专利名称：1940纳米带通红外滤光片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种滤光片，特别是1940纳米带通红外滤光片。
背景技术：
在许多エ业生产领域，需要对物料(如冶金钢铁行业的烧结物料、食品加工行业的粮食物料和烟草行业的烟丝等)的水分进行精确检测，一保证产品的质量，提高生产效率，降低能源消耗。现大多采用红外水分仪来测量各种物料的水分，为了确保检测的精准度,在红外水分仪内设有滤光片。 但是，目前用于水分测量的1940纳米带通红外滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种峰值透过率高，能极大的提高信噪比的1940纳米带通红外滤光片。为了实现上述目的，本实用新型所设计的1940纳米带通红外滤光片，包括以Bk7玻璃为原材料的基板、以Si和SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以SiO和Si为镀膜材料的第二镀膜层，所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是第一镀膜层包含从内向外依次排列的厚度为30nm的Si层、厚度为154nm的SiO层、厚度为76nm的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为53的Si层、厚度为132nm的SiO层、厚度为67的Si层、厚度为112nm的SiO层、厚度为62的Si层、厚度为131nm的SiO层、厚度为63的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为75的Si层、厚度为227nm的SiO层、厚度为78的Si层、厚度为137nm的SiO层、厚度为88的Si层、厚度为218nm的SiO层、厚度为102的Si层、厚度为196nm的SiO层、厚度为60的Si层、厚度为168nm的SiO层、厚度为122的Si层、厚度为226nm的SiO层、厚度为275的Si层、厚度为278nm的SiO层、厚度为157的Si层、厚度为472nm的SiO层、厚度为155的Si层、厚度为329nm的SiO层、厚度为225的Si层、厚度为337nm的SiO层、厚度为185的Si层、厚度为446nm的SiO层、厚度为163的Si层以及厚度为235nm的SiO层；第二镀膜层包含从内向外依次排列的厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为260nm的SiO层、厚度为97nm的Si层以及厚度为204nm的SiO层。上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在IOnm左右。[0007]本实用新型得到的1940纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位在1940±1%纳米，峰值透过率达90%以上，截止区透过率小于0. I %，极大地提高了信噪比，提高应用领域产品的探測精度和效能。
图I是实施例的整体结构示意图；图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。图中基板I、第一镀膜层2、第二镀膜层3。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进ー步说明。实施例如图I所示，本实施列提供的1940纳米带通红外滤光片，包括以Bk7玻璃为原材料的基板I、以Si和SiO为镀膜材料的第一镀膜层2和以SiO和Si为镀膜材料的第二镀膜层3，所述基板I位于第一镀膜层2和第二镀膜层3之间，第一镀膜层2包含从内向外依次排列的厚度为30nm的Si层、厚度为154nm的SiO层、厚度为76nm的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为53的Si层、厚度为132nm的SiO层、厚度为67的Si层、厚度为112nm的SiO层、厚度为62的Si层、厚度为131nm的SiO层、厚度为63的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为75的Si层、厚度为227nm的SiO层、厚度为78的Si层、厚度为137nm的SiO层、厚度为88的Si层、厚度为218nm的SiO层、厚度为102的Si层、厚度为196nm的SiO层、厚度为60的Si层、厚度为168nm的SiO层、厚度为122的Si层、厚度为226nm的SiO层、厚度为275的Si层、厚度为278nm的SiO层、厚度为157的Si层、厚度为472nm的SiO层、厚度为155的Si层、厚度为329nm的SiO层、厚度为225的Si层、厚度为337nm的SiO层、厚度为185的Si层、厚度为446nm的SiO层、厚度为163的Si层以及厚度为235nm的SiO层；第二镀膜层3包含从内向外依次排列的厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为260nm的SiO层、厚度为97nm的Si层以及厚度为204nm的SiO层。如图2所示，本实施例得到的1940纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位为1940 土 I %纳米，峰值透过率达90 %以上，截止区透过率小于0.1%。
权利要求1.一种1940内米带通红外滤光片，包括以Bk7玻璃为原材料的基板(I)、以Si和SiO为镀膜材料的第一镀膜层(2)和以SiO和Si为镀膜材料的第二镀膜层(3)，所述基板(I)位于第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3)之间，其特征是第一镀膜层(2)包含从内向外依次排列的厚度为30nm的Si层、厚度为154nm的SiO层、厚度为76nm的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为53的Si层、厚度为132nm的SiO层、厚度为67的Si层、厚度为112nm的SiO层、厚度为62的Si层、厚度为131nm的SiO层、厚度为63的Si层、厚度为121nm的SiO层、厚度为75的Si层、厚度为227nm的SiO层、厚度为78的Si层、厚度为137nm的SiO层、厚度为88的Si层、厚度为218nm的SiO层、厚度为102的Si层、厚度为196nm的SiO层、厚度为60的Si层、厚度为168nm的SiO层、厚度为122的Si层、厚度为226nm的SiO层、厚度为275的Si层、厚度为278nm的SiO层、厚度为157的Si层、厚度为472nm的SiO层、厚度为155的Si层、厚度为329nm的SiO层、厚度为225的Si层、厚度为337nm的SiO层、厚度为185的Si层、厚度为446nm的SiO层、厚度为163的Si层以及厚度为235nm的SiO层；第二镀膜层(3)包含从内向外依次排列的厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为264nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为1584nm的SiO层、厚度为135nm的Si层、厚度为260nm的SiO层、厚度为97nm的Si层以及厚度为204nm的SiO层。
专利摘要本实用新型公开了一种1940纳米带通红外滤光片，包括以Bk7玻璃为原材料的基板、以Si和SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以SiO和Si为镀膜材料的第二镀膜层，所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是所述第一镀膜层包括从内向外依次排列的厚度不同的Si层和SiO层，所述Si层和SiO层交互排列；所述第二镀膜层包括从内向外依次排列的厚度不同的SiO层和Si层，所述SiO层和Si层交互排列。本实用新型得到的1940纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位在1940±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，极大地提高了信噪比，提高应用领域产品的探测精度和效能。
文档编号B32B15/00GK202472021SQ20122009099
公开日2012年10月3日 申请日期2012年3月12日 优先权日2012年3月12日
发明者吕晶 申请人:杭州麦乐克电子科技有限公司