像素缺陷检测方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及缺陷检测技术，特别是涉及一种像素缺陷检测方法和装置。
【背景技术】
[0002] 有机发光显示（Organic Light-Emitting Diode, 0LED)是主动发光显示器件，相 比目前主流的薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)，其具有高对比度，广视角，低功耗，响应速度快，体积更薄等优点，有望成为继LCD 之后的下一代平板显示技术。
[0003] 在OLED的制造过程中，会因工艺的问题导致各种不良，其画面显示亮度的均匀性 很难得到保证，如何提升良率就成为每个制造商都非常关心的问题。首先，必须对不良进行 检测，找出不良发生的根因，然后才可以有针对性的进行工艺上的改善提升良率。传统的 流水线上多采用自动光学检测装置对工艺中的一些不良进行检测，其需要高精度的物理对 准，因为对准偏差会直接影响像素级别的检测效果。并限制了缺陷检测的阈值设定，如果阈 值设置过小，高的像素对比精度可能会造成大面积的误检，所以选择合适的阈值比较困难， 且容易出现漏检。同时其高精度的定位移动扫描和复杂的图像采集系统限制了其应用场 合。
【发明内容】
[0004] 基于此，有必要提出一种无需高精度物理对准和定位移动扫描的快速检测方法和 装直。
[0005] -种像素缺陷检测方法，包括如下步骤：
[0006] 对待测基板进行视频扫描；
[0007] 抽取满足预设条件的视频帧图片；
[0008] 将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片；
[0009] 将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素。
[0010] 在其中的一个实施例中，所述将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定 缺陷像素的步骤包括：
[0011] 根据所述参考图片中的采样点确定所述配准图片中的采样区域；
[0012] 将所述采样区域与所述参考图片中的对应区域进行对比，判断所述采样区域内是 否有所述缺陷像素；
[0013] 确定所述采样区域的所述缺陷像素。
[0014] 在其中的一个实施例中，在所述对待测基板进行视频扫描的步骤前，还包括插入 相应的滤波装置的步骤。
[0015] 在其中的一个实施例中，所述对待测基板进行视频扫描具体为多次使用不同波长 的滤波装置重复的对所述待测基板进行视频扫描。
[0016] 在其中的一个实施例中，还包括获取所述采样区域像素的光谱曲线，然后根据所 述光谱曲线的一致性判断异常点的位置。
[0017] 在其中的一个实施例中，将所述采样区域的像素灰度与所述参考图片中的对应区 域的像素灰度的差值大于所述预设阈值的像素作为缺陷像素。
[0018] 在其中的一个实施例中，所述抽取满足预设条件的视频帧图片具体为等间隔抽取 图片之间的相关度在预设范围的视频帧图片。
[0019] 在其中的一个实施例中，所述对待测基板进行视频扫描的模式为基板移动模式或 相机移动模式。
[0020] 在其中的一个实施例中，通过S型路径匀速移动所述待测基板实现对所述待测基 板进行视频扫描。
[0021] 在其中的一个实施例中，所述将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图 片的步骤包括：
[0022] 计算所述视频帧图片与所述参考图片之间的相关度；
[0023] 将所述相关度最大值对应的所述视频帧图片和所述参考图片相应部分对应起来 作为配准图片。
[0024] 在其中的一个实施例中，所述将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图 片包括：
[0025] 获取所述视频帧图片与所述参考图片之间的一对特征点；
[0026] 根据所述特征点坐标求出
【主权项】
1. 一种像素缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤： 对待测基板进行视频扫描； 抽取满足预设条件的视频帧图片； 将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片； 将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素。
2. 如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述将所述配准图片与所述 参考图片进行对比分析确定缺陷像素的步骤包括： 根据所述参考图片中的采样点确定所述配准图片中的采样区域； 将所述采样区域与所述参考图片中的对应区域进行对比，判断所述采样区域内是否有 所述缺陷像素； 确定所述采样区域的所述缺陷像素。
3. 如权利要求2所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，在所述对待测基板进行视频 扫描的步骤前，还包括插入相应的滤波装置的步骤。
4. 如权利要求3所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述对待测基板进行视频扫 描具体为多次使用不同波长的滤波装置重复的对所述待测基板进行视频扫描。
5. 如权利要求4所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，还包括获取所述采样区域像 素的光谱曲线，然后根据所述光谱曲线的一致性判断异常点的位置。
6. 如权利要求2所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，将所述采样区域的像素灰度 与所述参考图片中的对应区域的像素灰度的差值大于所述预设阈值的像素作为缺陷像素。
7. 如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述抽取满足预设条件的视 频帧图片具体为等间隔抽取图片之间的相关度在预设范围的视频帧图片。
