薄板玻璃叠层体、使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法及支持用玻璃基板的制作方法

专利名称：薄板玻璃叠层体、使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法及支持用玻璃基板的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于液晶显示体、有机EL显示体等显示装置的玻璃基板，更 具体地涉及使用薄板玻璃基板来制造显示装置的工序中使用的薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板的叠层体及使用了该叠层体的显示装置的制造方法，以及薄 板玻璃叠层体用的支持用玻璃基板。
背景技术：
在液晶显示装置(LCD)、有机EL显示装置(OLED)、特别是在移动电话和便 携式电话等的便携式显示装置的领域内，显示装置的轻量化、薄型化正成为重 要的课题。
为应对该课题，进行了使显示装置所用的玻璃基板的板厚进一步变薄的研 究，但如果将玻璃基板的板厚变薄，则强度的下降成为问题，挠曲量也较大， 因此无法直接用于目前的制造流水线。
因此，为了补强板厚较薄的玻璃基板(下面称为"薄板玻璃基板"。)的强
度，并确保可用于目前的制造流水线的板厚，提出了如下方法实施规定的处
理，该规定的处理用于在将薄板玻璃基板与其它的支持用玻璃基板贴合形成叠 层体(薄板玻璃叠层体)的状态下制造显示装置，上述处理结束后，将薄板玻璃
基板和支持用玻璃基板分离，藉此制造显示装置(参照专利文献1 6)。
这些制造显示装置的方法中，作为使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板层叠 并固定的方法，提出了利用玻璃基板间产生的静电吸附力或真空吸附力将两者 固定的方法(例如参照专利文献1)，利用玻璃料将玻璃基板的两端固定的方法 (例如参照专利文献2)，对周缘部的端面附近照射激光、使2块玻璃基板融合 的方法(例如参照专利文献3)，或在玻璃基板间以覆盖整个表面的状态配置再 剥离性的粘着剂或粘着片、利用其粘着力将两者固定的方法(例如参照专利文 献4 6)等。这些方法具有可能会对所制造的显示装置造成恶劣影响的潜在的问题点。 艮口，利用玻璃基板间产生的静电吸附力或真空吸附力进行固定的方法，利 用玻璃料将玻璃基板的两端固定的方法，或对周缘部的端面附近照射激光、使 2块玻璃基板融合的方法中，在不间隔任何的中间层使玻璃基板层叠密合的过 程中，难以避免气泡的混入和夹杂了尘垢等异物而产生的凸状缺陷，很难得到 表面平滑的玻璃基板叠层体。
采用在玻璃基板间以覆盖整个表面的状态配置再剥离性的粘着剂或粘着 片的方法时，可认为与将玻璃基板直接层叠的情况相比，容易避免气泡的混入， 且由异物导致的凸状缺陷的产生也较少。然而，薄板玻璃基板和支持用玻璃基 板的分离变得困难，分离时薄板玻璃基板可能会破损。例如，可以向薄板玻璃 基板和支持用玻璃基板之间插入剃刀的刀刃，藉此作为分离的切入点，但此时， 剃刀的刀刃可能会损伤玻璃基板。此外，将两玻璃基板分离时，板厚较薄的薄 板玻璃基板可能会碎裂。此外，也有分离后的薄板玻璃基板上残存粘着剂的问 题。另外，如同绝缘膜和取向膜的烧成工序，显示装置的制造工序中包含需要 高温处理的工序，因此粘着剂及粘着片被要求作为显示装置用材料时的耐热 性，但是，未提出耐热性和再剥离性并存的方法。
专利文献l:日本专利特开2000 — 241804号公报 专利文献2:日本专利特开昭58—54316号公报 专利文献3:日本专利特开2003 — 216068号公报 专利文献4:日本专利特开平8 — 86993号公报 专利文献5:日本专利特开平9一105896号公报 专利文献6:日本专利特开2000 — 252342号公报
发明的揭示
为解决上述现有技术的问题点，本发明的目的是提供抑制薄板玻璃基板和 支持用玻璃基板的气泡的混入和异物导致的凸状缺陷的产生、薄板玻璃基板和 支持用玻璃基板的分离容易、且耐热性优异的薄板玻璃叠层体，及使用了该薄 板玻璃叠层体的显示装置的制造方法，以及该薄板玻璃叠层体用的支持用玻璃 基板。
为达成上述目的，本发明提供一种薄板玻璃叠层体，它是使薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板层叠而成的薄板玻璃叠层体，其特征在于，上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板隔着具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层
(silicone resin layer)层叠，且上述硅氧烷树脂层和上述支持用玻璃基板上 设置有至少l个相互连通的孔(下面称为本发明的薄板玻璃叠层体。)。
本发明的薄板玻璃叠层体中，上述支持用玻璃基板的孔的直径较好为 0. lmm 10匪。
本发明的薄板玻璃叠层体中，上述硅氧垸树脂层较好的是还具有低硅氧院
(silicone)转移性。
本发明的薄板玻璃叠层体中，上述硅氧烷树脂层较好的是由剥离纸用硅氧 烷的固化物构成的层。
本发明的薄板玻璃叠层体中，上述剥离纸用硅氧烷的固化物较好的是两末 端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链状聚有机硅氧烷与甲基氢聚硅氧烷 (methyl hydrogen polysiloxane)的交耳关反应物。
本发明的薄板玻璃叠层体中，较好的是上述薄板玻璃基板的厚度不足 0. 3mm，上述支持用玻璃基板和上述硅氧垸树脂层的厚度的总和为0. 5mm以上。
本发明的薄板玻璃叠层体中，较好的是上述支持用玻璃基板的线膨胀系数 和上述薄板玻璃基板的线膨胀系数的差为15X10—7'C以下。
此外，本发明提供一种使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法，它 是使用薄板玻璃基板的显示装置的制造方法，其特征在于，具有
在具备至少l个孔的支持用玻璃基板上形成硅氧垸树脂层的工序，该硅氧 烷树脂层具有易剥离性及非粘着性，且具有至少1个与上述支持用玻璃基板所
具备的孔连通的孔，
在上述支持用玻璃基板的上述硅氧烷树脂层形成面上层叠薄板玻璃基板 的工序，
为了在上述薄板玻璃基板上制造显示装置而实施处理的工序，和 从上述支持用玻璃基板所具备的孔向上述硅氧垸树脂层和上述薄板玻璃 基板的界面注入压縮气体，将上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板分离的工序。
本发明的显示装置的制造方法中，上述硅氧垸树脂层较好的是由剥离纸用 硅氧垸的固化物构成的层。
