专利名称：促动器、机器手、机器人、电子部件输送装置及打印机的制作方法
促动器、机器手、机器人、电子部件输送装置及打印机技术区域本发明涉及促动器、机器手、机器人，电子部件输送装置、电子部品检查装置以及打印机。
背景技术：
作为现有的促动器的驱动方法，公知有以两种振动模式对压电体进行激振，使压电体的端部所具备的突起形成椭圆轨道，并对与突起部接触的被驱动部朝规定的方向驱动的方法。在该促动器中，为了朝被驱动部对压电体进行施力，在保持壳体内经由弹性部件来对压电体的振动面的侧面侧进行按压并保持，利用施力机构朝被驱动体的方向对保持壳体施力，从而朝被驱动体对压电体施力(专利文献1、2)。或者还公开有对夹持压电体的外边缘部的一部分来保持压电体的保持壳体相对于被驱动体进行施力，从而对压电体朝被驱动体进行施力的结构(专利文献3)。专利文献1:国际公开第2007/80851号小册子专利文献2:国际公开第2008/93799号小册子专利文献3:日本特开2007-189900号公报然而，在上述专利文献1、2中，以限制压电体的振动方向，特别是相对于弯曲振动而限制振动的方式配置对压电体进行保持的弹性部件，由此可能导致压电体的振动通过弹性部材而向保持壳体泄漏，并大量损失被驱动体的驱动能量。此外，在专利文献3中，也可能导致压电体从保持壳体的引导部产生振动泄漏，导致被驱动体的驱动能量损失很大。
发明内容
因此，提供一种将压电体保持于保持壳体并且抑制压电体的振动朝保持壳体的泄漏，从而将压电体的振动可靠地转换为被驱动体的驱动的促动器。本发明为了解决上述课题，能够以下述的方式或者应用例来实现。(应用例I)本应用例的促动器的特征在于，具备:压电元件，被激振成弯曲振动模式而振动，或者被同时激振成上述弯曲振动模式和纵向振动模式而振动；被驱动体，与上述压电元件所具备的接触部接触，通过上述接触部的振动而被驱动；保持部，保持上述压电元件；以及基台，具有朝上述被驱动体对上述保持部施力的施力机构，上述保持部配置在与上述压电元件的振动面交叉的方向，并具有:配置于上述压电元件的一侧的第一支承部和第二支承部、隔着上述压电元件与上述第一支承部相对并配置于上述压电元件的另一侧的第三支承部、隔着上述压电元件与上述第二支承部相对并配置于上述另一侧的第四支承部。根据本应用例的促动器，在位于突起部的附近的振动面内的振幅小的位置亦即包括节点的区域，利用第一支承部和第三支承部，相对于保持部件而保持压电元件，由此能够在不妨碍压电元件的弯曲振动地进行驱动的同时在突起部附近区域抑制从被驱动体向突起部的反作用力对突起部所产生的移动。此外，在最远离突起部的位置且在振动面内的振幅小的位置亦即包括节点的区域，利用第二支承部和第四支承部，相对于保持部件而保持压电元件，由此能够在不妨碍压电元件的弯曲振动地进行驱动的同时有效地抑制以由第一支承部和第三支承部所支承的节点为中心、由从被驱动体向突起部的反作用力对压电元件产生的力矩。由此，能够使压电元件稳定地保持于保持部件，能够实现可以得到被驱动体的可靠的驱动的促动器。(应用例2)在上述应用例中，其特征在于，上述压电元件是沿着与上述弯曲振动模式的弯曲振动方向正交的方向的长度为L且沿着上述弯曲振动方向的长度为W的矩形基板，上述压电元件具有供上述第一支承部和上述第三支承部支承上述压电元件的第一支承区域以及供上述第二支承部和上述第四支承部支承上述压电元件的第二支承区域，在将上述第一支承区域的第一图心Ql与最靠近上述压电元件的上述长度L方向上的一侧端部的振动的节点Pl的距离设为距离D1，并将上述第二支承区域的第二图心Q2与最靠近上述压电元件的上述长度L方向上的另一侧的端部的振动的节点P2的距离设为距离D2的情况下，上述距离Dl以及上述距离D2满足:D1 ( 0.13L，D2 ( 0.13L，且上述第一支承区域包括上述振动的节点P1，上述第二支承区域包括上述振动的节点P2。根据上述应用例，这样形成第一支承区域以及第二支承区域，由此利用第一支承部、第二支承部、第三支承部、第四支承部夹持、保持压电元件，也能够减轻对压电元件的弯曲振动的妨碍，并能够抑制振动向保持部件的泄漏。此外，本应用例中的正交包括相互以90度的角度交叉的所谓的完全正交的状态，是指相互以约90度的角度交叉的所谓的大体正交的状态。(应用例3)在上述应用例中，其特征在于，上述第一支承区域以及上述第二支承区域的外边缘部在上述压电元件的振动面的外边缘部的内侧。根据上述应用例，这样形成第一支承区域以及第二支承区域，由此利用第一支承部、第二支承部、第三支承部、第四支承部夹持、保持压电元件，也能够避免对压电元件的弯曲振动的妨碍，并能够抑制振动向保持部件的泄漏。(应用例4)在上述应用例中，其特征在于，上述第一支承区域以及上述第二支承区域的至少一方为矩形。根据上述应用例，在突起部的附近形成的支承区域若为矩形，则能够在突起部附近区域可靠地抑制从被驱动体向突起部的反作用力所产生的移动。此外，在最远离突起部的位置形成的支承区域若为矩形，则能够可靠地抑制由于从被驱动体向突起部的反作用力对压电元件所产生的力矩。由此，能够使压电元件稳定地保持于保持部件，并能够实现可以得到被驱动体的可靠的驱动的促动器。(应用例5)在上述应用例中，其特征在于，上述第一支承区域以及上述第二支承区域的至少一方包括第一区域，随着从上述第一图心Ql或上述第二图心Q2朝上述弯曲振动方向离开，该第一区域的沿着与上述弯曲振动方向正交的方向的宽度相比包括上述第一图心Ql或上述第二图心Q2的上述纵向振动模式的纵向振动方向的宽度逐渐变小。根据上述应用例，通过这样形成支承区域，来在弯曲振动的振幅小的节点P1、P2配置包括图心Ql、Q2的区域宽度大的支承区域的部位，从而确保对压电元件较大的支承力。而且，配置第一区域，在该第一区域，随着靠近弯曲振动的振幅比节点P1、P2区域大的压电元件的弯曲振动方向的外形，减小支承区域宽度，从而能够在实现对压电元件的保持力的增加的同时，容易地朝压电元件的振幅变大的外形部追随弯曲振动，能够缓和振动的妨碍并能够形成指示区域。因此，能够可靠地保持压电元件的同时，还能得到规定的弯曲振动，从而能够得到可以可靠地驱动被驱动体的促动器。此外，本应用例中的正交包括相互以90度的角度交叉的所谓的完全正交的状态，是指相互以约90度的角度交叉的所谓的大体正交的状态。(应用例6)在上述应用例中，其特征在于，该促动器具备矩形的第二区域，该第二区域包括上述第一图心Ql或上述第二图心Q2，该促动器具备向上述第二区域延伸的上述
