基板输送用机械手以及基板输送方法
【专利摘要】本发明涉及基板输送用机械手以及基板输送方法。该基板输送用机械手包括：平行配置的第1对基板支承构件；驱动部，使第1对基板支承构件向相互接近的方向和相互远离的方向平行移动；在与第1对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置的第2对基板支承构件；平行连杆构件，连结第1对基板支承构件与第2对基板支承构件，并与第1对基板支承构件的接近/远离的方向的平行移动联动使第2对基板支承构件向接近/远离的方向平行移动；第1保持部，沿第1对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部；和第2保持部，沿第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部。
【专利说明】基板输送用机械手以及基板输送方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及基板输送用机械手以及基板输送方法。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中公开有用于支承玻璃基板的下表面的4个边的缘部而输送玻璃基板的基板输送用机械手。
[0003]上述基板输送用机械手借助机械手安装用板安装于自动输送装置的机械手安装部。另外，基板输送用机械手的臂部由以在玻璃基板的边部的外侧附近与各自的边部平行且适合玻璃基板的尺寸的方式接合起来的多根构件构成。上述构件兼具轻量化以及高刚性化，由中空的方管材构成。另外，在上述构件上设有用于支承玻璃基板的下表面的缘部的基板把持部。
[0004]专利文献:日本特开平11-254374号公报
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题
[0006]然而，专利文献I中公开的基板输送用机械手的臂部由于是将多个构件接合起来构成的，因此不能够变更尺寸(由多个构件绘成的俯视呈矩形的空间)。因此，产生不能够利用专利文献I的吸附衬垫处理与能够支承的尺寸不同的尺寸的玻璃基板这样的问题。
[0007]为了利用I台基板输送用机械手处理尺寸不同的玻璃基板，需要设置多个驱动部，该多个驱动部将构成臂部的多个构件分别支承为可自由移动，并使各构件独立地移动。然而，若对每一个构件均设有将上述构件支承为自由移动的引导构件、设有多个驱动部，那么会产生基板输送用机械手成为重型物且呈大型化这样的问题。
[0008]本发明是鉴于这样的情况而作出的，其目的在于提供能够与基板的尺寸相对应地变更自身的尺寸并且小型且轻量的基板输送用机械手以及基板输送方法。
_9] 用于解决问题的方案
[0010]本发明的一技术方案为了达到上述目的，提供一种基板输送用机械手，该基板输送用机械手包括:第I对基板支承构件，它们平行配置；驱动部，其用于使上述第I对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动；第2对基板支承构件，它们在与上述第I对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置；平行连杆构件，其用于将上述第I对基板支承构件与上述第2对基板支承构件连结起来，并且该平行连杆构件与上述第I对基板支承构件在上述相互接近的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互接近的方向平行移动，且该平行连杆构件与上述第I对基板支承构件在上述相互远离的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互远离的方向平行移动；第I保持部，其沿着上述第I对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部；以及第2保持部，其沿着上述第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部。[0011]采用本发明的一技术方案，当利用驱动部使第I对基板支承构件向相互接近的方向水平地平行移动时，第2对基板支承构件借助平行连杆构件与该动作联动地向相互接近的方向水平地平行移动。与该动作相反地，当利用驱动部使第I对基板支承构件向相互远离的方向水平地平行移动时，第2对基板支承构件借助平行连杆构件与该动作联动地向相互远离的方向水平地平行移动。
