩形基板的下边的横向的第I刻划线的步骤;其次,以与上述矩形基板中的单位产品的数量相同的数量进行纵向刻划至与上述第I刻划线平行且设定于形成上述矩形基板的上边的位置的第2横刻划预定线为止,借此,形成纵向的第2刻划线,该纵向的第2刻划线分别形成上述单位产品的实质上的右边,以及以与上述矩形基板中的单位产品的数量相同的数量进行纵向刻划,借此,形成纵向的第3刻划线,该纵向的第3刻划线分别形成上述单位产品的实质上的左边的步骤;继而,借由沿着上述第2横刻划预定线进行刻划,形成划分上述矩形基板的上边的横向的第4刻划线的步骤。本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的母基板的刻划方法,其中上述纵向的第2刻划线、以及上述纵向的第3刻划线使用与上述矩形基板中的单位产品的数量为相同数量的刀轮,同时地刻划第2刻划线彼此、第3刻划线彼此。前述的母基板的刻划方法,其中,在形成上述横向的第I刻划线的步骤与形成第4刻划线的步骤中,借由固定上述母基板将上述刀轮横向移动而进行加工;在形成上述纵向的第2刻划线与第3刻划线的步骤中,借由固定上述刀轮并移动上述母基板而进行加工。本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的一种母基板的分断方法,其中借由使刀轮沿着母基板的第I横刻划预定线进行刻划,而形成划分母基板的下边部分的端材区域的横向的第I刻划线;其次,借由第I裂断部将该端材区域从第I刻划线分断而弃除端材区域;其次,使用与应形成的矩形基板中的单位产品的数量相同的数量的刀轮,从母基板被分断的下边至与其平行的第2横刻划预定线为止进行纵向刻划,借此,形成纵向的第2刻划线与第3刻划线,该第2划线形成单位产品的实质上的右边,该第3划线形成左边;其次,借由使刀轮沿着上述第2横刻划预定线进行刻划而形成横向的第4刻划线;继而,借由以第I裂断部从第4刻划线分断母基板,而裁切借由纵向刻划线所划分的多个单位产品沿着长度方向排列为一行的矩形基板;借由搬送部将该裁切后的矩形基板以维持着其姿势的状态沿着基板长度方向搬送至第2裂断部而从纵向刻划线依序分断,借此裁切单位产品。本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的母基板的分断方法,其中,以第I裂断部裁切上述矩形基板的加工之前,以沿与该矩形基板的长度方向正交的方向搬送的方式进行加工;将上述所裁切后的矩形基板以第2裂断部从矩形基板分断为单位产品的加工,其是以沿与上述矩形基板的长度方向相同的方向搬送的方式进行加工。本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案,本发明母基板的刻划方法及分断方法可达到相当的技术进步性及实用性,并具有产业上的广泛利用价值,其至少具有下列优点(I)根据本发明的刻划方法,在矩形基板上,划分各单位产品的纵向刻划线(第2刻划线、第3刻划线)形成于横向刻划线(第I刻划线、第4刻划线)之间,故不存在因越过横向刻划线交叉而形成的交点,借此,可显著地减少于上述交点的“切角”或“挤裂”的产生,并且亦可消除“交点跳越”现象,而可获得分断面美观的高质量的矩形基板。(2)由于划分所形成的矩形基板的各单位产品的纵向刻划线使用与矩形基板的单位产品的数量相同的数量的刀轮进行,故具有可在短时间有效率地进行刻划作业的效果。(3)在形成横向的第I刻划线的步骤与形成第4刻划线的步骤中,借由固定母基板并将刀轮横向移动而进行加工;在形成纵向的第2刻划线与第3刻划线的步骤中,借由固定刀轮并移动母基板而进行加工。借此,可不使基板旋转90度而有效地形成纵向与横向的刻划线。(4)根据本发明的母基板的分断方法,由于从母基板裁切的矩形基板以维持着其姿势的状态沿着基板长度方向搬送至裂断部为止而分断为单位产品,故而可省略用以如现有习知的般使矩形基板旋转90度的机构,借此,可实现设备的省力化、及成本的降低化,并且可实现生产线的精简化。