专利名称：用于微滴沉积装置的喷嘴板的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于微滴沉积装置的喷嘴板。
喷嘴板通常安装在具有多个喷墨腔的微滴沉积装置的主体上，以便为各腔提供相应的微滴喷嘴。由于必须以高精度在喷嘴板中形成喷嘴以例如保证从喷射腔中喷出的微滴的尺寸和速度的一致性，因此通常采用激光烧蚀来在喷嘴板中形成喷嘴。通常采用塑料如聚酰亚胺、聚砜或其它这类可激光烧蚀的塑料来形成喷嘴板，在将墨水排斥层涂覆到喷嘴板的一个表面上之后，通过将喷嘴板暴露于适当直径的激光束如准分子激光束下来形成各个喷嘴。接着将带有所完成的喷嘴的喷嘴板粘结到装置的主体上，并使各喷嘴与形成于主体中的相应腔对准。
使用塑料制造喷嘴板会使喷嘴板的强度较弱而易受到机械损伤。虽然可采用较硬的材料如金属或陶瓷材料来制造喷嘴板，但是在这种喷嘴板中不太容易形成精确的喷嘴。
本发明力图在其优选实施例中解决上述和其它的问题。
在本发明的第一方面中，提供了一种用于微滴沉积装置的喷嘴板，该喷嘴板包括主体和多个喷嘴，各喷嘴具有入口、出口，以及在入口和出口之间延伸并形成为穿过形成于主体的开口内的聚合物材料的内孔。
这使得喷嘴板主体能够用相对较硬的材料如塑料、金属或陶瓷材料制成，同时还能在聚合物材料中容易且精确地形成喷嘴。
聚合物材料最好包括环氧树脂、聚对亚苯基二甲基材料、聚酰亚胺或热塑性塑料中的一种。主体可由金属材料如含有镍和铁的合金如Nilo或陶瓷材料如PZT、氧化铝或氧化锆制成。
内孔最好朝向出口收缩。在一个实施例中，一层聚合物材料在主体的粘结表面上延伸。当用粘结或其它方法将这一表面安装在微滴沉积装置上时，聚合物材料层可用于使主体与装置的其余部分电绝缘。
出口可相对于主体的表面下凹。这可保护出口免受机械损伤。
本发明的这一方面可推广到包括多个通道和上述喷嘴板的微滴沉积装置中，其中安装在该装置上的喷嘴板为每个通道提供了一个相应的喷嘴以从中喷出微滴。
该装置可包括基底和从基底中延伸出来以形成所述通道的通道分隔侧壁，喷嘴板安装在侧壁上的与基底相反的表面上。因此，喷嘴板可用作这种微滴沉积装置的盖板；迄今为止，对于微滴从墨水通道的顶部处喷出的这种“边缘发射”型装置来说，必须同时使用相对较硬的盖板和安装在盖板上的塑料喷嘴板，因此，本发明使得能够减少形成这种装置所需的部件的数量。喷嘴板的主体最好由热膨胀系数基本上与侧壁相同的材料制成。
在本发明的第二方面中，提供了一种制造用于微滴沉积装置的喷嘴板的方法，所述方法包括步骤在主体中形成开口；将聚合物材料引入到开口中；以及在聚合物材料中形成喷嘴，所述喷嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之间延伸穿过聚合物材料的内孔。
开口最好通过蚀刻或其它任何适当的工艺如激光切割、机械钻孔、冲孔和电成形而形成于主体中。最好采用模制技术将聚合物材料引入到开口中，并最好基本上填满开口。
该方法最好包括在聚合物材料中形成下凹部分的步骤。使聚合物材料相对于主体的一个表面下凹可在使用时保护喷嘴出口免受机械损伤。
在一个实施例中，该方法包括步骤将柔性表面施加到主体的一个表面上；将主体与柔性表面压紧以使柔性表面发生变形而进入到开口中，从而使聚合物材料下凹。这样就提供了一种相对简单和可控制的方式来形成下凹部分。
喷嘴的至少一部分通过激光烧蚀法形成。在形成喷嘴之前，最好将保护层涂覆到待形成出口的聚合物材料的表面上。这样就可有效地保护该表面、尤其是将去除材料的区域周围不受高能自由基烧蚀产物的影响。保护层最好通过粘合剂层而可释放地粘结到所述表面上。保护层本身最好是可烧蚀的。保护层的更详细的情况在本发明人的国际专利申请WO 96/08375中有介绍，该申请的内容通过引用结合于本文中。
