专利名称：曝光机的电路板对位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对位装置，特别是涉及一种地位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的曝光机的电路板对位装置。
现有曝光机的电路板对位装置，是在曝光机的曝光框上设置若干定位销，而于电路板相对设有定位孔，以由定位销与定位孔间的套合关系，将电路板对位于曝光框；但为了套合的顺畅性，一般会使定位孔的孔径稍大于定位销的直径，如此所形成的对位误差尚可供一般的曝光制程使用，不过对于要求高精密度的曝光制程，则存在有精密度不良率高的缺陷。
本实用新型的主要目的在于提供一种曝光机的电路板对位装置，其于曝光框底框外端并设两组微调机构，而底框的玻璃面设有两个穿孔，供各微调机构的弹性伸缩对位销穿设，另在上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，再于曝光框下方设置一CCD影像拾取系统的摄像机，用以检视电路板的标靶是否已到达定位，同时由CCD影像拾取系统送出控制讯号至微调机构；藉此，具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的增进功效。
本实用新型的目的是由以下技术方案实现的。依据本实用新型提出的一种曝光机的电路板对位装置，其包括有两组并设于曝光框底框外端底缘面的微调机构，其于一可移动的平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台，其中，第一伺服滑台带动平板位移，而设于平板内侧的第二伺服滑台则带动一延伸板位移，并于延伸板端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销，且该底框的玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间的穿孔；将上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，电路板相对对位销设有对位孔；一CCD影像拾取系统，其将摄像机设置于曝光框下方预定处，并藉其所摄取的标靶叠合影像，控制该微调机构纵横设置的二微型精密伺服滑台动作。
本实用新型的目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。
前述的曝光机的电路板对位装置，其中所述对位销的顶端设成锥状体。
前述的曝光机的电路板对位装置，其中所述上、下底片及上玻璃面相对于对位销亦设有较大内径的穿孔或凹槽。而不影响对位销带动中间的电路板游移。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和积极效果。
由以上技术方案可知，本实用新型是以电路板对位的结构方式，较现有以定位销与定位孔的套合对位方式，具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的功效。且其是利用微调机构与CCD影像拾取系统，两者相辅相成，而能自动对位，勿需使用人工逐一定位，故可增进效率及产能，完全符合高科技产业的需求。
综上所述，本实用新型曝光机的电路板对位装置，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，且在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，而确实具有增进的功效，从而更加适于实用，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
本实用新型的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。
图1是本实用新型实施例设置于曝光机的立体示意图；图2是本实用新型实施例设置于曝光机的相关位置示意图3是本实用新型实施例的微调机构设置于曝光框的相关位置示意图；图4是本实用新型实施例的微调机构的结构俯视图；图5是图4中A-A剖面的剖视图；图6是本实用新型实施例的微调机构与CCD影像拾取系统的搭配关系示意图(一)；图7是本实用新型实施例的微调机构与CCD影像拾取系统的搭配关系示意图(二)；图8是本实用新型实施例的上、下底片及电路板藉其标靶相互对位的示意图(一)；图9是本实用新型实施例的上、下底片及电路板藉其标靶相互对位的示意图(二)。
图号说明(1)曝光框(22)、(23)第一、二伺服滑台(52)穿孔(11)底框 (24)对位销 (61)标靶(111)玻璃面(241)锥状体(62)对位孔(112)穿孔 (3)CCD影像拾取系统 (5)下底片(12)柜面 (31)摄像机 (6)电路板(121)玻璃面(4)上底片(122)凹槽 (41)标靶(2)微调机构(42)穿孔(21)平板 (51)标靶