此外,由于划分各单位产品的纵向刻划线形成于横向刻划线之间,故而不存在越过横向刻划线而形成的交点,借此,可显著地减少于上述交点的“切角”或“挤裂”的产生,并且亦可消除“交点跳越”的现象,而可获得分断面美观的高质量的矩形基板。进而,由于划分所形成的矩形基板的各单位产品的纵向刻划线使用与矩形基板的单位产品的数量相同的数量的刀轮进行,故具有可在短时间有效率地进行刻划作业的效果。上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。图1概略地显示实施本发明的分断方法时所使用的分断装置的一例的俯视图。图2概略地显示本发明的分断装置中刻划部的前视图。图3是本发明的分断装置中裂断部的概略图。图4显示本发明的分断装置的第I步骤的与图1相同的说明图。图5显示本发明的分断装置的第2步骤的说明图。图6显示本发明的分断装置的第3步骤的说明图。图7显示本发明的分断装置的第4步骤的说明图。图8显示本发明的分断装置的第5步骤的说明图。图9显示本发明的分断装置的第6步骤的说明图。图10显示本发明的分断装置的第7步骤的说明图。图11显示本发明的分断装置的第8步骤的说明图。图12显示本发明的分断装置的第9步骤的说明图。图13显示本发明的分断装置的第10步骤的说明图。图14显示本发明的分断装置的第11步骤的说明图。图15显示本发明的分断装置的第12步骤的说明图。图16显示本发明的分断装置的第13步骤的说明图。图17显示本发明的分断装置的第14步骤的说明图。图18显示本发明的分断装置的第15步骤的说明图。图19显示现有习知的矩形基板的裁切方法的说明图。图20说明现有习知的交叉刻划时产生的“切角”现象的图。图21说明现有习知的交叉刻划时产生的“挤裂”现象的图。1:分断装置4:刻划头6:刀轮7:平台13、14:端材区域A:刻划部B:第I裂断部C:第2裂断部D:搬送部LI第I横刻划预定线L2:第2横刻划预定线L3:第3横刻划预定线L4:第4横刻划预定线S1:第I刻划线S2:第2刻划线S3:第3刻划线S4:第4刻划线W:母基板Wa:矩形基板Wl:单位产品具体实施方式为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的母基板的刻划方法及分断方法其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。以下,以图1图18为基准对本发明的刻划方法及分断方法进行详细说明。图1概略地显示实施本发明的分断方法时所使用的分断装置I的一例的俯视图。该分断装置I是由下述构件构成刻划部A,用以在母基板W上加工刻划线;第I裂断部B,从刻划线将母基板W分断为矩形;第2裂断部C,将所分断的矩形基板Wa(参阅图11)分断为单位产品Wl;以及搬送部D,接收以上述第I裂断部B所分断的矩形基板Wa并沿着基板长度方向搬送至第2裂断部C。刻划部A(参阅图2)具备左右一对支柱2、2、与架桥(crosslinking)于所述支柱2、2的横梁(亦称为梁(beam))3,横梁3沿着X方向配置。在横梁3以可沿着导引件5在X方向移动的方式设置有多个、在本实施例中为4个刻划头4。该刻划头4的个数是与形成于下述矩形基板Wa的单位产品Wl的数量一致而设定。在刻划头4的下端安装有用以在母基板W加工纵、横刻划线的刀轮6。刀轮6是以借由内设于刻划头4的切换机构(未图示),可将其转动方向切换为X方向、以及在平面上与X方向正交的Y方向的两者的方式安装。在刻划头4的下方配置有平台7,该平台7支持所载置的母基板W,并且附有自平台7上沿Y方向搬送所载置的基板W的Y方向搬送辊。