第一区域。根据上述应用例，通过这样形成支承区域，来在弯曲振动的振幅小的节点P1、P2配置包括图心Ql、Q2的区域面积大的矩形的支承区域的部位，从而确保对压电元件较大的支承力。(应用例7)在上述应用例中，其特征在于，上述第一支承部和上述第三支承部的至少一方以及上述第二支承部和上述第四支承部的至少一方具有缓冲部。根据上述应用例，以在与振动面交叉的方向夹持压电元件的方式具备包括缓冲材料的第一支承部和第三支承部的至少一方、以及第二支承部和第四支承部的至少一方，由此能够抑制压电元件的振动向保持部件泄漏。由此，压电元件的振动毫无损失地使接触部产生摆动，并能够转换为与接触部抵接的被驱动体的旋转或直线运动。即，能够得到驱动效率高的促动器。此外，缓冲材允许将振动面方向的振动作为振动位移，由此能够维持被驱动体的驱动所需要的振动。而且，振动位移分布在包括节点的区域，通过允许分布，能够维持被驱动体的驱动所必须的振动。即，能够得到驱动效率高的促动器。(应用例8)在上述应用例中，其特征在于，上述第一支承部和上述第三支承部的至少一方以及上述第二支承部和上述第四支承部的至少一方具有弹性部。根据上述应用例，在第一支承部和第三支承部的至少一方以及第二支承部和第四支承部的至少一方配置有弹性部件，由此能够利用与弹性部件的弹性力相对应的、在保持部件与压电元件之间的摩擦力，抑制由振动所产生的保持部件与压电元件的相对的错位。(应用例9)本应用例的机器手具备上述应用例的促动器。根据本应用例的机器手，即使具备多个用于增加动作的自由度的电机，与电磁式的电机等相比也能够实现小型、轻型。(应用例10)本应用例的机器人具备上述应用例的促动器，或者具备机器手。本应用例的机器人基于驱动分辨率细致且高速振动的促动器的驱动，所以能够准确地保持作业对象物，并能够准确地高速输送到目的位置，能够缩短机器人的动作时间，从而能够实现高生产性。此外，能够进行复杂的电子设备的组装作业等。(应用例11)本应用例的电子部件输送装置具备上述应用例中的促动器。本应用例的电子部件输送装置的驱动分辨率细致且进行高速振动，所以能够高速地将电子部品等输送到正确的位置，并能够缩短电子部件的检查时间、组装时间。此外，能够进行复杂的电子设备的组装作业等。(应用例12)本应用例的电子部件检查装置具备上述应用例的促动器或者电子部件输送装置。本应用例的电子部件检查装置具备驱动分辨率细致且高速振动的促动器或者电子部件输送装置，由此能够高速地将检查对象的电子部件等输送到正确的位置，并能够缩 短电子部件的检查时间、组装时间。(应用例13)本应用例的打印机具备上述应用例的促动器。本应用例的打印机在驱动装置部位具备驱动分辨率细致且高速振动的促动器，从 而能够使驱动对象物准确且高速地移动到目的位置，能够缩短打印机的动作时间，从而能 够实现高生产性。此外，由于能够高速驱动，所以将进行长的直线驱动的印刷介质切断的刀 具的驱动能够顺畅地进行。
图I是第一实施方式所涉及的促动器的图，图I (a)是俯视图，图I (b)是图I (a) 所示的A-A'部分的剖视图，图I (c)是图I (a)所示的B-B'部分以及C-C '部分的剖 视图。图2是表示第一实施方式所涉及的促动器的其他的方式的图，图2 (a)是剖视图， 图2 (b)是图2 (a)所示的D-D '部分以及E-E '部分的剖视图。图3是表示第一实施方式所涉及的压电元件的电极配置的图，图3 (a)是表面俯 视图，图3 (b)是侧视图，图3 (C)是背面俯视图。图4是第一实施方式所涉及的压电元件的振动动作的说明图。图5是表示第一实施方式所涉及的压电元件的支承区域的方式的俯视概念图。图6是表示第一实施方式所涉及的压电元件的支承区域的其他的方式的俯视概 念图。图7是表示第一实施方式所涉及的压电元件的支承区域的其他的方式的俯视概 念图。图8是表示压电元件的其他的方式的图，图8 (a)是表示电极配置的表面俯视图、 侧视图、背面俯视图，图8 (b)是压电元件的振动动作的说明图。图9是第二实施方式所涉及的促动器的局部剖视图。图10是表不第二实施方式所涉及的机器手的外观图。图11是表示第四实施方式所涉及的机器人的外观图。图12是表示第五实施方式所涉及的电子部件检查装置的外观图。图13是表示第六实施方式所涉及的打印机的图，图13 (a)是立体图，图13 (b) 是图13 (a)所示的打印机所具备的切割头的俯视图。符号说明10…压电元件，20…保持壳体，31…第一支承部，32…第三支承部，41…第2支承 部，42…第四支承部，50…基台，60…弹簧，71、72…被驱动体，100…促动器。
具体实施例方式以下参照附图，对本发明的实施方式进行说明。(第一实施方式)图I表示第一实施方式的促动器，图I (a)是俯视图，图I (b)是图I (a)所示的 A-A'部分的剖视图，图I (c)是图I (a)所示的B-B'部分以及C-C'部分的剖视图。如图1 (a)所示，促动器100具备:作为保持部件的保持壳体20、被保持于保持壳体20的压电元件10、具有供作为保持壳体20的施力机构的弹簧60安装的弹簧固定部50a的基台50以及被驱动体71或者被驱动体72。沿图示的R方向驱动被驱动体71旋转,沿图示的H方向直线驱动被驱动体72。在本实施方式所涉及的促动器100中，虽然是对被驱动体72在所示的H方向的直线驱动进行说明，但也可以对被旋转驱动的被驱动体71进行说明。利用弹簧60相对于设置于基台50的弹簧固定部50a来对保持壳体20的施力部20a施力，压电元件10经由被施力的保持壳体20而对被驱动体72施力。在压电元件10上设置有具有与被驱动体72接触的接触部的突起部10a，详细内容后述，由于压电元件10的振动，突起部IOa沿着椭圆轨道摆动，被驱动体72由于该椭圆运动而沿H方向被直线驱动。如图1 (b)、(C)所示，保持壳体20具备壳体主体21以及被螺钉23固定于壳体主体21的按压板22a、22b。在壳体主体21的支承面21a与按压板22a、22b之间配置压电元件10。