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的曝光机的电路板对位装置，其具体结构、特征及其功效，详细说明如后。
首先，请参阅
图1至图3所示，本实用新型是将两组微调机构2并设于曝光框1、底框11外端底缘面，而微调机构2的构成则如图4至图6所示，在一可移动的平板21上纵横设置一对微型精密伺服滑台22、23，其中，第一伺服滑台22是带动平板21位移(X轴方向)，而设于平板21内侧的第二伺服滑台23则带动一延伸板231位移(Y轴方向)，并于延伸板231端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销24，进而使得对位销24具有X、Y轴二度平面空间的微调位移功能，且该底框11的玻璃面111对应该对位销24设有供其穿伸且具有游移空间的穿孔112。
又，该对位销24的顶端设成锥状体241。
再者，如图2、图6、图7所示，另于曝光框1下方预定处设置一CCD影像拾取系统3的摄像机31，而CCD影像拾取装置3则设于机台正上方，并具有显示摄像机31所拍摄标靶定位的萤幕画面32(
图1所示)。至于CCD影像拾取系统3的内部结构，其为现有技术，非本案特征，故在此不再赘述；本实用新型仅是利用其来控制两组微调机构2；又如图7至图9所示，再将上、下底片4、5及电路板6设有相互对位用的标靶41、51、61，且使电路板6相对该对位销24设有一略小的对位孔62，使其可套置定位在顶端的锥状体241处；且该上、下底片4、5及上玻璃面121相对于对位销24则设有较大内径的穿孔42、52或凹槽122，而不影响对位销24带动中间的电路板6游移。
基于上述结构，本实用新型是藉CCD影像拾取系统3，先将上、下底片4、5对位于台面12与底框11的玻璃面121、111上，而再将待曝光的电路板6置于底框11的下底片5上方，并使其对位孔62套设于微调机构2的对位销24(如图6、图7所示)；于是，该CCD影像拾取系统3就可藉其摄像机31所摄取的标靶41、51、61叠合影像(如图8所示)，进而控制该微调机构2纵横设置的微型精密第一、二伺服滑台22、23动作，而以对位销24带动电路板6游移，此时上、下两玻璃面121、111如图6所示，尚未抽真空吸附在一起，而二支对位销24则犹如双手的手指夹住电路板在作微调定位，仅需数秒时间待电路板的标靶61已正确位于上、下底片的标靶41、51中心，则使第一、二伺服滑台22、23停止动作，即可将电路板6相对于上、下底片4、5精准地对位，则如图9所示，使上、下底片4、5因上、下玻璃面121、111吸附在一起(图9未示)，而精准叠合于电路板6上、下表面，以使电路准确曝光。经测试本实用新型的定位精准度可控制在±0.01mm，故适用于高精度的电路板。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种曝光机的电路板对位装置，其包括有两组并设于曝光框底框外端底缘面的微调机构，其于一可移动的平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台，其中，第一伺服滑台带动平板位移，而设于平板内侧的第二伺服滑台则带动一延伸板位移，并于延伸板端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销，且该底框的玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间的穿孔；将上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，电路板相对对位销设有对位孔；一CCD影像拾取系统，其将摄像机设置于曝光框下方预定处。
2.根据权利要求1所述的曝光机的电路板对位装置，其特征在于所述对位销的顶端设成锥状体。
3.根据权利要求1所述的曝光机的电路板对位装置，其特征在于所述上、下底片及上玻璃面相对于对位销亦设有较大内径的穿孔或凹槽。
专利摘要一种曝光机的电路板对位装置,其包括:两组并设于曝光框底框外端的微调机构,在一移动的平板上纵横设置微型精密伺服滑台,并择一滑台设置一具伸缩弹性的对位销,且底框的玻璃面对应对位销设有穿孔;将上、下底片及电路板设相互对位用的标靶,电路板相对对位销设对位孔;一CCD影像拾取系设置于曝光框下方预定处,并藉其所摄取的标靶叠合影像,控制微调机构纵横设置的微型精密伺服滑台动作。具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的功效。
文档编号G03F7/20GK2475052SQ0121881
公开日2002年1月30日 申请日期2001年4月3日 优先权日2001年4月3日
发明者张鸿明 申请人:川宝科技股份有限公司