专利名称：感光性树脂组合物、感光性转印材料、分隔壁及其制造方法、滤色片及其制造方法以及显 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物、感光性转印材料、分隔壁及其制造方法、滤色片及其制造方法以及显示装置。
背景技术：
近年来，个人电脑用液晶显示器、液晶彩色电视机的需求有增加的倾向，针对对于此种显示器来说不可缺少的滤色片的特性改善和成本降低的要求不断提高。
以往，作为滤色片的制造方法，实施染色法、颜料分散法、电沉积法、印刷法等。
例如，染色法是如下的方法，即，在透明基板上形成作为染色用的材料的水溶性的高分子材料层，在将其利用光刻工序以所需的形状图案化后，将所得的图案浸渍于染色浴中而得到着色了的图案。通过将该工序反复进行3次，而形成由R(红)、G(绿)、B(蓝)三色的着色部构成的着色层。
另外，颜料分散法近年来被大规模地实行，它是如下的方法，即，在透明基板上形成分散了颜料的感光性树脂层，通过将其图案化，而得到单色的图案。通过将该工序反复进行3次，而形成由R、G、B三色的着色部构成的着色层。
电沉积法是如下的方法，即，在透明基板上将透明电极图案化，浸渍于加入了颜料、树脂、电解液等的电沉积涂覆液中，电沉积第一色。将该工序反复进行3次，形成由R、G、B三色的着色部构成的着色层，最后进行烧成。
印刷法是如下的方法，即，在热固化型的树脂中分散颜料，通过将印刷反复进行3次，而分别涂刷了R、G、B后，通过将树脂热固化，而形成着色层。
在使用这些制造方法的任意方法的情况下，一般来说都是在所得的着色层之上形成保护层。
这些方法中所共同的部分是，为了形成红色、绿色、蓝色三色像素，需要将相同的工序重复进行3次，从而使成本升高。另外，由于工序数多，因此还有成品率容易降低的问题。
为了克服这些问题，近年来，正在研究如下的滤色片制造法，即，利用颜料分散法形成黑矩阵(分隔壁)，用喷墨法来制造RGB像素。该喷墨方式是向黑矩阵(分隔壁)的凹部中依次赋予R、G、B各色而形成像素。利用了喷墨方式的方法具有制造程序简单、成本低的优点。
另外，喷墨方式并不限于滤色片的制造，也可以应用于电致发光元件等其他的光学元件的制造中。
在所述喷墨法中，需要防止相邻的像素区域间的墨液的混色等的发生、在规定的区域以外的部分ITO溶液或金属溶液固化而牢牢的粘住的现象。所以，隔壁(分隔壁)被要求具有将作为喷墨的喷出液的水或有机溶剂等弹开的性质，即所谓的疏水疏油性。
在专利文献1中，公布有如下的光刻胶组合物，其含有含氟代烷基的(甲基)丙烯酸酯单体与含硅氧烷链的乙烯性不饱和单体的共聚物，所述共聚物的添加量相对于光刻胶组合物固形成分为0.001～0.05质量％。
在专利文献2中，公布有如下的涂覆用组合物，其含有乙烯基类聚合物、感光性树脂及有机溶剂，所述乙烯基类聚合物是将包含具有氟代烷基的乙烯基类单体的单体组合物聚合而得的，所述乙烯基类聚合物是含有0.1～5质量％氟原子的聚合物，并且所述乙烯基类聚合物相对于所述乙烯基类聚合物及所述感光性树脂的合计质量的比例为0.25～2.0质量％。
在专利文献3中，公布有如下的抗蚀剂组合物，其含有乙烯基类聚合物和感光体，所述乙烯基类聚合物是将包含具有碳数为4～6的氟代烷基的乙烯基类单体的单体组合物聚合而得的，所述乙烯基类聚合物的氟原子含有率为7～35质量％，并且含氟树脂相对于组合物的全部固形成分的比例为0.1～30质量％。另外，作为共聚成分没有针对末端封闭型聚醚构造的记述。
但是，利用由专利文献1中所述的共聚物的配合比例构成的组合物、由专利文献2中所述的乙烯基类共聚物的配合比例构成的组合物形成的涂膜的疏水疏油性不足。
另外，专利文献3中所述的乙烯基类共聚物中，显影液耐受性及显影时的密接性不足。 特开平9-54432号公报特开2004-2733号公报特开2005-315984号公报
发明内容
本发明是鉴于所述以往的问题而完成的，其目的在于，提供一种感光性树脂组合物，其在形成了图案图像(例如分隔壁)之时，可以在保持该图案图像上面(与基板接触的面的相反一侧的露出面)的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该图案图像与将形成该图案图像的基板的密接性，并以实现该目的为课题。
另外，本发明的目的在于，提供一种感光性转印材料，其可以在保持被转印形成的图案图像(例如分隔壁)的上面的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密接性，具有抑制了涂布时的弹溅(弹开)的发生的均一的感光性树脂层，并以实现该目的作为课题。
另外，本发明的目的在于，提供一种分隔壁，其上面的疏水性及疏墨液性优良，可以防止喷打墨液时的墨液向分隔壁上的跨设，而且与基板的密接也良好，并提供可以容易地形成该分隔壁的分隔壁的制造方法，还提供混色、颜色不均等的发生得到抑制的高质量的滤色片及其简易的制造方法，以及提供显示不均的发生得到抑制的、能够实现高质量的图像显示的显示装置，并以实现该目的作为课题。