本发明的显示装置的制造方法中，上述剥离纸用硅氧烷的固化物较好的是 两末端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链状聚有机硅氧垸与甲基氢聚硅氧垸的交联反应物。
本发明的显示装置的制造方法中，在支持用玻璃基板上形成上述硅氧烷树 脂层的工序较好的是通过在上述支持用玻璃基板上涂布剥离纸用硅氧烷，之后 使上述剥离纸用硅氧烷固化来进行。
本发明的显示装置的制造方法中，上述剥离纸用硅氧垸较好的是含有两末 端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链状聚有机硅氧垸，甲基氢聚硅氧烷及 铂系催化剂。
本发明的显示装置的制造方法中，上述剥离纸用硅氧烷较好的是不含非反 应性硅氧烷。
本发明的显示装置的制造方法中，上述剥离纸用硅氧垸的涂布较好的是使 用网版印刷法。
本发明的显示装置的制造方法中，较好的是涂布上述剥离纸用硅氧垸后，
使其在50 25(TC的温度下加热固化。
本发明的显示装置的制造方法中，在上述支持用玻璃基板的上述硅氧烷树 脂层形成面上层叠薄板玻璃基板的工序较好的是使用真空加压或真空层压。
此外，本发明提供一种支持用玻璃基板，它是用于与薄板玻璃基板层叠的 支持用玻璃基板，其特征在于，在上述支持用玻璃基板的一个面上形成有具有 易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层，上述支持用玻璃基板和上述硅氧烷树脂 层上设置有至少1个相互连通的孔。
本发明的薄板玻璃叠层体是薄板玻璃基板和支持用玻璃基板隔着具有柔 软性的硅氧垸树脂层层叠而成的，因此具有层叠时难以混入气泡、而且在混入 气泡时也可通过使用轧辊或压机等进行压接来容易地除去该气泡的优点。特别 是在使用真空层压法或真空加压法实施薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的层 叠时，气泡的混入被抑制，密合性也良好。此外，使用真空层压法或真空加压 法实施薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的层叠时，也具有即使在残存有少量的 气泡的情况下、气泡也不会因加热而成长、难以引起薄板玻璃基板的凸状缺陷 的优点。
此外，也具有即使在尘垢等异物混入层叠界面时、也可通过具有柔软性的 硅氧烷树脂层的形变使其难以引起薄板玻璃叠层体的凸状缺陷的优点。
此外，介于薄板玻璃基板和支持用玻璃基板之间的层是耐热性优异的硅氧 烷树脂层，因此耐热性也良好。本发明的薄板玻璃叠层体是薄板玻璃基板和支持用玻璃基板隔着具有易 剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层层叠而成的，因此可容易地将薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板分离，分离玻璃基板时，薄板玻璃基板不会破损。另外，将 薄板玻璃叠层体在大气中以30(TC的温度加热1小时后，也同样可以发挥该特 性。因此，适合在伴随着加热处理的显示装置的制造工序中使用。
本发明的薄板玻璃叠层体从设置于支持用玻璃基板上的孔向薄板玻璃基 板和硅氧垸树脂层的界面注入压縮气体，藉此可在不施加会引起薄板玻璃的玻 璃破损的应力的情况下，将薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离。
此外，如果硅氧垸树脂层具有低硅氧垸转移性，则分离玻璃基板时，硅氧 烷树脂层中的成分难以向薄板玻璃基板转移。因此，分离后，形成有硅氧烷树 脂层的支持用玻璃基板可在与其它薄板玻璃基板的层叠中反复使用。此外，因 为硅氧垸树脂层中的成分难以转移至分离后的薄板玻璃基板的表面，所以在薄 板玻璃基板的表面贴附偏光板等时不会发生贴附不良等。
本发明的显示装置的制造方法通过使用本发明的薄板玻璃叠层体，可防止 薄板玻璃基板的挠曲的发生和制造时的薄板玻璃基板的破损，并且可防止薄板 玻璃基板和支持用玻璃基板分离时的薄板玻璃基板的破损，所以可提高所制造 的显示装置的原材料利用率。
本发明的显示装置的制造方法中，使用真空加压或真空层压来实施在支持 用玻璃基板的硅氧烷树脂层形成面上层叠薄板玻璃基板的工序时，可抑制该硅
氧垸树脂层中的气泡的混入。结果，可抑制在真空下形成ITO等透明电极的工
序中由混入硅氧垸树脂层的气泡引起的缺陷的产生。
对附图的简单说明


图1是表示本发明的薄板玻璃叠层体的一例的截面模式图。
图2是从下方观察图1所示的薄板玻璃叠层体的平面图。 图3是表示本发明所用的支持用玻璃基板的变形例的平面图。 图4是表示将图1所示的薄板玻璃叠层体的薄板玻璃基板和支持用玻璃基 板分离的步骤的图。
图5(a)、 (b)是表示实施液晶阵列 滤色片贴合工序后的显示装置中，将
薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离的步骤的图。
图6是表示实施例1中，将薄板玻璃叠层体1的薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离的步骤的图。
图7是表示实施例1 3的剥离试验的结果的图。
图8实施例4中使用的支持用玻璃基板的平面图。
符号说明
1:薄板玻璃叠层体
11:薄板玻璃基板
12:支持用玻璃基板
13:硅氧烷树脂层
14:孔
20:显示装置
21:封接材料
22:结构物
30:压縮气体(压縮空气)注入用的管子
40:密封材料
50:固定台
实施发明的最佳方式
下面，参照附图对本发明的薄板玻璃叠层体进行说明。图l是表示本发明
的薄板玻璃叠层体的一例的截面模式图。图2是从下方观察图l所示的薄板玻 璃叠层体的平面图。
如图1所示，本发明的薄板玻璃叠层体1中，薄板玻璃基板11和支持用 玻璃基板12隔着具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层(下面，本说明书中 也有称为"硅氧烷树脂层"的情况。)13层叠。支持用玻璃基板12和硅氧烷树 脂层13上设置有相互连通的孔14。下面，本说明书中，无特别叙述时，将呈 相互连通的关系的设置于支持用玻璃基板12上的孔、及形成于硅氧烷树脂层 13上的孔一并记作孔14。如图2所示，孔14形成于支持用玻璃基板12的中 心部。
详细情况如后所述，但本发明的薄板玻璃叠层体1中，可通过孔14将压 縮气体注入硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板11的界面，藉此容易地将薄板玻 璃基板11和支持用玻璃基板12分离。
