一种hct晶棒托盘支架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶棒加工领域，尤其是涉及一种HCT晶棒托盘支架。
【背景技术】
[0002]当晶棒从粘接室运送到HCT (多线切割设备)进行线锯工序切割时，以前拉晶棒时是硅块向下，而硅块向下晶棒运输车辆上的颗粒造成硅块划痕现象，所以改为从粘接室拉取晶棒时需要将晶棒托盘向下从粘接工装台上放到拉取晶棒的车上，而晶棒托盘的宽度为8cm,娃块宽度为16.8cm,因此在晶棒运输过程中会造成晶棒的晃动，每辆晶棒运输车可以拉取4条晶棒，每条晶棒之间的距离为2cm，此时就很容易造成晶棒之间的磕碰，从而出现晶棒崩边的现象，或者造成边缘的晶棒摔落。因此在晶棒拉取过程中，运输车上的细小颗粒会对硅块表面造成划伤，此种硅块切割后的硅片为崩边不合格，造成质量上的严重影响。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种可以有效的增加托盘与晶棒运输车接触面积的HCT晶棒托盘支架。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种HCT晶棒托盘支架，包括底座、横向保护座和竖向保护座，所述底座的截面为直角梯形，在所述底座的上表面设有所述竖向保护座，所述横向保护座与所述竖向保护座垂直设置，且所述横向保护座位与所述底座的斜面位于同一侧，所述横向保护座和竖向保护座均为矩形，所述底座、横向保护座和竖向保护座一体成型。
[0005]进一步的，所述横向保护座的长度为80mm,宽度为14mm,高度为10mm。
[0006]进一步的，所述竖向保护座的长度为80mm，宽度为25mm，高度为31mm。
[0007]进一步的，所述底座截面为直角梯形，其上底为25mm，下底为36mm，高为24mm。
[0008]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案，在运输过程中将本HCT晶棒托盘支架放在托盘底部，对托盘进行支撑固定，增加托盘与晶棒运输车的接触面积，防止晶棒在运输过程中发生晃动，增加晶棒运输过程中的稳定性，有效的防止晶棒在运输过程中晃动，避免造成晶棒磕碰的崩边损失。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型的使用状态图。
[0011]图中:
[0012]1、底座 2、横向保护座3、竖向保护座
[0013]4、晶棒托盘5、运输车 6、HCT晶棒托盘支架
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细说明。
[0015]如图1和2所示，一种HCT晶棒托盘支架，包括底座1、横向保护座2和竖向保护座3，所述底座I的截面为直角梯形，在所述底座I的上表面设有所述竖向保护座3，所述横向保护座2与所述竖向保护座3垂直设置，且所述横向保护座位2与所述底座I的斜面位于同一侧，所述横向保护座2和竖向保护座3均为矩形，所述底座1、横向保护座2和竖向保护座3—体成型。所述横向保护座2的长度为80mm,宽度为14mm,高度为1mm,所述竖向保护座3的长度为80mm，宽度为25mm，高度为31mm，所述底座I截面为直角梯形，其上底为25臟，下底为36臟，高为24mm。
[0016]使用时，晶棒放到运输车上后，在晶棒托盘4的左右两侧分别放置一个HCT晶棒托盘支架6，对晶棒托盘4进行支撑固定，每条晶棒共放置4个HCT晶棒托盘支架6，增加晶棒托盘4与运输车5的接触面积，增加晶棒运输过程中的稳定性，有效的防止晶棒在运输过程中晃动，避免造成晶棒磕碰的崩边损失。
[0017]以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.一种HCT晶棒托盘支架，其特征在于:包括底座、横向保护座和竖向保护座，所述底座的截面为直角梯形，在所述底座的上表面设有所述竖向保护座，所述横向保护座与所述竖向保护座垂直设置，且所述横向保护座位与所述底座的斜面位于同一侧，所述横向保护座和竖向保护座均为矩形，所述底座、横向保护座和竖向保护座一体成型。
2.根据权利要求1所述的一种HCT晶棒托盘支架，其特征在于:所述横向保护座的长度为80mm,宽度为14mm,高度为10mm。
3.根据权利要求1所述的一种HCT晶棒托盘支架，其特征在于:所述竖向保护座的长度为80mm,宽度为25mm,高度为31mm。
4.根据权利要求1所述的一种HCT晶棒托盘支架，其特征在于:所述底座截面为直角梯形，其上底为25mm,下底为36mm,高为24mm。
【专利摘要】本实用新型提供一种HCT晶棒托盘支架，包括底座、横向保护座和竖向保护座，所述底座的截面为直角梯形，在所述底座的上表面设有所述竖向保护座，所述横向保护座与所述竖向保护座垂直设置，且所述横向保护座位与所述底座的斜面位于同一侧，所述横向保护座和竖向保护座均为矩形，所述底座、横向保护座和竖向保护座一体成型。在运输过程中将本HCT晶棒托盘支架放在托盘底部，对托盘进行支撑固定，增加托盘与晶棒运输车的接触面积，防止晶棒在运输过程中发生晃动，增加晶棒运输过程中的稳定性，有效的防止晶棒在运输过程中晃动，避免造成晶棒磕碰的崩边损失。
【IPC分类】B28D7-04, B28D5-00
【公开号】CN204322327
【申请号】CN201420690192
【发明人】陈健, 王康, 马帅, 杜鹃
【申请人】天津英利新能源有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年11月17日