[0012]S卩，采用本发明的一技术方案，由第I对基板支承构件与第2对基板支承构件绘成的矩形空间的尺寸、即用于保持基板的矩形空间的尺寸能够从最大尺寸起到最小尺寸为止进行无级调整。因此，采用本发明的一技术方案的基板输送用机械手，能够与基板的尺寸相对应地变更该基板输送用机械手的尺寸。另外，对于驱动部，由于只需设置I台用于驱动第I对基板支承构件的驱动部即可，因此能够提供小型且轻量的基板输送用机械手。
[0013]基板由已调整为该基板的尺寸的基板输送用机械手的第I保持部以及第2保持部保持。
[0014]本发明的一技术方案优选的是，上述驱动部包括:引导构件，其用于引导上述第I对基板支承构件而使上述第I对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向自由移动；驱动源，其用于向上述第I对基板支承构件传递动力而使上述第I对基板支承构件向上述相互接近的方向以及上述相互远离的方向平行移动；以及支承构件，上述引导构件以及上述驱动源安装于该支承构件。
[0015]采用本发明的一技术方案，在支承构件上安装有引导构件和驱动源。因此，成为这样的结构:第I对基板支承构件借助引导构件安装于支承构件，第2对基板支承构件借助平行连杆构件支承于第I对基板支承构件。从而，由于以轻量的材料制作第I对基板支承构件和第2对基板支承构件能够减小支承构件所承受的重量负担，因此是优选的。另外，由于第I对基板支承构件和第2对基板支承构件用于支承基板，因此第I对基板支承构件和第2对基板支承构件优选以具有高刚性的材料制作。作为材料，能够例示轻量且刚性较高的CFRP (carbon fiber reinforced plastic:碳纤维增强塑料)、招合金或钦合金。
[0016]采用本发明的一技术方案，当将来自驱动源的动力传递至第I对基板支承构件时，第I对基板支承构件被引导构件引导而向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动。由此,第I对基板支承构件相对于支承构件顺畅地动作。
[0017]作为引导构件，优选LM(Linear Motion:直线运动)引导(注册商标)，作为驱动源，优选伺服马达和进给丝杠构件。进给丝杠构件包括一对螺母部和各自刻设有相反螺纹的一对螺杆。将一对螺母部中的一侧的螺母部安装于一侧的第I基板支承构件，将另一侧的螺母部安装于另一侧的第I基板支承构件。而且，使一侧的螺杆螺纹配合于一侧的螺母部，使另一侧的螺杆螺纹配合于另一侧的螺母部。由此，若利用伺服马达使一对螺杆向正转方向以及反转方向旋转，则利用进给丝杠构件的进给作用使第I对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动。
[0018]本发明的一技术方案优选的是，在上述驱动部连结有用于使上述基板输送用机械手从上述基板的接收位置移动至交付位置的输送部件。
[0019]采用本发明的一技术方案，由于在基板输送用机械手的支承构件上连结有输送部件，因此能够利用输送部件将基板输送用机械手从基板的接收位置移动至交付位置。作为输送部件，优选SCARA(selective compliance Assembly Robot Arm、选择顺应性装配机器手臂)机器人等水平多关节机器人。
[0020]本发明的一技术方案优选的是，在上述第I保持部以及上述第2保持部设有用于吸附保持上述基板的吸附构件。
[0021]采用本发明的一技术方案，由于能够利用吸附构件可靠地保持基板的下表面的缘部，因此能够稳定地输送基板。
[0022]本发明的一技术方案优选的是，在上述基板的上表面涂敷有树脂液，上述基板的下表面的缘部由上述第I保持部以及上述第2保持部保持。
[0023]采用本发明的一技术方案，由于利用基板输送用机械手保持在上表面涂敷有树脂液的基板的下表面的缘部，因此能够不与上述树脂液接触地输送基板。
[0024]本发明的一技术方案优选的是，在上述驱动部设有用于与上述基板的下表面抵接的抵接构件。
[0025]采用本发明的一技术方案，使抵接构件抵接于基板的下表面而支承基板。通过将抵接构件设置于基板输送用机械手，即使是大小较大的基板也能够抑制基板的挠曲地输送基板。从能够抑制基板的挠曲这一点考虑，抵接构件与基板的下表面相抵接的抵接位置为基板的中央部、中央部附近或沿着以中央部为中心的同心圆状的位置是优选的。上述中央部是指基板的重心位置。
[0026]本发明的一技术方案优选的是，上述抵接构件包括从上述驱动部延伸出来的臂构件和设于上述臂构件并且用于与上述基板的下表面抵接的销状构件。
[0027]采用本发明的一技术方案，能够借助臂构件将用于与基板的下表面相抵接的销状构件配置于抵接位置。
[0028]本发明的一技术方案优选的是，上述销状构件以利用升降部件相对于上述臂构件自由升降的方式设置于上述臂构件。