本发明人等进行了深入研究，结果发现，为了不采用氟等离子体处理地对分隔壁上面和侧面赋予疏墨液性，使用在后烘烤前后表面能大幅度上升的组合物是有效的。具体来说，通过使用采用了特定的含氟化合物的组合物，就可以不进行氟等离子体处理地解决所述问题，制作高质量的滤色片，从而完成了本发明。
即，用于解决所述问题的具体的途径如下所示。
<1>一种感光性树脂组合物，其特征是，在依照JIS R3257中所记载的方法测定使用该感光性树脂组合物形成的图案图像上面的水接触角之际，当将实施加热处理前的图案图像上面的水接触角设为A°，将240℃下加热处理50分钟，自然冷却1小时后的图案图像上面的水接触角设为B°时，则接触角差B°-A°在20°以上。
<2>一种感光性树脂组合物，是至少含有1)引发剂、2)粘合剂、3)乙烯性不饱和化合物、4)色材及5)含氟化合物的感光性树脂组合物，其特征是，该含氟化合物含有至少在侧链具有氟原子的重复单元，该含氟化合物中的氟原子含有率为36～70质量％。
<3>根据<2>中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述含氟化合物含有(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元、(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元。
<4>根据<2>中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述含氟化合物含有(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元、(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元、(c)在侧链具有羧酸基的重复单元。
<5>根据<3>或<4>中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元具有末端封闭型的聚醚构造。
<6>一种感光性转印材料，其在临时支承体上，具有由<1>～<5>中任意一项所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂层。
<7>一种分隔壁的制造方法，其特征是，至少具有 在基板的至少一个面上，使用<1>～<5>中任意一项所述的感光性树脂组合物或<6>中所述的感光性转印材料形成感光性树脂层的感光性树脂层形成工序； 将所述感光性树脂层曝光的曝光工序； 将曝光了的所述感光性树脂层显影的显影工序； 将由进行所述显影而得的感光性树脂层构成的图案图像加热处理的加热处理工序。
<8>一种分隔壁，其特征是，利用<7>中所述的分隔壁的制造方法形成。
<9>一种滤色片的制造方法，其特征是，<8>中所述的分隔壁将基板上分区，向被分区了的基板上的凹部中，赋予着色液体组合物。
<10>一种滤色片的制造方法，其特征是，<9>中所述的赋予着色液体组合物的方法是利用喷墨法赋予着色液体组合物的液滴而形成像素的像素形成方法。
<11>一种利用<9>或<10>中所述的滤色片的制造方法制造的滤色片。
<12>一种具有<11>中所述的滤色片的显示装置。
根据本发明，可以提供一种感光性树脂组合物，其在形成图案图像(例如分隔壁)之时，可以在保持该图案图像上面(与基板接触的面的相反一侧的露出面)的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密接性。
另外，根据本发明，可以提供一种感光性转印材料，其可以在保持被转印形成的图案图像(例如分隔壁)的上面的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该图案图像与形成该图案图像的基板的密接性，具有涂布时的弹溅(弹开)的发生得到抑制的均一的感光性树脂层。
另外，根据本发明，可以提供一种分隔壁，其上面的疏水性及疏墨液性优良，可以防止喷打墨液时的墨液向分隔壁上的跨设，而且与基板的密接也良好，并可以提供能够容易地形成该分隔壁的分隔壁的制造方法，还可以提供抑制了混色、颜色不均等的发生的高质量的滤色片及其简易的制造方法，此外还可以提供抑制了显示不均的发生的、能够实现高质量的图像显示的显示装置。
图1是用于说明本发明中的分隔壁上面、分隔壁侧面、基板上的凹部等的滤色片的剖面图。图1中，1表示分隔壁，2表示着色像素(着色区域)，3表示凹部，4表示分隔壁上面，5表示分隔壁侧面，6表示基板。
具体实施例方式 下面将对本发明进行详细说明。
《感光性树脂组合物》 本发明的感光性树脂组合物是至少包含1)引发剂、2)粘合剂、3)乙烯性不饱和化合物、4)色材及5)含氟化合物的感光性树脂组合物，是以该含氟化合物含有至少在侧链具有氟原子的重复单元为特征的感光性树脂组合物，该含氟化合物中的氟原子含有率为36～70质量％。
本发明的感光性树脂组合物因设为所述构成，因此在依照JIS R3257中所述的方法测定了使用该感光性树脂组合物形成的图案图像上面的水接触角的情况下，当将实施加热处理前的图案图像上面的水接触角设为A°，将在240℃50分钟的条件下加热处理，并自然冷却1小时后的图案图像上面的水接触角设为B°时，可以使接触角差B°-A°在20°以上。