下面，就本发明的薄板玻璃叠层体1的各个结构要素进行说明。薄板玻璃基板11是LCD、 OLED的显示装置用的玻璃基板，具有不足0.3mm 的厚度。薄板玻璃基板11的厚度较好为0. 2mm以下，更好为0. lmm以下。此 外，薄板玻璃基板11的厚度较好为0. 05誦以上。
另外，作为本发明的对象的显示装置主要是便携式电话和PDA之类的移动 终端中使用的小型的显示装置。显示装置主要是LCD或OLED，作为LCD，包括 TN型、STN型、FE型、TFT型、MIM型。
热收縮率、表面形状、耐化学品性等薄板玻璃基板11所要求的特性根据 显示装置的种类的不同而不同。因此，薄板玻璃基板可以是碱玻璃制的玻璃基 板。但是，因为热收縮率较小，所以较好的是无碱玻璃。
本发明中，薄板玻璃基板11较好的是热收縮率较小的玻璃基板。对于玻 璃，使用JIS R3102(1995年)规定的线膨胀系数作为热膨胀及热收縮的指标。 薄板玻璃基板11的线膨胀系数较好为50X1(T厂C以下，更好为45X10—7'C以 下，进一步更好为40X10—7'C以下，再进一步好为30X10—7厂C以下，特好为 20X10—7。C以下。
支持用玻璃基板12是以补强薄板玻璃基板11的强度为目的而与薄板玻璃 基板ll层叠的支持用玻璃基板，因此必须比薄板玻璃基板11厚。支持用玻璃 基板12的厚度较好的是可使其与薄板玻璃基板11的叠层体在目前的制造流水 线上流动的厚度。例如，目前的制造流水线是设计为使厚度为0.5mm的基板流 动的流水线，薄板玻璃基板11的厚度为0. lmm时，支持用玻璃基板12的厚度 较好的是与硅氧垸树脂层13的厚度相加为0. 4mm。
另外，如上所述，薄板玻璃基板11的厚度较好为0.2mm以下。目前的制 造流水线中最常见的是设计为使厚度为0. 7mm的玻璃基板流动的流水线。因此， 支持用玻璃基板12和硅氧烷树脂层13的总计厚度较好为0. 5mm以上。但是， 制造流水线不限定于设计为使厚度为0.5mm或0. 7mm的玻璃基板流动的流水 线，也有设计为使除此以外的厚度的玻璃基板流动的情况。例如，有设计为使 厚度不足0. 5mra的玻璃基板流动的情况，也有设计为使厚度超过0. 7mm的玻璃 基板流动的情况。
如果考虑后述的硅氧垸树脂层13的厚度，则支持用玻璃基板12的厚度较 好为0. 3 0. 8mm。此外，支持用玻璃基板12和硅氧烷树脂层13的厚度的总和 较好为O. 5mm以上、l.Omm以下。
此外，因为支持用玻璃基板12是补强薄板玻璃基板11的强度的支持用玻璃基板，所以其材质无特别限制，可以是碱玻璃或无碱玻璃中的任一种。但是， 支持用玻璃基板12较好的是其线膨胀系数与薄板玻璃基板11的线膨胀系数没 有很大不同。这是因为，支持用玻璃基板12的线膨胀系数大于薄板玻璃基板 11的线膨胀系数时，显示装置的制造工序中的加热工序中，支持用玻璃基板 12的膨胀被薄板玻璃叠层体1抑制，因此薄板玻璃叠层体1产生翘曲；相反地， 支持用玻璃基板12的线膨胀系数小于薄板玻璃基板11的线膨胀系数时，会发 生由薄板玻璃基板11的膨胀导致薄板玻璃基板11从硅氧烷树脂层13剥离的
不良情况。
如上所述，支持用玻璃基板12和薄板玻璃基板11的线膨胀系数只要没有
很大不同即可，因此不要求两者的线膨胀系数完全一致，可以稍有差别。薄板
玻璃基板11和支持用玻璃基板12的线膨胀系数的差较好为35X10—7厂C以下， 更好为25X1CT厂C以下，进一步更好为15X10—7"C以下。
另外，支持用玻璃基板12在补强薄板玻璃基板11的同时，也在薄板玻璃 叠层体1于制造流水线上移动时成为支承薄板玻璃基板11的基台，因此，其 尺寸较好的是与薄板玻璃基板11的尺寸相等，或大于薄板玻璃基板11的尺寸。
支持用玻璃基板12及硅氧烷树脂层13上设置有至少1个相互连通的孔14。
即，支持用玻璃基板12及硅氧烷树脂层13上，在薄板玻璃叠层体1的状态(使 支持用玻璃基板12和硅氧垸树脂层13叠层的状态)下相互一致的位置上分别 设置有至少l个的孔14。
将薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分离时，如果通过孔14将压縮 气体注入硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11的界面，则硅氧垸树脂层13和 薄板玻璃基板11剥离，可容易地将薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分 离。
图2中，在支持用玻璃基板12的中心部设置有1个孔14，但设置于支持 用玻璃基板12上的孔14的数量和其配置不限定于此，支持用玻璃基板12上 也可形成多个孔14。图3是表示本发明所用的支持用玻璃基板的变形例的平面 图。图3所示的支持用玻璃基板12上以相互间等间隔设置有6个孔14。使用 图3所示的支持用玻璃基板12时，在与该支持用玻璃基板12层叠的硅氧烷树 脂层上设置6个孔，使它们与设置于支持用玻璃基板12上的孔14的位置一致。 此外，在支持用玻璃基板12上设置1个孔14时，设置孔14的位置不限定于 支持用玻璃基板12的中心部，也可以是支持用玻璃基板12的周缘部附近。设置于支持用玻璃基板12上的孔14的数量及其配置较好的是在通过孔14
将压縮气体注入硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11的界面时，使硅氧烷树脂 层13和薄板玻璃基板11的剥离面积最大。
对设置于支持用玻璃基板12上的孔14的尺寸无特别限制，可根据设置于 支持用玻璃基板12上的孔14的数量及其配置、通过孔14注入的压縮气体的 压力、硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11之间的剥离力等适当选择。如后述 的实施例所示，孔14越大，就能使分离薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12 所需的压縮气体的压力越小。然而，如果孔14过大，则在显示装置的制造工 序中实施清洗时，蚀刻液和清洗液通过该孔14侵入硅氧垸树脂层13和薄板玻 璃基板11的界面，在原本不应该剥离的时刻硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板 ll可能会剥离，硅氧烷树脂层13所含的添加物可能会从孔14漏出。考虑到以 上问题点，设置于支持用玻璃基板12上的孔14的直径较好为0. lmni 10腿， 特好为0. 5mm 2mm。
