专利名称：一种密封圈拾取工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及拾取机械工具领域，特别涉及一种密封圈拾取工具。
背景技术：
在半导体制造工艺中，化学气相沉积是常见且重要的工艺步骤之一。化学气相沉 积系统中，多处需用到不同类型的密封圈，其中，化学气相沉积系统中反应腔的密封圈更是 承担着防止反应腔内的气体泄漏的重要角色。通常在停机对化学气相沉积系统进行维护的 时候，需将系统中的密封圈取出进行清洁。但密封圈通常均被放置于密封圈安置槽内，要 想将其取出比较困难；有时为取出密封圈，还不得不采用破坏性的方法，导致密封圈被取出 时，已经被损坏，这样就需要更换新的密封圈，使得停机维护的成本较大。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种密封圈拾取工具，以解决现有技术中将 很难将密封圈从密封圈安置槽内取出的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种密封圈拾取工具，包括握持杆及拾取 头；所述拾取头位于所述握持杆的一端；所述拾取头相较于所述握持杆具有一定角度，且 拾取头的与握持杆相对的一端为尖端。可选的，所述拾取头面向所述握持杆的一面为弧形面或平面，同所述弧形面相对 的另一面则为平面或弧形面或对折面。可选的，所述拾取头位于所述握持杆的一端的厚度和宽度均大于其另一端的厚度 和宽度。可选的，所述握持为圆柱或方柱或多棱柱。可选的，所述握持杆上具有环状凸起。可选的，所述拾取头采用聚四氟乙烯制成。本实用新型的密封圈拾取工具在使用时手握持于所述握持杆上的环状突起部分， 将所述拾取头的尖端插入密封圈和密封圈安置槽之间的缝隙中即可将密封圈从密封圈安 置槽中取出，且由于拾取头的尖端为弧形，在将密封圈从密封圈安置槽中取出时不会对密 封圈造成损伤，因此采用本实用新型的密封圈拾取装置可轻松将密封圈取出，节省了人力， 且不会损伤密封圈，降低了更换新的密封圈的频率和成本。
图1为本实用新型的密封圈拾取工具的侧视结构示意图；图2为本实用新型的密封圈拾取工具的俯视结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型的密封圈拾取工具可广泛应用于多种领域，并且可以利用多种替换方 式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体实施例， 本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。请结合参看图1和图2，图1为本实用新型的密封圈拾取工具的侧视结构示意图， 图2为本实用新型的密封圈拾取工具的俯视结构示意图。如图1所示，本实用新型的密封 圈拾取工具包括握持杆110及拾取头120 ；所述拾取头120位于所述握持杆110上，拾取 头120和握持杆110可一体成形，也可以通过焊接、铆接、螺钉或螺栓螺母固定、粘胶等方法 连接在一起。所述握持杆110可以为圆柱或方柱或多棱柱，所述握持杆110上具有环状凸 起111，用于增加手握握持杆时的摩擦力，所述环状凸起111可以是直接在握持杆加环状垫 圈，也可以是在握持杆上刻出凹凸状；所述拾取头120相较于所述握持杆110具有一定角 度，图1中显示了虚线圆圈内的放大图，如图所示，所述拾取头120面向所述握持杆110的 一面为弧形面或平面，同所述弧形面相对的另一面则为平面或弧形面或对折面；所述拾取 头120连接于所述握持杆110的一端的厚度和宽度均大于其另一端即尖端的厚度和宽度； 图2中显示了虚线圆圈内的放大图，如图所示，所述拾取头120的尖端为弧形尖端，而非针 尖状比较锐利的尖端。所述拾取头120优选采用聚四氟乙烯制成。本实用新型的密封圈拾取工具在使用时手握持于所述握持杆110上的环状凸起 111部分，将所述拾取头120的尖端插入密封圈和密封圈安置槽之间的缝隙中，将密封圈 从密封圈安置槽中挑出，密封圈挂在拾取头120的弧形面上使其完全脱离密封圈安置槽。 由于拾取头120的尖端为弧形，在将密封圈从密封圈安置槽中取出时不会对密封圈造成损 伤，因此采用本实用新型的密封圈拾取装置可轻松将密封圈取出，节省了人力，且不会损伤 密封圈，降低了更换新的密封圈的频率和成本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种密封圈拾取工具，其特征在于，包括握持杆及拾取头；所述拾取头位于所述握持杆的一端；所述拾取头相较于所述握持杆具有一定角度，且拾取头的与握持杆相对的一端为尖端。
2.如权利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取头面向所述握持杆的 一面为弧形面或平面，同所述弧形面相对的另一面则为平面或弧形面或对折面。
3.如权利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取头位于所述握持杆的 一端的厚度和宽度均大于其另一端的厚度和宽度。
4.如权利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述握持为圆柱或方柱或多棱柱。
5.如权利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述握持杆上具有环状凸起。
6.如权利要求1所述的密封圈拾取工具，其特征在于，所述拾取头采用聚四氟乙烯制成。
专利摘要本实用新型提供一种密封圈拾取工具，包括握持杆及拾取头；所述拾取头位于所述握持杆的一端；所述拾取头相较于所述握持杆具有一定角度，且拾取头的与握持杆相对的一端为尖端。本实用新型的密封圈拾取装置可轻松将密封圈取出，节省了人力，且不会损伤密封圈，降低了更换新的密封圈的频率和成本。
文档编号B25B27/00GK201728628SQ20102024652
公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者许亮 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司