其结果是，可以在保持使用所述感光性树脂组合物形成的分隔壁上面的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该分隔壁与形成了该分隔壁的基板的密接性。另外，通过使用该分隔壁制作滤色片，可以抑制混色、颜色不均等的发生。
对于水接触角的详细情况将在后面叙述。
1)引发剂 本发明的感光性树脂组合物含有至少一种引发剂。
作为使感光性树脂组合物固化的方法，一般来说采用使用热引发剂的热引发体系或使用光引发剂的光引发体系，然而本发明中由于将固化后的分隔壁设为如后所述的形状是十分重要的，因此优选使用光引发体系。这里所用的光聚合引发剂是可以利用可见光线、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等放射线的照射(也称作曝光)，产生引发后述的多官能性单体的聚合的活性种的化合物，可以从公知的光聚合引发剂或光聚合引发剂体系中适当地选择。
例如，可以举出含三卤化甲基化合物、吖啶类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物、苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、α-双酮类化合物、多核醌类化合物、呫吨酮类化合物、重氮类化合物等。
具体来说，可以举出特开2001-117230公报中记载的三卤化甲基取代了的三卤化甲基噁唑衍生物或s-三嗪衍生物、美国专利第4239850号说明书中记载的三卤化甲基-s-三嗪化合物、美国专利第4212976号说明书中记载的三卤化甲基噁二唑化合物等含三卤化甲基化合物； 9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1，2-双(9-吖啶基)乙烷、1，3-双(9-吖啶基)丙烷、1，4-双(9-吖啶基)丁烷、1，5-双(9-吖啶基)戊烷、1，6-双(9-吖啶基)己烷、1，7-双(9-吖啶基)庚烷、1，8-双(9-吖啶基)辛烷、1，9-双(9-吖啶基)壬烷、1，10-双(9-吖啶基)癸烷、1，11-双(9-吖啶基)十一烷、1，12-双(9-吖啶基)十二烷等双(9-吖啶基)烷烃等吖啶类化合物； 6-(p-甲氧基苯基)-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、6-[p-(N，N-双(乙氧基羧基甲基)氨基)苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪等三嗪类化合物； 除此以外的9，10-二甲基苯并吩嗪、米蚩酮、二苯甲酮/米蚩酮、六芳基联咪唑/巯基苯并咪唑、苄基二甲基缩酮、噻吨酮/胺、2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑等。
所述当中，优选选自含三卤化甲基化合物、吖啶类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物中的至少一种，特别优选含有选自含三卤化甲基化合物及吖啶类化合物中的至少一种。含三卤化甲基化合物、吖啶类化合物因其通用性以及廉价的特性而十分有用。
特别优选的是，作为含三卤化甲基化合物，为2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑，作为吖啶类化合物，为9-苯基吖啶，以及6-[4-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、6-[4’-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)-3’-溴苯基]-2，4-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-丁氧基苯乙烯基)-5-三氯甲基-1，3，4-噁二唑等含三卤化甲基化合物及米蚩酮、2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑。
所述光聚合引发剂既可以单独使用，也可以并用两种以上。作为所述光聚合引发剂在感光性树脂组合物中的总量，优选感光性树脂组合物的总固形成分(质量)的0.1～20质量％，特别优选0.5～10质量％。当所述总量小于0.1质量％时，则组合物的光固化的效率低，从而有在曝光中需要长时间的情况，当超过20质量％时，则在显影之际，会有所形成的图像图案缺落，或容易在图案表面产生毛糙的情况。
而且，本发明中，所谓感光性树脂组合物的总固形成分(质量)是指感光性树脂组合物中的除去溶剂以外的全部成分。
所述光聚合引发剂也可以并用氢给体而构成。作为该氢给体，从可以使感度更为优化的方面考虑，优选以下所定义的硫醇类化合物、胺类化合物等。这里的所谓「氢给体」是指，可以向因曝光而从所述光聚合引发剂中产生的自由基提供氢原子的化合物。
所述硫醇类化合物是以苯环或杂环作为母核，具有1个以上，优选1～3个，更优选1～2个与该母核直接连结的巯基的化合物(以下称作「硫醇类氢给体」)。另外，所述胺类化合物是以苯环或杂环作为母核，具有1个以上，优选1～3个，更优选1～2个与该母核直接连结的氨基的化合物(以下称作「胺类氢给体」)。而且，这些氢给体也可以同时具有巯基和氨基。
