基板制造方法及基板制造装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置，该基板制造方法不易在薄膜的表面产生阶梯差。本发明的基板制造方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元对置于基板，使喷嘴单元相对于基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于基板，从而在基板的表面形成沿应形成的多个图案的边缘的多个边缘图案。使喷嘴单元相对于基板向第1方向相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被边缘图案包围的实地区域，从而在实地区域形成薄膜。在实地区域形成薄膜的工序中，以在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向相对移动的期间所形成的薄膜的边缘未穿过实地区域的内部的条件下形成薄膜。
【专利说明】基板制造方法及基板制造装置
【技术领域】
[0001]本申请主张基于2012年11月26日申请的日本专利申请第2012-257401号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
[0002]本发明涉及一种基板制造方法及基板制造装置，其对基板涂布液态的薄膜材料之后，通过使薄膜材料固化来形成预定形状的薄膜。
【背景技术】
[0003]已知有从喷嘴头吐出包含薄膜图案形成用的材料的液滴而在基板的表面形成薄膜图案的技术(例如专利文献I)。
[0004]在这种薄膜形成技术中，例如，基板使用印刷基板，薄膜材料使用阻焊剂。印刷基板包含基材及配线，在预定的位置焊接有电子部件等。阻焊剂使焊接电子部件等的导体部分露出，并覆盖无需焊接的部分。与在整面涂布阻焊剂之后，使用光刻蚀技术形成开口的方法相比，能够实现制造成本的下降。
[0005]已知有通过形成沿薄膜图案的边缘的边缘带之后，在被边缘带包围的内部区域填充液态的薄膜材料来形成薄膜的方法(例如专利文献2)。该方法中，在形成边缘带之前，在基板表面进行疏液化处理。形成边缘带之后，在内部区域填充薄膜材料之前，在基板表面实施亲液化处理。完成向内部区域的薄膜材料的填充之后，使薄膜材料干燥或固化。
[0006]专利文献1:日本特开2004-104104号公报
[0007]专利文献2:日本特开2006-212476号公报
[0008]从喷嘴头朝向基板吐出薄膜材料的液滴的方法中，使喷嘴头及基板中的其中一方相对于另一方移动的同时从喷嘴头吐出薄膜材料的液滴。将使喷嘴头或基板移动的同时吐出薄膜材料的液滴的处理称为“扫描”。当喷嘴头的尺寸小于基板的尺寸时，为了在基板的整个区域形成薄膜，进行多次的扫描。在某一次扫描中形成的薄膜和在下一次扫描中形成的薄膜不会平滑地连接，存在沿双方的边界，在薄膜的表面形成阶梯差的情况。
[0009]在完成向内部区域的薄膜材料的填充之后，进行干燥或固化的方法中，必须确保用于进行干燥或固化的时间。在干燥或固化的中途阶段中，由于填充于内部区域的薄膜材料为液态，因此不便于基板的操作。
【发明内容】
[0010]本发明的目的在于提供一种不易在薄膜的表面产生阶梯差的基板制造方法及基板制造装置。
[0011 ] 根据本发明的一个观点，提供一种基板制造方法，其中，
[0012]所述基板制造方法为通过如下形成薄膜的方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元与基板对置，使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被将要形成于所述基板的表面的多个图案的边缘包围的实地区域，
[0013]以所述薄膜中使所述喷嘴单元相对于所述基板朝第I方向相对移动的期间形成的部分的边缘未穿过所述实地区域的内部的条件下形成所述薄膜。
[0014]根据本发明的另一观点，提供一种基板制造装置，其具有:
[0015]载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；