8. 如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述对待测基板进行视频扫 描的模式为基板移动模式或相机移动模式。
9. 如权利要求1所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，通过S型路径匀速移动所述待 测基板实现对所述待测基板进行视频扫描。
10. 如权利要求1至9中任一项所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述将所述视 频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片的步骤包括： 计算所述视频帧图片与所述参考图片之间的相关度； 将所述相关度最大值对应的所述视频帧图片和所述参考图片相应部分对应起来作为 配准图片。
11. 如权利要求1至9中任一项所述的像素缺陷检测方法，其特征在于，所述将所述视 频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片包括： 获取所述视频帧图片与所述参考图片之间的一对特征点： 根据所述特征点坐标求出
中的（I1和d2，其中
表示所述视频帧图片的坐标（X，y)与所述参考图片坐标（χ〇, y。）之 间的仿射变换关系，其中％、bp a2和b2都等于1 ; 根据公式
将所述视频帧图片进行相应的平移并与所述参考 图片对准作为配准图片。
12. -种像素缺陷检测装置，其特征在于，包括： 视频扫描单元，用于对待测基板进行视频扫描； 图片抽取单元，用于抽取满足预设条件的视频帧图片； 配准单元，用于将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片； 缺陷像素确定单元，用于将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像 素。
13. 如权利要求12所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷像素确定单元包 括： 采样区域确定单元，用于根据所述参考图片中的采样点确定所述配准图片中的采样区 域； 对比单元，用于将所述采样区域与所述参考图片中的对应区域进行对比，判断所述采 样区域内是否有所述缺陷像素； 缺陷像素获取单元，用于获取所述采样区域的所述缺陷像素。
14. 如权利要求13所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，在视频扫描单元对待测基 板进行视频扫描前，插入相应的滤波装置。
15. 如权利要求14所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，视频扫描单元对所述待测 基板进行视频扫描具体为视频扫描单元多次使用不同波长的滤波装置重复的对所述待测 基板进行视频扫描。
16. 如权利要求15所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，还包括一致性判断单元，所 述一致性判断单元用于获取所述采样区域像素的光谱曲线，然后根据所述光谱曲线的一致 性判断异常点的位置。
17. 如权利要求13所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，将所述采样区域的像素灰 度与所述参考图片中的对应区域的像素灰度的差值大于所述预设阈值的像素作为缺陷像 素。
18. 如权利要求12所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，所述抽取满足预设条件的 视频帧图片具体为等间隔抽取图片之间的相关度在预设范围的视频帧图片。
19. 如权利要求12所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，所述对待测基板进行视频 扫描的模式为基板移动模式或相机移动模式。
20. 如权利要求12所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，通过S型路径匀速移动所述 待测基板实现对所述待测基板进行视频扫描。
21. 如权利要求12至20中任一项所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，所述配准单 元包括： 相关度计算单元，用于计算所述视频帧图片与所述参考图片之间的相关度； 第一图片配准单元，用于将所述相关度最大值对应的所述视频帧图片和所述参考图片 相应部分对应起来作为配准图片。
22. 如权利要求12至20中任一项所述的像素缺陷检测装置，其特征在于，所述配准单 元包括： 特征点获取单元，用于获取所述视频帧图片与所述参考图片之间的一对特征点； 参数求解单元，用于根据所述特征点坐标求出
中的Cl1和d2，其 4表示所述视频帧图片的坐标（X，y)与所述参考图片坐标（χ〇, y。） 之间的仿射变
换关糸，其中和b2都等于I ; 第二图片配准单元，用于根据公另
，将所述视频帧图片进行 相应的平移并与所述参考图片对准作为配准图片。
【专利摘要】一种像素缺陷检测方法，包括如下步骤：对待测基板进行视频扫描；抽取满足预设条件的视频帧图片；将所述视频帧图片与参考图片进行配准获取配准图片；将所述配准图片与所述参考图片进行对比分析确定缺陷像素。上述像素缺陷检测方法通过视频拍摄并抽取满足预设条件的帧图片，相对于普通的相机拍照能够提高检测的速度，通过对视频帧图片与参考图片进行配准可以实现在无高精度物理对准和定位移动扫描的情况下对待测基板缺陷的快速检测。此外还提供了一种像素缺陷检测装置。
【IPC分类】G09G3-00, G01N21-89
【公开号】CN104732900
【申请号】CN201310713365
【发明人】刘将, 魏朝刚
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月20日