本发明涉及一种用于制造半导体元件、半导体集成电路等的抗蚀剂组合物、以及一种使用该抗蚀剂组合物制造抗蚀剂膜的方法。、在半导体等器件的制造过程中，通常采用使用抗蚀剂的光刻技术进行微细加工。微细加工工艺包括：在硅晶圆等半导体基板上形成薄的抗蚀剂层；用与目标器件图案对应的掩模图案覆盖该层；通过掩模...

本公开的实施方式大体上涉及用于控制先进封装系统中的翘曲的系统及方法，并且特定而言关于用于控制先进封装系统中的翘曲的夹环。、数字平板印刷是用于在不使用传统或实体光掩模的情况下将图案数字地产生到基板表面上的特殊形式的光平板印刷。不存在传统的光掩模、及由此种数字系统实现的多功能性，实现了平板印刷...

本发明涉及一种眼镜装置。、已知存在一种多焦点眼镜的技术，该多焦点眼镜具有第一透镜和通过施加电压使焦距发生变化的第二透镜，并对该第二透镜以预定周期阶梯式反复施加多个电压值（参照专利文献）。、另外，已知一种可变折射率控制型眼镜的技术，该可变折射率控制型眼镜具有偏振膜、液晶层、透镜及（参照专利文...

、电泳显示器(epd)通过修改带电有色粒子相对于透光观察表面的位置来改变颜色。这种电泳显示器通常被称为“电子纸”或“epaper”，因为由此产生的显示器具有高对比度并且在阳光下可读，很像纸上的墨水。电泳显示器在电子阅读器（例如amazon kindle®）中得到广泛采用，因为电泳显示器提供...

本发明属于光学，具体涉及一种具有梳状滤波特性的光学滤波器及制备方法。、光学滤波器是波分复用系统、光谱分析、传感及激光技术中的核心器件。根据应用需求的不同，光学滤波器需要具备多样化的光谱响应特性。、然而，传统光学滤波器存在以下技术问题：、（）传统光学滤波器功能较为单一，当面临需要复合滤波特性...

本发明属于光子器件集成装配工艺，具体涉及一种适配多层微裂纹光波导的分布式光子突触运算单元搭载集成工艺。、传统光电器件组装多采用机械对位与一次性灌封工艺，装配精度低，且胶体固化产生的内应力易挤压微裂纹光路，造成裂纹形变扩展、光路性能衰减甚至失效；同时常规工艺无法针对不同位点的光路权重需求匹配...

本发明涉及光学元件领域，更具体地，涉及一种七片式光学成像镜头。、随着智能手机、车载摄像、安防监控、运动相机及ar/vr等电子产品的快速迭代发展，摄影镜头已成为各大终端产品展现差异化特色与成像质量竞争力的核心部件。尤其在全球智能手机领域，七片式光学成像镜头凭借其优异的成像能力，已逐步成为旗舰...

本发明涉及先进封装领域，提供了一种基于多波段选择性曝光的孔线、孔盘一体化互连工艺。、随着人工智能、高性能计算、高速通信、chiplet异构集成以及先进系统级封装技术的快速发展，先进封装互连结构正不断向更高密度、更小线宽线距、更小孔径及更高传输性能方向发展。在ic载板、扇出型封装、glass...

本发明涉及集成电路制造，特别涉及一种小芯片用掩模基版及其制造方法。、先进半导体制造已进入小芯片（chiplet）时代，其核心是将大型系统芯片分解为多个功能模块（小芯片），再通过先进封装集成。这一趋势对上游的光掩模制造提出了前所未有的挑战：小芯片的尺寸正从客户定制走向行业标准化，要求光掩模制...

本发明涉及微纳加工，具体涉及一种灵活可调的旋转式近场光刻加工装置与同步测量方法。、近场光刻技术凭借突破衍射极限的超高分辨率优势，在集成电路、光电子器件及微机电系统等领域具有广泛应用前景。现有近场光刻装置多采用固定式样品承载或单自由度调节结构，存在以下技术瓶颈：一是斜坡姿态调节范围有限，难以...

