一种光驱动的微夹钳装置制造方法

文档序号:2377440阅读:260来源:国知局
一种光驱动的微夹钳装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种镧改性锆钛酸铅陶瓷双晶片驱动的微夹钳装置,包括基座、紫外通光孔、PLZT双晶片、一级放大机构、二级放大机构和夹持臂。PLZT双晶片一端与基座底端固连,另一端与一级放大机构固连,一级放大机构通过柔性铰链与基座侧壁固连,输出端与二级放大机构连接,二级放大机构以夹持臂为输出端。当PLZT双晶片上方受到紫外光照射时,PLZT双晶片会向下发生弯曲,经过一级放大机构传递分解和二级放大机构放大后,驱动夹持臂实现夹持动作;当PLZT双晶片下方受到紫外光源照射时,PLZT双晶片向上弯曲,实现夹持臂张开。本发明的光驱动微夹钳装置结构简单紧凑,可以实现光控非接触式控制,易于控制微夹钳的夹持和张开。
【专利说明】一种光驱动的微夹钳装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种微夹钳装置,特别是一种镧改性锆钛酸铅(PLZT)陶瓷双晶片驱动的微夹钳装置。
【背景技术】
[0002]随着科学研究对象向微小、超精密领域的方向的发展,机器人所要操作的对象也从宏观领域扩展到亚微米、纳米级的微观领域。微夹钳作为一种典型的微执行器,在微机械零件加工、微装配和生物工程等方面都有较广泛的应用。对于静电驱动、压电驱动、电热驱动和电磁驱动往往需要导线连接,易受到电磁干扰;液体粘附微夹持器对零件的形状要求严格,不能适用于所有的零件。而且微小零件容易受到静电吸引、电磁干扰和热损坏等影响,急需一种易于控制且不易受干扰的非接触式微夹钳装置。但是现有技术中尚无相关描述。

【发明内容】

[0003]本发明的目的在于提供一种光驱动的微夹钳装置。
[0004]实现本发明目的的技术解决方案为:一种光驱动的微夹钳装置,包括基座、第一紫外通光孔、PLZT双晶片、一级放大机构、二级放大机构、夹持臂、第二紫外通光孔,所述基座为“U”形结构,基座的侧壁与底部之间夹角为90°,基座的一个侧壁开有第一紫外通光孔,基座的另一个侧壁开有第二紫外通光孔,第一紫外通光孔与第二紫外通光孔相对设置,二者之间设置PLZT双晶片,该PLZT双晶片与基座的底部相固连,基座的两个侧壁之间设置一级放大机构,该一级放大机构包括主臂和副臂,主臂长度大于副臂的长度,主臂与基座的一个侧壁相固连,副臂与基座的另一个侧壁相固连,所述主臂上设置第一支点,主臂通过该支点与基座的侧壁相固连,该支点将主臂分为主臂输入臂和主臂输出臂,其中主臂输入臂与PLZT双晶片相固连,主臂输出臂通过第一连接臂与副臂的一端相连,副臂上设置第二支点,副臂通过第二支点与基座的侧壁相固连,第二支点将副臂分为副臂输入臂和副臂输出臂,其中与第一连接臂连接的一端为副臂输入臂,基座两个侧壁的顶端均设置二级放大机构,每个二级放大机构的另一端均设置夹持臂,其中主臂输出臂通过第二连接臂与一个二级放大机构相连,副臂输出臂通过第三连接臂与另一个二级放大机构相连,两个二级放大机构关于“U”形基座的中心线对称。
[0005]本发明与现有技术相比,其显著优点为:本发明的光驱动的微夹钳装置利用光电陶瓷的光致形变效应,使光能直接转化为机械能,取消了中间机械传动环节,使结构简单紧凑。同时,该装置的驱动源为紫外光,可实现光控非接触式操作,避免了电磁噪声干扰和对操作对象的影响。利用PLZT双晶片的快速响应速度,便于控制夹持臂的夹持与放开动作。适用于无线连接的微装配和微操作以及非接触式远程光控领域,尤其适用于易受电磁干扰的微夹钳装配操作场合。