[0029]采用本发明的一技术方案，利用基板输送用机械手的第I保持部以及第2保持部支承基板的下表面的缘部之前，预先使销状构件在下降位置待机，使得销状构件不与基板的下表面冲突。然后，利用第I保持部以及第2保持部支承基板的下表面的缘部之后，使销状构件上升而利用销状构件支承基板的下表面。由此，能够防止因上述冲突导致的基板的损伤。
[0030]本发明的一技术方案优选的是，上述臂构件以利用升降部件相对于上述驱动部自由升降的方式设置于上述驱动部。
[0031]采用本发明的一技术方案，在利用基板输送用机械手的第I保持部以及第2保持部支承基板的下表面的缘部之前，预先使臂构件在下降位置待机，使得销状构件不与基板的下表面冲突，。然后，利用第I保持部以及第2保持部支承基板的下表面的缘部之后，使臂构件上升而利用销状构件支承基板的下表面。由此，能够防止因上述冲突导致的基板的损伤。
[0032]本发明的一技术方案提供一种基板输送方法，该基板输送方法使用本发明的基板输送用机械手将基板从用于在上述基板的上表面涂敷树脂的涂敷部输送至用于使涂敷于上述基板的上表面的上述树脂干燥的干燥部。
[0033]采用本发明的一技术方案，使用I台基板输送用机械手能够将尺寸不同的基板从涂敷部输送至干燥部。[0034]发明的效果
[0035]如上述说明那样，采用本发明，能够提供能够与基板的尺寸相对应地变更自身的尺寸并且小型且轻量的基板输送用机械手以及基板输送方法。
【专利附图】
【附图说明】
[0036]图1是第1实施方式的基板输送用机械手的俯视图。
[0037]图2是利用基板输送用机械手保持玻璃基板的俯视图。
[0038]图3是驱动部的沿图1的A-A线的剖视图。
[0039]图4是保持有比图1所示的玻璃基板尺寸小的玻璃基板的基板输送用机械手的俯视图。
[0040]图5是保持有比图4所示的玻璃基板尺寸小的玻璃基板的基板输送用机械手的俯视图。
[0041]图6A是表示涂敷部的结构的立体图。
[0042]图6B是基板输送用机械手位于从基板载置台上升后的玻璃基板的上方位置的说明图。
[0043]图6C是在涂敷部利用基板输送用机械手保持玻璃基板的说明图。
[0044]图7是表示使在涂敷部保持的玻璃基板移动至干燥部的形态的说明图。
[0045]图8是表示吸附衬垫对玻璃基板的动作的放大剖视图。
[0046]图9A是在图8的吸附衬垫的周围配置有筒状体的放大剖视图。
[0047]图9B是表示图9A中的吸附衬垫对玻璃基板的动作的放大剖视图。
[0048]图10是第2实施方式的基板输送用机械手的俯视图。
[0049]图11是第2实施方式的基板输送用机械手的侧视图。
[0050]图12A是利用气缸使弹性销位于下降位置的说明图。
[0051]图12B是利用气缸使弹性销位于上升位置的说明图。
[0052]图13A是使涂敷部的升降销上升而使玻璃基板位于接收位置的侧视图。
[0053]图13B是使基板输送用机械手移动至玻璃基板的接收位置的侧视图。
[0054]图13C是利用基板支承构件的保持部保持玻璃基板的下表面的缘部的侧视图。
[0055]图13D是使弹性销上升而抵接于玻璃基板的下表面的侧视图。
[0056]图13E是使基板输送用机械手上升移动的侧视图。
[0057]图13F是使升降销下降移动且使基板输送用机械手在水平方向上移动的侧视图。
[0058]图14A是使玻璃基板移动至干燥部的交付位置的侧视图。
[0059]图14B是玻璃基板的下表面被干燥部的固定销支承的侧视图。
[0060]图14C是使弹性销下降而从玻璃基板的下表面退避的侧视图。
[0061]图14D是使基板支承构件向相互远离的方向移动且使其上升移动后的侧视图。
[0062]图14E是使抵接构件的臂构件在水平方向上沿直线状进行滑动移动后的侧视图。
[0063]图15A是抵接构件的臂构件位于下降位置的侧视图。
[0064]图15B是抵接构件的臂构件位于上升位置的侧视图。
[0065]附图标记说明
[0066]G、Gl、G2、G3…玻璃基板、10...基板输送用机械手、12...机械手安装用板、14...水平多关节机器人、16...臂、18、20…基板支承构件、22...驱动部、24、26…基板支承构件、28...平行连杆构件、30...连杆、32、34…保持部36…吸附衬垫、38...引导构件、40...驱动源、42...导轨、44...滑块、46…伺服马达、48…螺杆、50…螺母、52…带轮、54…带、56…带轮、58…空间、60...涂敷部、62...干燥部、64...模涂机、66...基板载置台、68...升降销、70...树脂液、72...烘箱架、74...固定销、76...吸引路径、78...中央开口部、80...筒状体、82...环状上端面、10(l...基板输送用机械手、102…抵接构件、104…臂构件、106…弹性销、108…气缸、110…活塞、112…缸体、114…开口部、116…固定用销、118…升降装置。