压电元件10被配置在压电元件10与保持壳体20的支承面21a之间的第三支持部32和第四支承部42、配置在压电元件10与按压板22a之间且隔着压电元件10与第三支承部32相对配置的第一支承部31、以及配置在压电元件10与按压板22b之间且隔着压电元件10与第四支承部42相对配置的第2支承部41夹持从而被保持，固定于保持壳体20。支承部31、32、41、42由缓冲材料形成，抑制了压电元件10的振动向保持壳体20泄漏。作为形成支承部31、32、41、42的缓冲材料，为发挥使由压电元件10激励的振动不向保持壳体20泄漏的 性能，优选动态粘弹性(tan δ )在0.05以下。对于动态粘弹性(tan δ )而言，若在拉伸模式下对材料施加正弦波应变ε，则在材料中产生应力σ时，会产生相对于输入的应变而延迟的相位S。使用该相位S对材料的动态粘度进行的量化就是动态粘弹性(tan δ)。S卩，动态粘弹性大，也就是相位δ大，则会产生被施加的应变在材料的内部的传递延迟。换言之，使振动的传递进一步延迟，能够抑制振动向保持壳体20泄漏。作为形成支承部31、32、41、42的缓冲材料，优选使用例如橡胶、弹性体、聚酰亚胺、聚醚砜等，但由于促动器100的驱动而容易产生热量，所以可以更优选地使用耐热性优良的聚酰亚胺。优选利用缓冲材料构成支承部31、32、41、42，但不限定于此。例如，图1所示的支承部32、42也可以是图2所示的形态。图2 (a)是表示图1 (a)所示的A-A ^部分的剖面部的剖视图，图2 (b)是图2 (a)所示的D-D ^部分以及E-E ^部分的剖视图。如图2(a)、(b)所示，也可以是如下的结构，S卩、在壳体主体21的支承面21a上形成支承突起21b、21c，利用支承突起21b和由缓冲材料形成的支承部31夹持压电元件10，利用支承突起21c和由缓冲材料形成的支承部41夹持压电元件10。图3是表示压电元件10的形态的图，图3 (a)是表面俯视图，图3 (b)是侧视图，图3 (c)是背面俯视图。如图3 (a)所示，压电元件10在压电体IOb的一侧的面IOc上形成有用于激振弯曲振动的电极11、12、13、14。而且，在另一侧的面IOd上形成有共用电极
15。压电体IOb只要是具有压电性的材料即可，并没有限定，但优选使用PZT (锆钛酸铅)。电极只要是导电金属即可，并没有限定，例如将Al、Au、Ag、W、Cu等通过溅射法、蒸镀法等方法形成。此外，突起部IOa与被驱动体72接触，利用该摩擦驱动被驱动体72，利用与被驱动体72的摩擦系数高且耐磨损性优良的材料形成突起部10a，通过未图示的方法进行固定而形成。或者可以将与被驱动体72的摩擦系数高且耐磨损性优良的材料涂覆到与压电体IOb一体地形成的突起部IOa的表面而形成。作为用于突起部IOa的耐磨损性优良的材料，优选使用陶瓷，例如矾土等。图4是示意性地对压电元件10的动作进行说明的俯视图。如图4 (a)所示,在电极11、13与图3所示的共用电极15之间产生电荷，而在电极12、14上不产生电荷，由此在压电元件10的与电极11、13对应的部位激励图示箭头的纵向振动。然而，由于在电极12、14上不产生电荷，所以不激励纵向振动，其结果是，由于电极11、13所产生的纵向振动和电极12、14的不振动，压电元件10产生弯曲振动，并振动成为压电元件IOA那样，突起部IOa沿图示的椭圆轨道Sk的箭头方向摆动。突起部IOa沿椭圆轨道Sk的方向的摆动朝图示Hk方向驱动所抵接的被驱动体72。通过图4 (b)进行说明的压电元件10的动作是向与通过上述图4 Ca)说明的被驱动体72朝Hk方向的驱动方向相反的扎方向进行驱动的状态。如图4 (b)所示，在电极12、14与图3所示的共用电极15之间产生电荷，而在电极11、13不产生电荷，由此压电元件10的与电极12、14对应的部位激励图示箭头的纵向振动。然而，由于在电极11、13上不产生电荷，所以不激励纵向振动，其结果是，由于电极12、14所产生的纵向振动和电极11、13的不振动，压电元件10产生弯曲振动，并振动成为压电元件IOB那样，突起部IOa沿图示的椭圆轨道的箭头方向摆动。突起部IOa朝椭圆轨道的方向的摆动朝图示扎方向驱动所抵接的被驱动体72。这样，切换朝电极11、12、13、14的电荷的附加，由此改变压电元件10的弯曲振动的方向，从而能够容易地切换被驱动体72的驱动方向。使用图4 (c)对上述压电元件10的弯曲振动以及纵向振动的2个振动模式下的振动的节点的情况进行说明。图4 (c)表示压电元件10的振动模式的概念图。如图4 (c)所示，压电元件10根据使用图4 (a)、(b)进行说明的振动状态的弯曲振动模式而成为压电元件10AU0B所示的振动状态。此时，沿着振动停止状态的压电元件10对被驱动体72的施力方向的、在本实施方式所涉及的压电元件10中成为中心线的线M在振动状态下压电元件IOA中成为像线吣那样弯曲的轨迹，在压电元件IOB中成为像线Mb那样弯曲的轨迹。将对应于上述弯曲振动的线Ma以及线Mb、同对应于纵向振动模式的线M相互交叉的位置称为振动的节点P1、P2、P3 (以下称为节点P1、P2、P3)。上述节点P1、P2、P3是在压电元件10的振动中振动面内的移动小的位置，即振幅小的位置，所以优选在包含节点P1、P2、P3的任一个的区域配置支承部31、32、41、42，还优选在包含沿着线M最靠近压电元件10的外形部的节点P1、P2的区域配置支承部31、32、41、42。通过图4 (a)、(b)，对利用突起部IOa的椭圆轨道SK、Sl驱动被驱动体72的情况进行了说明，但例如在如图4 (a)所示那样朝Hk方向驱动被驱动体72的情况下的突起部IOa与被驱动体72的接触部的详细情况在图4 Cd)中表示。如图4 Cd)所示，在压电元件10的突起部IOa中的与被驱动体72的接触部，由于接触部按照由突起部IOa的振动所形成的椭圆轨道Sk而相对于被驱动体72所产生的摩擦而产生驱动力F。利用该驱动力F向Hk方向驱动被驱动体72。此时，在接触部，作为驱动力F的反作用力F ’作用于突起部10a，欲使突起部IOa朝Hk方向的相反方向移动，但限制、抑制该反作用力F ’使突起部10a，即压电元件10移动，由此驱动力F向被驱动体72传递,能够有效地使压电元件10的弯曲振动转换为被驱动体72的驱动。
