一种保持位置式转臂机械手的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种保持位置式转臂机械，属于材料搬运用机械设备领域。
【背景技术】
[0002]在以前半自动清洗机台中，采用的机械手要实现工件由一个槽位移动到另一个槽位的工艺，在实际应用中存在着以下不足:
[0003]—种采用的是直立式旋转机械手:
[0004]A.整机的高度要高出很多，且在维修保养时不方便，需要使用梯子类工具爬到上面操作；
[0005]B.为了满足移位、振荡等工艺要求，直立式旋转机械手使用了 3个驱动部件且整个机构零件多，造成成本占了很多；
[0006]C.由于内部结构复杂以及空间的原因，拆装时不方便；
[0007]D.机械手在旋转时速度不平稳，工件会产生晃动。
[0008]另一种采用的是自由转动式转臂机械手，由于工件放在转臂转轴上是靠自身重力保持水平的，在运行过程中会产生晃动，极易与槽发生碰撞，造成槽及工件的损坏;而且转轴转动时产生摩擦，会出现颗粒，影响工件质量。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中机械手搬运不稳定容易晃动的技术问题，提供一种保持位置式转臂机械。
[0010]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0011]—种保持位置式转臂机械手，包括旋转驱动机构和物料固定机构，所述旋转驱动机构和物料固定机构之间通过传动机构连接，所述传动机构包括转动臂和传动轮组，其中转动臂一端与旋转驱动机构的转动输出轴固定连接；
[0012]所述物料固定机构包括一个固定臂，所述固定臂与转动臂的另一端转动连接；
[0013]所述传动轮组包括一个与旋转驱动机构的转动输出轴同轴固定连接的主动轮，还包括一个与固定臂同轴固定连接与转动臂一端转动连接的固定轮，所述主动轮和固定轮之间同速度传动连接。
[0014]作为本实用新型的进一步创新，所述主动轮和固定轮之间通过传动带传动连接。
[0015]作为本实用新型的进一步创新，所述旋转驱动机构包括驱动器和减速机，所述驱动器通过减速机与转动输出轴减速传动连接。
[0016]作为本实用新型的进一步创新，所述驱动器包括一个伺服电机。
[0017]作为本实用新型的进一步创新，所述转动臂包括两个固定板，所述传动轮组设置在两个固定板之间，所述两个固定板与转动输出轴固定连接。
[0018]作为本实用新型的进一步创新，所述两个固定板之间通过若干固定杆加固。
[0019]作为本实用新型的进一步创新，在所述固定臂上设置有花篮挂架，所述花篮挂架用于吊装安装晶圆片的花篮。
[0020]本实用新型的有益效果是:
[0021 ] 1、设计成在机台侧边安装的，方便日后维修;简化机械机构，使用少的零部件，来达到移位，振荡的工艺，且保证工件平稳不晃动，机械手速度可调;做到工件与机械手之间无摩擦，可以减少因摩擦而产生的颗粒。
[0022]2、固定轮、主动轮半径相同，所以转轴的转速与转臂的转速相同，保证了转轴被转臂带动时与水平面保持不变的角度。
[0023]3、同步带的松紧度可调，确保转轴转动时不会有间隙，避免了晃动。
[0024]4、减速机可以增大机械臂的抬升力，提尚抬举时的稳定性。
[0025]5、固定板采用双板结构，强度高，性能稳定。
[0026]6、伺服电机可以精确的控制其转动的圈数和角度，可以精确控制机械臂的转动速度和角度。
【附图说明】
[0027]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0028]图1是本实用新型的结构不意图；
[0029]图2是本实用新型的旋转状态示意图；
[0030]图中:1:伺服电机、2:减速机、3:转动输出轴、4:转动臂、5:固定臂、6:固定轮、7:主动轮、8:同步带、9:花篮挂架。
【具体实施方式】
[0031]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0032]如图1所示；
[0033]本机构由伺服电机1、减速机2、转动输出轴3、转动臂4、固定臂5、固定轮6、主动轮7、同步带8、花篮挂架9组成。