【具体实施方式】
[0067]以下，根据附图对本发明的基板输送用机械手以及基板输送方法的优选实施方式进行说明。
[0068](基板输送用机械手10的结构)
[0069]图1是第I实施方式的基板输送用机械手10的俯视图，表示基板输送用机械手10的机械手安装用板(支承构件)12安装于概略图示的水平多关节机器人(例如SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm)机器人:输送部件)14 的臂 16 的顶端的形态。即，机械手安装用板12借助臂16连结于水平多关节机器人14。另外，在图1中表示利用基板输送用机械手10保持俯视呈矩形的玻璃基板Gl之前的形态。图2是利用基板输送用机械手10保持玻璃基板Gl的俯视图。玻璃基板Gl的表面(上表面以及下表面)由基板输送用机械手10保持为水平方向。
[0070]图1、图2所不的基板输送用机械手10包括:一对基板支承构件(第I对基板支承构件)18、20，它们在水平方向上相对于玻璃基板Gl的输送方向平行配置；驱动部22，其用于使一对基板支承构件18、20向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动；一对基板支承构件(第2对基板支承构件)24、26，它们在水平方向上且在与一对基板支承构件18、20的纵长方向垂直的方向上平行配置。基板支承构件18、20为板状且长度相等的相同构成物，基板支承构件24、26也如此。
[0071]另外，基板输送用机械手10在基板支承构件24、26各自的两端具有将基板支承构件18、20与基板支承构件24、26连结起来的平行连杆构件28、28...。该平行连杆构件28、28…具有如下功能:它们与基板支承构件18、20的向相互接近的方向的平行移动联动而使基板支承构件24、26向相互接近的方向平行移动，并且与基板支承构件18、20的向相互远离的方向的平行移动联动而使基板支承构件24、26向相互远离的方向平行移动。
[0072]平行连杆构件28具有平行配置的2根连杆30、30，2根连杆30、30的一端借助轴承(未图示)以在水平方向上自由转动的方式连结于基板支承构件18 (基板支承构件20)。另外，2根连杆30、30的另一端借助轴承(未图示)以在水平方向上自由转动的方式连结于基板支承构件24 (基板支承构件26)。采用该连结结构，平行连杆构件28具有上述功能。
[0073]而且，基板输送用机械手10包括保持部(第I保持部)32、32…和保持部(第2保持部)34、34...。保持部32沿着基板支承构件18的与基板支承构件20相面对的边部以及基板支承构件20的与基板支承构件18相面对的边部隔有规定间隔地设有多个，如图2那样保持玻璃基板Gl的下表面的缘部。如图1所示，保持部34沿着基板支承构件24的与基板支承构件26相面对的边部以及基板支承构件26的与基板支承构件24相面对的边部隔有规定间隔地设有多个，如图2那样保持玻璃基板Gl的下表面的缘部。另外，从能够稳定地输送玻璃基板Gl这点考虑，优选的是，如图1所示，在保持部32、34设置真空的吸附衬垫36(吸附构件)，利用吸附衬垫36吸附保持玻璃基板Gl的下表面的缘部。关于吸附衬垫36后面进行阐述。
[0074]驱动部22包括:引导构件38、38，其用于引导基板支承构件18、20而使基板支承构件18、20向相互接近的方向以及相互远离的方向自由移动；以及驱动源40，其向基板支承构件18、20传递动力而使基板支承构件18、20向上述相互接近的方向以及上述相互远离的方向平行移动。而且，引导构件38、38以及驱动源40搭载于机械手安装用板12而构成驱动部22。
[0075]图3是沿图1中的A-A线的剖视图，表示引导构件38的结构。
[0076]作为引导构件38,采用LM (Linear Motion:直线运动)弓丨导(注册商标),包括一对导轨42、42和以自由滑动的方式嵌合于导轨42、42的滑块44、44。导轨42、42沿着基板支承构件18、20的移动方向平行固定于机械手安装用板12的上表面,滑块44、44固定于基板支承构件18 (基板支承构件20也如此)的下表面。
[0077]另一方面，图1所示的驱动源40包括:伺服马达46、同轴配置且分别刻有相反螺纹的一对螺杆48、48以及图3所示的螺母50。另外，如图1所示，驱动源40包括用于将伺服马达46的转矩向一对螺杆48、48传递的带轮52、带54以及带轮56。S卩，带轮52安装于伺服马达46的旋转轴，带轮56安装于一对螺杆48、48的纵长方向中央部，带54架设于这些带轮52、56。
