专利名称：滑动部件及其表面加工方法
技术领域：
本发明涉及滑动部件例如用于精确形成微连接器或其它电子器件的模具(mold)以及加工该滑动部件的表面的方法。
背景技术：
工业上使用许多滑动部件如钻头或其它工具、模具和发动机部件。例如，在压模加工中，加工期间摩擦界面上的润滑机构极大地影响品质特性如加压成型品的毛刺的减少以及凸模(punch)或凹模(die)的模具的耐久性。这种润滑机构包括注入机构(将润滑剂注 入到摩擦界面中)和摩擦减小机构(使用润滑剂来减小摩擦界面上的摩擦)。一种注入机构使用材料表面上的凹凸来注入润滑剂。在工件或模具的表面上存在各种大小的凹凸(表面粗糙度)。加工前施用到工件或模具的润滑剂储存在表面上的凹陷中(储存效应)。当模具和工件彼此接触时，如果没有润滑剂逃逸的空间，则润滑剂包封在凹陷中并且维持这种状态供应到摩擦界面。含有润滑剂的凹陷被称作塑性加工中的微池或润滑剂池。这种类型的注入机构在所有类型的塑性加工中均是期望的。当为了利用这种储存效应而通过酸腐蚀、喷丸或喷砂来预先提高工件或模具的表面粗糙度时，容易注入润滑剂，通过摩擦减小机构而减小摩擦，并且可防止磨损或熔接。随着加压加工(press working)的进行，高的静水压(hydrostatic fluid pressure)施加到微池中的润滑剂并支持被加工表面的部分压力。在这种状态下，防止工件与模具之间的接触比增加(摩擦减小机构)。与此相关的技术信息描述于非专利文献I (" Tribology ofPress Working〃，由 Japan Metal Stamping Association 编辑，Sei ji Kataoka NikkanKogyo Shinbun, Ltd.出版)。用于在金属元件的表面上形成微池的现有技术公开于，例如，专利文献1(日本专利申请特开2005-144528号公报)、专利文献2 (日本专利申请特开7-18403号公报)和专利文献3 (日本专利申请特开2001-247948号公报)。专利文献I公开了这样的模具，在该模具表面的与工件接触的成型模面(diesurface)上形成大小约3 μ mX 3 μ mX I. 5 μ m的润滑剂池。当利用模具和工件之间存在的润滑剂进行成型加工时，润滑剂储存在润滑剂池中。因此，在模具的成型模面与工件的表面之间保持高润滑性的情况下形成工件。专利文献2公开了这样的金属元件，其中通过合金材料的热处理形成深度2 μ m以上、密度200个/mnT8200个/mm2和面积比10% 70%的微池。专利文献3公开了具有在表面上的凹槽和除该表面以外的其它表面中的粒状突起物的金属元件，所述凹槽的深度为0.1111^5.(^111、面积比为0. 19Γ30. 0%，所述粒状突起物从所述表面看直径为5nnT500nm、高度为5nnT500nm、面积比为30%以上(包括100%)。
现有技术通过在金属元件的表面上形成微池来改善润滑剂的保持性能。但是，如果这种金属元件反复用于加工，会发生工件与该金属元件表面的粘附，从而导致该金属元件的磨损和成型品的尺寸误差。
发明内容
本发明解决了这些问题，其中目的是提供使工件难以粘附到滑动部件的表面的滑动部件和加工该滑动部件的表面的方法。本发明的第一方面是滑动部件,其具有周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nnT3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构(其具有存在以下周期结构中的至少两种周期结构的表面结构周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nnT3000nm的第三周期结构)，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它周期结 构上。本发明的第二方面是根据第一方面的滑动部件，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种为波纹(ripple)结构。