或者，喷嘴的至少一部分可通过热压或锻造来形成，例如可通过将形状与喷嘴一致的模具压入到聚合物材料中来形成。在一个优选实施例中，使用具有多个成形部分的模具来同时形成多个喷嘴，其中各成形部分被压入到形成于主体内的相应插塞中，从而在所述插塞中形成喷嘴。这样就能够更快速地制造喷嘴板。
虽然成形部分可将聚合物材料从开口中冲出以形成具有大致圆柱形内孔的喷嘴，然而最好对成形部分在聚合物材料中的封闭程度进行限制，以控制形成于聚合物材料中的喷嘴的形状。这使得能够形成朝喷嘴出口收缩的内孔。
模具最好具有在所述成形部分周围延伸的基本上平面的部分，因此在所述加压过程中从开口中挤出的聚合物材料在所述平面部分和所述主体的表面之间形成了聚合物材料层。当用粘结或其它方法将这一表面固定在微滴沉积装置上时，聚合物材料层可用于使主体与装置的其余部分电绝缘。
在另一实施例中，聚合物材料包括在暴露于电磁幅射下时可固化的材料，而喷嘴通过将材料选择性地暴露于电磁幅射下并除去未暴露的材料来形成。
在另外一个实施例中，喷嘴的至少一部分在于开口中模制聚合物材料时形成。该方法可包括步骤将形状与喷嘴相符的模子插入到主体的开口中；在模子和主体开口的周边之间注入聚合物材料；然后取出模子。最好在主体中同时形成多个喷嘴。在一个优选实施例中，采用具有多个成形部分的模子来形成各喷嘴，其中各成形部分被插入到形成于主体内的相应开口中，然后将聚合物材料注入各成形部分和相应开口的周边之间以形成所述喷嘴。模子可包括在所述成形部分周围延伸的基本上平面的部分，在该平面部分和主体表面之间设有一个或多个间隔物，这样，聚合物材料还注入到形成于所述表面和所述平面部分之间的空间中，从而在所述表面上形成了聚合物材料层。
可利用上述技术的任意组合来形成喷嘴，例如通过将聚合物材料模制或热压到开口中来形成喷嘴的一部分，然后通过激光烧蚀来形成整个喷嘴。
该方法最好包括形成在所述出口周围延伸的液体排斥层的步骤。该液体排斥层可以在喷嘴成形之前或之后形成，然而最好在喷嘴成形之前形成，以便避免因在喷嘴成形之后形成该层而堵塞喷嘴出口。
在另一个实施例中，例如可采用涂布技术在开口中形成一层聚合物材料如聚对亚苯基二甲基材料，以形成所述喷嘴的第一部分。在形成所述聚合物材料层之前，将盖板安装到形成于所述主体中的开口上。在形成所述层之后，最好利用激光烧蚀技术在所述盖板中形成与喷嘴内孔基本上同轴的开口，以便形成喷嘴的第二部分。可在盖板上的与所述主体相反的表面上形成聚合物材料的附加层。盖板可由塑料形成。在形成所述同轴开口之后，最好选择性地除去在所述同轴开口周围延伸的聚合物材料的一部分附加层。用于选择性地除去材料的掩模可以固定在盖板上以保护该附加层中的开口免受机械损伤。掩模可由金属材料如镍和铁的合金制成。
喷嘴可在将喷嘴板连接到微滴沉积装置上之后才在喷嘴板中形成，因此能够以不带喷嘴的喷嘴板坯件的形式来提供喷嘴板。因此，本发明可以推广到用于微滴沉积装置的喷嘴板坯件中，这种坯件包括具有多个形成于其中的开口的主体，各开口中放入了聚合物材料。坯件可包括形成为部分地穿过聚合物材料以在所述喷嘴板的各开口内构成一部分喷嘴的内孔。内孔可以是锥形的。通过提供具有部分形成的喷嘴的坯件，就能够采用例如激光烧蚀来快速地完成喷嘴成形，这样就可以提高喷嘴出口的质量。
现在将参考附图来介绍本发明的优选特征，在图中
图1是形成于喷嘴板中的喷嘴的剖视图；图2(a)至2(e)是显示了制造喷嘴板的方法的第一实施例中的步骤的剖视图；图3(a)至3(d)是显示了制造喷嘴板的方法的第二实施例中的步骤的剖视图；图4(a)至4(d)是显示了制造用于第二实施例的模具的方法中的步骤的剖视图；图5(a)和5(b)是显示了制造喷嘴板的方法的第三实施例中的步骤的剖视图；图6(a)至6(e)是显示了制造喷嘴板的方法的第四实施例中的步骤的剖视图；图7(a)至7(d)是显示了制造喷嘴板的方法的第五实施例中的步骤的剖视图；和图8是形成于喷嘴板中的部分地形成的喷嘴的剖视图。