作为所述的硫醇类氢给体的具体例，可以举出2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2，5-二巯基-1，3，4-噻二唑、2-巯基-2，5-二甲基氨基吡啶等。它们当中，优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑，特别优选2-巯基苯并噻唑。
作为所述的胺类氢给体的具体例，可以举出4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基安息香酸、4-二甲基氨基苄腈等。它们当中，优选4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
所述氢给体可以单独使用，或者混合两种以上使用，从所形成的图像在显影时难以从永久支承体上脱落，并且可以提高强度及感度的观点考虑，最好将一种以上的硫醇类氢给体与一种以上的胺类氢给体组合使用。
作为所述硫醇类氢给体与胺类氢给体的组合的具体例，可以举出2-巯基苯并噻唑/4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。更优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
将所述硫醇类氢给体与胺类氢给体组合时的硫醇类氢给体(M)与胺类氢给体(A)的质量比(M∶A)通常优选1∶1～1∶4，更优选1∶1～1∶3。作为所述氢给体在感光性树脂组合物中的总量，优选感光性树脂组合物的总固形成分(质量)的0.1～20质量％，特别优选0.5～10质量％。
2)粘合剂 本发明的感光性树脂组合物含有至少一种粘合剂。
作为本发明中的粘合剂，优选在侧链具有羧酸基或羧酸盐基等极性基的聚合物。作为其例子，可以举出特开昭59-44615号公报、特公昭54-34327号公报、特公昭58-12577号公报、特公昭54-25957号公报、特开昭59-53836号公报及特开昭59-71048号公报中记载的那样的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物等。另外，还可以举出在侧链具有羧酸基的纤维素衍生物，除此以外，还可以理想地使用在具有羟基的聚合物上加成了环状酸酐的化合物。另外，作为特别优选的例子，可以举出美国专利第4139391号说明书中记载的(甲基)丙烯酸苄酯与(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸和其他的单体的多元共聚物。这些具有极性基的粘合剂聚合物既可以单独使用，也可以在与通常的膜形成性的聚合物并用的组合物的状态下使用，相对于感光性树脂组合物的总固形成分的含量一般为20～50质量％，优选25～45质量％。
3)乙烯性不饱和化合物 本发明的感光性树脂组合物含有至少一种乙烯性不饱和化合物。
作为乙烯性不饱和化合物，可以将下述化合物单独或与其他的单体组合使用。具体来说，可以举出(甲基)丙烯酸叔丁酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、1，4-二异丙烯基苯、1，4-二羟基苯二(甲基)丙烯酸酯、癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、二烯丙基富马酸酯、偏苯三酸三烯丙基酯、月桂基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、亚二甲苯基双(甲基)丙烯酰胺等。
另外，还可以使用(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯等具有羟基的化合物与六亚甲基二异氰酸酯、甲苯基二异氰酸酯、二甲苯基二异氰酸酯等二异氰酸酯的反应物。
它们当中的特别优选的是季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯。
作为乙烯性不饱和化合物在感光性树脂组合物中的含量，相对于感光性树脂组合物的总固形成分(质量)，优选5～80质量％，特别优选10～70质量％。当所述含量小于5质量％时，则会有组合物的曝光部中的碱性显影液的耐受性差的情况，当超过80质量％时，则形成感光性树脂组合物时的粘性增加，从而有在处理性方面变差的情况。
4)色材 本发明的感光性树脂组合物含有至少一种色材。
作为本发明中所用的色材，具体来说，可以理想地使用特开2005-17716号公报
～
中记载的颜料及染料、特开2004-361447号公报
～
中记载的颜料、特开2005-17521号公报
～
中记载的着色剂。
本发明的感光性树脂组合物中，可以理想地使用有机颜料、无机颜料、染料等，在对分隔壁要求遮光性时，除了碳黑、氧化钛、四氧化三铁等金属氧化物粉末、金属硫化物粉末、金属粉之类的遮光剂以外，还可以使用红、蓝、绿色等颜料的混合物等，其中，优选碳黑。可以使用公知的着色剂(染料、颜料)。在使用该公知的着色剂当中的颜料的情况下，最好均匀地分散于感光性树脂组合物中。