制造本发明的薄板玻璃叠层体时，在具备至少l个孔的支持用玻璃基板上 形成硅氧烷树脂层，该硅氧垸树脂层具有易剥离性及非粘着性，且具有至少1 个与该支持用玻璃基板所具备的孔连通的孔，之后，在支持用玻璃基板的硅氧 垸树脂层形成面上层叠薄板玻璃基板。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层是指如下硅氧烷树脂层具有适 度的柔软性，不像粘着剂那样利用粘着力来固定薄板玻璃基板，而是利用由非 常接近的相对的固体分子间的范德华力产生的力、即密合力来固定薄板玻璃基 板。具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层的具体形态如后所述。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层利用密合力来固定薄板玻璃基 板，因此对层叠界面上将薄板玻璃基板和支持用玻璃基板平行地错开的力的耐 受力、即容许剪切力显示出较高的值。因此，显示装置的制造工序中，薄板玻 璃基板不会与支持用玻璃基板错位。所以，不会因错位而导致基板分离。
另一方面，由于硅氧垸树脂层所具有的易剥离性及非粘着性，与将薄板玻 璃基板从支持用玻璃基板上沿垂直方向剥离的力、即剥离力相对的粘着力显著 较低。因此，为了在薄板玻璃基板上制造显示装置而实施规定的处理后，可容 易地将支持用玻璃基板从薄板玻璃基板上分离。
硅氧烷树脂层的耐热性优异，因此加热处理后，例如在大气中以30(TC的 温度加热l小时后，可发挥出容许剪切力较高、而与剥离力相对的粘着力显著较低的上述特性。下面，本说明书中，将加热处理后、例如在大气中以300°C
的温度加热1小时后的硅氧垸树脂层具有上述特性的情况，即容许剪切力较高、 而与剥离力相对的粘着力显著较低的情况称为"加热处理后的剥离性优异"。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层具有适度的柔软性，因此层叠时 气泡难以混入，而且，混入气泡时，也可通过使用轧辊和压机等进行压接来容 易地除去该气泡。此外，尘垢等异物混入层叠界面时，也可通过具有柔软性的 硅氧垸树脂层的形变使其难以引起薄板玻璃叠层体的凸状缺陷。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层较好的是剥离纸用硅氧垸的固 化物。剥离纸用硅氧烷以硅氧垸中的分子内含有脱模性特别优异的直链状的二 甲基聚硅氧烷的硅氧垸作为主剂。剥离纸用硅氧烷含有上述主剂和交联剂，使 用催化剂、光聚合引发剂等使其固化，藉此固定于基材表面。剥离纸用硅氧烷 的固化涂膜具有优异的脱模性和适度的柔软性。如果使用具有上述特性的剥离 纸用硅氧烷作为硅氧垸树脂层，则可得到具有适度的柔软性、且具有易剥离性 及非粘着性的硅氧烷树脂层。
剥离纸用硅氧烷根据其固化机制的不同，可分为縮合反应型硅氧烷、加成 反应型硅氧烷、紫外线固化型硅氧垸、电子束固化型硅氧烷。本发明中，可使 用它们中的任一种。但是，从固化反应的容易程度、形成固化皮膜时形成具有 易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层的容易程度、固化物的耐热性的角度来 看，它们之中最好的是加成反应型硅氧垸。
加成反应型硅氧烷是含有由两末端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链 状聚有机硅氧烷构成的主剂和由甲基氢聚硅氧垸构成的交联剂，在铂系催化剂 的存在下发生加热固化反应而得的硅氧烷。
两末端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链状聚有机硅氧垸是以下式表
示的化合物，式中的ra、 n表示整数，可以是0。 m为0时，是两末端具有乙烯 基的直链状聚有机硅氧垸。m为1以上的整数时，是两末端及侧链中具有乙烯 基的直链状聚有机硅氧垸。
<formula>formula see original document page 13</formula>
甲基氢聚硅氧烷是以下式表示的化合物，式中的a表示整数，b表示l以 上的整数。<formula>formula see original document page 14</formula>
作为加热固化反应中使用的催化剂，较好的是使用铂系催化剂，作为铂系
催化剂，可使用公知的铂系催化剂。具体可例举氯铂(n)酸、氯钼(IV)酸等氯
钼酸，氯铂酸的醇化合物、醛化合物或氯铂酸和各种烯烃的络合盐等。另外，
钼系催化剂相对于剥离纸用硅氧烷IOO质量份，较好的是使用0. 1 20质量份， 更好的是1 10质量份。
剥离纸用硅氧垸在形态上有溶剂型、乳液型、无溶剂型，可使用其中的任 一种。但是，在生产性、安全性、环境特性方面较好的是无溶剂型。使用无溶 剂型硅氧烷时，因为不含固化时、即加热固化、紫外线固化或电子束固化时发 生发泡现象的溶剂，所以气泡难以残留在树脂层中。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层可以仅由1种剥离纸用硅氧烷形 成，但也可以使用2种以上的剥离纸用硅氧烷形成。使用2种以上的剥离纸用 硅氧烷形成硅氧烷树脂层时，可以制成2种以上的剥离纸用硅氧烷相互层叠而 成的多层结构的硅氧烷树脂层，也可以制成在1层中包含2种以上的剥离纸用 硅氧烷的混合硅氧烷树脂层。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层较好的是在分离玻璃基板时，硅 氧烷树脂层中的成分难以向薄板玻璃基板转移，即具有低硅氧垸转移性。硅氧 垸树脂层中的成分的转移容易程度可将该硅氧垸树脂层的残留粘接率作为指 标进行判断。硅氧烷树脂层的残留粘接率可用以下方法测定。
用人手的力将15mm宽的标准粘着带(cellotape(注册商标)CT405A—15(米 其邦(NICHIBAN)株式会社制))压接于硅氧烷树脂层的表面，在大气中以70°C加 热20小时。经过20小时后，将标准粘着带从硅氧垸树脂层剥离。将剥离的标 准粘着带贴合于洁净的玻璃基板(例如AN100(旭硝子株式会社制))表面后，测 定180°剥离强度(300mm/min)(剥离强度(A))。
用人手的力将与上述相同的标准粘着带压接于洁净的玻璃基板(例如 認100(旭硝子株式会社制))表面后，在常温大气中放置20小时。经过20小时 后，将标准粘着带从玻璃基板表面剥离。将剥离的标准粘着带贴合于玻璃基板 (例如AN100(旭硝子株式会社制))表面后，测定180°剥离强度(300國/min)(剥离强度(B))。通过下式求出残留粘接率。
残留粘接率(％)=剥离强度(A) /剥离强度(B) X 100
具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层的由上述测定方法求得的残留