本发明的第三方面是根据第二方面的滑动部件，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种的波纹结构形成在与所述滑动部件的滑动方向垂直的方向上。本发明的第四方面是根据第一到第三方面中任一项的滑动部件，其中所述表面结构至少形成在所述滑动部件的边缘上。本发明的第五方面是使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，其中所述方法包括从与所述滑动部件的滑动方向平行的方向辐射气体簇离子束的步骤。本发明的第六方面是根据第五方面的加工滑动部件的表面的方法，其中由所辐射的气体簇离子束与所述滑动部件的表面的法线所形成的角度为30度 75度。本发明的效果根据本发明，所述滑动部件具有如下表面结构，该表面结构包括尺寸与粘附的尺寸类似的第二周期结构，尺寸大于粘附的尺寸的第三周期结构，和尺寸小于粘附的尺寸的第一周期结构中的至少两种周期结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它结构上，因此不太可能发生对滑动部件的粘附。此外，可延长滑动部件本身的寿命和保养周期(maintenance period)。
图I示意性地显示即使使用具有非常平整的表面的模具时在加压加工(现有技术)中也出现粘附，具体地，图1(a)显示加压加工前的状态，图1(b)显示加压加工后的状态。图2显示通过扫描电子显微镜观察到的转移粒子。图3示意性地显示使用在其表面上具有周期性凹凸的模具时在加压加工(现有技术)中出现粘附，具体地，图3(a)显示加压加工前的状态，图3(b)显示加压加工后的状态。图4示意性地显示使用在其表面上具有不规则凹凸的模具时在加压加工(现有技术)中出现粘附，具体地，图4(a)显示加压加工前的状态，图4(b)显示加压加工后的状态。图5显示使用根据本发明的滑动部件(模具)时在加压加工中没有出现粘附，具体地，图5(a)显示加压加工前的状态，图5(b)显示加压加工后的状态。图6显示由原子力显微镜观察的一组图像和示意图，具体地，图6(a)显示由原子力显微镜观察的第一至第三周期结构的形状的观察结果；图6(b)显示由原子力显微镜观察的第一和第二周期结构的形状的观察结果；图6(c)是由图6(b)中方块圈起部分的示意图。图7显示周期结构的示意图，具体地，图7(d)为图6(a)中第一至第三周期结构的示意图，和图7(e)是图7(d)中双头箭头所示部分的放大视图并示意性地显示将第一、第二和第三周期结构组合的表面结构。图8显示模具的示意图和由扫描电子显微镜观察的图像，具体地，图8(a)是冲压 模具(punch mold)的示意图，图8(b)显示图8(a)中方块圈起部分的观察结果,和图8 (c)是图8(b)中圆圈圈起部分的放大视图。图9显示实施例和对比例中进行的滑动试验的步骤，具体地，图9 (a)显示将工件设置在一定位置的步骤，图9(b)显示将冲压模具重击到工件中的步骤，图9 (c)显示将冲压模具从工件中拉出的步骤。图IOA列出实施例f 10中进行的滑动试验的结果。图IOB列出实施例If 20中进行的滑动试验的结果。图IOC列出实施例2广25以及对比例中进行的滑动试验的结果。
具体实施例方式如前所述，如果预先在滑动部件的表面上形成小的凹凸，加工前施加到滑动部件或其相对物(counterpart)的润滑剂储存在表面上的凹陷(微池)中。当滑动部件与其相对物彼此接触时如果没有润滑剂逃逸的空间，则润滑剂包封在微池中并维持这种状态供应到摩擦界面。即使当润滑剂注入机构将大量润滑剂供应到摩擦界面时，然而也很少在整个摩擦界面上形成连续的流体润滑膜。这对于例如加压加工而言尤其如此。在摩擦界面上存在两种接触状态固/固接触状态(其中滑动部件与其相对物彼此接触)和固/液接触状态(其中滑动部件与微池中的润滑剂彼此接触)。在固/固接触状态中，边界润滑是支配性的，而且在摩擦界面处出现金属结合。另一方面，在固/液接触状态中，将高的静水压施加到微池中的润滑剂并且实现与流体润滑类似的状态。例如，如果模具(其为滑动部件I)具有非常平整的表面，如图I所示，由于润滑剂2从模具和工件3之间的摩擦界面逃逸出来，工件3容易与模具粘附。附图标记4指示粘附部分(附图标记仅指示一个粘附部分以消除附图的复杂性)。