从充分地缩短显影时间的观点考虑，所述感光性树脂组合物的总固形成分中的色材的比率优选30～70质量％，更优选40～60质量％，进一步优选50～55质量％。
所述颜料最好制成分散液使用。该分散液可以如下调制，即，将所述颜料和颜料分散剂预先混合，将如此得到的组合物添加到有机溶剂(或载色料)中而分散。所述的所谓载色料是指在涂料处于液体状态时将颜料分散的介质的部分，包含处于液状而与所述颜料结合将涂膜固化的部分(粘合剂)、和将其溶解稀释的成分(有机溶剂)。作为将所述颜料分散之时所用的分散机，没有特别限制，例如可以举出朝仓邦造著的「颜料辞典」，第一版，朝仓书店，200年，438页中记载的捏合机(kneader)、辊式研磨机(roll mill)、立式球磨机(attritor)、超微研磨机(super mill)、高速分散机(dissolver)、均化器(homomixer)、混砂机(sand mill)等公知的分散机。另外，也可以利用该文献310页记载的机械的磨碎，用摩擦力进行微粉碎。另外，根据该文献第310页的机械磨碎，可以利用摩擦力来进行微粉碎。
从分散稳定性的观点考虑，本发明中所用的色材(颜料)优选数均粒径为0.001～0.1μm的材料，更优选0.01～0.08μm的材料。而且，这里所说的「粒径」是指将粒子的电子显微镜照片图像制成相同面积的圆时的直径，另外，所谓数均粒径是指对多个粒子求出所述的粒径，取其100个的平均值。
5)含氟化合物 本发明的感光性树脂组合物含有至少一种含氟化合物。
～(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元～ 本发明中的含氟化合物包括(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元。作为至少在侧链具有氟原子的重复单元，优选总碳数为4～8的氟化烷基，既可以是直链，也可以是支链。更优选的可以举出下述结构式(A)。
[化1]
结构式(A) 所述结构式(A)中，R1表示氢原子或碳数为1～5的烷基。
所述结构式(A)中，a表示结构式(A)的质量在含氟化合物的总质量中所占的比率(质量％)。对于a的具体的范围将在后面叙述。
所述结构式(A)中，X1表示醚基、酯基、酰胺基、亚芳基或杂环残基。
作为以X1表示的亚芳基，优选总碳数为6～20的亚芳基，例如可以举出亚苯基、亚萘基、亚蒽基、亚联苯基，它们无论是o-、p-、m-取代都可以。其中，更优选碳数为6～12的亚芳基，特别优选亚苯基、亚联苯基。
作为以X1表示的杂环残基，例如优选以氮原子或氧原子作为环的构成成员而含有的五元环或六元环，优选吡啶环、嘧啶环、吡嗪环、噻唑环、苯并噻唑环、噁唑环、苯并噁唑环、异噁唑环、吡唑环、咪唑环、喹啉环、噻二唑环等，更优选吡啶环、噻二唑环。
所述当中，作为X1，优选下述连结基或具有下述构造的连结基。
[化2] O
这里，Rx表示氢原子、总碳数为1～12的烷基或总碳数为6～20的芳基。
作为以Rx表示的总碳数为1～12的烷基，例如可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、十二烷基等无取代烷基以及具有醚基、硫醚基、酯基、酰胺基、氨基、氨基甲酸基、羟基等取代基的取代烷基。其中，优选总碳数为1～8的烷基，更优选甲基、丁基、辛基。
作为以Rx表示的总碳数为6～20的芳基，例如可以举出苯基、萘基、甲基苯基、甲氧基苯基、壬基苯基。其中，优选总碳数为6～15的芳基，更优选苯基、壬基苯基。
所述结构式(A)中，作为L1，优选下述连结基或具有下述构造的连结基。
[化3]
RY表示氢原子、甲基。
Y更优选单键、下述连结基或具有下述构造的连结基。
[化4]
n表示2～20的整数，优选表示4～12的整数。
R3表示氢原子、碳数为1～5的烷基。R3优选氢原子。
所述结构式(A)中，Rf表示含氟的取代基。另外，优选下述含氟取代基或具有下述构造的含氟取代基。
[化5] CmF2m-F] CmF2m-H]
m表示1～20的整数，优选表示4～12的整数。
～(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元～ 本发明中的含氟化合物也可以还含有(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元。作为在侧链具有聚醚构造的重复单元，可以举出聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚四氢呋喃等，也可以将它们组合多个。
[化6]
结构式(B) 所述结构式(B)中，R2表示氢原子、碳数为1～5的烷基。优选表示氢原子、甲基、羟基甲基。
所述结构式(B)中，n优选4～40，更优选9～30。另外特别优选12～24。
所述结构式(B)中，b表示结构式(B)的质量在含氟化合物的总质量中所占的比率(质量％)。对于b的具体的范围将在后面叙述。
所述结构式(B)中，L2优选单键、二价的连结基。作为二价的连结基，更优选以下的结构式。
[化7]