参见图1，喷嘴板10包括最好为板状的主体12，其具有基本上平行的上、下平表面14和16。下表面16用于安装在微滴沉积装置如喷墨打印头上。主体12最好由金属材料如Nilo 42制成。
在主体12内形成有一系列开口，在图1中示出了其中的一个。在该实施例中，开口的间距约为130到150微米(对应于将安装喷嘴板的微滴沉积装置的通道宽度)，上表面14处的开口口部的宽度约为100微米，开口的深度约为100微米。
在各开口中设有一个喷嘴18，喷嘴具有出口20、入口22和朝出口22收缩的内孔24。喷嘴18的内孔24延伸穿过位于主体12开口内的由聚合物材料如环氧树脂制成的插入件或插塞26。与上表面14处约为100微米的开口宽度相比，喷嘴出口的直径通常为50微米或更小。如果开口内的喷嘴的公差增大，那么可以增大开口的宽度。
现在将参考附图来介绍制造喷嘴板的方法的各个实施例，各实施例说明了只在喷嘴板10中形成一个喷嘴的步骤。应当清楚，各实施例均可用于在喷嘴板中形成多个喷嘴。
图2(a)至2(e)是显示了制造喷嘴板的方法的第一实施例中的步骤的剖视图。首先参见图2(a)，在主体12中形成开口28。由于开口28的壁30无须高精度地形成，因此能够利用相对快速且简单的技术如化学侵蚀来在主体12中同时形成多个这样的开口28。接着如图2(b)所示，在开口28中放置环氧树脂插塞26。插塞26可由任何适当的方法形成，例如注射模制法。此时，作为选择，可将由低表面能材料如氟化乙丙烯共聚物(FEP)制成的液体排斥层涂覆到主体12的上表面和插塞的上表面上。参见图2(c)和2(d)，接着可以施加保护层32如聚对亚苯基二甲基材料的烧蚀防护带，并通过激光烧蚀在插塞26中精确地形成锥形喷嘴18。烧蚀工艺和保护层的详细情况在本申请人的国际专利申请WO 96/08375中有介绍，该申请的内容通过引用结合于本文中。在烧蚀之后将保护层32除去，如图2(e)所示。保护层32的使用是可选的，这是因为例如FEP液体排斥层本身就可用作激光烧蚀的保护层。
由于喷嘴板10的主体12由比环氧树脂更硬的材料如Nilo 42制成，因此与仅由可激光烧蚀的塑料制成的现有喷嘴板相比，喷嘴板10更加坚固。因此，喷嘴板10适于用作微滴从墨水通道的顶端处喷出的“边缘发射”型微滴沉积装置的盖板，还可用作微滴从墨水通道的末端处喷出的“末端发射”型装置的喷嘴板。通过用金属材料制成喷嘴板主体所提供的这种机械性能上的优点使得能够比较容易和精确地在位于喷嘴板主体内的环氧树脂插塞中形成喷嘴。
在上述实施例中，可在喷嘴板的主体12中同时形成一系列开口，而且在这些开口中同时形成环氧树脂的插塞，并利用激光烧蚀来在各环氧树脂插塞中顺序地形成喷嘴。在下面的其它实施例中，为了减少形成喷嘴所需的时间，还可以在多个环氧树脂插塞中同时形成喷嘴。
图3(a)至3(d)是显示了制造喷嘴板的方法的第二实施例中的步骤的剖视图。与第一实施例类似，在主体12中形成开口28并在开口28中形成环氧树脂的插塞26，如图3(a)和3(b)所示。此时，作为选择，可将液体排斥层涂覆到主体12的上表面和插塞26的上表面上。如图3(c)所示，在此实施例中将支承面34施加到主体12的上表面和插塞26的上表面上。接着将模具36压入或用其它方法推入到插塞中。模具36包括成形部分38和围绕着成形部分38的基本上为平面状的部分40，成形部分38的形状与将在插塞中形成的喷嘴形状相符。在将模具压入到插塞中时，环氧树脂从插塞中挤出，从而在主体12的下表面16上形成了一层环氧树脂42。将模具压入插塞中直至成形部分与支承面34接触为止，如图3(c)所示，从而可控制通过模具在插塞中形成的喷嘴的形状。然后抽出模具并除去支承面34，从而完成了喷嘴18在喷嘴板中的成形，如图3(d)所示。