[0078]另外，如图3所示，螺母50固定于基板支承构件18 (基板支承构件20也如此)的下表面的滑块44与滑块44之间的中间部。在该螺母50上螺纹配合有与导轨42平行地铺设的螺杆48。即，作为由驱动源40驱动的基板支承构件18、20的移动机构，采用由螺杆48与螺母50构成的进给丝杠构件。
[0079]因此，采用驱动部22，若利用伺服马达46使一对螺杆48、48向正转方向以及反转方向旋转，则利用各自刻设有相反螺纹的一对螺杆48、48与螺母50、50间的进给作用使基板支承构件18、20向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动。另外，基板支承构件
18、20由于由引导构件38、38所引导，因此基板支承构件18、20相对于机械手安装用板12顺畅地移动。
[0080]另一方面，驱动部22是这样的结构:基板支承构件18、20借助引导构件38、38悬臂支承于机械手安装用板12，基板支承构件24、26借助平行连杆构件28、28...支承于基板支承构件18、20。
[0081]从而，由于以轻量的材料制作基板支承构件18、20、24、26能够减小机械手安装用板12所承受的重量负担，因此是优选的。另外，由于基板支承构件18、20、24、26用于支承玻璃基板G1，因此基板支承构件18、20、24、26优选以具有高刚性的材料制作。根据上述观点，基板支承构件18、20、24、26优选是轻量且刚性较高的CFRP(carbon fiber reinforcedplastic:碳纤维增强塑料)制、招合金制或钛合金制。
[0082]接下来，对以上述那样构成的第I实施方式的基板输送用机械手10的作用进行说明。
[0083](基板输送用机械手10的基本动作)[0084]当利用驱动部22使基板支承构件18、20向相互接近的方向水平地平行移动时，基板支承构件24、26借助平行连杆构件28、28...与该动作联动地向相互接近的方向水平地平行移动。与该动作相反地，当利用驱动部22使基板支承构件18、20向相互远离的方向水平地平行移动时，基板支承构件24、26借助平行连杆构件28、28...与该动作联动地向相互远离的方向水平地平行移动。
[0085](基板输送用机械手10对玻璃基板Gl的保持动作)
[0086]首先，如图1所示，利用驱动部22最大限度地扩大基板支承构件18、20的间隔。SP，将由基板支承构件18、20、24、26绘成的俯视呈矩形的空间58扩大至最大尺寸，利用水平多关节机器人14使基板输送用机械手10移动以使玻璃基板Gl进入该空间58内。另外，具有机械手安装用板12的驱动部22借助臂16与水平多关节机器人14相连结。
[0087]接下来，利用驱动部22使基板支承构件18、20向相互接近的方向水平地平行移动，进而使基板支承构件24、26向相互接近的方向水平地平行移动。由此，如图2所示，所有的保持部32、32...、34、34...进入玻璃基板Gl的下表面的缘部，下表面的缘部由保持部32、32...、34、34...支承。通过该动作，玻璃基板Gl被基板输送用机械手10保持。另外，利用伺服马达46控制基板支承构件18、20的移动量以使该移动量与玻璃基板Gl的尺寸相对应。
[0088]对于第I实施方式的基板输送用机械手10，由基板支承构件18、20、24、26绘成的空间58的尺寸能够在从图1所示的最大尺寸起到最小尺寸(未图示)为止进行无级调整。
[0089]因此，采用基板输送用机械手10，能够与玻璃基板的尺寸相对应地变更基板输送用机械手10的尺寸。也就是说，如图4所示，基板输送用机械手10也能够保持比玻璃基板Gl (参照图1、图2)尺寸小的玻璃基板G2，如图5所示，基板输送用机械手10也能够保持比玻璃基板G2 (参照图4)尺寸小的玻璃基板G3。另外，由于基板输送用机械手10的驱动部22只需具有I台用于驱动基板支承构件18、20的驱动部即可，因此成为小型且轻量的基板输送用机械手10。
[0090](由基板输送用机械手10输送玻璃基板的输送方法)
[0091]图6Α、图6Β、图6C表示在树脂液的涂敷部(基板的接收位置)60处利用基板输送用机械手10保持玻璃基板G的形态。图7表示利用图1的水平多关节机器人14将在涂敷部60保持的玻璃基板G输送至干燥部(基板的交付位置)62的形态。
[0092]如图6Α所示，涂敷部60包括模涂机64以及基板载置台66。另外，如图6Β、图6C所不，在基板载置台66上设有多根升降销68、68...,该多根升降销68、68...能够相对于基板载置台66的上表面突出以及缩回。
