专利名称：显微镜和防静电放电方法
技术领域：
本发明涉及显微镜。
背景技术：
当带电导体向电子电路或半导体器件放电时，电子电路不能正常工作或半导体器件被损坏。这是一个严重的问题。因此，在检查半导体器件的过程中，使用了防静电地板、防静电操纵台、防静电座椅和防静电仪器等；通过使用湿度管理或使用电离装置(ionizer)来控制带电电平。此外，作为防静电放电措施，操作者要穿特殊的衣服、特殊的鞋子和特殊的腰带。
实际上，即使静电放电(ESD)不是非常大，也足以使得电子电路不能正常工作或使半导体器件损坏。因此，存在当发生ESD时，操作者不能察觉到从而产生问题的情况。
为了避免这样的问题，专利No.3359035提出了下述的显微镜，在该显微镜中，将包括金属导电构件和导电聚合物的组合的注塑模塑料构件接地，由此使得静电通过金属导电构件迅速消失。
此外，日本专利申请特开公报No.2001-350097公开了一种防静电措施，其中通过电镀方法、化学和合成处理方法和涂覆方法来形成显微镜的单元的涂层，以确保单元之间的连续性。
发明内容
通常，在显微镜中，用于提高可操作性、防止有害光的泄漏和防止外部光或灰尘进入的构件由硅橡胶(silicon-based rubber)形成，该硅橡胶对人体皮肤的致敏性较小。硅橡胶不具有可以解决静电放电问题的导电性。因此，如在专利No.3359035中所描述的，需要防静电放电措施的显微镜(例如，半导体观察显微镜)具有不采用硅橡胶的结构，作为其防静电放电措施。
例如，将安装在传统目镜并由硅橡胶形成的遮光眼罩改变为由导电树脂形成的遮光眼罩。另选地，将目镜改变为不具有遮光眼罩的目镜。结果，失去了操作者在观察期间的舒适感觉和防止杂散光的优点。
此外，将用于在各种显微镜检查之间进行有效切换的把手和手柄、聚焦部分的手柄、变光调控器(dimmer-volume)和其它部分的材料从其弹性和表面摩擦使得操作者易于对其进行操作的硅橡胶改变为容易打滑的树脂或金属。结果，丧失了令人满意的可操作性。
此外，在将红外线、紫外线、激光等应用于显微镜检查的情况下，一种用于防止有害光从显微镜泄漏的机构必须使用树脂或金属对单元的开口部分的间隙进行完全光屏蔽，传统上使用具有软弹性的硅橡胶对该开口部分的间隙进行完全光屏蔽。结果，使结构复杂化，并且不能低成本地形成。用于防止外部光和灰尘进入的机构也是如此。
如上所述，传统的防静电放电措施失去了传统显微镜的内在优点。结果，用户不能满意地使用它，或必须购买昂贵的显微镜。
鉴于这种情况提出了本发明，并且其目的是提供一种采用了防静电放电措施而没有失去传统显微镜的内在优点的显微镜。
根据一个方面，本发明针对在一种显微镜。在根据本发明的显微镜中，被认为在观察期间要由使用显微镜的观察者直接接触的显微镜部分由导电橡胶形成，或具有导电橡胶涂层。
根据本发明的另一方面，本发明针对用于显微镜的防静电放电方法。根据本发明的防静电放电方法包括使用导电橡胶形成被认为在观察期间要由使用显微镜的观察者直接接触的显微镜部分，或在被认为在观察期间要由操作者直接接触的部分提供导电橡胶的涂层。
图1是根据本发明实施例的半导体检查显微镜的侧视图；图2是图1所示的半导体检查显微镜的主视图；
图3是图1所示的半导体检查显微镜的俯视图；图4是图1所示的半导体检查显微镜的目镜的立体图；具体实施方式
将参照
本发明的实施例。
图1是根据本发明实施例的半导体检查显微镜的侧视图。图2是图1所示的半导体检查显微镜的主视图。图3是图1所示的半导体检查显微镜的俯视图。
如图1到图3所示，半导体检查显微镜包括目镜2、保持该目镜2的透镜镜筒3、保持该透镜镜筒3的主体4、安装在该主体4上的灯罩5、保持在该主体4上的旋转器6、安装在该旋转器6上的物镜7和安装在该主体4上的载物台8。半导体晶片样本9放置在该载物台8上。
该主体4包括光路切换手柄4a，用于在亮区观察和暗区观察之间进行切换，该手柄可以沿由箭头A所示的方向插入或抽出；以及聚焦手柄4b，用于在样本上进行聚焦。主体4的下面具有主要用于使显微镜稳定放置和防止振动的多个橡胶支腿4d。
主体4在灯罩5的用于投射光的投射部分的侧面具有用于允许插入和抽出构件(例如包括颜色转换过滤器，用于改变观察光，以进行使得更容易进行观察的照明)的滤光器滑板的开口部分。当将滤光器滑板插入到投射部分中时，滤光器滑板和开口部分之间的间隙很小，而当从投射部分移除滤光器滑板时，出现大的开口。因此，为了防止有害光的泄漏或者外部光或灰尘进入到该投射部分，将滑板的盖4c作为封闭该开口部分的构件安装到开口部分上。盖4c由橡胶形成，并且具有略大于该开口部分的外部形状。因此，通过利用软且柔性变形的插入，盖4c可以容易地封闭开口部分而没有间隙，以从外部阻隔投射部分。