粘接率较好为95%以上，更好为98%以上。如果残留粘接率为95%以上，则 可认为从硅氧烷树脂层向薄板玻璃基板表面的树脂层中的成分的转移极低。因 此，将玻璃基板分离后，形成有硅氧烷树脂层的支持用玻璃基板可在与其它薄 板玻璃基板的层叠中反复使用。此外，因为硅氧垸树脂层中的成分难以转移至 分离后的薄板玻璃基板的表面，所以在薄板玻璃基板的表面贴附偏光板等时不 会发生贴附不良等。
为得到具有低硅氧烷转移性的硅氧烷树脂层，只要使用不含转移性高的成
分的剥离纸用硅氧烷即可。作为常用的方法，为使剥离纸用硅氧垸易剥离化， 有时会掺入非反应性的硅氧烷。此时，作为非反应性硅氧烷，使用因直链二甲 基聚硅氧烷而使分子量非常高的硅氧烷，或使用导入了苯基或高级垸基、降低 与固化皮膜的相溶性的分子量比较低的硅氧垸。上述非反应性硅氧烷是转移性 高的成分，因此本发明所使用的剥离纸用硅氧垸较好的是非反应性的硅氧垸的 含量为5质量％以下，更好的是实质上不含非反应性的硅氧烷。
本发明中，作为合适的剥离纸用硅氧烷，具体可例举KNS — 320A、 KS — 847(均为信越有机硅株式会社制)，TPR6700(GE东芝有机硅株式会社制)等。
具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层的厚度较好为1 100"m。硅氧 烷树脂层的厚度不足lwm时，薄板玻璃基板与硅氧烷树脂层的密合可能变得 不充分。此外，夹杂有异物时也容易引起薄板玻璃基板的凸状缺陷。另一方面， 硅氧烷树脂层的厚度超过100ym时，对作为具有易剥离性及非粘着性的硅氧 烷树脂层的特性的贡献很小，硅氧垸树脂的固化需要时间，因此不经济。硅氧 烷树脂层的厚度更好为5 20um。如果硅氧垸树脂层的厚度为5 20"m，则 可对广泛的厚度范围内的薄板玻璃基板发挥良好的密合性。
对在支持用玻璃基板上形成具有易剥离性及非粘着性的硅氧垸树脂层的 方法无特别限制，可从公知的方法中适当选择。使用剥离纸用硅氧烷作为硅氧 烷树脂层时，在支持用玻璃基板表面涂布剥离纸用硅氧垸后，在层叠薄板玻璃 基板之前使剥离纸用硅氧垸固化。
这里，为形成具有至少l个与支持用玻璃基板所具备的孔连通的孔的硅氧 烷树脂层，只要在向预先设置有孔的支持用玻璃基板上涂布剥离纸用硅氧烷时，采用剥离纸用硅氧烷不会侵入设置于支持用玻璃基板上的孔的涂布方法即 可。具体地说，采用如下方法即可将密封剂封入设置于支持用玻璃基板上的 孔，或通过贴附胶带等将孔密封，在此状态下涂布剥离纸用硅氧烷，使剥离纸 用硅氧烷固化形成硅氧垸树脂层，之后去除密封剂或胶带等。
作为涂布剥离纸用硅氧烷的方法，可使用公知的方法，具体地说例如可例 举喷涂法、模途法、旋涂法、浸涂法、辊涂法、刮棒涂布法、网版印刷法、凹 版涂布法等。这些涂布方法可根据剥离纸用硅氧烷的种类适当选择。例如，剥 离纸用硅氧烷为无溶剂型时，较好的是模涂法、旋涂法及网版印刷法。其中， 釆用网版印刷法时，可在不实施上述涂布前的孔的密封的情况下，形成具有至 少1个与支持用玻璃基板所具备的孔连通的孔的硅氧烷树脂层，所以特好。
剥离纸用硅氧烷为无溶剂型时，其涂布量较好为lg/m3 100g/m3，更好为 5g/m'! 20g/m3。
另外，也可在未预先设置孔的支持用玻璃基板的整个表面涂布剥离纸用硅 氧烷，使剥离纸用硅氧垸固化形成硅氧烷树脂层，之后通过物理方法形成连通 硅氧烷树脂层和支持用玻璃基板的孔，藉此形成连通支持用玻璃基板和硅氧垸 树脂层的孔。
剥离纸用硅氧垸为加成反应型硅氧烷时，通过上述的任一种方法将含有主 剂及交联剂的剥离纸用硅氧烷和催化剂的混合物涂布于支持用玻璃基板上，之 后加热固化。加热固化条件根据催化剂的掺合量的不同而不同，例如，相对于 剥离纸用硅氧烷100质量份掺合了 2质量份的铂系催化剂时，在大气中以50 。C 250。C、较好为10(TC 20(TC的温度加热固化1 10分钟、较好为1 5分 钟。
为制成具有低硅氧烷转移性的硅氧垸树脂层，较好的是尽可能地进行固化 反应，使硅氧烷树脂层中不残留未反应的硅氧烷成分。如果以上述条件加热固 化，则可使硅氧烷树脂层中不残留未反应的硅氧垸成分。与上述条件相比，加 热时间过长、或加热温度过高时，会同时引起硅氧烷树脂的氧化分解，生成低 分子量的硅氧烷成分，因此硅氧垸转移性提高。为使加热处理后的剥离性良好， 较好的也是如上所述，尽可能地进行固化反应，使硅氧垸树脂层中不残留未反 应的硅氧烷成分。
通过使剥离纸用硅氧垸加热固化，硅氧垸树脂层与支持用玻璃基板化学结 合，此外，硅氧烷树脂层与支持用玻璃基板通过锚定效果结合。通过这些作用，
16硅氧垸树脂层被固定在支持用玻璃基板上。
另一方面，薄板玻璃基板藉由非常接近的相对的固体分子间的范德华力产 生的力、即密合力被固定在硅氧烷树脂层上，所以将层积于支持用玻璃基板的 硅氧烷树脂形成面上的薄板玻璃基板分离时，可防止硅氧烷树脂层残存于分离 后的薄板玻璃基板的表面。
也就是说，通过使用剥离纸用硅氧烷，可将支持用玻璃基板和薄板玻璃基 板保持在层叠状态，并且也可在分离薄板玻璃基板时防止硅氧垸树脂层残存于 分离后的薄板玻璃基板的表面，结果可达到本发明的目的。
在支持用玻璃基板的硅氧烷树脂形成面上层叠薄板玻璃基板的步骤可用 公知的方法实施，例如，在常压环境下，在硅氧烷树脂形成面上层叠薄板玻璃 基板后，可使用轧辊或压机压接叠层体。通过用轧辊或压机压接，硅氧烷树脂 层和薄板玻璃基板更为密合。
此外，通过使用轧辊或压机的压接，混入叠层体中的气泡被容易地除去。
从气泡的混入的抑制和良好的密合的确保的角度来看，特好的是采用真空 层压法、真空加压法。也具有通过在真空下层叠、即使在残存有少量的气泡的 情况下、气泡也不会因加热而成长、难以引起薄板玻璃基板的凸状缺陷的优点。
在支持用玻璃基板的硅氧垸树脂层形成面上层叠薄板玻璃基板时，必须将 薄板玻璃基板的表面充分洗净，在清洁度较高的环境下层叠。
这是因为，如果是极少量的异物，则它们的影响通过具有柔软性的硅氧垸 树脂层的形变被硅氧垸树脂层吸收，不会对层叠后的薄板玻璃基板表面的平坦 性造成影响，但根据其量和尺寸的不同，也有引起层叠后的薄板玻璃基板表面 的凸状缺陷的可能性。
本发明的薄板玻璃叠层体如图4所示，通过设置于支持用玻璃基板12上 的孔14将压縮气体注入硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板11的界面，藉此， 硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板11剥离。这样可容易地将薄板玻璃基板11 和支持用玻璃基板12分离。此时，为使压縮气体不会向周围泄漏，通过用密 封剂40将压縮气体注入用的管子30和孔14的接合部分的周围密封，可进行 高效的分离。