在该实施例中，可采用具有多个成形部分38的一个模具来同时形成多个喷嘴，这是通过将各成形部分压入到喷嘴板主体内的相应插塞中来实现的。此外，在喷嘴板主体12的下表面上形成了一层环氧树脂42。在将喷嘴板连接到微滴沉积装置上时，该环氧树脂层可用来使喷嘴板主体与微滴沉积装置电绝缘。
图4(a)至4(d)是显示了制造用于第二实施例的模具的方法中的步骤的剖视图。虽然这些附图显示了制造具有一个成形部分的模具的方法，然而该方法可扩展到制造具有多个类似成形部分的模具，其中这些成形部分通过一个大致平面的部分连接起来。
首先，利用激光烧蚀技术在由相对较软的材料如塑料制成的板52中精确地形成开口50。如图4(a)所示，开口50的形状与将在喷嘴板10中形成的喷嘴18的形状相符。接着采用该板52作为形成第一模具54的模子，如图4(b)所示，模具54例如通过注射模制技术用类似的塑料制成。模具54的形状对应于最终将形成的模具36的形状。接着例如利用电镀技术将金属材料沉积在模具54上，以形成带有开口58的金属板56，其中开口58的形状对应于将通过激光烧蚀在板52中形成的开口形状。然后将模具54取出而只留下金属板56，如图4(c)所示。接着例如利用电成形技术在金属板56上形成金属模具36，并取出金属板56而留下模具36。通过采用这种方法来形成模具，就可以精确地控制模具36的成形部分38的形状，使得采用这种模具在环氧树脂插塞中形成的喷嘴具有与通过激光烧蚀所形成的喷嘴相对应的精确形状。
如图5(a)和5(b)所示，在制造喷嘴板的方法的第三实施例中采用了一种类似的模具。在该实施例中，如图5(a)所示，将带有开口的主体12插入到模具60中，使得模具60的成形部分62延伸到形成于主体中的开口内。将间隔物64如陶瓷颗粒放置在模具60的平面部分66和主体的下表面16之间，以便抬高主体12的下表面16相对于平面部分66的上表面68的高度。接着将环氧树脂注入到形成于模具60和主体12之间的空间70中，以形成处于主体12的开口中的环氧树脂插塞26和在主体12的下表面上延伸的环氧树脂层72，其中插塞26带有从中穿过的喷嘴。主体12的下表面16中的通道74可在模制期间促进树脂的流动。
图6(a)至6(e)是显示了制造喷嘴板的方法的第四实施例中的步骤的剖视图。在该实施例中，主体12具有一个或多个例如通过光刻蚀刻而形成于其中的开口，通过可释放的粘结膜82将主体12连接在柔性层80如橡胶垫或柔性塑料垫上，如图6(a)所示。柔性层80具有厚度局部地增大的区域81。然后将形式为可用紫外线(UV)固化的阳离子粘合剂84的聚合物材料涂覆到主体12的上表面上，以填满开口28并在主体12的上表面上铺开，如图6(b)所示。使在下表面88的适当位置处设有适当大小的防胶器(未示出)的玻璃掩模86与粘合剂84接触，并沿图6(c)中箭头所示方向对玻璃掩模86施加压力，以便使粘合剂84流动，从而将形成于主体12上表面上的粘合剂层84的厚度减小到预定的厚度，例如5微米。施加到玻璃掩模上的压力还使柔性垫80在硬表面98上产生变形，并使区域81移动到形成于主体12中的开口28内，如图6(c)所示，这样就使开口28中的粘合剂84形成下凹。在图6(c)中还显示出，在玻璃掩模的上表面92上形成有掩模图案90。在将压力保持在基本恒定的水平以使掩模86固定在图6(c)所示的位置上时，将来自玻璃掩模86上方的紫外线光源的紫外光引向掩模86的上表面，从而选择性地使粘合剂84曝光，如图6(d)所示。直接位于掩模图案90之下的粘合剂部分96不受紫外光的照射，而粘合剂的其余部分94暴露于紫外光下。照射的持续时间应足以使暴露于紫外光下的粘合剂的其余部分94完全固化。在曝光结束后除去柔性垫80、可释放的薄膜82和玻璃掩模86，并用适当的流体将未受照射因而未固化的粘合剂部分96冲洗掉以形成喷嘴18，喷嘴18具有在入口22和下凹的出口20之间延伸的大致圆柱形的内孔24。