[0016]喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；
[0017]移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及
[0018]控制装置，存储有图像数据，并基于所述图像数据控制所述移动机构及所述喷嘴单元，其中所述图像数据定义所述基板上应形成的薄膜的平面形状，
[0019]所述图像数据，定义在多个印刷电路板被拼接而成的拼接基板上形成的薄膜的平面形状，在与所述第I方向正交的第2方向上，排列有所述多个喷嘴孔的区域的尺寸比所述多个印刷电路板的任何尺寸更长。
[0020]根据本发明的另一其他观点，提供一种基板制造装置，其具有:
[0021]载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；
[0022]喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；
[0023]移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及
[0024]控制装置，控制所述喷嘴单元及所述移动机构，并且包括存储图像数据的存储部，其中所述图像数据定义应使薄膜材料着落的多个涂布区域
[0025]所述多个喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，
[0026]所述控制装置控制所述移动机构及所述喷嘴单元，以使所述喷嘴单元相对于所述载物台向所述第I方向移动的同时基于所述图像数据从所述喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴来形成薄膜，此时，从在所述第2方向上位于两端的端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹穿过所述多个涂布区域中的一部分涂布区域的内部的情况下，所述控制装置以使所述薄膜材料的液滴不着落于所述轨迹穿过内部的所述涂布区域，而是使所述薄膜材料的液滴着落于所述轨迹未穿过内部的所述涂布区域的方式控制所述喷嘴孔。
[0027]根据本发明的另一其他观点，提供一种基板制造装置，其具有:
[0028]载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；
[0029]多个吸引孔，在所述保持面开口，且吸引搭载于所述保持面的基板；
[0030]喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向保持于所述载物台的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；及
[0031]移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方，向与所述保持面平行的第I方向移动，
[0032]所述喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，
[0033]排列有所述喷嘴孔的区域的所述第2方向上的尺寸，比分布有所述多个吸引孔的区域的所述第2方向上的尺寸更长。
[0034]发明效果
[0035]由于在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向相对移动的期间形成的薄膜的边缘未穿过实地区域的内部，因此在薄膜的表面不易产生阶梯差。
【专利附图】
【附图说明】
[0036]图1是基于实施例1的基板制造装置的示意图。
[0037]图2A是构成喷嘴单元的喷嘴模块的立体图，图2B是喷嘴头及固化用光源的仰视图。
[0038]图3是形成有薄膜图案的基板及喷嘴单元的俯视图。
[0039]图4A是实施例1的第I次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图4B是在图4A的单点划线4B-4B的剖视图，图4C是边缘图案的剖视图。
[0040]图5A是实施例1的第2次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图5B是在图5A的单点划线5B-5B的剖视图。