因此，在包括位于突起部IOa的附近的振动面内的振幅小的位置亦即节点Pl的区域，利用第一支承部31和第三支承部32，相对于保持壳体20保持压电元件10，由此能够在不妨碍压电元件10的弯曲振动地进行驱动的同时在突起部IOa附近区域抑制对突起部IOa的反作用力F'所产生的移动。此外，在包括最远离突起部IOa的位置且在振动面内的振幅小的位置亦即节点P2的区域，利用第二支承部41和第四支承部42，相对于保持壳体20保持压电元件10，由此能够在不妨碍压电元件10的弯曲振动地进行驱动的同时有效地抑制以由第一支承部31和第三支承部32所支承的节点Pl为中心、由反作用力F丨对压电元件10产生的力矩，能够限制突起部IOa因反作用力F丨而产生的移动。此外，如图4 (b)所示，在向扎方向驱动被驱动体72的情况下，利用第一支承部31和第三支承部32支承包 括节点Pl的区域，利用第二支承部41和第四支承部42支承包括节点P2的区域，由此与上述图4 Cd)中的说明相同，在包括位于突起部IOa的附近且在振动面内的振幅小的位置亦即节点Pl的区域，利用第一支承部31和第三支承部32，相对于保持壳体20保持压电元件10，由此能够在不妨碍压电元件10的弯曲振动地进行驱动的同时，在附近区域抑制从被驱动体72到突起部IOa的反作用力所产生的移动。此外，在包括位于最远离突起部IOa的位置且在振动面内的振幅小的位置亦即节点P2的区域，利用第二支承部41和第四支承部42，相对于保持壳体20保持压电元件10，由此能够在不妨碍压电元件10的弯曲振动地进行驱动的同时，有效地抑制以由第一支承部31和第三支承部32支承的节点Pl为中心的、由来自被驱动体72的反作用力对压电元件10产生的力矩，能够限制突起部IOa基于反作用力F丨而产生的移动。图5是表示支承部31、32、41、42与压电元件10的接地部，即支承区域的形状的形态的俯视概念图。如图5 (a)所示，压电元件10的振动面中的第一支承区域30表示利用第一支承部31以及第三支承部32支承压电元件10的区域，第二支承区域40表示利用第二支承部41以及第四支承部42支承压电元件10的区域。支承区域30、40形成为矩形，第一支承区域30的矩形形状的图心为Ql，第二支承区域40的矩形形状的图心为Q2。压电元件10形成为，在与弯曲振动方向大致正交的方向，除了突起部IOa之外的长度为L，弯曲振动方向的宽度为W。从这样形成的压电元件10的L方向的突起部IOa侧的端部到节点Pl的距离为Lpi，从节点P2到另一侧的端部的距离为LP2。节点Pl的位置Lpi以及节点P2的位置LP2，根据理论模拟可知，Lpi ^ 0.13L，Lp2 乂 0.13L。由此，优选第一支承区域30的图心Ql与节点Pl的距离Dl、第二支承区域40的图心Q2与节点P2的距离D2满足:D1 ( 0.13L、D2 ( 0.13L，还优选Dl以及D2接近O。进一步优选为，第一支承区域30的区域内包括节点P1，第二支承区域40的区域内包括节点P2。这样形成支承区域30、40，利用支承部31、32、41、42夹持、保持压电元件10，也能够避免妨碍压电元件10的屈曲振动，能够抑制振动向保持壳体20的泄漏。图5 (b)是对支承区域30、40的形成区域进行说明的俯视概念图。首先，通过图5 (b)对第一支承区域30的形成区域进行说明。如上述图5 (a)所示，在第一支承区域30的图心Ql与节点Pl的距离满足Dl ( 0.13L的基础上，将第一支承区域30设定为L方向的长度为K1、W方向的宽度为Jl的矩形，从而形成第一支承部31和第三支承部32。根据由Kl和Jl决定的支承区域30的支承面积，即第一支承部31和第三支承部32对压电元件10的保持力的设定值来适当地设定Kl和J1。此时，压电元件10的外形与第一支承区域30外形部的距离S η、δ 12、δκ1满足:δ n > O、δ 12 > O、δκ1 > O。即，第一支承区域30的外形部以不与压电元件10的外形部重叠的方式形成。此外，第一支承区域30在L方向的靠近第二支承区域40侧的位置Lki相对于压电元件10的中央部的节点Ρ3位置Lp31满足:LK1 < Lp31O第二支承区域40与第一支承区域30相同，根据第二支承部41和第四支承部42对压电元件10的保持力的设定值来适当地设定第二支承区域40的长度K2、宽度J2。此外，压电元件10的外形与第二支承区域40外形部的距离δ 21、δ 22、δ Κ2满足:δ 21 > O、δ 22 >
O、δΚ2>0。即，第二支承区域40的外形部以不与压电元件10的外形部重叠的方式形成，第二支承区域40在L方向的位于第一支承区域30侧的位置Lk2相对于压电元件10的中央部的节点Ρ3位置Lp32满足:LK2 < Lp320即，第一支承区域30和第二支承区域40隔着节点P3而分离。这样设定支承区域30、40，由此利用支承部31、32、41、42夹持、保持压电元件10，能够避免妨碍压电元件10的弯曲振动。图6是表示支承区域30、40的其他形态的俯视概念图。图6 (a)图示的支承区域33,43是相同形态的区域形态，所以通过第一支承区域33进行说明。第一支承区域33是将三角形的第一区域33a和矩形的第二区域33b连续而延伸。以在压电元件10的弯曲振动方向上随着距离中心的距离α变大，L方向的长度Kl逐渐变小的方式配置第一区域33a。这样形成支持区域33、43，从而图心Q1、Q2靠近弯曲振动的振幅小的节点P1、P2，配置区域面积大且为矩形的第二区域33b从而确保对压电元件10较大的支承力。而且，配置第一区域33a，该第一区域33a的区域面积随着靠近弯曲振动的振幅变为比节点P1、P2区域大的压电元件10在宽度W方向的外形而变小，从而在实现压电元件10的保持力的增加的同时，容易地朝压电元件10的振幅变大的外形部追随弯曲振动，能够缓和振动的妨碍。因此，能够在可靠地保持压电元件10的同时得到规定的弯曲振动，从而能够可靠地驱动被驱动体71、72。图6 (b)是表示第一区域34a为半圆形状即跑道形状的支承区域34的俯视概念图。图6 (b)所示的第一支承区域34与上述支承区域33、43相同，也具备矩形的第二区域34b，并构成为包括与第二区域34b连续而延伸的半圆形的第一区域34a。第二区域34b与通过图6 Ca)所说明的第二区域33b相同，向着压电元件10的外形而支承宽度逐渐变窄。这样，只要是在压电元件10的弯曲振动方向上支承宽度向着外形而逐渐变窄的支持区域的形状，则没有特别地限定，作为其他的例子，例如可以是图6 (C)所示的支持区域35、45为所谓的菱形形状、图6 (d)所示的支承区域36、46为椭圆、图5 (e)所示的支承区域37、47为圆形。通过上述图1、图5以及图6说明的支承区域30、40的形态能够如图7所示那样，将支承区域30、40的平面形状分别组合来使用。例如，如图7 (a)所示，可以是一侧的支承区域为矩形形状的支承区域30、40，另一侧的支承区域为图6 (c)所示的菱形形状的支承区域35、45。此外，如图7 (b)所示，也可以是一侧的支承区域为图6 (a)所示的形态的支承区域33、43，另一侧的支承区域为图6 (d)所示的椭圆形状的支承区域36、46。此外，本实施方式所涉及的促动器100可以使用图8所示的压电元件200。图8