将橡胶盘4e直接设置在载物台8的下面以确保操作者的安全并防止对机构的损坏。该橡胶盘4e用作防止操作者的手指或工具不小心接触显微镜的内部机构的保护膜，并且还具有防止在聚焦期间手指被夹在载物台8的较低部分和主体4之间的功能。橡胶盘4e具有载物台垂直移动所需的开口部分，并且其间隙非常小。
载物台8具有用于定位样本的XY操作手柄8a。
被认为在观察期间要由使用显微镜的观察者直接接触的光路切换手柄4a、聚焦手柄4b、滑板盖4c、橡胶支腿4d、橡胶盘4e和XY操作手柄8a由导电橡胶形成，并且电连接到内部机构中的金属部分，并最终连接到外部部件。
该导电橡胶例如包括对人的皮肤致敏性小的导电硅橡胶。该导电硅橡胶例如包含碳，以具有导电性。该导电硅橡胶可以具有使得电荷快速消失的理想导电性，更具体地，其表面电阻值可以是105-109(Ω/□)。假设将在以下描述中提到的导电硅橡胶具有与上述导电硅橡胶相同的功能，并且不再重复对其的说明。
如图4所示，目镜2具有遮光眼罩2a。该遮光眼罩2a也被认为是在观察期间要由使用显微镜的观察者直接接触的部分，因此也由导电硅橡胶形成，其被电连接到金属部分的外部部分。确保目镜2和其它单元电连接到金属部分。
当操作者对操作部分(光路切换手柄4a、聚焦手柄4b和XY操作手柄8a)进行操作时，由于重复操作的摩擦而容易产生静电。然而，在上述结构中，操作部分(光路切换手柄4a、聚焦手柄4d和XY操作手柄8a)没有变得带电，因为其电连接到外部部分。因此，操作者也没有通过操作部分(光路切换手柄4a、聚焦手柄4b和XY操作手柄8a)而带电。
操作者不经常接触到滑板盖4c、橡胶支腿4d和橡胶盘4e。然而，即使操作者不小心接触到了这些构件，这些构件也不会带电，因为这些构件电连接到外部部分。因此，操作者也不会通过它们而带电。
尽管在观察期间，操作者的皮肤会接触到遮光眼罩2a，但是该遮光眼罩2a不会变得带电，因为其电连接到外部部分。操作者也不会通过遮光眼罩2a而带电。
通过上述结构和操作，根据本发明实施例的显微镜具有下述的优点操作部分为显微镜提供了防静电放电措施，并且提供了由于其橡胶的弹性和其表面摩擦而导致的令人满意的可操作性。
滑板盖4c为显微镜提供了防静电放电措施，并且可靠地防止有害光从投射部分泄漏和防止外部光或灰尘进入到投射部分中。此外，可以低成本地形成盖4c。该优点是弹性形较大的橡胶材料的典型特征，其它材料难于低成本地形成盖4c。
橡胶支腿4d可以将电从显微镜耗散到外部，而不用通过使用地线将主体4连接到外部接地。
橡胶盘4e提供了防静电放电措施，防止操作者因不小心接触到内部机构而受到伤害和内部机构受到损坏，并且还确保了防止用户的手指被夹的安全性。因为其由软橡胶材料形成，所以即使操作者的手指被夹，该操作者也不会受到伤害。其它的材料不能低成本且容易地提供上述优点。
目镜的遮光眼罩2a提供了防静电放电措施，还为操作者在观察期间提供了舒适的感觉，并且可靠地防止了杂散光。尽管遮光眼罩2a接触操作者皮肤的脆弱部分，也不用担心皮肤产生皮疹等，因为遮光眼罩2a对人体皮肤具有较小的致敏性。
在上述描述中，参照
了本发明的实施例。然而，本发明不限于该实施例，也就是说，在不脱离本发明的主体的前提下可以进行各种变型或修改。
例如，本发明说明了将橡胶盘应用于聚焦部分的机构以确保操作者的安全和防止机构受损的情况，但是本发明并不限于此，可以将橡胶盘应用于精密机构或电子机构，例如电子操控、电子载物台和电子旋转器。此外，导电硅橡胶的应用也不限于此，可以将其应用于利用弹性变形的显微镜的结构构件。
此外，在该实施例中，被认为在观察期间要由使用显微镜的观察者直接接触的显微镜部分由导电橡胶形成，但是并不限于此，还可以在被认为要直接接触的部分上设置导电橡胶的涂层，而不是由导电橡胶形成。也就是说，至少在被认为在观察期间要由观察者直接接触的显微镜部分的表面具有导电橡胶就足够了。
此外，可以将导电硅橡胶与具有导电性的材料(例如导电镀层、导电涂层或导电树脂)结合使用来实现导电。
此外，在本实施例中，为了具有导电性，使导电硅橡胶包含碳，但是并不限于此，另选地，可以将导电硅橡胶制造成包含对人体皮肤具有较小致敏性的任何材料。