[0041]图6是以基于比较例的方法形成的实地区域内的薄膜的剖视图。
[0042]图7是基于实施例2的基板制造装置的载物台及喷嘴单元的俯视图。
[0043]图8A是以基于实施例3的方法形成的薄膜图案的俯视图，图SB是表示在基于比较例的基板制造方法的第I次及第2次扫描中形成薄膜的区域的俯视图。
[0044]图9A是在基于实施例3的基板制造方法的第I次扫描中形成的薄膜的俯视图，图9B是在基于实施例3的基板制造方法的第I次及第2次扫描中形成的薄膜的俯视图。
[0045]图1OA是实施例4的第I次扫描的前后的基板及喷嘴单元的俯视图，图1OB是在图1OA的单点划线10B-10B的剖视图。
[0046]图1lA是通过基于比较例的基板制造方法的第I次扫描形成的薄膜的剖视图，图1lB是在第2次扫描结束的时刻的薄膜的剖视图。
[0047]图中:20_平台，21-移动机构，22-载物台，23-喷嘴单元，24-喷嘴头，24a-喷嘴孔，24b-喷嘴列，24e-端部喷嘴孔，25-固化用光源，26-喷嘴支架，27-喷嘴模块，28-保持面，29-吸引孔，30-摄像装置，40-控制装置，41-输入装置，42-输出装置，45-存储部，46-图像数据，48-吸引装置，50-基板，51-印刷电路板，55-薄膜图案，55a.55b.55c-涂布区域，56-单位扫描区域，57-吸引孔分布的区域，60-边缘图案，60a-薄膜材料的颗粒，62-薄膜，62a-薄膜材料的颗粒，62F-已固化的层，63-边界，64-薄膜，64a_薄膜材料的颗粒，64F-已固化的层，65-槽，66-从端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹，66a-第I次操作时从端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹，66b-第2次操作时从端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹，67-实地区域。
【具体实施方式】
[0048][实施例1]
[0049]图1中示出基于实施例1的基板制造装置的示意图。载物台22通过移动机构21被支承于平台20上。在载物台22的上表面(保持面)保持有印刷电路板等的基板50。定义以将平行于载物台22的保持面的方向设为X方向及y方向，且将保持面的法线方向设为z方向的xyz直角坐标系。移动机构21使载物台22向X方向及y方向移动。
[0050]喷嘴单元23及摄像装置30被支承于平台20的上方。喷嘴单元23及摄像装置30与保持于载物台22的基板50对置。摄像装置30拍摄形成于基板50的表面的配线图案、定位标志、及形成于基板50的薄膜图案等。拍摄所获得的图像数据输入到控制装置40。喷嘴单元23从多个喷嘴孔朝向基板50吐出光固化性(例如紫外线固化性)的薄膜材料的液滴(例如阻焊剂等的液滴)。所吐出的薄膜材料附着于基板50的表面。
[0051]将喷嘴单元23固定于平台20，也可以代替移动载物台22而相对于载物台22及平台20移动喷嘴单元23。
[0052]控制装置40控制移动机构21、喷嘴单元23及摄像装置30。控制装置40包含存储部45，存储部45中存储定义基板50上应形成的薄膜图案的形状的光栅格式的图像数据46或其压缩数据等。操作员通过输入装置41对控制装置40输入各种指令(command)或控制中所需的数值数据。控制装置40从输出装置42对操作员输出各种信息。
[0053]图2A中表示构成喷嘴单元23的喷嘴模块27的立体图。实施例1中，喷嘴单元23由I个喷嘴模块27构成。喷嘴支架26上安装有多个例如4个喷嘴头24。各喷嘴头24上分别形成有多个喷嘴孔24a。喷嘴孔24a向x方向排列，4个喷嘴头24向y方向排列且固定于喷嘴支架26上。
[0054]喷嘴头24之间、比两端的喷嘴头24更靠外侧处，分别配置有固化用光源25。固化用光源25对基板50 (图1)照射使薄膜材料固化的光，例如紫外线。