(a)是表示电极配置的表面俯视图、侧视图、背面俯视图，图8 (b)、(c)是对压电元件IOA的弯曲动作进行说明的俯视概念图。压电元件200是电极的配置与压电元件10不同的形态，对与压电元件10相同的结构标注相同的符号并省略说明。如图8 Ca)所示，压电元件200在压电体IOb的一侧的面IOc上形成有用于激振弯曲振动的电极11、12、13、14和激振纵向振动的电极16。而且，在另一侧的面IOd上形成有共用电极15。而且，这样形成的压电元件200如图8 (b)、(c)所示那样进行动作。图8
(b)、(c)是示意性地说明压电元件200的动作的俯视图。如图8 (b)所示,在电极11、13、16与图8 Ca)所示的共用电极15之间产生电荷，在电极12、14上不产生电荷，由此在压电元件200的与电极11、13、16对应的部位激励图示箭头的纵向振动。然而，由于在电极12、14上没有电荷，所以不激励纵向振动，其结果是，利用电极11、13所产生的纵向振动和电极12、14的不振动，压电元件200产生弯曲振动并振动成为压电元件200A那样。使该弯曲振动和电极16对压电元件200所产生的纵向振动同时发生，突起部IOa沿图示的椭圆轨道Sk的箭头方向摆动。突起部IOa沿椭圆轨道Sk的方向的摆动朝图示Hk方向驱动所抵接的被驱动体72。通过图8 (C)进行说明的压电元件200的动作是向与通过上述图8 (b)说明的被驱动体72朝Hk方向的驱动方向相反的扎方向进行驱动的状态。如图8 (c)所示，在电极
12、14、16与图8 (a)所示的共用电极15之间产生电荷，在电极11、13上不产生电荷，由此在压电元件200的与电极12、14、16对应的部位激励图示箭头的纵向振动。然而，由于在电极11、13上没有电荷，所以不激励纵向振动，其结果是，利用电极12、14所产生的纵向振动和电极11、13的不振动，压电元件200产生弯曲振动并振动成为压电元件200B那样。使该弯曲振动和电极16对压电元件200所产生的纵向振动同时发生，突起部IOa沿图示的椭圆轨道Slj的箭头方向摆动。突起部IOa沿椭圆轨道Slj的方向的摆动朝图示Hlj方向驱动所抵接的被驱动体72。(第二实施方式)图9表示第二实施方式所涉及的促动器的支承部的、图1 (a)指示的B-B '部分以及C-C'部分的简要剖视图。此外，第二实施方式所涉及的促动器相对于第一实施方式所涉及的促动器100而言，在支承部31、32、41、42包括弹性部件这一点不同，其他的结构相同，所以与第一实施方式所涉及的促动器100相同的结构标注同一符号并省略说明。图9 Ca)所示的促动器300具备:在第一支承部31以及第二支承部41中作为弹性部件的碟形弹簧91、和缓冲部件81。碟形弹簧91利用第三支承部32以及第四支承部42、和缓冲部件81夹持压电元件10并配置在按压板22a、22b与壳体主体21的支承面21a之间。利用配置在按压板22a、22b与缓冲部件81之间而弯曲的碟形弹簧91的弹簧力，经由第三支承部32、第四支承部42、缓冲部件81而将压电元件10保持、固定于保持壳体20。这样在支承部配置碟形弹簧91这样的弹性部件，从而弹性部件的弹簧弹性能够在支承部维持稳定的压电元件10的保持力，所以能够抑制妨碍压电元件10的弯曲振动，或抑制振动泄漏的产生，能够得到产生稳定的驱动力的促动器。支承部所具备的弹性部件的形态不限定于上述图9 Ca)所示的碟形弹簧91，例如也可以是如图9 (b)所示那样具备螺旋弹簧92的促动器310。此外，也可以是如图9 (c)所示那样在第一支承部31以及第二支承部41设置作为弹性部件的碟形弹簧91，而且在第三支承部32以及第四支承部42设置碟形弹簧91的促动器320。这样在支承部31、32、41、42的双方配置碟形弹簧91，从而能够使经由缓冲部件81、82而向压电元件10附加的按压力平衡地配置。在上述中，例示了碟形弹簧91、螺旋弹簧92作为弹性部件，但也可以构成为，例如如图9 (d)所示，支承部31、32、41、42都由缓冲材料形成，在按压板24a、24b与壳体主体21的支承面21a之间利用支承部31、32、41、42夹持压电元件10时，按压板24a、24b弯曲成为图示的按压板24c、24d那样，由于弯曲的应力而将按压板24a、24b作为弹性部件。通过这样的结构就不需要作为弹性部件的碟形弹簧91、螺旋弹簧92，能够得到低成本的促动器330。本实施方式所涉及的促动器100以在与振动面交叉的方向夹持压电元件10的方式具备包括缓冲材料的支承部31、32、41、42，由此能够抑制压电元件10的振动向保持壳体20泄漏。由此，压电兀件10的振动晕无fe失地使关起部IOa广生摆动，并能够转换为与关起部IOa抵接的被驱动体71、72的旋转或直线运动。即，能够得到驱动效率高的促动器。而且，在包括压电元件10的振动的节点的区域进行支承部31、32、41、42的配置，由此包括压电元件10的振动的节点的区域是由于压电元件10的振动而移动小的区域，换言之是振幅小的区域，所以能够抑制振动向保持壳体20泄漏。此外，支承部31、32、41、42是以包括振动的节点中的外侧的两个位置的节点的方式形成支承区域而配置的，由此从被驱动体朝向压电元件10的突起部IOa的反作用力不容易使压电元件10移动，从而压电元件10的振动对突起部IOa产生的摆动能够可靠地传递到与突起部IOa抵接的被驱动体71、72，并能够转换为旋转或直线运动。