导电硅橡胶可以应用于测量仪器或需要防静电放电措施的显微镜(例如立体显微镜)，而不限于半导体检查显微镜。当然，其可以应用于不需要防静电放电措施的测量仪器或显微镜。
工业适用性本发明提供一种采用了静电放电措施而没有失去传统显微镜的优点的显微镜。
权利要求
1.一种显微镜，其中，被认为在观察期间要由使用该显微镜的观察者直接接触的部分由导电橡胶形成，或者具有导电橡胶涂层。
2.根据权利要求1所述的显微镜，其中被认为在观察期间要由观察者直接接触的部分包括显微镜的操作部分。
3.根据权利要求1所述的显微镜，其中被认为在观察期间要由观察者直接接触的部分包括用于封闭显微镜的开口部分的构件。
4.根据权利要求1所述的显微镜，其中被认为在观察期间要由观察者直接接触的部分包括保护膜，该保护膜防止操作者的手指或器械不小心接触到显微镜的内部机构。
5.根据权利要求1所述的显微镜，其中被认为在观察期间要由观察者直接接触的部分包括用于使显微镜能够稳定放置的橡胶支腿。
6.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述导电橡胶包括对人体皮肤具有较小致敏性的导电硅橡胶。
7.根据权利要求1所述的显微镜，其中所述导电橡胶具有105到109(Ω/□)的表面电阻值。
8.根据权利要求1所述的显微镜，其中被认为在观察期间要由观察者直接接触的部分包括目镜的遮光眼罩，并且该遮光眼罩由具有105到109(Ω/□)的表面电阻值和对人体皮肤具有较小致敏性的导电硅橡胶形成。
9.一种用于显微镜的防静电放电方法，包括使用导电橡胶形成被认为在观察期间要由观察者直接接触的显微镜部分，或在被认为在观察期间要由观察者直接接触的显微镜部分上提供导电橡胶涂层。
10.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中使用导电橡胶形成显微镜的操作部分，或在显微镜的操作部分上提供导电橡胶的涂层。
11.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中使用导电橡胶形成用于封闭显微镜的开口部分的构件，或在用于封闭显微镜的开口部分的构件上提供导电橡胶的涂层。
12.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中使用导电橡胶形成用于防止操作者的手指或器械不小心接触显微镜的内部机构的保护膜，或者在用于防止操作者的手指或器械不小心接触显微镜的内部机构的保护膜上提供导电橡胶的涂层。
13.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中使用导电橡胶形成用于使显微镜能够稳定放置的橡胶支腿，或者在用于使显微镜能够稳定放置的橡胶支腿上提供导电橡胶的涂层。
14.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中选择对人体皮肤具有较小致敏性的导电硅橡胶作为所述导电橡胶。
15.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中选择具有105到109(Ω/□)的表面电阻值的导电橡胶作为所述导电橡胶。
16.根据权利要求9所述的防静电放电方法，其中使用具有105到109(Ω/□)的表面电阻值并且对人体皮肤具有较小致敏性的导电硅橡胶来形成目镜的遮光眼罩。
全文摘要
显微镜和防静电放电方法。显微镜的主体(4)包括光路切换手柄(4a)，用于在亮区观察和暗区观察之间进行切换；聚焦手柄(4b)，用于在样本上进行聚焦；以及橡胶支腿(4d)，主要用于显微镜的稳定放置和防止振动。主体(4)在投射部分的侧面具有滑板开口部分，并且将滑板盖(4c)安装在该开口上。为了确保操作者的安全并且防止对机构的损坏，在载物台(8)的正下方设置橡胶盘(4e)。该载物台(8)具有用于定位样本的XY操作手柄(8a)。该光路切换手柄(4a)、聚焦手柄(4b)、盖(4c)、橡胶支腿(4d)、橡胶盘(4e)和XY操作手柄(8a)由导电橡胶形成。
文档编号G02B21/00GK1768291SQ20048000854
公开日2006年5月3日 申请日期2004年11月2日 优先权日2004年1月28日
发明者野野田幸雄 申请人:奥林巴斯株式会社