[0055]图2B中示出喷嘴头24及固化用光源25的仰视图。在喷嘴头24的各底面(与基板50对置的表面)配置有2列的喷嘴列24b。各喷嘴列24b由在X方向上以间距(周期)8Pn排列的多个喷嘴孔24a构成。其中一方的喷嘴列24b相对于另一方的喷嘴列24b向y方向偏离，并且，向X方向仅偏离间距4Pn。S卩，当着眼于I个喷嘴头24时，则喷嘴孔24a变成在X方向上以间距4Pn等间隔分布。间距4Pn例如相当于300dpi的分辨率。
[0056]4个喷嘴头24向y方向排列，且相互向X方向偏离而安装于喷嘴支架26(图2A)。图2B中，当以最左侧的喷嘴头24为基准时，则第2、3、4个喷嘴头24分别向x轴的负方向上仅偏离2Pn、Pn及3Pn。因此，当着眼于4个喷嘴头24 (作为喷嘴头整体)时，则喷嘴孔24a向X方向以间距Pn (相当于1200dpi的间距)以等间隔排列。
[0057]喷嘴头24之间及在y方向上比最外侧的喷嘴头24更靠外侧处分别配置有固化用光源25。当着眼于I个喷嘴头24时，则在其两侧配置有固化用光源25。
[0058]使基板50 (图1)向y方向移动的同时根据应形成的薄膜图案的图像数据46 (图1)，从喷嘴单元23的各喷嘴孔24a吐出薄膜材料的液滴，从而能够在x方向上以1200dpi的分辨率形成薄膜图案。将使基板50向y方向移动的同时从喷嘴孔24a吐出薄膜材料的液滴而在基板50涂布薄膜材料的动作称作“扫描”。进行I次扫描之后，通过向X方向仅偏离Pn/2来进行下一次的扫描，从而能够将X方向的分辨率提高至2倍的2400dpi。2次的扫描能够通过使第I次扫描和第2次扫描的方向反转的往复扫描来实现。y方向的分辨率由基板50的移动速度和来自喷嘴孔24a的液滴的吐出周期决定。
[0059]图3中示出应形成薄膜图案55的基板50及喷嘴单元23的俯视图。基板50的表面形成有薄膜图案55。图3中，在附着有薄膜材料的区域带有阴影线。基板50为在其面内配置有多个印刷电路板51的拼接(多面取)基板。作为一例，在基板50的面内，以4行2列的行列状配置有印刷电路板51。对应于印刷电路板51来定义薄膜图案55。薄膜图案55例如由阻焊剂形成。
[0060]根据I次的扫描，将能够涂布薄膜材料的区域称为单位扫描区域56。单位扫描区域56的X方向的尺寸(宽度)以Wu表示。单位扫描区域56的宽度Wu与形成于4个喷嘴头24的喷嘴孔24a (图2B)所分布的区域的、X方向的尺寸相等。即，宽度Wu与形成于喷嘴单元23的多个喷嘴孔24a (图2A、图2B)中配置于x方向的最负侧的端部喷嘴孔24e与配置于最正侧的端部喷嘴孔24e之间的X方向的间隔相等。作为一例，单位扫描区域56的宽度Wu为基板50的X方向的尺寸的约1/2。宽度Wu大于或等于与I个印刷电路板51对应的薄膜图案55的X方向的尺寸Wp。
[0061]参考图4A?图5B，对基于实施例1的基板制造方法进行说明。在图4A及图5A中，仅表示与图3所示的基板50的I张印刷电路板51对应的区域。并且，为了方便说明，示出有在薄膜图案55 (图3)内配置有2个正方形和4个圆形的开口部的例子，但实际上配置有更微细的多个开口部。
[0062]图4A中表示第I次扫描的前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图4B中示出在图4A的单点划线4B-4B的剖视图。
[0063]如图4A所示，在第I次扫描中，使基板50向y轴的负方向移动的同时从喷嘴头24吐出薄膜材料的液滴。此时，在薄膜图案55的最外周的边缘及开口部的边缘涂布薄膜材料。在第I次的扫描中，相对于4个喷嘴头24的每一个，打开位于I轴的负侧(基板50的移动方向的前方侧)的固化用光源25。在图4A中，较粗的实线表示打开状态的固化用光源25，且以较细的实线表示关闭状态的固化用光源25。薄膜材料的液滴着落于基板50(图3)上之后立即使薄膜材料的表层部固化。
[0064]从固化用光源25放射的光的基板表面上的光能量密度低于为固化至薄膜材料的内部而所需的光能量密度。因此，薄膜材料的内部为未固化的状态。将仅薄膜材料的表层部固化的反应称为“临时固化”。单位扫描区域56的宽度Wu (图3)大于或等于I张印刷电路板51内形成的薄膜图案55的X方向的尺寸Wp (图3)，因此通过第I次的扫描，在与I个印刷电路板51对应的薄膜图案55 (图3)的最外周的边缘及开口部的边缘形成由临时固化的薄膜材料构成的线状的边缘图案60。边缘图案60的宽度相当于例如光栅格式的图像数据46 (图1)的像素间距的3?5倍。即，在边缘图案60的宽度方向上包含3?5个像素。