[0093]在图6Α的涂敷部60，玻璃基板G载置于基板载置台66，利用模涂机64在玻璃基板G的上表面涂敷树脂液70。树脂液70的涂敷完毕时，模涂机64从基板载置台66的上方位置退避至侧方位置，并且如图6Β所示，升降销68、68...从基板载置台66的上表面突出。由此，利用升降销68、68...顶着玻璃基板G的下表面而使玻璃基板G从基板载置台66上升。之后，如图6Β所示，利用图1的水平多关节机器人14移动过来的基板输送用机械手10位于玻璃基板G的上方位置。之后，基板输送用机械手10下降移动至能够保持玻璃基板G的位置，之后，基板输送用机械手10的驱动部22被驱动，而使玻璃基板G如图6C那样被基板输送用机械手10保持。
[0094]由基板输送用机械手10保持的玻璃基板G被水平多关节机器人14输送至图7的干燥部62而被载置于突出设置在干燥部62的烘箱架72的上表面的多根固定销74、74...。之后，利用驱动部22使基板输送用机械手10的基板支承构件18、20向相互远离的方向移动。由此，基板输送用机械手10对玻璃基板G的保持被解除。之后，利用水平多关节机器人14使基板输送用机械手10移动至图6A的涂敷部60的附近位置，在该位置待机直到保持接下来的玻璃基板G的动作开始。
[0095]米用上述玻璃基板G的输送方法，由于由基板输送用机械手10的保持部32、32...、34、34…保持上表面上涂敷有树脂液70的玻璃基板G的下表面的缘部，因此能够不与树脂液70接触地将玻璃基板G从涂敷部60输送至干燥部62。另外，使用I台基板输送用机械手10能够将尺寸不同的玻璃基板从涂敷部60输送至干燥部62。另外，图6C所示的升降销68以及图7所示的固定销74的形状不限于圆柱状，也可以是上端为尖锐状的圆锥形状。
[0096](吸附衬垫36的形态)
[0097]图8是保持部32、34所具有的吸附衬垫36的放大剖视图。吸附衬垫36为树脂制或橡胶制，是具有与吸引路径76相连通的中央开口部78的环状构件。吸附衬垫36吸附于玻璃基板G的下表面的缘部，从而玻璃基板G可靠地保持于基板输送用机械手10。
[0098]图8所示的吸附衬垫36因玻璃基板G的重量而发生弹性变形。由于吸附衬垫36的弹性变形，玻璃基板G被以挠曲的状态保持，有时玻璃基板G会因该挠曲而破损。
[0099]为了防止这种不良，如图9A所示的放大剖面那样，将围绕吸附衬垫36的筒状体80配置于保持部32、34。若吸附衬垫36在吸附保持玻璃基板G时被玻璃基板G按压而发生弹性变形，则玻璃基板G的下表面的缘部抵接于筒状体80的环状上端面82。由此，如图9B所示，玻璃基板G的下表面的缘部以按压并抵接于具有刚性的筒状体80的环状上端面82的状态、即抑制了挠曲 的状态保持于基板输送用机械手10，因此能够防止因挠曲导致的破损。
[0100](基板输送用机械手100的结构)
[0101]图10是第2实施方式的基板输送用机械手100的俯视图，图11是基板输送用机械手100的侧视图，对与第I实施方式的基板输送用机械手10相同或类似的构件标注相同的附图标记，省略其说明。
[0102]如图10、图11所不,基板输送用机械手100具有用于与玻璃基板Gl的下表面相抵接的抵接构件102。该抵接构件102包括:臂构件104，其基端部悬臂支承于驱动部22所具有的机械手安装用板12的下表面；以及2根弹性销(销状构件)106、106，它们设于臂构件104的顶端附近并且用于与玻璃基板Gl的下表面相抵接。
[0103]从驱动部22延伸出来的臂构件104的上述基端部固定于机械手安装用板12的纵长方向中央部，并且与基板支承构件18、20平行设置。另外，如图11所示，臂构件104配置于比基板支承构件20 (18、24、26)靠下方的与上述基板支承构件20 (18、24、26)距离规定
量的位置。
[0104]弹性销106为橡胶制或树脂制，是弹性抵接于玻璃基板Gl的下表面的构件。另外，弹性销106、106与玻璃基板Gl的下表面相抵接的抵接位置是玻璃基板Gl的中央部、中央部附近或沿着以中央部为中心同心圆状的位置，从能够抑制玻璃基板Gl的挠曲这点考虑是优选的。上述中央部指的是玻璃基板Gl的重心位置，图10、图11的弹性销106、106是配置于上述中央部附近或配置为以上述中央部为中心的同心圆状的例子。另外，弹性销106的根数不限于2根，也可以是I根或3根以上。抵接构件102具有臂构件104，从而能够使弹性销106、106配置于臂构件104的纵长方向上的期望的位置。
[0105]图12A、图12B表示使弹性销106相对于臂构件104的上表面升降移动的气缸(升降部件)108。即，图12A表示气缸108的活塞110借助缸体112位于下降位置的状态，图12B表示气缸108的活塞110借助缸体112位于上升位置的状态。
[0106]臂构件104构成为中空的管状，在其开口部114插入配置有缸体112。
[0107](由基板输送用机械手100输送玻璃基板的输送方法)
[0108]图13A~图13F表示利用基板输送用机械手100保持并输送在涂敷部60涂敷有树脂液70 (参照图6A)的玻璃基板Gl的步骤。