此外，如促动器300、310、320、330那样在保持壳体20内利用在支承部31、32、41、42中作为弹性部件的碟形弹簧91、螺旋弹簧92、或按压板24a、24b的弯曲弹性，按压缓冲部件81、由缓冲材料形成的支持部31、32、41、42，能够利用与该反弹力相对应的、在保持壳体20与压电元件10之间的摩擦力，抑制由振动所产生的相对的错位。另外，可以利用粘合剂等固定缓冲部件81、由缓冲材料形成的支承部31、32、41、42的对压电元件10进行支承的区域。例如可以应用施敏打硬Y611 (商标)等的丙烯酸系粘合剂作为粘合剂。该粘合剂耐高温，利用粘合剂树脂的弹性能够确保良好的伸缩运动。(第三实施方式)图10是表示具备第一实施方式所涉及的促动器100或者300的机器手1000的外观图。图10所示的机器手1000所具备的促动器100是第一实施方式所涉及的促动器100，是具备被驱动旋转的被驱动体71 (参照图1)的形态，作为后述的机器手1000的关节部的旋转驱动电机来使用。机器手1000具备与基部1100连接的指部1200。在基部1100与指部1200的连接部1300和指部1200的关节部1400设置有作为旋转驱动电机的促动器100。此外，在机器手1000上设置有控制部1500，利用控制部1500进行促动器100的驱动，从而使连接部1300以及关节部1400转动，能够使指部1200像人的手指那样变形为所希望的形态。(第四实施方式)图11是表示具备第三实施方式所涉及的机器手1000的机器人2000的结构的外观图。机器人2000具备主体部2100、臂部2200以及机器手1000，图示的机器人2000被分类为所谓的多关节型机器人。将主体部2100固定于例如地面、墙壁、天棚、能够移动的台车上等。臂部2200相对于主体部2100可动地设置，在主体部2100中内置有产生用于使臂部2200旋转的动力的未图示的促动器、控制促动器的控制部等。
臂部2200由第一框架2210、第二框架2220、第三框架2230、第四框架2240以及第五框架2250构成。第一框架2210经由旋转弯折轴而能够旋转或者能够弯折地与主体部2100连接。第二框架2220经由旋转弯折轴而与第一框架2210以及第三框架2230连接。第三框架2230经由旋转弯折轴而与第二框架2220以及第四框架2240连接。第四框架2240经由旋转弯折轴而与第三框架2230以及第五框架2250连接。第五框架2250经由旋转弯折轴而与第四框架2240连接。臂部2200通过控制部的控制，使各框架221(Γ2250以各旋转弯折轴为中心而复合地进行旋转或者弯折动作。在臂部2200的第五框架2250中的设置有第四框架2240的另一侧，连接有机器手连接部2300，在机器手连接部2300上安装有机器手1000。在机器手连接部2300中内置有使机器手1000进行旋转动作的促动器100，使机器手1000能够把持对象物。使用小型、轻型的机器手1000，从而能够提供通用性高且能够进行复杂的电子设备的组装作业、检查等的机器人。(第五实施方式)图12是具备第一实施方式的促动器100且具备作为正交机器人的一实施方式的电子部件输送机器人的电子部件检查装置的外观图。图12所示的电子部件检查装置5000(以下称为检查装置5000)具备:具有检查电子部件的电特性的功能的部分3000 (以下称为检查部3000)、和作为在规定的位置间输送电子部件的电子部件输送机器人的输送装置部分4000 (以下称为输送装置部4000)。图12所示的检查装置5000具备长方体状的装置基台3010。将装置基台3010的长边方向作为Y方向，将在水平面上与Y方向正交的方向作为X方向。而且，将铅垂方向作为Z (-)方向。 在装置基台3010上，在图中左侧设置有供料装置3020。在供料装置3020的上表面，遍及供料装置3020的Y方向整个宽度地凸出设置有在Y方向延伸的一对导轨3031a、3031b。在一对导轨3031a、3031b的上侧安装有具备直动机构的工作台3040。该工作台3040的直动机构例如是具备沿导轨3031a、3031b在Y方向延伸的线性电机的直动机构。而且，在该直动机构中向线性电机输入与规定的步数相对应的驱动信号，则线性电机前进或者后退，工作台3040沿Y方向往动或者复动相当于相同步数的量。工作台3040朝向Z方向的面是载置面3040a，在载置面3040a上载置电子部件6000。在工作台3040上设置有吸引式的基板卡盘机构。而且，基板卡盘机构将电子部件6000固定于载置面3040a。在装置基台3010上，在供料装置3020的靠近Y方向侧设置有作为拍摄部的第二拍摄部3052。第二拍摄部3052具备:搭载有将接收的光转换为电信号的CCD (ChargeCoupled Devices:电荷稱合元件)元件等的电气电路基板、具备变焦机构的物镜、落射照明装置，自动对焦机构。由此，在电子部件6000位于与第二拍摄部3052相对的位置时，第二拍摄部3052能够对电子部件6000进行拍摄。而且，第二拍摄部3052向电子部件6000照射光，在对焦之后进行拍摄，由此能够拍摄出对焦的图像。在装置基台3010上，在第二拍摄部3052的靠近Y方向侧设置有检查台3060。检查台3060是用于在检查电子部件6000时收发电信号的夹具。在装置基台3010上，在检查台3060的靠近Y方向侧设置有出料装置3070。在出料装置3070的上表面遍及整个宽度地凸出设置有在Y方向延伸的一对导轨3032a、3032b。在一对导轨3032a、3032b的上侧安装有具备直动机构的工作台3080。工作台3080的直动机构能够使用与供料装置3020所具备的直动机构相同的机构。而且，工作台3080沿着导轨3032a、3032b进行往动或者复动。工作台3080的朝向Z方向的面为载置面3080a，在载置面3080a上载置电子部件6000。在装置基台3010的X (-)方向设置有近似长方体状的支承台4010。与装置基台3010相比，支承台4010在Z (+)方向形成为较高的形状。在支承台4010的朝向X方向的面上遍及支承台4010的Y方向整个宽度地凸出设置有在Y方向延伸的一对作为被驱动体的驱动轨道4021a、4021b。