[0065]在图4C中表示边缘图案60的剖视图。边缘图案60由多个薄膜材料的颗粒60a构成。当形成边缘图案60时，从I个喷嘴头24 (图4A)吐出的薄膜材料通过来自相对于该喷嘴头24与y轴的负侧邻接而配置的固化用光源25的光照射而临时固化。若着眼于I个喷嘴头24，则喷嘴孔24a的X方向的间距4Pn (图2B)例如对应于300dpi。薄膜材料的多个液滴着落于以间距4Pn等间隔排列的位置。着落后，液滴向面内方向扩散，但在相互邻接的液滴彼此连接之前液滴被临时固化。
[0066]若从4个喷嘴头24的喷嘴孔24a (图2B)吐出液滴，则液滴分别着落于x方向上以间距Pn (相当于1200dpi)排列的点上。以间距Pn邻接的2个液滴在面内方向上局部重叠。由于临时固化的液滴上着落下一个液滴，因此相互重叠的2个液滴不会相互混杂在一起。因此，使4个喷嘴头24动作而形成的边缘图案60由堆积的多个薄膜材料的颗粒60a构成。
[0067]薄膜材料着落于基板50之后立即使薄膜材料临时固化，从而能够防止因液态的薄膜材料向面内方向扩散而引起的边缘图案60的分辨率的下降。为了以充足的分辨率形成边缘图案60，薄膜材料着落于基板50之后，优选在0.2秒以内照射固化用光。
[0068]图5A中示出第2次扫描的前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图5B中表示在图5A的单点划线5B-5B的剖视图。第I次扫描结束之后，通过使基板50向y轴的负方向移动来进行第2次扫描。第2次扫描中，在应形成薄膜的区域，即被边缘图案60包围的区域67 (以下称为“实地区域”。)上涂布薄膜涂料。形成以在第I次扫描中形成的边缘图案60为边缘的薄膜62。
[0069]如图5A所不,第2次扫描中，仅打开Y轴的最正侧(基板50的移动方向的最前方侦D的固化用光源25，使其他固化用光源25为关闭状态。
[0070]接着，对第2次扫描的顺序进行详细说明。在实地区域67内包含多个像素。在实地区域67内的像素中，从图5A所示的y轴的最正侧的喷嘴头24吐出的液滴着落之后，不被固化用的光照射，而是从第2个、第3个、第4个喷嘴头24吐出的液滴依次着落。因此，在液滴临时固化之前，在实地区域67内的多个液滴保持液体状态相互接连。多个液滴保持液体状态相互接连之后，从y轴的最正侧的固化用光源25向薄膜材料照射固化用光。因此，实地区域67内的薄膜62的表面变得大致平坦。由于边缘图案60阻挡薄膜材料，因此薄膜材料不会侵入到开口内，也不会流出至最外周的外部。
[0071]第I次扫描(图4A)及第2次扫描(图5A)以如下条件进行，即，从设置于4个喷嘴头24的喷嘴孔24a (图2A、图2B)中、在x方向上位于两端的喷嘴孔(以下称为“端部喷嘴孔”。)吐出的薄膜材料的液滴的着落地点的轨迹66未穿过实地区域67的内部。
[0072]在图6中示出以基于比较例的方法形成的实地区域67内的薄膜的剖视图。基于比较例的方法中，单位扫描区域56的宽度Wu (图3)比与I个印刷电路板51对应的薄膜图案55的X方向的尺寸Wp (图3)更窄。因此，为了在I个实地区域67的整个区域涂布薄膜材料，必须进行多次扫描。由于进行多次扫描，所以在某次扫描中被涂布薄膜材料的区域和在其他扫描中被涂布薄膜材料的区域的边界63穿过实地区域67内。
[0073]例如，在图6中，针对比边界63更靠右侧的区域进行第I次扫描之后，针对左侧的区域进行第2次扫描。在第I次扫描中形成薄膜62，在第2次扫描中形成薄膜64。在薄膜62、64的表层部分别形成已固化的层62F、64F。
[0074]若进行第I次扫描，则着落于边界63的附近的薄膜材料向面内方向扩散至临时固化为止。因此，与边界63对应的部分的薄膜62的上表面倾斜，并形成斜面62S。斜面62S的前端超过边界63而侵入在第2次扫描中被涂布薄膜材料的区域内。在进行第2次扫描时，在斜面62S上也着落薄膜材料的液滴。通常，在基板50的表面实施有亲液化处理，因此与薄膜62的表面相比，基板50的表面的亲液性更高。因此，着落于斜面62S之上的薄膜材料被靠到在第2次扫描中成为薄膜材料的涂布对象的区域。之后，若薄膜64的表层部固化，则在边界63的位置产生槽65。