[0034]其中伺服电机I安装在减速机2输入端，转动输出轴3安装在减速机2输出端，减速机2通过一个支撑板固定在机架上，转动臂4 一端与转动输出轴3同轴固定；
[0035]转动臂4包括两个固定板，固定板之间通过固定杆加固，在两个固定板之间、对应转动臂4两端的位置分别设置有固定轮6和主动轮7，其中固定轮6同轴固定在转动输出轴3上，其中主动轮7与转动臂4一端转动连接，固定轮6和主动轮7半径相同，之间通过一个同步带8实现传动；
[0036]同时在转动臂4对应主动轮7的一端，转动连接有一个固定臂5，固定臂5与主动轮7同轴固定连接，在固定臂5上安装有花篮挂架9;
[0037]驱动时，伺服电机I动力通过减速机2输出给转动输出轴3，带转动臂4作旋转运动，转动臂4转动通过同步带8再带固定臂5作相反方向旋转，且固定臂5始终保持相对的角度不变，以实现花篮挂架9装在固定臂5上，在不用靠自身重力的前提下，保持下垂轴线与地面的角度，因为本结构不依靠花篮挂架9的重力包装垂直的温度，所以本结构不会因为固定臂5与转动臂4之间的摩擦力而产生花篮挂架9的晃动。
[0038]同时可以在转动臂4的转动路径上设置若干触压式的行程开关，在转动臂4转动到不同工位或者转动的极限位置时，可以自动的停止伺服电机I的转动，保证安全。
[0039]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.一种保持位置式转臂机械手，其特征是:包括旋转驱动机构和物料固定机构，所述旋转驱动机构和物料固定机构之间通过传动机构连接，所述传动机构包括转动臂和传动轮组，其中转动臂一端与旋转驱动机构的转动输出轴固定连接； 所述物料固定机构包括一个固定臂，所述固定臂与转动臂的另一端转动连接； 所述传动轮组包括一个与旋转驱动机构的转动输出轴同轴固定连接的主动轮，还包括一个与固定臂同轴固定连接与转动臂一端转动连接的固定轮，所述主动轮和固定轮之间同速度传动连接。2.如权利要求1所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:所述主动轮和固定轮之间通过传动带传动连接。3.如权利要求1所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:所述旋转驱动机构包括驱动器和减速机，所述驱动器通过减速机与转动输出轴减速传动连接。4.如权利要求3所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:所述驱动器包括一个伺服电机。5.如权利要求1所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:所述转动臂包括两个固定板，所述传动轮组设置在两个固定板之间，所述两个固定板与转动输出轴固定连接。6.如权利要求5所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:所述两个固定板之间通过若干固定杆加固。7.如权利要求1所述的一种保持位置式转臂机械手，其特征是:在所述固定臂上设置有花篮挂架，所述花篮挂架用于吊装安装晶圆片的花篮。
【专利摘要】本实用新型涉及一种保持位置式转臂机械手，包括旋转驱动机构和物料固定机构，旋转驱动机构和物料固定机构之间通过传动机构连接，传动机构包括转动臂和传动轮组，其中转动臂一端与旋转驱动机构的转动输出轴固定连接；物料固定机构包括一个固定臂，固定臂与转动臂的另一端转动连接；传动轮组包括一个与旋转驱动机构的转动输出轴同轴固定连接的主动轮，还包括一个与固定臂同轴固定连接与转动臂一端转动连接的固定轮，主动轮和固定轮之间同速度传动连接；简化机械机构，使用少的零部件，来达到移位，振荡的工艺，且保证工件平稳不晃动，机械手速度可调；做到工件与机械手之间无摩擦，可以减少因摩擦而产生的颗粒。
【IPC分类】B25J9/08, B25J9/12
【公开号】CN205325675
【申请号】CN201520644789
【发明人】卡尔.罗伯特.休斯特
【申请人】硅密（常州）电子设备有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2015年8月25日