图2显示通过扫描电子显微镜观察的工件3与模具的粘附。观察到转移粒子(transfer particle)(在图中由圆圈圈起)，所述转移粒子是由于当工件3的粘附部件4与模具分离时部分工件残留在模具的表面上而形成的。观察发现许多转移粒子具有几百纳米到一微米的直径。当如现有技术一样在模具的表面上形成周期性凹凸Ia时，如图3所示，由于润滑剂2供应到摩擦界面而缓和固/固接触状态和减少工件3的粘附。此外，当如图4所示在模具的表面上形成不规则的凹凸时，也减少了工件3的粘附。然而，在这种条件下，不可能防止与工件3的粘附。这是因为如上所述边界润滑在固/固接触状态中是支配性的。在工件3的表面上存在凹凸、瑕疵、晶粒边界、累积的加工应变等。这些不平整部分(例如，高的凸起)和模具表面之间的摩擦导致尺寸约IOOnnTl μ m的粘附。本发明人发现，与现有技术相比，通过在滑动部件I的表面上形成以下中的至少两种微池可将明显较大量的润滑剂供应到摩擦界面直径类似于粘附的直径(约ΙΟΟηπΓ μπι)的微池，周期( ΙμπΓ Ομπι)比粘附的尺寸大的微池，周期(IOnnTlOOnm)比粘附的尺寸小的微池。具体地，根据本发明的滑动部件具有包括以下中的至少两种周期结构的表面结构周期10nm 100nm、深度5nm 50nm的第一周期结构，周期100nm 1000nm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nnT3000nm的第三周期结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它周期结构上。如果根据本发明的滑动部件I用于加压加工或其它加工，在整个摩擦界面上形成连续的流体润滑膜，从而防止工件3的粘附(参见图5)。可通过直径比转移粒子的直径大的微池(周期ΙμπΓ Ομπι)实现流体润滑的原因推测为润滑剂通过微米级的楔效应以多个阶段供应到摩擦界面(对于楔效应参见非专利文献I)。因此，滑动部件的表面结构应为楔形的。另一方面，考虑使用直径小于转移粒子的直径的微池(周期IOnnTlOOnm)来缓和摩擦界面处液体润滑状态中引起的微固体接触的接触压力的机理。这种作用可抑制工件3与滑动部件I的表面的粘附。本发明人还发现，可通过对滑动部件辐射气体簇离子束在该滑动部件上形成表面结构。气体簇离子束加工是射束方法，因此可将气体簇离子束辐射到滑动部件的一部分，例如滑动部件的边缘。可通过辐射气体簇离子束使气体簇离子束与滑动部件的表面的法线所形成的角度典型地变为30度 75度而在滑动部件的表面上形成精细的波纹结构。优选的是波纹结构的线条(line)在与滑动方向垂直的方向延伸以将润滑剂储存在微池中。公开于例如日本专利No. 3994111的气体簇离子束装置可用于在滑动部件的表面上形成以上表面结构。将源气体从喷嘴注入到保持在真空下的簇发生室以使气体分子聚集，从而产生簇。将该簇作为气体簇射束通过分离器(skimmer)导入电离室。在该电离室中，电离器将电子束如热电子辐射至中性簇以使它们电离。经电离的气体簇射束通过加速电极加速。入射的气体簇离子束通过孔径调节以具有预定的射束直径并辐射到滑动部件。例如，当使由电绝缘体制成的滑动部件的表面平整化时，可通过电子预先中和气体簇离子。可通过倾斜滑动部件来控制气体簇离子束辐射到滑动部件表面的角度。此外，可通过使用X-Y平台或旋转机构垂直或水平地移动滑动部件或者旋转滑动部件而将气体簇离子束以任何方向辐射。存在这样的机理，即使没有对滑动部件或其相对物施用导致静水压在微池中产生的润滑剂，也会通过该机理在微池中储存的水中产生静水压，因为吸附在滑动部件或其相对物的表面上的通常气氛中的水分起到润滑剂的作用和产生液压。因此，在本发明中不是必须要求施用润滑剂。以下将描述根据本发明的实施例和用于证实实施例效果的对比例。[实施例I]通过研削加工制作作为滑动部件I实例的冲压模具。该冲压模具由超硬材料(日本工业标准V20)制成。该冲压模具具有矩形(ImmX 2mm)底部。向该冲压模具的侧面辐射气体簇离子束，该辐射方向与冲压模具相对于工件3的滑动方向平行，使得由该冲压模具表面的法线与所述气体簇离子束形成的角度为60度。