[0075]实施例1中，从端部喷嘴孔24e (图3)吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹66未穿过实地区域67的内部。即，在实地区域67内，不存在与以比较例的方法形成薄膜时的边界63 (图6)相当的边界。因此，能够防止槽65的产生。
[0076]在I次扫描中，确定2条轨迹66的位置。该2条轨迹66的间隔与单位扫描区域56的宽度Wu (图3)相等。在与配置于基板50的表面的印刷电路板51对应的薄膜图案55的任意一个中，若X方向的尺寸Wp在宽度Wu以下，则在任何薄膜图案55中，均能够防止槽65的产生。
[0077]另外，实施例1中，在第2次扫描期间中，薄膜材料附着于基板50 (图5A、图5B)的同时进行临时固化。因此，与将附着于基板50的薄膜材料以液态的状态放置的方法相比，基板50的操作轻松。
[0078][实施例2]
[0079]图7中示出基于实施例2的基板制造装置的载物台22及喷嘴单元23的俯视图。在载物台22的保持面28形成有多个吸引孔29。吸引装置48例如通过真空泵对吸引孔29内进行排气，从而被保持于保持面28上的基板50 (图1)被吸附于保持面28。
[0080]实施例2的喷嘴单元23由4个喷嘴模块27 (图2A)构成。喷嘴模块27分别以喷嘴孔24a (图2A、图2B)向x方向排列的姿势配置。另外，4个喷嘴模块27向x方向排列。喷嘴单元23所包含的喷嘴孔24a整体在X方向上以等间隔排列。与I个喷嘴模块27对应的单位扫描区域56 (图3)的宽度为Wu时，与喷嘴单元23对应的单位扫描区域56的宽度成为宽度Wu的4倍。
[0081]与喷嘴单元23对应的单位扫描区域56的宽度4Wu比分布有吸引孔29的区域57的在X方向上的尺寸Wr更宽。吸引孔29以矩阵状分布时，区域57的平面形状成为持有将位于最外周的吸引孔29依次连接的外周线的正方形或长方形。分布有吸引孔29的区域57的在X方向的尺寸能够解释为“位于X方向的最负侧的吸引孔29与位于最正侧的吸引孔29的X方向的间隔”。
[0082]基于实施例2的基板制造装置在分布吸引孔29的区域57内配置的基板50的整个区域，能够在I次扫描中形成薄膜图案。因此，能够防止槽65 (图6)的产生。
[0083][实施例3]
[0084]参考图8A?图9B，对基于实施例3的基板制造方法进行说明。以下，对与实施例1的差异点进行说明，并省略对相同结构的说明。
[0085]图8A中不出以基于实施例3的方法形成的薄膜图案55的俯视图的一例。图8A中，在涂布有薄膜材料的区域带有阴影线。薄膜图案55包含例如不互相连续的3个涂布区域 55a、55b、55c。
[0086]图8B中示出在基于比较例的基板制造方法的第I次及第2次扫描中形成薄膜的区域。另外，与各涂布区域55a、55b、55c的外周线对应的边缘图案60 (图4A)设为已形成的图案。2个单位扫描区域56的边界63穿过涂布区域55b的内部。在第I次扫描中，在边界63的一侧形成薄膜62，在第2次扫描中在边界63的另一侧形成薄膜64。因此，导致在形成于涂布区域55b的薄膜的表面产生沿边界63的槽65 (图6)。
[0087]图9A中示出在基于实施例3的基板制造方法的第I次扫描中形成的薄膜62的俯视图。进行第I次扫描时，从端部喷嘴孔24e(图3)吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹66a穿过I个涂布区域55b的内部。当基板50 (图3)和喷嘴单元23 (图3)处于这种位置关系时，控制装置40 (图1)将喷嘴单元23 (图1)控制成使薄膜材料的液滴不着落于涂布区域55b,而使薄膜材料的液滴着落于轨迹66a未穿过内部的涂布区域55c上。
[0088]如图9B所示，在第2次扫描进行之前，使基板50 (图1)向x方向移动，以便从端部喷嘴孔24e (图3)吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹66b穿过涂布区域55b与涂布区域55c之间。在该状态下进行第2次扫描。在第2次扫描中，使薄膜材料的液滴着落于涂布区域55a及55b上。
