半自动清洗机的取料机构的制作方法

本实用新型属于半导体制造技术领域，特别是涉及一种半自动清洗机的取料机构。

背景技术：

现在的圆晶制造过程中，圆晶表面会附着各种有机化合物、金属杂质和微粒等，而圆晶表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，如果不对其清洗会大大降低半导体器件的性能和合格率，所以在半导体器件制造过程中，有20％的步骤为对圆晶的清洗，去除依附于圆晶表面上的有机化合物、金属杂质和微粒等污染物，提高半导体器件的性能和合格率。

圆晶清洗时会使用到腐蚀性的清洗剂，因此需要将产品通过耐腐蚀性机构转移至指定的清洗槽内。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种半自动清洗机的取料机构，全自动实现产品的取出和放回，结构精简，能够降低设备的生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构，所述第一取料杆上安装有至少一个第一取料臂，所述第二取料杆上安装有至少一个第二取料臂；

所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；

所述电机的输出轴上安装有第一齿轮，所述第一取料杆上安装有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。

本实用新型为解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：

进一步地说，还包括取料传感结构，所述取料传感结构包括接触臂、弹性连接件、接触座和传感器，所述弹性连接件的一端与所述接触臂连接，所述弹性连接件的另一端与所述接触座连接，所述传感器位于所述接触座的上方，所述接触座和所述传感器皆与保护外壳固定连接，所述保护外壳与所述第一取料臂/所述第二取料臂连接。

进一步地说，所述传感器的自由端为圆弧端，所述接触座与所述传感器接触的端面为圆弧端。

进一步地说，所述传感器的外周下部套有弹性件。

进一步地说，所述第一取料杆上安装有两个所述第一取料臂，两个所述第一取料臂沿所述第一取料杆的轴向分布；所述第二取料杆上安装有两个所述第二取料臂，两个所述第二取料臂沿所述第二取料杆的轴向分布。

进一步地说，所述连杆的一端与所述第一转动块的上部连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块的下部连接。

进一步地说，所述接触臂垂直位于所述第一取料臂/第二取料臂的上方。

进一步地说，所述第一取料臂和所述第二取料臂皆由耐腐蚀性材质制成。

本实用新型的有益效果至少具有以下几点：

1、本实用新型通过电机驱动第一取料杆和第二取料杆同时相对或相反方向转动，以使第一取料臂和第二取料臂同时相对或相反方向转动，实现产品的取出和放回的动作，结构精简，自动化程度高；

2、本实用新型取料传感结构中的接触臂与产品接触时，会使接触臂向相对于第一接触臂/第二接触臂的外侧倾斜，进而接触座也发生倾斜从而与传感器发生接触，传感器发出信号传递至控制器，控制器可判断第一接触臂/第二接触臂上是否有产品；

3、本实用新型接触臂和接触座之间具有弹性连接件，当第一接触臂/第二接触臂上无产品时，接触臂在弹性连接件的作用下可快速恢复原状。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是图1的a部放大图；

图3是本实用新型取料传感结构的结构示意图；

附图中各部分标记如下：

第一取料杆1、第一取料臂11、第二取料杆2、第二取料臂21、转动结构3、电机31、第一转动块32、第二转动块33、连杆34、第一齿轮35、取料传感结构4、接触臂41、弹性连接件42、接触座43、传感器44和弹性件45。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：一种半自动清洗机的取料机构，如图1-图3所示，包括第一取料杆1、第二取料杆2以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构3，所述第一取料杆上安装有至少一个第一取料臂11，所述第二取料杆上安装有至少一个第二取料臂21；

所述转动结构包括电机31、第一转动块32、第二转动块33和连杆34，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；

所述电机的输出轴上安装有第一齿轮35，所述第一取料杆上安装有第二齿轮36，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。

还包括取料传感结构4，所述取料传感结构包括接触臂41、弹性连接件42、接触座43和传感器44，所述弹性连接件的一端与所述接触臂连接，所述弹性连接件的另一端与所述接触座连接，所述传感器位于所述接触座的上方，所述接触座和所述传感器皆与保护外壳固定连接，所述保护外壳与所述第一取料臂/所述第二取料臂连接。

所述传感器的自由端为圆弧端，所述接触座与所述传感器接触的端面为圆弧端。弧形结构的设计不仅可以提高接触座与传感器接触的自由程度，还可以降低传感器与接触座多次接触后的摩擦受损程度。

所述传感器的外周下部套有弹性件45。

所述第一取料杆上安装有两个所述第一取料臂，两个所述第一取料臂沿所述第一取料杆的轴向分布；所述第二取料杆上安装有两个所述第二取料臂，两个所述第二取料臂沿所述第二取料杆的轴向分布。

所述连杆的一端与所述第一转动块的上部连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块的下部连接。

所述接触臂垂直位于所述第一取料臂/第二取料臂的上方。

所述第一取料臂和所述第二取料臂皆由耐腐蚀性材质制成。

本实用新型的工作原理如下：

本实用新型通过电机驱动第一取料杆和第二取料杆同时相对或相反方向转动，以使第一取料臂和第二取料臂同时相对或相反方向转动，实现产品的取出和放回的动作，结构精简，自动化程度高；

取料传感结构中的接触臂与产品接触时，会使接触臂向相对于第一接触臂/第二接触臂的外侧倾斜，进而接触座也发生倾斜从而与传感器发生接触，传感器发出信号传递至控制器，控制器可判断第一接触臂/第二接触臂上是否有产品。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种半自动清洗机的取料机构，其特征在于：包括第一取料杆(1)、第二取料杆(2)以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构(3)，所述第一取料杆上安装有至少一个第一取料臂(11)，所述第二取料杆上安装有至少一个第二取料臂(21)；

所述转动结构包括电机(31)、第一转动块(32)、第二转动块(33)和连杆(34)，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；

所述电机的输出轴上安装有第一齿轮(35)，所述第一取料杆上安装有第二齿轮(36)，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。

2.根据权利要求1所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：还包括取料传感结构(4)，所述取料传感结构包括接触臂(41)、弹性连接件(42)、接触座(43)和传感器(44)，所述弹性连接件的一端与所述接触臂连接，所述弹性连接件的另一端与所述接触座连接，所述传感器位于所述接触座的上方，所述接触座和所述传感器皆与保护外壳固定连接，所述保护外壳与所述第一取料臂/所述第二取料臂连接。

3.根据权利要求2所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述传感器的自由端为圆弧端，所述接触座与所述传感器接触的端面为圆弧端。

4.根据权利要求2所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述传感器的外周下部套有弹性件(45)。

5.根据权利要求1所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述第一取料杆上安装有两个所述第一取料臂，两个所述第一取料臂沿所述第一取料杆的轴向分布；所述第二取料杆上安装有两个所述第二取料臂，两个所述第二取料臂沿所述第二取料杆的轴向分布。

6.根据权利要求1所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述连杆的一端与所述第一转动块的上部连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块的下部连接。

7.根据权利要求2所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述接触臂垂直位于所述第一取料臂/第二取料臂的上方。

8.根据权利要求1所述的半自动清洗机的取料机构，其特征在于：所述第一取料臂和所述第二取料臂皆由耐腐蚀性材质制成。

技术总结
本实用新型公开了一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构；所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；所述电机的输出轴上安装有第一齿轮，所述第一取料杆上安装有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。本实用新型全自动实现产品的取出和放回，结构精简，能够降低设备的生产成本。

技术研发人员：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初
受保护的技术使用者：苏州睿智源自动化科技有限公司
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2021.08.20