再者,为了准确地进行直线搬送,亦可在平台7的单侧(搬出基板的第I裂断部B侧的相反侧)设置夹头机构(未图示),该夹头机构,保持母基板W的上端边并且与平台7的Y方向搬送辊的搬送运动连动,沿Y方向搬送母基板W。可借由所述搬送机构使母基板W沿Y方向前后移动。第I裂断部B及第2裂断部C(参阅图3),利用借由沿着刻划线施加外力使基板弯曲而分断基板的一般裂断机构。虽省略详细的机构说明,但在基板W的设置有刻划线S的面的相反面(在本实施例中为下表面)的下方设置有沿着刻划线S较长地延伸的板状的裂断杆10,且在基板W的上表面侧的刻划线S的左右两侧部分设置有一对按压杆或辊11。而且,以使裂断杆10上升将基板W以倒V字状略微弯曲,借此,使刻划线(裂痕)沿深度方向渗透且分断的方式形成。第I裂断部B的裂断杆,是以可从下述横向(X方向)的刻划线分断母基板W的方式沿着X方向延伸,且设置于刻划部A与搬送部D之间。第2裂断部C的裂断杆,是以可从纵向(Y方向)的刻划线将所分断的矩形基板Wa分断的方式沿Y方向延伸,且设置于搬送部D的搬出侧。搬送部D是由平台所构成,该平台具备Y方向搬送辊(未图示),以第I裂断部B所分断的矩形基板Wa沿Y方向(与矩形基板的长度方向正交的方向)移动;以及X方向搬送辊(未图示),以第I裂断部B所分断的矩形基板Wa沿X方向(与矩形基板的长度方向相同的方向)移动;首先,使Y方向搬送辊动作而接收以第I裂断部B所分断的矩形基板Wa,在即定的固定位置停止后,继而使X方向搬送辊动作而搬出至第2裂断部C侧。因此,如图1所示,以下述方式进行配置刻划部A、第I裂断部B、以及搬送部D的接收矩形基板Wa的部分是以依此顺序搬送基板的方式在Y方向排列,搬送部D与第2裂断部C是以依此顺序搬送基板的方式在X方向排列。再者,搬送机构并不限定于上述搬送辊,亦可例如以可吸附的机械臂等使基板移动。又,为了避免图式的复杂化,在图4图18中省略第I裂断部B及平台7。其次,对使用上述分断装置I的本发明的刻划方法及其后的分断方法进行说明。如图1及图2所示,预先在刻划部A的平台7上配置母基板W。对载置于平台7之前的前置步骤并无特别限定,但例如亦可预先在平台7本身设置用以沿X方向、Y方向移动的驱动机构(图2的滚珠螺杆9、轨道8等),使平台7沿X方向或Y方向移动,借此使母基板移动至用以开始本发明的刻划加工或分断加工的原点位置。在图1中,在母基板W以2点链线描绘的假想线显示欲从此处裁切的矩形基板及包含于该矩形基板的单位产品的刻划预定线,Wl显示最终从刻划预定线分断取出的单位产品的区域。如图4所示,使母基板W移动至刻划头4的下方为止,一边沿着在母基板W的下边(图2中的母基板W的前侧的边)附近横向(X方向)延伸的第I刻划预定线LI上(参阅图1)按压位于右端的I个刻划头4的刀轮一边使其转动而进行刻划。借此,加工划分母基板W的下边部分的端材区域13的横向的第I刻划线S1。其后,如图5所示,以第I裂断部B(因在图5中省略,故参阅图1)将该端材区域13从第I刻划线SI分断,将端材区域13弃除于外部。此时,亦可以机械臂等握取而弃除,亦可借由压缩空气以吹除(blow)而去除。其次,将所有刻划头4的刀轮的转动方向切换为Y方向之后,如图6及图7所示,使用所有的4个刻划头4,从母基板W的所分断的下边沿纵向(Y方向)同时进行刻划,至分断后形成沿着矩形基板Wa的长度方向的一边(上边)的横向第2刻划预定线L2为止。此时,停止刀轮4,借由平台7的Y方向搬送辊将母基板W沿Y方向移动,借此进行刻划。借此,加工形成单位产品的实质上的右边的纵向的第2刻划线S2。继而,如图8及图9所示,以相同的方法,以4个刻划头4从母基板W的下边进行纵向刻划至第2横刻划预定线L2为止,借此,加工形成单位产品的实质上的左边的纵向的第3刻划线S3。再者,亦可以相反步骤加工第2刻划线S2与第3刻划线S3。其次,如图10所示,沿着第2横刻划预定线L2上(参阅图9),借由使位于右端的刻划头4的刀轮沿X方向移动而进行刻划,形成横向的第4刻划线S4。