[0006]下面结合附图对本发明作进一步详细描述。【专利附图】

【附图说明】
[0007]图1为光驱动的微夹钳装置立体示意图。
[0008]图2为一级放大机构内部示意图。
[0009]图3为光驱动的微夹钳装置平面示意图。
[0010]图中标号所代表的含义为:1.基座,2.第一紫外通光孔,3.PLZT双晶片,4.一级放大机构,5.二级放大机构,6.夹持臂,7.第二紫外通光孔,4-1.第一支点,4-2.第一连接臂,4-3.第二支点,4-4.第二连接臂,4-5.第三连接臂。
【具体实施方式】
[0011]本发明的一种光驱动的微夹钳装置,包括基座1、第一紫外通光孔2、PLZT双晶片
3、一级放大机构4、二级放大机构5、夹持臂6、第二紫外通光孔7,所述基座I为“U”形结构,基座I的侧壁与底部之间夹角为90°,基座I的一个侧壁开有第一紫外通光孔2,基座I的另一个侧壁开有第二紫外通光孔7,第一紫外通光孔2与第二紫外通光孔7相对设置,二者之间设置PLZT双晶片3,该PLZT双晶片3与基座I的底部相固连,基座I的两个侧壁之间设置一级放大机构4,该一级放大机构4包括主臂和副臂,主臂长度大于副臂的长度,主臂与基座I的一个侧壁相固连,副臂与基座I的另一个侧壁相固连,所述主臂上设置第一支点4-1,主臂通过该支点与基座I的侧壁相固连,该支点将主臂分为主臂输入臂和主臂输出臂,其中主臂输入臂与PLZT双晶片3相固连,主臂输出臂通过第一连接臂4-2与副臂的一端相连,副臂上设 置第二支点4-3,副臂通过第二支点4-3与基座I的侧壁相固连,第二支点4-3将副臂分为副臂输入臂和副臂输出臂,其中与第一连接臂4-2连接的一端为副臂输入臂,基座I两个侧壁的顶端均设置二级放大机构5,每个二级放大机构5的另一端均设置夹持臂6,其中主臂输出臂通过第二连接臂4-4与一个二级放大机构相连,副臂输出臂通过第三连接臂4-5与另一个二级放大机构相连,两个二级放大机构关于“U”形基座的中心线对称。
[0012]第一支点4-1与第一连接臂4-2之间为主臂第二输出臂,其长度为d2,主臂输出臂
的长度为Cl1,副臂输入臂的长度为d3,副臂输出臂的长度为d4,一级放大机构4中各臂的长
(1.d度满足了=言。
[0013]一级放大机构4、二级放大机构5和夹持臂6的材料均为铍青铜。
[0014]第一支点4-1和第二支点4-3为柔性铰链。
[0015]基座I与二级放大机构5之间通过柔性铰链连接。
[0016]下面进行更详细的描述:
[0017]结合图1,本发明的一种光驱动的微夹钳装置,包括基座1、第一紫外通光孔2、一级放大机构4、二级放大机构5、夹持臂6和第二紫外通光孔7等。
[0018]在PLZT双晶片3上下方基座I的侧壁上开有紫外通光孔2和紫外通光孔7,PLZT双晶片3 —端固定在基座I的底部上,形成悬臂梁结构,PLZT双晶片3另一端与一级放大机构4的主臂输入端固连,一级放大机构4的主臂和副臂分别通过柔性铰链与基座I的侧壁固连,一级放大机构4的输出端通过柔性铰链与二级放大机构5的输入端连接,二级放大机构5 —端与基座I的侧壁顶端连接,以夹持臂6为输出端。
[0019]当紫外通光孔2有紫外光照射时,PLZT双晶片3悬臂梁结构会向下发生弯曲,弯曲位移通过一级放大机构4,输出两个相同大小的位移,该两位移经过对称的二级放大机构5放大后通过夹持臂6输出,实现夹持动作;当紫外通光孔7有紫外光照射时,PLZT双晶片3悬臂梁结构会向上弯曲,弯曲位移通过一级放大机构4后,变为两个大小相同的位移,该两位移作为二级放大机构5的输入,经过二级放大机构5放大,驱动夹持臂6放开。
