专利名称：光探针扫描集成电路用光刻系统中振动刻写方法
技术领域：
本发明涉及一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法，属于集成电路光刻技术领域。
本发明的特征在于在根据待光刻的图形线条的控制数据后，当光探针沿着主运动方向X作扫描曝光运动的时，辅以Y方向小幅振动型的步进幅值。所述的Y方向的小幅振动的振幅是根据图形线条的位置和宽度调整的。所述的Y方向的小幅振动的振幅是固定的。所述的图形是掩膜图形。
它实现了预期目的。
再见图2。光斑尺寸用方框大小为表示，白色方框表示材料未感光，黑色方框表示已感光。下面结合图2对工作流程做简单说明。
现已不固定振幅扫描为例进行说明。长方形区域表示芯片，正方形表示最小扫描单元，整个芯片面积为18×8，该芯片上共有四段待扫描线条。设定芯片左上角为坐标原点(0，0)，X水平运动速度10mm/s，当工作台从坐标原点开始运动而激光干涉仪同事开始计数时，打开激光器，光探针开始振动，振幅为待扫描线条宽度——两个最小扫描单元(以下简称为2)，扫描长度为7。工作台运动至(7，0)，完成第一段线条扫描后，关闭激光器，光探针的停止振动。工作台继续沿X方向运动，运动至芯片另一端(18，0)，步进距离为2，该点表示为(18，2)。扫描完第一段待扫描线条后，工作台开始沿X轴反方向运动。工作台运动至第二段线条的位置时(16，2)，打开激光器，光探针振幅为3，扫描长度为11。一旦工作台运动至(5，2)，就完成第二段线条的扫描，关闭激光器，光探针停止振动。工作台继续沿X反方向运动，运动至芯片左端的一点(0，2)，步进距离为3，该点坐标应表示为(0，5)，即从Y轴上第5个单元后开始作X向扫描运动，运动至(1，5)，打开激光器，探针不振动。工作台运动至(4，5)，关闭激光器。工作台运动至(18，5)，此时步进距离为1，该点应表示为至(18，6)。完成第三条线段的扫描。工作台再次沿X轴作反向运动。打开激光器，探针振幅为2，工作台运动至(7，6)，关闭激光器，光探针停止振动。工作台运动至(0，6)，步进距离为2，该点表示为(0，8)，结束扫描。
图3是系统主程序流程图。在初始化时，要设定工作台初始位置(x，y)，工作台水平运动速度，工作台水平运动次数即扫描次数，每次扫描时的小幅振动幅值，它与步进幅值相等，还有芯片的长与宽。此时，还要设定工作台每次扫描运动时，扫描区域的坐标起始和终止值，即扫描区域的长宽尺寸。现以图2为例进行说明。芯片面积为18×8，扫描次数为4，每次扫描时的小幅振动幅值也即步进幅值为2，3，1，2，单位是最小扫描单元，工作台水平速度为10mm/s。工作台第一次X方向运动时，扫描区域的坐标起点为(0，0)，终点为点(5，0)；工作台第一次X方向反向运动时，扫描区域的起点为点(16，2)，终点为(-5，2)；工作台第二次X方向正向运动时，扫描区域的起点是(1，5)，终点是(4，5)；工作台第二次X方向反向运动时，扫描区域起点为(18，6)，重点为(7，6)。在计算机控制下，工作台一进入扫描区域，计算机就发出刻写指令，一旦脱离扫描区，就不发刻写指令，实质上就是令激光器打开同时又令光探针振动，否则就关闭记激光器同时令光探针停止振动。其主程序流程图见3。
图4为执行上述主程序流程图的电路原理框图。单片机(89C51)是经总线去控制连接于物镜的压电陶瓷使光探针发生小幅振动的。
权利要求
1.一种光探针扫描系统中的不固定光探针振幅的振动刻写方法，含有X方向扫描和Y方向步进的步骤，其特征在于在根据待光刻的图形线条的控制数据后，当光探针沿着主运动方向X作扫描曝光运动的时，辅以Y方向小幅振动型的步进幅值。
2.根据权利要求1的光探针扫描集成电路光刻系统用振动刻写方法，其特征在于所述的Y方向的小幅振动的振幅是根据图形线条的位置和宽度调整的。
3.根据权利要求1的光探针扫描集成电路光刻系统用振动刻写方法，其特征在于所述的Y方向的小幅振动的振幅是固定的。
4.根据权利要求1的光探针扫描集成电路光刻系统用振动刻写方法，其特征在于所述的图形是掩膜图形。
全文摘要
一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法，属于集成电路光刻技术领域，其特征在于在根据电路图形或掩膜图形生成待光刻的图形线条的控制数据后，在光探针沿着主运动X方向作扫描运动时，辅以Y方向的小幅振动型的步进幅值。Y方向的小幅振动的振幅是根据图形线条的位置和线宽调整的，也可以是固定的。与单(X)方向扫描－单(Y)方向步进的简单扫描方式相比，这种X－Y方向复合扫描－Y方向步进的复合扫描方式，其扫描次数尾Y方向总行程与光探针在Y方向振幅之比，可以大幅度的降低步进次数，缩短工作时间，提高刻写效率。
文档编号G03F7/22GK1447191SQ02116309
公开日2003年10月8日 申请日期2002年3月22日 优先权日2002年3月22日
发明者徐端颐, 钱坤, 齐国生, 蒋培军, 范晓冬 申请人:清华大学