其后,如图11所示,借由平台7的Y方向搬送辊及搬送部D的Y方向搬送辊使母基板W沿Y方向移动,且以第I裂断部B(参阅图1)从第4刻划线S4的背面侧将母基板W沿X方向分断,借此,完全分断并裁切最初的矩形基板Wa。所裁切的矩形基板Wa具备借由纵向(Y方向)刻划线S2、S3所划分的4个单位产品Wl沿长度方向排列为一行的长方形的形状,以使其长度方向朝向X方向的姿势被裁切。所裁切的矩形基板Wa,是以使其长度方向朝向X方向的姿势的状态中,借由搬送部D的Y方向搬送辊沿与基板长度方向正交的方向(-Y方向)搬送至搬送部D的即定的固定位置为止。移送至搬送部D的固定位置的矩形基板Wa系,继而以维持着使其长度方向朝向X方向的姿势的状态沿X方向搬送,搬送至第2刻划部C为止依序分断为单位产品Wl。又,于裁切最初的矩形基板Wa之后,经由与上述步骤相同的步骤,而自母基板W分断下一个矩形基板Wa。即,于裁切最初的矩形基板Wa之后,如图11所示,位于右端的刻划头4的刀轮沿着第3横刻划预定线L3上(参阅图1)进行刻划,借此加工横向的第5刻划线S5。其后,如图12所示,自第5刻划线S5分断端材区域14将其弃除于外部。再者,亦可借由使第3横刻划预定线L3、与所加工的前I个矩形基板Wa中的第2横刻划预定线L2—致而不设置端材区域14。在此情形时,已形成有第5刻划线S5。其次,如图13及图14所示,使用所有的4个刻划头4,从母基板W的已分断的下边进行纵向刻划至第4横刻划预定线L4为止,借此,形成纵向的第6刻划线S6,该纵向的第6刻划线S6形成单位产品Wl的实质上的右边。继而,如图15及图16所示,以4个刻划头4从母基板W的已分断的下边进行纵向刻划至第4横刻划预定线L4为止,借此,加工形成单位产品的实质上的左边的第7刻划线S7。在此情形时,亦可以相反步骤形成第6刻划线S6与第7刻划线S7。其后,如图17所示,借由位于右端的刻划头4的刀轮沿着第4横刻划预定线L4(参阅图1)进行刻划,而形成横向的第8刻划线S8。其次,如图18所示,以第I裂断部B(参阅图1)从上述第8刻划线分断母基板W,借此完全分断并裁切下一个矩形基板Wa。经由上述步骤而获得的矩形基板Wa中,由于划分各单位产品Wl的纵向的第2、第3刻划线S2、S3(或第6、第7刻划线S6、S7)形成于横向的第I及第4刻划线S1、S4(或第5、第8刻划线S5、S8)之间,故不存在因越过横向刻划线交叉而导致形成的交点。借此,可显著地抑制于上述交点的“切角”或“挤裂”的产生,并且亦可消除“交点跳越”的现象。又,由于不改变从母基板W裁切的矩形基板Wa的方向,以维持着其姿势的状态沿-Y方向搬送,继而借由搬送部D朝向第2裂断部C沿X方向搬送而依序分断单位产品W1,故仅进行直线运动的搬送。可省略用以如现有习知的般使矩形基板旋转90度的旋转机构(旋转盘),借此,可实现设备成本的降低,并且可实现生产线的精简化。进而,亦无需进行伴随着矩形基板的旋转的角度的微调整作业。在上述实施例中,使母基板W沿Y方向移动而加工纵向刻划线,但亦可相反地以可移动支持刻划头4的横梁3或支柱2的方式进行刻划。又,以右端的I个刀轮加工横向刻划线,但亦可使用其它刀轮进行加工。在上述实施例中,准备与矩形基板Wa中的单位产品Wl为相同数量的刻划头4,但若生产速度无问题,则亦可设刻划头为I个,而逐一地形成纵向刻划线。而且,在本实施例的分断方法中,借由第I裂断部从母基板裁切借由刻划线所划分的多个单位产品沿着长度方向排列为一行的矩形基板,且不改变该所裁切的矩形基板的方向而以维持着其姿势的状态沿着基板长度方向借由搬送部搬送至第2裂断部,而从上述刻划线依序分断,借此裁切单位产品。借由以此方式,由于从母基板所裁切的矩形基板以维持着其姿势的状态不旋转地沿着基板长度方向搬送至裂断部为止分断为单位产品,故可省略用以如现有习知的般使矩形基板旋转90度的机构,借此,亦具有可实现设备成本的降低,并且可实现生产线的精简化的效果。