滑动方向如图6(a)、9 (a)和9 (c)中箭头所示。氩气用作源气。加速电压为20kV和辐射剂量为3X IO18离子/cm2。在辐射完成后，通过扫描电子显微镜和原子力显微镜观察该冲压模具。在该冲压模具的侧面和边缘观察到周期结构。通过原子力显微镜观察的周期结构的形状在图6和图7中示出。通过扫描电子显微镜观察的周期结构在图8中示出。各个周期结构具有其中线条在与滑动方向垂直的方向上延伸的波纹结构。具体地观察到，如图7(e)所示，三种类型的周期结构组合。第一周期结构具有20nnT70nm的周期和IOnm的平均深度，第二周期结构具有200nnT500nm的周期和75nm的平均深度，和第三周期结构具有2000nnT3000nm的周期和320nm的平均深度。此外，在这些周期结构中，第一周期结构具有粒状结构(参见图6 (c))，第二和第三周期结构具有其中线条在与滑动方向垂直的方向上延伸的波纹结构(对于第二周期结构参见图6(b)或对于第三周期结构参见图6(a))。进行滑动试验，其中通过设置在压床中的冲压模具冲压施用了润滑剂(环烷系矿物油)的厚度O. Imm的不锈钢板(日本工业标准SUS304)(参见图9)。不锈钢板(日本工 业标准SUS304)等同于工件3。附图标记7表示凹模。每十万次冲击时通过扫描电子显微镜观察冲压模具的侧壁上是否存在转移粒子5，并且通过能量分散X射线分析对粒子的组成进行分析。直到至少一千万次冲击前未观察到粒子5从工件3 (不锈钢板)转移(参见图10A)。在图IOA IOC中，EE表示实施例；CE表示对比例；AccV表示加速电压(kV) ;Dose表示剂量(离子/cm2) ;IrrA表示福射角度(度)；Prd表示周期(nm) ;Dpth表示深度(nm) ；S50表不五十万次冲击；S100表不一百万次冲击；S200表不两百万次冲击；S400表不四百万次冲击；S1000表示一千万次冲击；符号X表示没有产生粘附，和符号〇表示出现粘附。[实施例2 21]通过改变气体簇离子束的辐射条件在冲压模具的表面上形成第一至第三周期结构，并且进行与实施例I相同的滑动试验。气体簇离子束的辐射条件、与辐射条件对应的第一至第三周期结构的周期和深度、以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOB和IOC中示出。在实施例f 17中，改变气体簇离子束的辐射角度。在实施例I、18和19中，改变气体簇离子束的加速电压。在实施例I、20和21中，改变气体簇离子束的剂量。[实施例22 24]改变滑动部件的材料，但是其它条件与实施例I相同。在实施例22中，冲压模具的材料为模具钢SKDlU日本工业标准)且工件3的材料为不锈钢SUS304(日本工业标准)。在实施例23中，冲压模具的材料为模具钢SKDlU日本工业标准)且工件3的材料为磷青铜。在实施例24中，冲压模具的材料为超硬材料(V20)且工件3的材料为磷青铜。进行与实施例I相同的滑动试验。气体簇离子束的辐射条件、对应于辐射条件的第一至第三周期结构的周期和深度、以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[实施例25]通过研削加工制作冲压模具。该冲压模具的材料为超硬材料(V20)。该冲压模具具有矩形(lmmX2mm)底部。通过超精密五轴加工机器在该冲压模具的侧面上形成周期结构。该周期结构是其中线条在与滑动方向垂直的方向上延伸的线条-间隔结构(line-and-space structure)。然后,进行与实施例I相同的滑动试验。第二和第三周期结构的周期和深度、以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[对比例I]将气体簇离子束的辐射角度设置为O度，此时辐射方向与冲压模具侧面的法线方向一致。其它条件与实施例I相同。在这种加工中，在冲压模具的侧面上仅形成第一周期结构，并进行与实施例I相同的滑动试验。气体簇离子束的辐射条件、对应于辐射条件的第一周期结构的周期和深度、以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[对比例2]在冲压模具的侧面上仅形成第二周期结构。