这里，可以藉由选择孔14的数量、配置及通过孔14注入的压縮气体的压 力等，通过孔14向硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板11的界面注入压縮气体， 仅藉此使硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11剥离，薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分离，也可以并用用手剥离或用其它夹具剥离的方法，使硅氧 烷树脂层13和薄板玻璃基板11剥离，薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12
分离。采用后者的方法时，通过将压縮气体注入硅氧垸树脂层13和薄板玻璃 基板11的界面，赋予硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11剥离的切入口，所 以通过用手剥离或用其它夹具剥离，可使硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11 剥离，藉此可容易地将薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分离。
通过孔14注入的压縮气体的种类只要不会对薄板玻璃基板11、支持用玻 璃基板12及硅氧烷树脂层13造成恶劣影响即可，无特别限制。因为廉价，所 以可优选使用压縮空气、压縮氮气等。此外，通过孔14注入的压縮气体的压 力也无特别限制，可在不会使薄板玻璃基板ll及支持用玻璃基板12破损的范 围内适当选择。
剥离的支持用玻璃基板呈形成有具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂 层的状态，所以可再次用于与别的薄板玻璃基板的层叠。
接着，就本发明的显示装置的制造方法进行说明。本发明的显示装置的制 造方法中，以上述步骤形成本发明的薄板玻璃叠层体后，为了在叠层体的薄板 玻璃基板上制造显示装置而实施规定的处理。本说明书中，提及为了制造显示 装置而作的规定的处理时，广泛包括制造LCD或OLED的显示装置时在制造工 序中所实施的各种处理。作为这里所实施的处理的具体示例，如果以制造LCD 时为例，则包括在薄板玻璃基板上形成阵列的工序、在与该薄板玻璃基板不同 的薄板玻璃基板上形成滤色片的工序、将形成有阵列的薄板玻璃基板与形成有 滤色片的薄板玻璃基板贴合的工序(阵列 滤色片贴合工序)等各种工序；作为 在这些工序中实施的处理，具体地说例如可例举纯水清洗、干燥、成膜、保护 层涂布、曝光、显影、蚀刻及保护层除去等。另外，作为在实施阵列…滤色片 贴合工序后进行的工序，有液晶注入工序及在实施该处理后进行的注入口的密 封工序，也包括在这些工序中实施的处理。但是，这些处理不必全部都在叠层 体的状态下实施。例如，从强度及操作性的角度来看，较好的是在叠层体的状 态下实施到阵列 滤色片贴合工序为止的工序，之后将薄板玻璃基板和支持用 玻璃基板分离，然后实施液晶注入处理。
另外，本发明的显示装置的制造方法中，形成阵列的玻璃基板及形成滤色 片的玻璃基板可以不都是薄板玻璃基板。例如，可以将形成有阵列的薄板玻璃 基板与形成有滤色片的普通厚度的玻璃基板贴合，或者也可以将形成有阵列的普通厚度的玻璃基板与形成有滤色片的薄板玻璃基板贴合。此时，虽然作为凝 胶化后的显示元件的总厚度变厚，但是有机械强度提高的优点。这里所说的普
通厚度的玻璃基板是指厚度为0. 3mra以上的玻璃基板。
此外，如果以制造OLED时为例，则作为用于在薄板玻璃基板上形成有机 EL结构体的工序，包括形成透明电极的工序，蒸镀空穴注入层、空穴传输层、 发光层、电子传输层等的工序，密封工序等各种工序；作为在这些工序中实施 的处理，具体地说例如可例举成膜处理、蒸镀处理、密封板的接合处理等。
实施上述规定的处理后，将薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离。图5(a)、 (b)是表示实施液晶阵列 滤色片贴合工序后的显示装置中，将薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板分离的步骤的图。
图5(a)中，2个薄板玻璃叠层体1通过封接材料21贴合，形成显示装置 20。显示装置20中，在由2块薄板玻璃基板11和封接材料21定义的封闭空 间内，形成有阵列、滤色片等结构物22。
如图5(b)所示，在将构成显示装置20的2个薄板玻璃叠层体1中的一个 用真空吸附等固定于固定台50的状态下，通过设置于另一个薄板玻璃叠层体1 的支持用玻璃基板12上的孔14，将压縮空气注入硅氧烷树脂层13和薄板玻璃 基板11的界面，藉此使硅氧烷树脂层13与薄板玻璃基板11剥离，将薄板玻 璃基板11和支持用玻璃基板12分离。之后，将显示装置20反转，将从支持 用玻璃基板12分离的薄板玻璃基板11固定于固定台50，在此状态下，通过设 置于图5(b)中固定于固定台50的薄板玻璃叠层体1的支持用玻璃基板12上的 孔14，将压縮空气注入硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11的界面，藉此使硅 氧垸树脂层13与薄板玻璃基板11剥离，从而可将薄板玻璃基板11和支持用 玻璃基板12分离。
将薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离后，经过必要的所希望的工序得到 具有薄板玻璃基板的显示装置。作为这里所实施的工序，显示装置为LCD时， 例如可例举分割成所希望的尺寸的单元的工序、注入液晶之后将注入口密封的 工序、贴附偏光板的工序、模块形成工序等。显示装置为OLED时，除上述工 序外，还包括将形成有有机EL结构体的薄板玻璃基板和对向基板装配起来的 工序。另外，因为薄板玻璃基板的强度不会因切割处理而下降，也不会产生碎 玻璃，所以分割成所希望的尺寸的单元的工序较好的是使用激光切割器切割。
此外，本发明提供支持用玻璃基板，它是用于与薄板玻璃基板层叠的支持用玻璃基板，在支持用玻璃基板的一个面上形成有具有易剥离性及非粘着性的 硅氧烷树脂层，支持用玻璃基板和硅氧烷树脂层上设置有至少l个相互连通的 孔。
实施例 (实施例1)
本实施例中，制作了图l、 2所示的薄板玻璃叠层体。
如图2所示，在纵向长度100mm、横向长度100mm、厚度0. 7mm、线膨胀系 数38X1(T/X:的支持用玻璃基板12(旭硝子株式会社制AN100)的中心部用金刚 石钻头开出孔径1.5mm的孔14。用纯水清洗、UV清洗等将该基板12净化后， 用网板印刷机涂布100质量份的无溶剂加成反应型剥离纸用硅氧烷(信越有机 硅株式会社制KNS —320A)和2质量份的铂系催化剂(信越有机硅株式会社制 CAT-PL-56)的混合物(涂布量15g/m2)，以IO(TC的温度在大气中加热固化3分 钟，形成膜厚15"m的硅氧烷树脂层13。在支持用玻璃基板12上的孔14的部 分不形成硅氧垸树脂层13，可形成连通支持用玻璃基板12和硅氧垸树脂层13 的孔14。