作为L2，优选单键。
所述结构式(B)中，M表示聚环氧乙烷的重复单元、聚环氧丙烷的重复单元、聚四氢呋喃的重复单元。另外，作为M，更优选具有以下的构造的基。
[化8]
R5表示氢原子、碳数为1～5的烷基。l表示2～20的整数，更优选表示4～12的整数。
作为M优选环氧乙烷链，R5优选氢原子。
所述结构式(B)中，R4表示氢原子、碳数为1～20的烷基、6～15的芳基，烷基、芳基也可以具有取代基。
作为R4的烷基，可以优选举出甲基、乙基、丙基、己基、辛基、十八烷基，优选甲基、辛基。
作为R4的芳基，可以优选举出苯基、甲基苯基、壬基苯基、甲氧基苯基等，优选苯基、壬基苯基。
作为R4，优选烷基、芳基。它们被称作末端封闭型的聚醚构造，最优选该构造。作为R4，更优选甲基、最优选苯基。
作为具有所述聚醚构造的乙烯基化合物的市售品，可以举出日本油脂(株)制Blenmer PME200、PME550、PME1000、50POEP-800P、ALE800、PE1300、ANE1300、PSE-1300、PMEP-1200B041MA、PE350、PP800、新中村化学(株)制NK EasterAM130G、M230G、M90G、M40G、AMP-60G、OC-18E、A-SAL-9E、A-CMP-5E、共荣社(株)制LightEaster 041MA等。
～(c)在侧链具有羧酸基的重复单元～ 另外，本发明的含氟化合物也可以还含有(c)在侧链具有羧酸基的重复单元。作为在侧链具有羧酸基的重复单元，没有特别限制，可以从公知的物质中适当地选择，例如可以举出(甲基)丙烯酸、乙烯基安息香酸、马来酸、马来酸单烷基酯、富马酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、α-氨基肉桂酸、丙烯酸二聚体、具有羟基的单体与环状酸酐的加成反应物、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等。它们既可以使用恰当地制造的产品，也可以使用市售品。
作为所述具有羟基的单体与环状酸酐的加成反应物中所用的具有羟基的单体，例如可以举出(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等。作为所述环状酸酐，例如可以举出马来酸酐、邻苯二甲酸酐、环己烷二羧酸酐等。
作为所述市售品，可以举出东亚合成化学工业(株)制阿罗尼克斯(ARONIX)M-5300、阿罗尼克斯M-5400、阿罗尼克斯M-5500、阿罗尼克斯M-5600、新中村化学工业(株)制NK Easter CB-1、NK EasterCBX-1、共荣社油脂化学工业(株)制HOA-MP、HOA-MS、大阪有机化学工业(株)制比斯考到(VISCOAT)#2100等。它们当中，从显影性优良、成本低方面考虑，优选以下述结构式(C)表示的重复单元、(甲基)丙烯酸等。
[化9]
结构式(C) 其中，所述结构式(C)中，R6表示氢原子或甲基。
所述结构式(C)中，c表示结构式(C)的质量在含氟化合物的总质量中所占的比率(质量％)。对于c的具体的范围将在后面叙述。
在本发明的含氟化合物含有所述结构式(A)的情况下，作为结构式(A)中的a的具体的范围，优选40～85质量％，更优选50～85质量％，最优选50～80质量％。
在本发明的含氟化合物含有所述结构式(B)的情况下，作为结构式(B)中的b的具体的范围，优选10～50质量％，更优选15～50质量％，最优选20～50质量％。
在本发明的含氟化合物含有所述结构式(C)的情况下，作为结构式(C)中的c的具体的范围，优选0.1～50质量％，更优选1～40质量％，最优选1～30质量％。
所述含氟化合物中的氟原子含有率为36～70质量％是必须的，更优选36～65质量％，最优选36～60质量％。在含氟化合物中的氟原子含有率低于36质量％的情况下，在用于形成像素部的墨液喷打时，就有可能发生墨液跨设到分隔壁上的情况，在高于70质量％的情况下，就会有在合成时含氟化合物析出或难以溶于树脂的组合物的情况。
另外，所述含氟化合物的添加量相对于感光性树脂组合物中的总固形成分优选0.01～30质量％，更优选0.05～20质量％，最优选0.1～10质量％。在含氟化合物的添加量相对于感光性树脂固形成分低于0.01质量％的情况下，在用于形成像素部的墨液喷打时就有可能发生墨液跨设在分隔壁上的情况，在高于30质量％的情况下，涂布密接性或分隔壁浓度降低，从而有无法制作所需的分隔壁的情况。
以下，将给出本发明中的含氟化合物的具体例[例示化合物(1)～(36)]。但是，本发明中，并不受它们限制。而且，对于各成分的组成比(a、b、c)，可以在所述优选的组成比的范围中选择。
[化10] 〔例示化合物(1)〕
〔例示化合物(2)〕
〔例示化合物(3)〕
〔例示化合物(4)〕
〔例示化合物(5)〕
〔例示化合物(6)〕
[化11] 〔例示化合物(7)〕
〔例示化合物(8)〕
〔例示化合物(9)〕
〔例示化合物(10)〕
〔例示化合物(11)〕
〔例示化合物(12)〕
[化12] 〔例示化合物(13)〕
〔例示化合物(14)〕
〔例示化合物(15)〕
〔例示化合物(16)〕