其它条件与实施例25相同。进行与 实施例I相同的滑动试验。第二周期结构的周期和深度以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[对比例3]在冲压模具的侧面上仅形成第三周期结构。其它条件与实施例25相同。进行与实施例I相同的滑动试验。第三周期结构的周期和深度以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[对比例4]以与实施例I相同的条件制作冲压模具，除了改变气体簇离子束的辐射方向。气体簇离子束的辐射方向改变成与滑动方向平行。第一至第三周期结构形成为使波纹结构(其为第二周期结构)中的线条在与滑动方向平行的方向上延伸。第一至第三周期结构的周期和深度以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。[对比例5]以与实施例I相同的条件制作冲压模具，除了改变气体簇离子束的辐射方向。气体簇离子束的辐射方向改变成使辐射方向与滑动方向形成的角度变为45度。第一至第三周期结构形成为使波纹结构(其为第二周期结构)中的线条与滑动方向形成的角度变为45度。进行与实施例I相同的滑动试验。第一至第三周期结构的周期和深度以及是否在冲压模具的侧壁上出现转移粒子5在图IOC中示出。从实施例f 21和对比例I的结果中发现以下事实。当只形成第一周期结构时，转移粒子5粘附到冲压模具的表面，即使冲压次数少至五十万次冲击。另一方面，当在冲压模具的表面上形成第一、第二和第三周期结构中的至少两种时，显著抑制了转移粒子5的产生。当如实施例7 15所示形成所有的第一、第二和第三周期结构时，可得到更加明显的效果并且直至四百万次冲击时都没有产生转移粒子5。将由气体簇离子束的辐射方向与冲压模具侧面的法线所形成的角度设定为30度 75度足以形成所有三种周期结构。实施例I和22 24的结果显示，本发明的效果不依赖于滑动部件的材料。考虑实施例25与对比例2和3显示，如果只形成三种周期结构中的一种则无法得到任何效果。需要在冲压模具上形成三种周期结构中的至少两种以得到效果。考虑实施例I与对比例4和5显示，如果滑动部件具有其中线条在与滑动部件的滑动方向基本上垂直的方向上延伸的波纹结构则可防止粘附。
除了以上实施例之外，也可将气体簇离子束辐射到陶瓷或硅材料以形成至少两种周期结构来改善滑动部件的滑动耐久性。本发明利用了其中气体簇离子束在使尖锐的凸起平整化的同时形成周期结构如波纹的本质现象。因此，清楚的是各种条件如气体簇的类型和加速能量，以及滑动部件和润滑剂的材料不受特殊限制。此外，以上表面结构不需要存在于所有的滑动区域上，而只需要存在于例如滑动部件的边缘。在以上实施例中，如图7(e)所示，当滑动部件I (冲压模具)插入到工件3中时在面对滑动部件I的第三周期结构的一部分上形成第一周期结构和/或第二周期结构。这是因为仅从一个方向对滑动部件I的侧面辐射气体簇离子束；如果在合适的辐射条件下从与该方向相反的方向辐射气体簇离子束，则可以在第三周期结构的以上部分的背面上形成第一周期结构和/或第二周期结构。考虑到当滑动部件I插入到工件3中时的摩擦阻力大于从工件3中拉出滑动部件I时的摩擦阻力，第一周期结构和/或第二周期结构优选在第三周期结构的以上部分上形成，并且第一周期结构和/或第二周期结构也优选形成在第三周期结构的以上部分的背面上。当在滑动部件I的表面上形成第一周期结构和第二周期结构时也是如此。
已经给出了本发明实施方式的上述描述以进行说明和描述。其不意图为穷尽的或者将本发明限制为公开的确切形式。可行按照以上教导进行改进和变型。对实施方式进行选择和描述以说明本发明的原理及其实际应用，以便使本领域的普通技术人员能够以各种实施方式以及以适合于预期的具体应用的各种变型来利用本发明。当根据公平、合法和公正的宽度解释本发明时，所有这样的改进和变型均在由所附权利要求确定的本发明的范围内。
权利要求