在驱动导轨4021a、4021b的靠近X方向侧安装有具备沿着一对驱动导轨4021a、4021b移动的直动机构的Y工作台4030。驱动轨道4021a或驱动导轨4021b的至少一方是第一实施方式所涉及的促动器100的被驱动体72(参照图1)，在Y工作台4030的直动机构中具备与驱动导轨4021a以及驱动导轨4021b的至少一方或双方抵接的压电元件10，使Y工作台4030所具备的压电元件10振动，由此Y工作台4030相对于被固定的驱动导轨4021a、4021b而相对地沿着驱动导轨4021a、4021b进行往动或者复动。在Y工作台4030的朝向X方向的面设置有在X方向延伸的棱柱状的臂部4040。在臂部4040的朝向-Y方向的面上遍及臂部4040的X方向整个宽度地凸出设置有在X方向延伸的一对驱动导轨4022a、4022b。在一对驱动导轨4022a、4022b的靠近-Y方向侧安装有具备沿着驱动导轨4022a、4022b移动的直动机构的X工作台4050。驱动导轨4022a或驱动导轨4022b的至少任一方是第一实施方式所涉及的促动器100的被驱动体72(参照图1 )，在X工作台4050的直动机构中具备与驱动导轨4022a以及驱动导轨4022b的任一方或双方抵接的压电元件10，使X工作台4050所具备的压电元件10振动，由此X工作台4050相对于被固定的驱动导轨4022a、4022b而相对地沿着驱动导轨4022a、4022b进行往动或者复动。在X工作台4050设置有作为拍摄部的第一拍摄部3051以及Z移动装置4060。第一拍摄部3051具备与第二拍摄部3052相同的构造和功能。而且，由第一拍摄部3051以及第二拍摄部3052构成了拍摄部。Z移动装置4060在内部具备直动机构，直动机构使Z工作台升降。而且，在Z工作台上连接有旋转装置4070。而且，Z移动装置4060能够使旋转装置4070在Z方向升降。Z移动装置4060的直动机构能够与沿驱动导轨4021a、4021b被驱动的Y工作台4030、和沿驱动导轨4022a、4022b被驱动的X工作台4050 —样，也具备第一实施方式所涉及的促动器100或第二实施方式所涉及的促动器300。旋转装置4070具备旋转轴4070a，在旋转轴4070a上连接有把持部3090。由此，旋转装置4070能够使把持部3090以Z方向为轴进行旋转。在本实施方式中使用在第一实施方式所涉及的促动器100中采用了被驱动体71 (参照图1)的旋转驱动机构，并与减速装置进行组合从而构成旋转装置4070，旋转装置4070使旋转轴4070a转动规定的角度。此外，能够使用步进电机或者伺服电机作为旋转机构。在使用伺服电机的情况下，电机的种类没有特别限定，能够使用AC电机、DC电机、无铁芯电机、超声波电机等。由上述的Y工作台4030、X工作台4050、Z移动装置4060、旋转装置4070等构成了可动部4080。在装置基台3010的靠近X方向侧设置有作为控制部的控制装置3100。控制装置3100具备对检查装置5000的动作进行控制的功能。控制装置3100还具备检查电子部件6000的功能。各控制装置3100具备输入装置3100a以及输出装置3100b。输入装置3100a是键盘、输入连接器等，是除了输入信号、数据之外还输入操作者的指示的装置。输出装置3100b是向显示装置、外部装置输出的输出连接器等，将信号、数据向其他装置输出。此外，还是向操作者传递检查装置5000的状况的装置。在上述结构中，检查部3000的主要的结构有装置基台3010、供料装置3020、工作台3040、第一拍摄部3051、第二拍摄部3052、检查台3060、出料装置3070、工作台3080等，并对作为检查对象的电子部件6000进行出料供料、图像处理、电特性计测等。此外，输送装置部4000的主要结构有支承台4010、驱动导轨4021a、4021b、Y工作台4030、臂部4040、驱动导轨4022a、4022b、X工作台4050、Z移动装置4060、旋转装置4070等，并将电子部件6000从供料装置3020向检查台3060输送，然后输送到出料装置3070。检查电子部件6000的检查装置5000在一般的清洁环境，即防尘环境下设置。此外，虽然未图示，但在检查台3060上配置用于计测电子部件6000的电特性的多个探测器，为了相对于全部的探测器而准确地配置探测器应该与电子部件6000接触的位置，必须从供料装置3020向检查台3060输送电子部件6000。在将电子部件6000的位置载置到检查台3060之前，根据由第一拍摄部3051、第二拍摄部3052得到的电子部件6000的图像进行图像处理，并利用输送装置部4000使电子部件6000的位置与检查台3060所具备的探测器位置准确对位，从而将电子部件6000载置于检查台3060。而且，电子部件6000更小型、精密且具有多功能，所以通常进行所谓的全数检查。因此，对于电子部件6000的一系列的检查时间而言，由于应检查的电子部件6000的数量非常多，所以希望能够进行更短时间的检查处理，特别是希望缩短占用检查时间的电子部件6000的输送时间。因此，在检查装置5000上设置具备第一实施方式所涉及的促动器100或第二实施方式所涉及的促动器300的Y工作台4030、X工作台4050、以及Z移动装置4060，由此能够将达到规定的移动速度的加速时间、以及到达停止的减速时间控制为很短，从而能够得到检查时间短的电子部件检查装置。此外，能够应用于对作为电子部件6000的例如半导体、LCD等的显示设备、水晶设备、各种传感器设备、喷墨头、各种MEMS设备等进行检查的电子部件检查装置。(第六实施方式)图13是表示第五实施方式所涉及的打印机的图，图13 (a)是表示打印机的立体图，图13 (b)是表不图13 (a)所不的打印机所具备的切割头的俯视图。如图13 (a)所示，打印机7000具备:对印刷纸张7020进行印刷的印刷部510、在其与印刷部510之间保持且引导印刷纸张7020的作为工作台的台板7030、用于将印刷的印刷纸张7020切断的切割头7050以及控制打印机7000的控制部7080。在该情况下，切割头7050是在与印刷纸张7020被输送的方向正交的方向切断印刷纸张7020的方式，并具有印刷纸张7020切断用的刀具7050a。而且，如图13 (b)所示，用于切断印刷纸张7020的机构具有:支承切割头7050并对切割头7050的移动进行引导的导轨7040、使切割头7050沿导轨7040移动的环状带7060、用于将切割头7050连结到环状带7060的带连结部7050b、为了驱动环状带7060而设置于切割头7050移动的始端侧以及终端侧的驱动轴7070a以及从动轴7070b。