通过光刻工艺来形成喷嘴18，就能够在喷嘴板中精确地形成喷嘴18。容易理解，这种方法可以用来在喷嘴板中同时形成多个喷嘴。使出口20下凹可以减小喷嘴在使用时受到机械损伤的可能性。该实施例的下凹形成技术也可以用于上述第一和第三个实施例的任一个中。
图7(a)至7(d)是显示了制造喷嘴板的方法的第五实施例中的步骤的剖视图。在该实施例中，如图7(a)所示，主体12具有一个或多个例如通过光刻蚀刻所形成的开口28，将主体12连接到微滴沉积装置上，具体地说是连接到通道104的侧壁102的上表面100上，其中通道104由侧壁102和侧壁102从中延伸出来的基底(未示出)形成。可以在将主体安装到侧壁上之前或之后在喷嘴板中形成开口28。在该实施例中，将盖板106连接到主体12的上表面108上，盖板106由塑料如UpilexTM制成。参见图7(b)，接着利用任一传统涂布技术将聚合物材料如聚对亚苯基二甲基材料的层26涂覆到开口28的壁30、侧壁102的相对侧面以及暴露于开口28中的盖板106的下表面110上，以便形成喷嘴18的一部分，喷嘴18具有在聚对亚苯基二甲基材料26中延伸的大致圆柱形的内孔。此时可在盖板106的上表面112上涂覆聚对亚苯基二甲基材料层114。参见图7(c)，接着例如利用激光烧蚀技术在盖板106中形成开口116，以完成喷嘴的成形。之后，例如利用等离子蚀刻技术选择性地除去出口20周围的一部分层114，以便露出盖板106的一部分120。在蚀刻中用来使盖板的所述部分120暴露出的掩模(未示出)可保留在层114上，以便机械式地保护出口20。这一掩模可用与主体12相同的材料制成，例如镍和铁的合金如Nilo。
图8是形成于喷嘴板12中的部分地形成的喷嘴18的剖视图。可以用参考图3和5所介绍的任何一种技术、即通过模制或热压来部分地形成喷嘴。用激光烧蚀来完成整个喷嘴18的成形。已经发现，这样可以提高喷嘴出口的表面质量。图8所示的喷嘴板坯件在暴露于准分子激光束下以完成喷嘴成形之前可以方便地粘结到喷墨打印头上，从而使激光束能够与打印头中通向喷嘴的墨水通道104精确地对准。
在说明书和/或权利要求以及附图中公开的每一特征都可以独立提供或以任何适当的组合形式提供。特别是，从属权利要求的特征可以结合到独立权利要求中。
权利要求
1.一种用于微滴沉积装置的喷嘴板，所述喷嘴板包括主体和多个喷嘴，各所述喷嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之间延伸并形成为穿过形成于所述主体的开口内的聚合物材料的内孔。
2.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，所述聚合物材料包括环氧树脂、聚对亚苯基二甲基材料、聚酰亚胺或热塑性塑料中的一种
3.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述主体由金属和陶瓷材料中的一种制成。
4.根据权利要求3所述的喷嘴板，其特征在于，所述主体由含有镍和铁的合金制成。
5.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述内孔朝向所述出口收缩。
6.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述聚合物材料的层在所述主体的粘结表面上延伸。
7.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述出口相对于所述主体的表面是下凹的。
8.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述喷嘴板还包括在所述出口周围延伸的液体排斥层。
9.根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，其特征在于，所述喷嘴板还包括安装在所述主体上的盖板，所述喷嘴的内孔延伸穿过所述盖板。