本发明涉及光学元件的，尤其是涉及一种复合衍射光波导镜片。、增强现实眼镜凭借其沉浸式交互与近眼显示优势，被广泛视为承载人工智能应用的理想终端载体。目前主流ar眼镜显示模组多采用衍射光波导方案，其通过光栅结构实现光束的耦入、扩展与耦出，具有量产性能好、良率高等优点。典型的衍射光波导镜片由基底（...

本发明属于硅基光子集成器件及逆向设计，具体涉及一种基于遗传启发式直接二进制搜索方法逆向设计的功率分流高阶模通滤波器的设计方法。所述器件能够在同一超紧凑优化区域内同时实现模式滤波和光功率分束功能，尤其适用于片上模分复用系统、硅基光子集成回路和光片上网络中的模式选择、模式净化及功率分配。、随着...

本发明涉及半导体制造，特别涉及一种sem图像生成方法、系统、fem地图形成方法及可读存储介质。、光刻工艺是集成电路制造的关键步骤，其工艺窗口（即获得合格图形的焦距和曝光能量范围）直接影响量产稳定性。目前，工艺窗口通常通过聚焦曝光矩阵（focusexposure matrix，fem）实验确...

本发明涉及光量子学超表面，具体涉及一种基于超表面的spdc光源及其制备方法。、光量子技术在量子信息技术中扮演着重要角色。但是，当前的量子光路往往由多个分立且体块较大的光学元件构成，导致整个光路庞大复杂。为了提升未来光量子信息技术的规模和容量，亟需研发小型化和可大规模扩展的光量子器件及系统。...

本发明涉及微波光子学、集成光电子学及高精度惯性传感，具体而言，涉及一种基于薄膜绝缘体上铌酸锂（lnoi）平台的高偏振消光比集成y波导结构，特别适用于战术级与导航级干涉型光纤陀螺仪（ifog）的多功能集成光学芯片（mioc）。、干涉型光纤陀螺仪（ifog）是现代高精度惯性导航系统的核心绝对角...

本发明涉及光学薄膜，尤其涉及一种基于复合多元膜层结构的彩色降温光学薄膜及制备方法。、随着温室效应愈发严重，全球对于降温冷却的需求逐渐迫切，每年因此会消耗大量化石能源，这也进一步加剧了能源危机。为解决这一难题，人们致力于找到一种绿色环保的冷却技术。辐射制冷作为一种新的冷却方式受到广泛关注，通...

本申请涉及装饰光幕的，尤其是涉及一种柔性智能变色光幕及其制备方法。、智能变色光幕通常应用于汽车装饰、建筑装饰、隔断吊顶等不同场景，旨在通过动态的光影效果提升产品的科技感与美学价值。随着应用需求的不断演进，市场对光幕产品的显示均匀性、结构轻薄化以及制造成本提出了更高的要求。、智能变色光幕通常...

本发明属于光学调制领域，尤其涉及一种磁光调制器件。、现有磁光调制器件主要通过以下方式实现调制：改变外加磁场强度以调节磁光响应、通过垂直电场或栅极调控载流子浓度和费米能级；或者借助光学谐振腔或多层结构增强磁光效应，然而，上述调制方式多仅依赖一种参数，调制自由度有限，且难以在芯片尺度实现多维度...

本发明涉及一种用于投影光学可感知元件的投影装置，尤其是一种用于汽车的标志投影仪。所谓的带有成像元件的标志投影仪，也称为gobo（graphical optical blackout图案遮光片）投影仪或mla（micro lens array微透镜阵列），通过投影在投影表面上创建图形。、目前...

本公开内容总体上涉及一种视觉感知增强系统和飞行器的驾驶舱内的视觉感知增强系统。、投影显示器（诸如平视显示器（hud）或挡风玻璃）在透明表面上呈现信息。这种显示器可以包括在飞行器中，以向飞行器操作员提供飞行信息，从而减少飞行器操作员查看飞行器内其他仪器或显示器的需要。技术实现思路、本公开内容...