驱动轴7070a通过促动器100而旋转，并驱动环状带7060。在该情况下，促动器100的旋转轴的旋转经由增速装置7090而向驱动轴7070a传递。在这样的结构的打印机7000中，如促动器100驱动则驱动轴7070a旋转，利用驱动轴7070a的旋转，使环状带7060在驱动轴7070a与从动轴7070b之间旋转，与旋转环状带7060连结的切割头7050沿导轨7040移动。由此，切割头7050的刀具7050a将印刷纸张7020切断。打印机7000使用促动器100进行驱动轴7070a的驱动，由此能够使驱动轴7070a周围形成紧凑的结构，所以能够实现小型化，并同时具有高的耐老化性。
权利要求
1.一种促动器，其特征在于，具备: 压电元件，被激振成弯曲振动模式而振动，或者被同时激振成所述弯曲振动模式和纵向振动模式而振动； 被驱动体，与所述压电元件所具备的接触部接触，通过所述接触部的振动而被驱动； 保持部，保持所述压电元件；以及 基台，具有朝所述被驱动体对所述保持部施力的施力机构， 所述保持部配置在与所述压电元件的振动面交叉的方向，并具有:配置于所述压电元件的一侧的第一支承部和第二支承部、隔着所述压电元件与所述第一支承部相对并配置于所述压电元件的另一侧的第三支承部、隔着所述压电元件与所述第二支承部相对并配置于所述另一侧的第四支承部。
2.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于， 所述压电元件是沿着与所述弯曲振动模式的弯曲振动方向正交的方向的长度为L且沿着所述弯曲振动方向的长度为W的矩形基板，所述压电元件具有供所述第一支承部和所述第三支承部支承 所述压电元件的第一支承区域以及供所述第二支承部和所述第四支承部支承所述压电元件的第二支承区域， 在将所述第一支承区域的第一图心Ql与最靠近所述压电元件的所述长度L方向上的一侧端部的振动的节点Pl的距离设为距离D1，并将所述第二支承区域的第二图心Q2与最靠近所述压电元件的所述长度L方向上的另一侧端部的振动的节点P2的距离设为距离D2的情况下， 所述距离Dl以及所述距离D2满足:D1 ( 0.13L，D2 ( 0.13L， 且所述第一支承区域包括所述振动的节点P1，所述第二支承区域包括所述振动的节点P2。
3.根据权利要求2所述的促动器，其特征在于， 所述第一支承区域以及所述第二支承区域的外边缘部在所述压电元件的振动面的外边缘部的内侧。
4.根据权利要求2或3所述的促动器，其特征在于， 所述第一支承区域以及所述第二支承区域的至少一方为矩形。
5.根据权利要求2 4中任一项所述的促动器，其特征在于， 所述第一支承区域以及所述第二支承区域的至少一方包括第一区域，随着从所述第一图心Ql或所述第二图心Q2朝所述弯曲振动方向离开，该第一区域的沿着与所述弯曲振动方向正交的方向的宽度相比包括所述第一图心Ql或所述第二图心Q2的所述纵向振动模式的纵向振动方向的宽度逐渐变小。
6.根据权利要求5所述的促动器，其特征在于， 该促动器具备矩形的第二区域，该第二区域包括所述第一图心Ql或所述第二图心Q2，该促动器具备向所述第二区域延伸的所述第一区域。
7.根据权利要求Γ6中任一项所述的促动器，其特征在于， 所述第一支承部和所述第三支承部的至少一方以及所述第二支承部和所述第四支承部的至少一方具有缓冲部。
8.根据权利要求7所述的促动器，其特征在于，所述第一支承部和所述第三支承部的至少一方以及所述第二支承部和所述第四支承部的至少一方具有弹性部。
9.一种机器手，其特征在于， 具备权利要求Γ8中任一项所述的促动器。
10.一种机器人,其特征在于， 具备权利要求Γ8中任一项所述的促动器，或者具备权利要求9所述的机器手。
11.一种电子部件输送装置，其特征在于， 具备权利要求Γ8中任一项所述的促动器。
12.一种电子部件检查装置，其特征在于， 具备权利要求Γ8中任一项所述的促动器，或者具备权利要求11所述的电子部件输送装置。
13.一种打印机，其特征在于， 具备权利要求Γ8中任一项所述的促动器。
14.一种促动器,其特征在于,具备: 压电元件； 第一支承部和第二支承部，配置在所述压电元件的一侧的面并支承所述压电元件；以及 第三支承部和第四支承部，配置在所述压电元件的一侧的面相反侧的另一侧的面并支承所述压电元件， 所述第三支承部隔着所述压电元件与所述第一支承部相对配置，所述第四支承部隔着所述压电元件与所述第二支承部相对配置，所述一侧的面以及所述另一侧的面包括所述压电元件进行弯曲振动的方向。
15.—种机器手,其特征在于,具备: 指部; 连结所述指部的关节部； 配置于所述关节部的压电元件； 配置在所述压电元件的一侧的面并支承所述压电元件的第一支承部和第二支承部；以及 配置在与所述压电元件的一侧的面相反侧的另一侧的面并支承所述压电元件的第三支承部和第四支承部， 所述第三支承部隔着所述压电元件与所述第一支承部相对配置， 所述第四支承部隔着所述压电元件与所述第二支承部相对配置， 所述一侧的面以及所述另一侧的面包括所述压电元件进行弯曲振动的方向。
16.—种机器人,其特征在于， 具备权利要求15所述的机器手。
17.一种电子部件输送装置，其特征在于， 具备权利要求14所述的促动器。
全文摘要
本发明提供促动器、机器手、机器人、电子部件输送装置及打印机。该促动器具备振动的压电元件和保持上述压电元件的保持部，上述保持部配置于上述压电元件的振动面，并具有配置于上述压电元件的一侧的第一支承部和第二支承部以及配置于上述压电元件的另一侧的第三支承部和第四支承部。
文档编号B25J9/00GK103151951SQ201210514820
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月4日 优先权日2011年12月6日
发明者上条浩一, 水岛信幸, 宫泽修 申请人:精工爱普生株式会社