10.一种微滴沉积装置，其包括多个通道和安装在所述装置上的根据上述权利要求中任一项所述的喷嘴板，所述喷嘴板为各所述通道提供了相应的喷嘴以从中喷出微滴。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述装置还包括基底和从所述基底中延伸出来以限定所述通道的通道分隔侧壁，所述喷嘴板安装在所述侧壁上的与所述基底相反的表面上。
12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述喷嘴板的主体由热膨胀系数基本上与所述侧壁相同的材料制成。
13.一种制造用于微滴沉积装置的喷嘴板的方法，所述方法包括步骤在主体中形成开口；将聚合物材料引入到所述开口中；以及在所述聚合物材料中形成喷嘴，所述喷嘴具有入口、出口以及在所述入口和出口之间延伸并穿过所述聚合物材料的内孔。
14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述开口通过蚀刻、激光切割、钻孔、冲孔和电成形中的一种而形成于所述主体中。
15.根据权利要求13或14所述的方法，其特征在于，利用模制技术将所述聚合物材料引入到所述开口中。
16.根据权利要求13至15中任一项所述的方法，其特征在于，将所述聚合物材料引入到所述开口中以基本上填满所述开口。
17.根据权利要求13至16中任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述聚合物材料中形成下凹部分的步骤。
18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤将柔性表面施加到所述主体的表面上；将所述主体与所述柔性表面压紧以使所述柔性表面发生变形而进入到所述开口中，从而使所述聚合物材料下凹。
19.根据权利要求13至18中任一项所述的方法，其特征在于，通过热压来至少部分地形成所述喷嘴。
20.根据权利要求13至19中任一项所述的方法，其特征在于，通过将具有与所述喷嘴的形状相符的成形部分的模具压入到所述聚合物材料中来形成所述喷嘴。
21.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，对所述成形部分在所述聚合物材料中的封闭程度进行限制，以控制形成于所述聚合物材料中的所述喷嘴的形状。
22.根据权利要求20或21所述的方法，其特征在于，所述模具具有多个成形部分，将各所述成形部分压入到形成于所述主体内的相应的聚合物材料插塞中，以便在所述插塞中形成一个喷嘴，这样就可同时形成多个喷嘴。
23.根据权利要求20至22中任一项所述的方法，其特征在于，所述模具具有在所述成形部分周围延伸的基本上平面的部分，使得在所述加压过程中从所述开口中挤出的聚合物材料在所述平面部分和所述主体的表面之间形成了聚合物材料层。
24.根据权利要求13至23中任一项所述的方法，其特征在于，通过激光烧蚀来至少部分地形成所述喷嘴。
25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，在进行所述激光烧蚀之前将保护层涂覆到待形成所述出口的所述聚合物材料的表面上。
26.根据权利要求13至18中任一项所述的方法，其特征在于，所述聚合物材料包括在暴露于电磁幅射下时可固化的材料，所述喷嘴通过将所述聚合物材料选择性地暴露于电磁幅射下并除去未暴露的材料来形成。
27.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述喷嘴的至少一部分在于所述开口中模制所述聚合物材料的期间形成。
