新型固晶机焊臂驱动装置制造方法
【专利摘要】本发明公开一种新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。由平行移动电机将焊臂移动至所需位置后，再由垂直移动电机使焊臂连接座向下移动，再通过设于焊臂本体和吸嘴支架之间的滑动气缸精确调节晶圆吸嘴的位置拾起晶圆进行后续键合操作。通过适当的调节和控制，在平行移动电机在平行移动时，该垂直移动电机使焊臂向下移动到适当的位置，可以避免在平行移动时，垂直移动电机完全空闲状态，减少移动时间，提高焊接效率。
【专利说明】新型固晶机焊臂驱动装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体固晶【技术领域】，特别涉及一种固晶机用的平移马达与垂直马达分离的新型固晶机焊臂驱动装置。
【背景技术】
[0002]半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后，由机械手将晶体，如LED晶圆移动到基板对应位置进行焊接。
[0003]现有的半导体固晶装置中对焊臂进行移动，由于焊臂运动的轨迹只能作二维X-Y座标系内直线移动，平行移动的电机和垂直移动的电机为一体结构，其平移的过程无法进行垂直移动，当平移完成后才能进行垂直移动，使得移动的时间变长，因此影响焊接效率。
【发明内容】
[0004]本发明主要解决的技术问题是提供一种新型固晶机焊臂驱动装置，该新型固晶机焊臂驱动装置可以避免平行移动的电机和垂直移动的电机一体结构时需要分步完动移动动作，其移动时间较长，减少焊臂移动时间，提高焊臂移动效率，进而提高工作效率。
[0005]为了解决上述问题，本发明提供一种新型固晶机焊臂驱动装置，该新型固晶机焊臂驱动装置包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。
[0006]进一步地说，所述焊臂为四个，所述垂直移动电机的数量与焊臂的数量相同。
[0007]进一步地说，所述垂直移动电机包括音圈直线电机。
[0008]进一步地说，所述平行移动电机包括司服电机。
[0009]进一步地说，所述焊臂连接座为方形或圆柱形。
[0010]本发明新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。工作时，由平行移动电机将焊臂移动至所需位置后，再由垂直移动电机使焊臂连接座向下移动，与该焊臂连接座连接的四个焊臂同步向下移动，再通过设于焊臂本体和吸嘴支架之间的滑动气缸精确调节晶圆吸嘴的位置拾起晶圆，进行后续键合操作。通过适当的调节和控制，可以在平行移动电机在平行移动时，该垂直移动电机使焊臂向下移动到适当的位置，当平行移动到适当位置时，再将垂直移动电机移动细小距离，可以避免在平行移动时，垂直移动电机完全空闲状态，减少移动时间，提高焊接效率。
【专利附图】
【附图说明】[0011]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
[0012]图1是本发明固晶机用多焊臂装置实施例结构示意图。
[0013]图2是焊臂结构放大示意图。
[0014]下面结合实施例，并参照附图，对本发明目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。
【具体实施方式】
[0015]为了使发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0016]如图1和图2所示，本发明提供一种新型固晶机焊臂驱动装置实施例。
[0017]该新型固晶机焊臂驱动装置包括:设有平行移动电机3的电机基座1，位于该电机基座I的端部设有垂直移动电机2，该平行移动电机3的转轴设有焊臂连接座41，该焊臂连接座41外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括焊臂本体44，在该焊臂本体44上设有晶圆吸嘴42，所述平行移动电机3和垂直移动电机2分别与控制模块连接。
[0018]具体地说，所述焊臂连接座41为方形或圆柱形，在该焊臂连接座41设有四个焊臂，在该焊臂本体44上设有一个使吸嘴支架40上下移动的滑动气缸43，该吸嘴支架44设有与气源连接的晶圆吸嘴42。所述垂直移动电机2对称设于电机基座I下，其数量优选为四个，该垂直移动电机2包括音圈直线电机。所述平行移动电机3包括司服电机。
[0019]工作时，由平行移动电机3将焊臂移动至所需位置后，再由垂直移动电机2使焊臂连接座41向下移动，与该焊臂连接座41连接的四个焊臂同步向下移动，再通过设于焊臂本体44和吸嘴支架40之间的滑动气缸43精确调节晶圆吸嘴42的位置拾起晶圆，进行后续键合操作。通过适当的调节和控制，可以在平行移动电机在平行移动时，该垂直移动电机使焊臂向下移动到适当的位置，当平行移动到适当位置时，再移动细小距离，可以避免在平行移动时，垂直移动电机完全空闲状态，减少移动时间，提高焊接效率。
[0020]以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
【权利要求】
1.新型固晶机焊臂驱动装置，包括设有平行移动电机的电机基座，其特征在于: 位于该电机基座的端部设有垂直移动电机，该平行移动电机的转轴设有焊臂连接座，该焊臂连接座外侧周围均匀分布有多个焊臂，每个焊臂包括设有晶圆吸嘴的焊臂本体，所述平行移动电机和垂直移动电机分别与控制模块连接。
2.根据权利要求1所述的新型固晶机焊臂驱动装置，其特征在于: 所述焊臂为四个，所述垂直移动电机的数量与焊臂的数量相同。
3.根据权利要求1或2所述的固晶机用多焊臂装置，其特征在于: 所述垂直移动电机包括音圈直线电机。
4.根据权利要求4所述的新型固晶机焊臂驱动装置，其特征在于: 所述平行移动电机包括司服电机。
【文档编号】B25J9/12GK103600349SQ201310540677
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年10月25日 优先权日:2013年10月25日
【发明者】区大公 申请人:深圳市恒睿智达科技有限公司