[0020]结合图2,一级放大机构4包括主臂和副臂,主臂长度大于副臂的长度,主臂与基座I的一个侧壁相固连,副臂与基座I的另一个侧壁相固连,所述主臂上设置第一支点4-1,主臂通过该支点与基座I的侧壁相固连,该支点将主臂分为主臂输入臂和主臂输出臂,其中主臂输入臂与PLZT双晶片3相固连,主臂输出臂通过第一连接臂4-2与副臂的一端相连,副臂上设置第二支点4-3,副臂通过第二支点4-3与基座I的侧壁相固连,第二支点4-3将副臂分为副臂输入臂和副臂输出臂,其中与第一连接臂4-2连接的一端为副臂输入臂,主臂第一输出臂通过第二连接臂4-4与二级放大机构5连接,副臂输出臂通过第三连接臂4-5与二级放大机构5连接。
[0021]结合图3, 为主臂输入臂的长度,M为主臂第一输出臂的长度,~BL力主臂第二输出臂的长度,W为副臂输入臂的长度,FG为副臂输出臂的长度,MH为二级放大机构5输入臂的长度,MO7为二级放大机构5输出臂的水平长度。
[0022]对于一级放大机构4的各段尺寸,要满足
【权利要求】
1.一种光驱动的微夹钳装置,其特征在于,包括基座[I]、第一紫外通光孔[2]、PLZT双晶片[3]、一级放大机构[4]、二级放大机构[5]、夹持臂[6]、第二紫外通光孔[7],所述基座[I]为“U”形结构,基座[I]的侧壁与底部之间夹角为90°,基座[I]的一个侧壁开有第一紫外通光孔[2],基座[I]的另一个侧壁开有第二紫外通光孔[7],第一紫外通光孔[2]与第二紫外通光孔[7]相对设置,二者之间设置PLZT双晶片[3],该PLZT双晶片[3]与基座[I]的底部相固连,基座[I]的两个侧壁之间设置一级放大机构[4],该一级放大机构[4]包括主臂和副臂,主臂长度大于副臂的长度,主臂与基座[I]的一个侧壁相固连,副臂与基座[I]的另一个侧壁相固连,所述主臂上设置第一支点[4-1],主臂通过该支点与基座[I]的侧壁相固连,该支点将主臂分为主臂输入臂和主臂输出臂,其中主臂输入臂与PLZT双晶片[3]相固连,主臂输出臂通过第一连接臂[4-2]与副臂的一端相连,副臂上设置第二支点[4-3],副臂通过第二支点[4-3]与基座[I]的侧壁相固连,第二支点[4-3]将副臂分为副臂输入臂和副臂输出臂,其中与第一连接臂[4-2]连接的一端为副臂输入臂,基座[I]两个侧壁的顶端均设置二级放大机构[5],每个二级放大机构[5]的另一端均设置夹持臂[6],其中主臂输出臂通过第二连接臂[4-4]与一个二级放大机构相连,副臂输出臂通过第三连接臂[4-5]与另一个二级放大机构相连,两个二级放大机构关于“U”形基座的中心线对称。
2.根据权利要求1所述的光驱动的微夹钳装置,其特征在于,第一支点[4-1]与第一连接臂[4-2]之间为主臂第二输出臂,其长度为d2,主臂输出臂的长度为Cl1,副臂输入臂的长度为d3,副臂输出臂的长度为山,一级放大机构[4]中各臂的长度满足
3.根据权利要求1所述的光驱动的微夹钳装置,其特征在于,一级放大机构[4]、二级放大机构[5]和夹持臂[6]的材料均为铍青铜。
4.根据权利要求1所述的光驱动的微夹钳装置,其特征在于,第一支点[4-1]和第二支点[4-3]为柔性铰链。`
5.根据权利要求1所述的光驱动的微夹钳装置,其特征在于,基座[I]与二级放大机构[5]之间通过柔性铰链连接。
【文档编号】B25J15/08GK103770123SQ201310675398
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年12月11日
【发明者】王新杰, 黄家瀚, 王炅, 陆静, 黄学功, 李光辉, 王家宁 申请人:南京理工大学
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