1.使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从与所述滑动部件的滑动方向平行的方向将所述气体簇离子束辐射到滑动部件的表面的步骤，以形成滑动部件表面上的表面结构，所述表面结构为如下结构，其中1)具有周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nnT3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构,和2)所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
2.使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从与所述滑动部件的滑动方向平行的方向将气体簇离子束辐射到滑动部件的表面和从与上述方向相反的方向将另一气体簇离子束辐射到滑动部件的表面的步骤，以形成滑动部件表面上的表面结构，所述表面结构为如下结构，其中1)具有周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nnT3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构，和2)所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
3.使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从由辐射的所述气体簇离子束与所述滑动部件的表面的法线所形成的在30度 75度范围内的角度将气体簇离子束辐射到滑动部件的表面的步骤，以形成滑动部件表面上的表面结构，所述表面结构为如下结构，其中1)具有周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期lOOOnnTlOOOOnm、深度100nm 3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构，和2)所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
4.使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从由辐射的气体簇离子束与所述滑动部件的表面的法线所形成的在30度 75度范围内的角度将气体簇离子束辐射到滑动部件的表面和从与上述气体簇离子束的辐射方向相反的方向将另一气体簇离子束辐射到滑动部件的表面的步骤，以形成滑动部件表面上的表面结构，所述表面结构为如下结构，其中1)具有周期lOnnTlOOnm、深度5nnT50nm的第一周期结构，周期lOOnnTlOOOnm、深度20nm 500nm的第二周期结构，和周期1000nm 10000nm、深度100nm 3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构，和2)所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
5.根据权利要求1-4中任一的方法，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种为波纹结构。
6.根据权利要求5的方法，其中所述第二周期结构和所述第三周期结构中的至少一种的波纹结构形成在与所述滑动部件的滑动方向垂直的方向上。
7.根据权利要求1-4中任一的方法，其中所述表面结构至少形成在所述滑动部件的边缘上。
全文摘要
本发明涉及滑动部件及其表面加工方法。所述滑动部件具有周期10nm~100nm、深度5nm~50nm的第一周期结构，周期100nm~1000nm、深度20nm~500nm的第二周期结构和周期1000nm~10000nm、深度100nm~3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它周期结构上。
文档编号B32B3/30GK102925901SQ2012103279
公开日2013年2月13日 申请日期2011年1月20日 优先权日2010年2月1日
发明者佐藤明伸, 铃木晃子, 河野健司 申请人:日本航空电子工业株式会社