〔例示化合物(17)〕
〔例示化合物(18)〕
[化13] 〔例示化合物(19)〕
〔例示化合物(20)〕
〔例示化合物(21)〕
〔例示化合物(22)〕
〔例示化合物(23)〕
〔例示化合物(24)〕
[化14] 〔例示化合物(25)〕
〔例示化合物(26)〕
[化15] 〔例示化合物(27)〕
〔例示化合物(28)〕
〔例示化合物(29)〕
〔例示化合物(30)〕
〔例示化合物(31)〕
〔例示化合物(32)〕
[化16] 〔例示化合物(33)〕
〔例示化合物(34)〕
〔例示化合物(35)〕
〔例示化合物(36)〕
在所述感光性树脂组合物中，除了所述1)～5)的成分以外，还可以添加下述的溶剂、表面活性剂、热聚合防止剂、紫外线吸收剂等。另外，除此以外，还可以含有特开平11-133600号公报中记载的「粘接助剂」或其他的添加剂等。
-溶剂- 在本发明的感光性树脂组合物中，除了所述成分以外，可以还使用有机溶剂。作为有机溶剂的例子，可以举出甲基乙基酮、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、环己酮、环己醇、甲基异丁基酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯、己内酯等。
-表面活性剂- 在本发明的感光性树脂组合物中，从可以控制为均匀的膜厚、有效地防止涂布不均的观点考虑，最好在该感光性树脂组合物中含有适当的表面活性剂。
作为所述表面活性剂的优选的例子，可以举出特开2003-337424号公报、特开平11-133600号公报中所公布的表面活性剂。
-热聚合防止剂- 本发明的感光性树脂组合物最好含有热聚合防止剂。作为该热聚合防止剂的例子，可以举出对苯二酚、对苯二酚单甲醚、对甲氧基苯酚、二-叔丁基-对甲酚、焦棓酚、叔丁基-邻苯二酚、苯醌、4，4’-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2-巯基苯并咪唑、吩噻嗪等。
-紫外线吸收剂- 在本发明的感光性树脂组合物中，根据需要可以含有紫外线吸收剂。作为紫外线吸收剂，除了特开平5-72724号公报记载的化合物以外，还可以举出水杨酸酯类、二苯甲酮类、苯并三唑类、氰基丙烯酸酯类、镍螯合物类、受阻胺类等。
具体来说，可以举出苯基水杨酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2，4-二-叔丁基苯基-3’，5’-二-叔丁基-4’-羟基苯甲酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2，4-二羟基二苯甲酮、2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、2-羟基-4-正辛氧基二苯甲酮、2-(2’-羟基-5’-甲基苯基)苯并三唑、2-(2’-羟基-3’-叔丁基-5’-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、乙基-2-氰基-3，3-二苯基丙烯酸酯、2，2’-羟基-4-甲氧基二苯甲酮、镍二丁基二硫氨基甲酸酯、双(2，2，6，6-四甲基-4-吡啶)-癸二酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、水杨酸苯基酯、4-羟基-2，2，6，6-四甲基哌啶缩合物、丁二酸-双(2，2，6，6-四甲基-4-哌啶烯基)酯、2-[2-羟基-3，5-双(α，α-二甲基苄基)苯基]-2H-苯并三唑、7-{[4-氯-6-(二乙基氨基)-5-三嗪-2-基]氨基}-3-苯基香豆素等。
《分隔壁及其制造方法》 本发明的分隔壁是由所述感光性树脂组合物形成的。分隔壁是分隔两个以上的像素群的壁，一般来说多为黑(深色)，然而并不限定于黑。形成深色的着色物优选有机物(染料、颜料等各种色素)。
分隔壁最好通过将感光性树脂组合物在贫氧气氛下曝光，其后进行显影而形成。
在将该感光性树脂组合物光固化时的所谓贫氧气氛下是指在惰性气体下、减压下、能够阻断氧的保护层下，它们具体来说如下所示。
所谓惰性气体是指N2、H2、CO2等一般的气体或He、Ne、Ar等稀有气体。其中，从安全性或获得的容易度、成本的问题考虑，优选使用N2。
所谓减压下是指500hPa以下，优选100hPa以下。
所谓能够阻断氧的保护层例如是指特开昭46-2121号或特公昭56-40824号各公报中记载的聚乙烯醚/马来酸酐聚合物、羧基烷基纤维素的水溶性盐、水溶性纤维素醚类、羧基烷基淀粉的水溶性盐、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、各种聚丙烯酰胺类、各种水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性盐、明胶、环氧乙烷聚合物、由各种淀粉及其类似物构成的组的水溶性盐、苯乙烯/马来酸的共聚物、马来酸酯树脂及它们的两种以上的组合等。它们当中特别优选的是聚乙烯醇与聚乙烯基吡咯烷酮的组合。聚乙烯醇优选皂化率在80％以上的，聚乙烯基吡咯烷酮的含量优选碱可溶的树脂层固形成分的1～75质量％，更优选1～50质量％，进一步优选10～40质量％。