用纯水清洗、UV清洗等将纵向长度95mm、横向长度95mm、厚度0. l誦、 线膨胀系数38X10—7。C的薄板玻璃基板(旭硝子株式会社制AN100)的与硅氧烷 树脂层的接触侧的面净化后，在室温下用真空加压将支持用玻璃基板的硅氧烷 树脂层形成面与薄板玻璃基板贴合，得到薄板玻璃叠层体1。
薄板玻璃叠层体1中，薄板玻璃基板在不产生气泡的情况下与硅氧垸树脂 层密合，也无凸状缺陷，平滑性也良好。
如图6所示，将薄板玻璃叠层体1设置于固定台50上，通过真空吸附固 定，使薄板玻璃基板11为下侧。在此状态下，将压縮空气注入用的管子30的 周围用密封剂40密封，使其与设置于支持用玻璃基板12上的孔14相连，使 空气不会泄漏。之后，将1.41kgf/cm2(13. 8X10卞a)的压缩空气通过孔14注入 硅氧烷树脂层13和薄板玻璃基板11的界面，然后进行硅氧垸树脂层13和薄 板玻璃基板11的剥离，可容易地用手将支持用玻璃基板12从薄板玻璃基板11 分离。
对以30(TC的温度加热1小时后的薄板玻璃叠层体1也实施相同步骤的处 理。将1.75kgf/cm2(17. 2X10卞a)的压縮空气通过孔14注入硅氧烷树脂层13
20和薄板玻璃基板11的界面，然后进行硅氧垸树脂层13和薄板玻璃基板11的 剥离，可容易地用手将支持用玻璃基板12从薄板玻璃基板11分离。
(实施例2、 3)
除将孔14的孔径变为lmm(实施例2)、 2mm(实施例3)这一点以外，与实施 例1相同实施处理。
实施例1 3的剥离试验的结果如图7所示。由图7可以确认，如果增大 孔14的孔径，则可降低分离薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12所需的压 縮空气的压力。此外，以30(TC的温度加热1小时后的薄板玻璃叠层体与加热 前的薄板玻璃叠层体相比，虽有必要提高压縮空气的压力，但可以容易地用手 将支持用玻璃基板12从薄板玻璃基板11分离。
(实施例4)
在纵向长度400隱、横向长度300mm、厚度0. 7mm、线膨胀系数38X10—7 。C的支持用玻璃基板(旭硝子株式会社制AN100)的图8所示的规定的位置上用 金刚石钻头开出7个孔径1.5mm的孔。用纯水清洗、UV清洗等将该基板净化后， 用网板印刷机涂布100质量份的无溶剂加成反应型剥离纸用硅氧烷(信越有机 硅株式会社制KNS — 320A)和2质量份的铂系催化剂(信越有机硅株式会社制 CAT-PL-56)的混合物(涂布量15g/m2)，以100°C的温度在大气中加热固化3分 钟，形成膜厚15ym的硅氧烷树脂层。在支持用玻璃基板上的孔的部分不形成 硅氧烷树脂层，可形成连通支持用玻璃基板和硅氧垸树脂层的孔。
用纯水清洗、UV清洗等将纵向长度400mm、横向长度300腿、厚度0. lmm、 线膨胀系数38X10—7。C的薄板玻璃基板(旭硝子株式会社制認100)的与硅氧烷 树脂层的接触侧的面净化后，在室温下用真空加压将支持用玻璃基板的硅氧烷 树脂层形成面与薄板玻璃基板贴合，得到本发明的薄板玻璃叠层体(薄板玻璃 叠层体2)。
薄板玻璃叠层体2中，薄板玻璃基板在不产生气泡的情况下与硅氧垸树脂 层密合，也无凸状缺陷，平滑性也良好。 [剥离试验]
将薄板玻璃叠层体2设置于具有多个微细的吸附孔的平滑的固定台上，通 过真空吸附固定，使薄板玻璃基板为下侧。在此状态下，将压縮空气注入用的 管子的周围用密封剂密封，使其与形成于支持用玻璃基板上的各孔相连，使空 气不会泄漏。之后，将3. 5Xl(TPa的压縮空气通过设置于支持用玻璃基板上的孔注入硅氧烷树脂层和薄板玻璃基板的界面，然后进行硅氧烷树脂层和薄板玻 璃基板的剥离，可容易地用手将支持用玻璃基板从薄板玻璃基板分离。 (实施例5)
本实施例中，用实施例4中得到的薄板玻璃叠层体2制造LCD。准备2块 薄板玻璃叠层体2，对l块实施阵列形成工序，在薄板玻璃基板的表面形成阵 列。对剩下的l块实施滤色片形成工序，在薄板玻璃基板的表面形成滤色片。 将形成有阵列的薄板玻璃基板与形成有滤色片的薄板玻璃基板贴合后，用使用 图5(a)、 (b)进行说明的方法将2块支持用玻璃基板分离。接着，用激光切割 器切割薄板玻璃基板，分割成28个纵向长度51誦X横向长度38咖的单元，之 后实施液晶注入工序及注入口的密封工序，形成液晶单元。实施在形成的液晶 单元上贴附偏光板的工序，接着实施模块形成工序，得到LCD。如上所述得到 的LCD未产生特性方面的问题。
(实施例6)
本实施例中，用实施例4中得到的薄板玻璃叠层体2和厚度0. 7mm的无碱 玻璃基板制造LCD。准备薄板玻璃叠层体2，实施滤色片形成工序，在薄板玻 璃基板的表面形成滤色片。另一方面，对厚度0. 7mm的无碱玻璃基板(旭硝子 株式会社制AN100)实施阵列形成工序，在厚度0. 7mm的无碱玻璃基板的表面形 成阵列。
将形成有滤色片的薄板玻璃基板与形成有阵列的厚度0. 7mm的无碱玻璃基 板贴合后，用使用图5(a)、 (b)进行说明的方法将支持用玻璃基板分离。
接着，将薄板玻璃基板一无碱玻璃基板贴合体分割成28个纵向长度51rmn X横向长度38mm的单元，此时，用激光切割器切割薄板玻璃基板。另一方面， 用激光切割器或划线裂片(scribe-break)法切割无碱玻璃基板。
之后，实施液晶注入工序及注入口的密封工序，形成液晶单元。实施在形 成的液晶单元上贴附偏光板的工序，接着实施模块形成工序，得到LCD。如上 所述得到的LCD未产生特性方面的问题。
(实施例7)
本实施例中，用实施例4中得到的薄板玻璃叠层体2制造0LED。实施形成 透明电极的工序，形成辅助电极的工序，蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光 层、电子传输层等的工序，将它们密封的工序，藉此在薄板玻璃叠层体2的薄 板玻璃基板上形成有机EL结构体。接着，用实施例4中记载的方法将薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分离。接着，用激光切割器切割薄板玻璃基板，分割 成40个纵向长度41ramX横向长度30誦的单元，之后将形成有有机EL结构体 的薄板玻璃基板和对向基板装配起来，实施模块形成工序，制成0LED。如上所 述得到的OLED未产生特性方面的问题。 (比较例1)
除使用未开孔的支持用玻璃基板外，实施与实施例4相同步骤的处理，得 到比较例的薄板玻璃叠层体3。薄板玻璃叠层体3中，为剥离支持用玻璃基板， 必需用剃刀刀刃赋予端部以剥离的切入点，支持用玻璃基板的分离需要相当多 的时间。
产业上利用的可能性