[0109]图13A是使涂敷部60的升降销68、68…上升而使玻璃基板Gl位于基板载置台66的上方位置(接收位置)的侧视图。
[0110]图13B是利用水平多关节机器人14使基板输送用机械手100移动至玻璃基板Gl的接收位置的侧视图。如该图所示，基板支承构件20 (18、24、26)在玻璃基板Gl的上方位置待机。另外，抵接构件102的臂构件104不与涂敷部60的升降销68、68...干涉地插入配置于玻璃基板Gl的下表面的下方位置。另外，在臂构件104进行上述插入时，弹性销106、106不与玻璃基板Gl的下表面冲突地在图12A所示的下降位置待机。
[0111]图13C是如下状态的侧视图:自图13B的状态起，利用水平多关节机器人14使基板支承构件20 (18、24、26)下降移动之后，利用驱动部22 (参照图1)使基板支承构件20(18、24、26)向相互接近 的方向移动而由保持部32 (34)保持玻璃基板Gl的下表面的缘部。
[0112]图13D是自图13C的状态起利用气缸108 (参照图12)使弹性销106、106上升而抵接于玻璃基板Gl的下表面的侧视图。即，利用保持部32 (34)支承玻璃基板Gl的下表面的缘部之后，使弹性销106、106上升而由弹性销106、106支承玻璃基板Gl的下表面，因此能够防止因上述冲突而导致的玻璃基板Gl的损伤。另外，也可以在不使弹性销106升降的前提下利用弹性销106支承玻璃基板Gl的下表面，但从避免上述冲突的观点考虑优选进行升降动作。
[0113]图13E是自图13D的状态起利用水平多关节机器人14使基板输送用机械手100上升移动后的侧视图。由此，玻璃基板Gl尚开升降销68、68...,其下表面的缘部被保持部32
(34)支承，并且其下表面中央部附近被弹性销106、106支承。
[0114]图13F是自图13E的状态起使升降销68、68...下降移动并且利用水平多关节机器人14使基板输送用机械手100在水平方向上直线移动后的侧视图。之后，玻璃基板Gl被水平多关节机器人14输送至如图7所示的干燥部62。
[0115]因此，采用具有用于支承玻璃基板Gl的下表面中央部附近的抵接构件102的基板输送用机械手100，即使是大小较大的玻璃基板Gl的情况也能够抑制玻璃基板Gl的挠曲而将玻璃基板Gl从涂敷部60稳定地输送至干燥部62。
[0116]图14A~图14E表示将输送至干燥部62的玻璃基板Gl载置于干燥部62的固定销74、74…上的步骤。
[0117]图14A是利用水平多关节机器人14使玻璃基板Gl移动至干燥部62的交付位置的侧视图。如该图所示，基板输送用机械手100的抵接构件102的臂构件104不与干燥部62的固定销74、74…干涉地插入配置于烘箱架72的上方。
[0118]图14B是自图14A的状态起利用水平多关节机器人14使基板支承构件20 (18、24,26)下降移动而使玻璃基板Gl的被固定销74、74...支承的侧视图。
[0119]图14C是自图14B的状态起利用气缸108 (参照图12)使弹性销106、106下降而从玻璃基板Gl的下表面退避后的侧视图。
[0120]图14D是如下状态的侧视图:自图14C的状态起，利用驱动部22 (参照图1)使基板支承构件20 (18、24、26)向相互远离的方向移动之后，利用水平多关节机器人14使基板支承构件20 (18、24、26)上升移动。由此，玻璃基板Gl被固定销74、74...支承。
[0121]图14E是如下状态的侧视图:自图14D的状态起，利用水平多关节机器人14使抵接构件102的臂构件104不与固定销74、74…干涉地在水平方向上呈直线状滑动移动。之后，基板输送用机械手100被水平多关节机器人14移动至图13A所示的涂敷部60。
[0122]而且，在上述实施方式中，利用气缸108使弹性销106升降移动，但并不限于此。例如，如图15A、图15B所示，也可以借助固定用销116将弹性销106固定于臂构件104，并以臂构件104利用升降装置(升降部件)118自由升降的方式将臂构件104设置于驱动部22所具有的机械手安装用板12。即，臂构件104也可以设置为利用升降装置118相对于驱动部22自由升降。作为升降装置118，能够例示LM引导(注册商标)和进给丝杠装置。另外，由于升降装置118进行的臂构件104的升降动作时机与气缸108进行的弹性销106的升降动作时机相同，因此在此省略其 说明。
[0123]以上对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明不限于上述实施方式。在不脱离本发明的范围的情况下，能够对上述实施方式施加各种变形以及置换。