本发明的分断方法是利用于由玻璃基板等脆性材料所构成的母基板所形成矩形基板,进而分断为单位产品的分断方法。以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。权利要求1.一种母基板的刻划方法,是借由刀轮进行的母基板的刻划方法,其特征在于其由下述步骤构成借由沿着母基板的第I横刻划预定线进行刻划,形成划分从此处裁切的矩形基板的下边的横向的第I刻划线的步骤;其次,以与上述矩形基板中的单位产品的数量相同的数量进行纵向刻划至与上述第I刻划线平行且设定于形成上述矩形基板的上边的位置的第2横刻划预定线为止,借此,形成纵向的第2刻划线,该纵向的第2刻划线分别形成上述单位产品的实质上的右边,以及以与上述矩形基板中的单位产品的数量相同的数量进行纵向刻划,借此,形成纵向的第3刻划线,该纵向的第3刻划线分别形成上述单位产品的实质上的左边的步骤;继而,借由沿着上述第2横刻划预定线进行刻划,形成划分上述矩形基板的上边的横向的第4刻划线的步骤。2.根据权利要求1所述的母基板的刻划方法,其特征在于上述纵向的第2刻划线、以及上述纵向的第3刻划线使用与上述矩形基板中的单位产品的数量为相同数量的刀轮,同时地刻划第2刻划线彼此、第3刻划线彼此。3.根据权利要求1或2所述的母基板的刻划方法,其特征在于在形成上述横向的第I刻划线的步骤与形成第4刻划线的步骤中,借由固定上述母基板将上述刀轮横向移动而进行加工;在形成上述纵向的第2刻划线与第3刻划线的步骤中,借由固定上述刀轮并移动上述母基板而进行加工。4.一种母基板的分断方法,其特征在于借由使刀轮沿着母基板的第I横刻划预定线进行刻划,而形成划分母基板的下边部分的端材区域的横向的第I刻划线;其次,借由第I裂断部将该端材区域从第I刻划线分断而弃除端材区域;其次,使用与应形成的矩形基板中的单位产品的数量相同的数量的刀轮,从母基板被分断的下边至与其平行的第2横刻划预定线为止进行纵向刻划,借此,形成纵向的第2刻划线与第3刻划线,该第2划线形成单位产品的实质上的右边,该第3划线形成左边;其次,借由使刀轮沿着上述第2横刻划预定线进行刻划而形成横向的第4刻划线;继而,借由以第I裂断部从第4刻划线分断母基板,而裁切借由纵向刻划线所划分的多个单位产品沿着长度方向排列为一行的矩形基板;借由搬送部将该裁切后的矩形基板以维持着其姿势的状态沿着基板长度方向搬送至第2裂断部而从纵向刻划线依序分断,借此裁切单位产品。5.根据权利要求4所述的母基板的分断方法,其特征在于以第I裂断部裁切上述矩形基板的加工之前,以沿与该矩形基板的长度方向正交的方向搬送的方式进行加工;将上述所裁切后的矩形基板以第2裂断部从矩形基板分断为单位产品的加工,其是以沿与上述矩形基板的长度方向相同的方向搬送的方式进行加工。全文摘要本发明是有关于一种抑制分断基板时的“缺角”、“挤裂”、“交点跳越”等不良的母基板的刻划方法。本发明的母基板的刻划方法是由下述步骤构成(a)借由沿着母基板的第1横刻划预定线进行刻划,而形成划分从此处裁切的矩形基板的下边的横向的第1刻划线的步骤;(b)以与矩形基板中的单位产品的数量相同的数量进行纵向刻划至设定于形成矩形基板的上边的位置的第2横刻划预定线为止,借此,形成纵向的第2、第3刻划线,该纵向的第2、第3刻划线分别形成单位产品的实质上的右边及左边的步骤;以及(c)借由沿着第2横刻划预定线进行刻划,形成划分矩形基板的上边的横向的第4刻划线的步骤。文档编号C03B33/02GK103030264SQ201210337810公开日2013年4月10日申请日期2012年9月5日优先权日2011年10月4日发明者酒井敏行申请人:三星钻石工业股份有限公司
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