28.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤将形状与所述喷嘴的至少一部分相符的模子插入到所述主体的开口中，在所述模子和所述主体开口的周边之间注入聚合物材料，然后取出所述模子。
29.根据权利要求28所述的方法，其特征在于，在所述主体中同时形成多个喷嘴。
30.根据权利要求29所述的方法，其特征在于，采用一个模子来形成各所述喷嘴，所述模子具有多个成形部分，将各所述成形部分插入到形成于所述主体中的相应开口内，然后将聚合物材料注入到各成形部分和所述相应开口的周边之间。
31.根据权利要求29至30中任一项所述的方法，其特征在于，所述模子包括在所述成形部分周围延伸的基本上平面的部分，在所述平面部分和所述主体的表面之间设有一个或多个间隔物，这样，聚合物材料还注入到形成于所述表面和所述平面部分之间的空间中，从而在所述表面上形成了聚合物材料层。
32.根据权利要求13至31中任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括形成在所述出口周围延伸的液体排斥层的步骤。
33.根据权利要求13或14所述的方法，其特征在于，将盖板安装到形成于所述主体中的开口上，之后在所述开口内形成聚合物材料层以形成所述喷嘴的第一部分，并且在所述盖板中形成与所述喷嘴内孔基本上同轴的开口，以便形成所述喷嘴的第二部分。
34.根据权利要求33所述的方法，其特征在于，利用涂布技术来形成所述聚合物材料层。
35.根据权利要求34所述的方法，其特征在于，在所述盖板上的与所述主体相反的表面上形成聚合物材料的附加层。
36.根据权利要求35所述的方法，其特征在于，在形成所述同轴开口之后，选择性地将在所述同轴开口周围延伸的所述聚合物材料的一部分附加层除去。
37.一种用于微滴沉积装置的喷嘴板坯件，所述坯件包括具有多个形成于其中的开口的主体，在各所述开口中放入了聚合物材料。
38.根据权利要求37所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述坯件还包括形成为部分地穿过所述聚合物材料以在所述喷嘴板的各开口内构成一部分喷嘴的内孔。
39.根据权利要求38所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述内孔是锥形的。
40.根据权利要求37至39中任一项所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述聚合物材料包括环氧树脂、聚对亚苯基二甲基材料、聚酰亚胺或热塑性塑料中的一种。
41.根据权利要求37至40中任一项所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述主体由金属和陶瓷材料中的一种制成。
42.根据权利要求41所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述主体由含有镍和铁的合金制成。
43.根据权利要求37至42中任一项所述的喷嘴板坯件，其特征在于，所述聚合物材料的层在所述主体的粘结表面上延伸。
44.一种基本上如这里所述的喷嘴板、喷嘴板坯件或微滴沉积装置。
45.一种基本上如这里所述的制造用于微滴沉积装置的喷嘴板的方法。
全文摘要
一种喷嘴板，其包括主体(12)和插入件(26)。各喷嘴均具有入口(22)、出口(20)以及在入口和出口之间延伸并在位于开口(28)中的插入件聚合物材料中形成的内孔(24)，该开口(28)形成于喷嘴板的主体中。
文档编号B41J2/135GK1512936SQ02811229
公开日2004年7月14日 申请日期2002年6月5日 优先权日2001年6月5日
发明者W·扎普卡, R·哈维, S·特姆普尔, S·奥默, P·R·德鲁里, W 扎普卡, 德鲁里, 菲斩 申请人:萨尔技术有限公司