[0089]实施例3中，在I次扫描中形成的薄膜的边缘不配置于涂布区域55a?55c的内部。即，若着眼于涂布区域55a?55c中的I个涂布区域，则在I次扫描中在整个区域形成薄膜。因此，能够防止槽65 (图6)的产生。
[0090][实施例4]
[0091]参考图1OA及图10B,对基于实施例4的基板制造方法进彳丁说明。实施例1?实施例3中，在薄膜图案55 (图3)的最外周的边缘及开口部的边缘形成由临时固化的薄膜材料构成的线状的边缘图案60 (图4A)，之后，在实地区域67形成薄膜62 (图5A)。实施例4中，不形成边缘图案60，而是在实地区域67形成薄膜62。其他结构与基于实施例1的基板制造方法相同。
[0092]图1OA中示出在第I次扫描的前后的基板50及喷嘴单元23的俯视图。图1OB中示出图1OA的单点划线10B-10B的剖视图。通过使基板50向y轴的正方向移动，从而进行第I次扫描。在第I次扫描中，在应形成薄膜的区域(实地区域67)涂布薄膜材料。由此，形成薄膜62。
[0093]此时，如图1OA所示，点亮喷嘴头24的各自的y轴的正侧(基板50的移动方向的前方侧)的固化用光源25。由此，薄膜62与图4C所示的边缘图案60相同地，由薄膜材料的多个颗粒构成。
[0094]图1lA中示出以基于比较例的方法的第I次扫描形成的实地区域67内的薄膜的剖视图。基于比较例的方法中，从端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹66(图10A)穿过实地区域67 (图10A)的内部。图1OA中，在比边界63更靠右侧的区域，在第I次扫描中形成薄膜62。薄膜62由薄膜材料的多个颗粒62a构成。与图6中示出的比较例同样地在边界63的位置形成斜面62S。
[0095]图1lB中示出基于比较例的方法的在第2次扫描结束的时刻的薄膜的剖视图。在比边界63更靠左侧的区域，在第2次扫描中形成薄膜64。薄膜64由薄膜材料的多个颗粒64a构成。由于在基板50的表面实施有亲液化处理，因此与薄膜62的表面相比，基板50的表面的亲液性更高。因此，着落于斜面62S上的薄膜材料被靠到在第2次扫描中成为薄膜材料的涂布对象的区域。若薄膜64的表层部固化，则在边界63的位置产生槽65。
[0096]实施例4中，从端部喷嘴孔24e (图3)吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹66未穿过实地区域67的内部。因此，能够防止槽65的产生。
[0097]按照以上实施例对本发明进行了说明，但本发明并不限定于此。本领域技术人员应可理解能够进行例如各种变更、改良、组合等。
【权利要求】
1.一种基板制造方法，其中， 所述基板制造方法为通过如下形成薄膜的方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元与基板对置，使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于所述基板的表面上应形成的多个图案的边缘所包围的实地区域中， 以所述薄膜中使所述喷嘴单元相对于所述基板朝第I方向相对移动的期间形成的部分的边缘未配置于所述实地区域的内部的条件下形成所述薄膜。
2.根据权利要求1所述的基板制造方法，其中， 在形成所述薄膜之前，还包含以下工序: 使所述喷嘴单元与所述基板对置，使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的同时形成沿所述多个图案的边缘的多个边缘图案。
3.根据权利要求1或2所述的基板制造方法，其中， 所述多个喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，且在从所述第2方向上位于两端的端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹均未穿过任何所述实地区域的内部的条件下，在至少一部分所述实地区域形成所述薄膜。