利用本发明得到的薄板玻璃叠层体，可在LCD、 OLED等各种显示装置的制 造工序内作为显示装置用玻璃基板的处理用的薄板玻璃叠层体使用。此外，使 用了本发明的薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法可作为LCD、 OLED等各种 显示装置的制造方法使用。
这里引用2006年5月8日提出申请的日本专利申请2006-129282号的说 明书、权利要求书、附图以及摘要的全部内容作为本发明的说明书的揭示。
权利要求
1. 一种薄板玻璃叠层体，它是使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板层叠而成的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述薄板玻璃基板和所述支持用玻璃基板隔着具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层层叠，且所述硅氧烷树脂层和所述支持用玻璃基板上设置有至少1个相互连通的孔。
2. 如权利要求1所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述支持用玻璃 基板的孔的直径为0. l画 10mm。
3. 如权利要求1或2所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述硅氧垸 树脂层还具有低硅氧烷转移性。
4. 如权利要求1 3中任一项所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述 硅氧烷树脂层是由剥离纸用硅氧垸的固化物构成的层。
5. 如权利要求4所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述剥离纸用硅 氧垸的固化物是两末端、或两末端及侧链中具有乙烯基的直链状聚有机硅氧垸 与甲基氢聚硅氧垸的交联反应物。
6. 如权利要求1 5中任一项所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述 薄板玻璃基板的厚度不足0.3mm，所述支持用玻璃基板和所述硅氧烷树脂层的 厚度的总和为O. 5mm以上。
7. 如权利要求1 6中任一项所述的薄板玻璃叠层体，其特征在于，所述 支持甩玻璃基板的线膨胀系数和所述薄板玻璃基板的线膨胀系数的差为15 X 10—7"C以下。
8. —种使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法，它是使用薄板玻 璃基板的显示装置的制造方法，其特征在于，具有在具备至少l个孔的支持用玻璃基板上形成硅氧烷树脂层的工序，该硅氧 烷树脂层具有易剥离性及非粘着性，且具有至少l个与所述支持用玻璃基板所具备的孔连通的孔，在所述支持用玻璃基板的所述硅氧垸树脂层形成面上层叠薄板玻璃基板 的工序，为了在所述薄板玻璃基板上制造显示装置而实施处理的工序，和 从所述支持用玻璃基板所具备的孔向所述硅氧烷树脂层和所述薄板玻璃基板的界面注入压縮气体，将所述薄板玻璃基板和所述支持用玻璃基板分离的 工序。
9. 如权利要求8所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法， 其特征在于，所述硅氧烷树脂层是由剥离纸用硅氧烷的固化物构成的层。
10. 如权利要求9所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法，其特征在于，所述剥离纸用硅氧烷的固化物是两末端、或两末端及侧链中具有 乙烯基的直链状聚有机硅氧烷与甲基氢聚硅氧垸的交联反应物。
11. 如权利要求8所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法， 其特征在于，所述在支持用玻璃基板上形成硅氧烷树脂层的工序通过在所述支 持用玻璃基板上涂布剥离纸用硅氧烷，之后使所述剥离纸用硅氧烷固化来进 行。
12. 如权利要求11所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法， 其特征在于，所述剥离纸用硅氧垸含有两末端、或两末端及侧链中具有乙烯基 的直链状聚有机硅氧烷，甲基氢聚硅氧垸及铂系催化剂。
13. 如权利要求11或12所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装置的制造 方法，其特征在于，所述剥离纸用硅氧烷不含非反应性硅氧烷。
14. 如权利要求11 13中任一项所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装 置的制造方法，其特征在于，所述剥离纸用硅氧烷的涂布使用网版印刷法。
15. 如权利要求11 14中任一项所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装 置的制造方法，其特征在于，涂布所述剥离纸用硅氧垸后，使其在50 250°C 的温度下加热固化。
16. 如权利要求11 15中任一项所述的使用了薄板玻璃叠层体的显示装 置的制造方法，其特征在于，在所述支持用玻璃基板的所述硅氧垸树脂层形成 面上层叠薄板玻璃基板的工序使用真空加压或真空层压。
17. —种支持用玻璃基板，它是用于与薄板玻璃基板层叠的支持用玻璃基 板，其特征在于，在所述支持用玻璃基板的一个面上形成有具有易剥离性及非 粘着性的硅氧烷树脂层，所述支持用玻璃基板和所述硅氧烷树脂层上设置有至 少1个相互连通的孔。
全文摘要
本发明提供抑制薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的气泡的混入和异物导致的凸状缺陷的产生、薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的分离容易、且耐热性优异的薄板玻璃叠层体，及使用了该薄板玻璃叠层体的显示装置的制造方法，以及该薄板玻璃叠层体用的支持用玻璃基板。上述薄板玻璃叠层体是使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板层叠而成的薄板玻璃叠层体，其特征在于，上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板隔着具有易剥离性及非粘着性的硅氧烷树脂层层叠，且上述硅氧烷树脂层和上述支持用玻璃基板上设置有至少1个相互连通的孔。
文档编号G09F9/00GK101437772SQ20078001639
公开日2009年5月20日 申请日期2007年4月20日 优先权日2006年5月8日
发明者樋口俊彦 申请人:旭硝子株式会社