[0124]本申请是基于2012年11月13日申请的日本特许申请2012-249179的申请，将其内容作为参照引入本说明书。
[0125]产业h的可利用件
[0126]在实施方式中，作为基板输送用机械手10、100的输送对象物例不了玻璃基板,但对于玻璃基板以外的金属制、树脂制等的板状体也能够使用实施方式的基板输送用机械手
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[0127]对于作为第I基板输送用机械手10的输送对象的玻璃基板，考虑到因挠曲过多导致的玻璃基板的破损，厚度优选的是0.5mm以上。另外，该情况下的玻璃基板的尺寸优选的是纵横的长度为500_X 1500mm。
[0128]对于作为第2基板输送用机械手100的输送对象的玻璃基板，由于利用抵接构件102抑制玻璃基板的挠曲，因此即使是厚度小于0.5mm (例如0.2mm)的玻璃基板也能够对其进行输送。另外，在该情况下，即使是纵横的长度超过2400_X2100_的玻璃基板也能够对其进行输送。
【权利要求】
1.一种基板输送用机械手，其中， 该基板输送用机械手包括: 第I对基板支承构件，它们平行配置； 驱动部，其用于使上述第I对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动； 第2对基板支承构件，它们在与上述第I对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置； 平行连杆构件，其用于将上述第I对基板支承构件与上述第2对基板支承构件连结起来，并且该平行连杆构件与上述第I对基板支承构件在上述相互接近的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互接近的方向平行移动，且该平行连杆构件与上述第I对基板支承构件在上述相互远离的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互远离的方向平行移动； 第I保持部，其沿着上述第I对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部；以及 第2保持部，其沿着上述第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部。
2.根据权利要求1所述的基板输送用机械手，其中， 上述驱动部包括: 引导构件，其用于引导上 述第I对基板支承构件而使上述第I对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向自由移动； 驱动源，其用于向上述第I对基板支承构件传递动力而使上述第I对基板支承构件向上述相互接近的方向以及上述相互远离的方向平行移动；以及 支承构件，上述引导构件以及上述驱动源安装于该支承构件。
3.根据权利要求1或2所述的基板输送用机械手，其中， 在上述驱动部连结有用于使上述基板输送用机械手从上述基板的接收位置移动至交付位置的输送部件。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的基板输送用机械手，其中 在上述第I保持部以及上述第2保持部设有用于吸附保持上述基板的吸附构件。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的基板输送用机械手，其中， 在上述基板的上表面涂敷有树脂液，上述基板的下表面的缘部由上述第I保持部以及上述第2保持部保持。
6.根据权利要求3~5中任一项所述的基板输送用机械手,其中， 在上述驱动部设有用于与上述基板的下表面抵接的抵接构件。
7.根据权利要求6所述的基板输送用机械手，其中， 上述抵接构件包括从上述驱动部延伸出来的臂构件和设于上述臂构件并且用于与上述基板的下表面抵接的销状构件。
8.根据权利要求7所述的基板输送用机械手，其中， 上述销状构件以利用升降部件相对于上述臂构件自由升降的方式设置于上述臂构件。
9.根据权利要求7所述的基板输送用机械手，其中，上述臂构件以利用升降部件相对于上述驱动部自由升降的方式设置于上述驱动部。
10.一种基板输送方法，其中， 该基板输送方法使用权利要求3~9中任一项所述的基板输送用机械手将基板从用于在上述基板的上表面涂敷树脂的涂敷部输送至用于使涂敷于上述基板的上表面的上述树脂干燥的干燥部。
【文档编号】B25J15/08GK103802120SQ201310565625
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月13日 优先权日:2012年11月13日
【发明者】立山优贵, 伊藤泰则 申请人:旭硝子株式会社