4.根据权利要求3所述的基板制造方法，其中， 所述基板为配置有多个印刷电路板的拼接基板，在从所述端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹未穿过所述印刷电路板的内部的条件下，在至少一部分所述实地区域形成所述薄膜。
5.根据权利要求1或2所述的基板制造方法，其中， 所述多个喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列，从在所述第2方向上位于两端的端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹穿过任一所述实地区域的内部时，在不使薄膜材料着落于所述轨迹穿过内部的所述实地区域的条件下形成所述薄膜。
6.根据权利要求1~4中任一项所述的基板制造方法，其中， 在形成所述薄膜的工序中包含以下工序:在使所述喷嘴单元相对于所述基板相对移动的期间，通过对着落于所述基板的薄膜材料照射固化用的光，从而使所述薄膜材料的至少表层部固化。
7.一种基板制造装置，其中，具有: 载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面； 喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔； 移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及 控制装置，存储有图像数据，并基于所述图像数据控制所述移动机构及所述喷嘴单元，其中所述图像数据定义所述基板上应形成的薄膜的平面形状， 所述图像数据定义在设置有多个印刷电路板的拼接基板上形成的薄膜的平面形状，在与所述第I方向正交的第2方向上，排列有所述多个喷嘴孔的区域的尺寸比所述多个印刷电路板的任何尺寸更长。
8.—种基板制造装置，其中，具有: 载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面；喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向所述载物台所保持的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔； 移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动 '及 控制装置，控制所述喷嘴单元及所述移动机构，并且包括存储图像数据的存储部，其中所述图像数据定义应使薄膜材料着落的多个涂布区域， 所述多个喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列， 所述控制装置控制所述移动机构及所述喷嘴单元，以使所述喷嘴单元相对于所述载物台向所述第I方向移动的同时基于所述图像数据从所述喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴来形成薄膜，此时，从在所述第2方向上位于两端的端部喷嘴孔吐出的薄膜材料的着落地点的轨迹穿过所述多个涂布区域中的一部分涂布区域的内部的情况下，所述控制装置以使所述薄膜材料的液滴不着落于所述轨迹穿过内部的所述涂布区域，而是使所述薄膜材料的液滴着落于所述轨迹未穿过内部的所述涂布区域的方式控制所述喷嘴孔。
9.一种基板制造装置，其具有: 载物台，包括保持应形成薄膜的基板的保持面； 多个吸引孔，在所述保持面开口，且吸引搭载于所述保持面的基板； 喷嘴单元，与所述载物台对置，并包括朝向保持于所述载物台的基板吐出薄膜材料的液滴的多个喷嘴孔；及 移动机构，使所述载物台及所述喷嘴单元的其中一方相对于另一方向与所述保持面平行的第I方向移动， 所述喷嘴孔在与所述第I方向交叉的第2方向上排列， 排列有所述喷嘴孔的区域的所述第2方向上的尺寸比分布有所述多个吸引孔的区域的所述第2方向上的尺寸更长。
【文档编号】B41M5/00GK103832103SQ201310330340
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年7月31日 优先权日:2012年11月26日
【发明者】冈本裕司 申请人:住友重机械工业株式会社