另外，作为能够阻断氧的层也可以使用各种薄膜，例如可以理想地使用以PET为首的聚酯类、以尼龙为首的聚酰胺类、乙烯-乙酸乙烯共聚物(EVA类)。这些薄膜也可以是根据需要被拉伸了的薄膜，厚度优选5～300μm，更优选20～150μm。另外，在使用转印材料制作分隔壁的情况下，可以将下述说明中记载的临时支承体作为能够阻断氧的层理想地使用。
如此制作的能够阻断氧的保护层的氧透过系数优选2000cm3/(m2·day·atm)以下，更优选100cm3/(m2·day·atm)以下，最优选50cm3/(m2·day·atm)以下。
在氧透过率大于2000cm3/(m2·day·atm)的情况下，由于无法有效地阻断氧，因此就会有难以将分隔壁设为所需的形状的情况。
<感光性转印材料> 作为容易并且低成本地实现该分隔壁的方法，有如下的方法，即，使用在临时支承体上具有由所述的感光性树脂组合物构成的层(以下有时称作「感光性树脂层」或「感光性树脂组合物层」)而成的感光性转印材料。另外，也可以根据需要在临时支承体与感光性树脂组合物层之间设置能够阻断氧的保护层(以下有时称作「氧阻断层」。)，在使用了此种材料的情况下，由于感光性树脂组合物层由氧阻断层保护，因此就会自动地变为贫氧气氛下。由此，就不需要在惰性气体下或减压下进行曝光工序，从而有可以直接利用现有的工序的优点。构成感光性转印材料中的氧阻断层及感光性树脂组合物层的材料如上所述。
另外，也可以将该临时支承体作为「能够阻断氧的保护层」使用。该情况下，不需要设置所述氧阻断层，可以削减工序数。
所述的感光性转印材料根据需要也可以在临时支承体与感光性树脂组合物层之间(在设置所述氧阻断层的情况下，是临时支承体与该氧阻断层之间)具有热塑性树脂层。所谓该热塑性树脂层为碱可溶性，至少含有树脂成分，作为该树脂成分，优选实质上的软化点在80℃以下。通过设置此种热塑性树脂层，就可以发挥与永久支承体的良好的密接性。
作为软化点在80℃以下的碱可溶性的热塑性树脂，可以举出乙烯与丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯与(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯与乙酸乙烯酯等(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物等。
在热塑性树脂层中，可以适当地选择使用所述的热塑性树脂的至少一种，另外可以使用「塑料性能便览」(日本塑料工业联盟，全日本塑料成形工业联合会编著，工业调查会发行，1968年10月25日发行)中的、软化点约为80℃以下的有机高分子当中的可溶于碱性水溶液中的物质。
另外，对于软化点在80℃以上的有机高分子物质，通过向该有机高分子物质中添加与该高分子物质具有相溶性的各种增塑剂，也可以将实质上的软化点降低为80℃以下使用。另外，在这些有机高分子物质中，出于调节与临时支承体的粘接力的目的，也可以在实质上的软化点不超过80℃的范围中，添加各种聚合物或过冷却物质、密接改良剂或者表面活性剂、脱模剂等。
作为优选的增塑剂的具体例，可以举出聚丙二醇、聚乙二醇、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酯、磷酸甲苯·联苯酯、磷酸联苯基二苯基酯。
作为所述的感光性转印材料中的临时支承体，可以从由在化学及热方面稳定且为柔性的物质构成的材料中适当地选择。具体来说，优选Teflon(注册商标)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯等薄的薄片或它们的叠层体。作为所述临时支承体的厚度，5～300μm是适当的，优选20～150μm。如果该厚度小于5μm，则在剥离临时支承体时会有容易破裂的倾向，另外，在夹隔临时支承体曝光的情况下，当超过300μm时，则会有析像度降低的倾向。
所述具体例中，特别优选双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯。
在感光性树脂组合物层上，为了保护其免受贮藏时的污染或损伤，最好设置薄的覆盖薄片。覆盖薄片虽然也可以由与临时支承体相同或类似的材料构成，然而必须很容易从感光性树脂组合物层上分离。作为覆盖薄片材料，例如硅纸、聚烯烃或聚四氟乙烯薄片是适当的。而且，覆盖薄片的厚度一般来说为4～40μm，优选5～30μm，特别优选10～25μm。
<基板> 本发明中，作为基板(永久支承体)可以使用玻璃、陶瓷、合成树脂薄膜等。作为特别优选的例子，可以举出透明性及尺寸稳定性良好的玻璃或合成树脂薄膜。
<分隔壁的制造方法> 本发明的分隔壁的制造方法至少具有在所述基板的至少一方的面上(以下也简称为「基板上」)使用所述感光性树脂组合物或所述感光性转印材料形成感光性树脂层的感光性树脂层形成工序、将所述感光性树脂层曝光的曝光工序、将曝光了的所述感光性树脂层显影的显影工序、将由进行所述显影而得到的感光性树脂层构成的图案图像加热处理的加热处理工序。
(感光性树脂层形成工序) 在感光性树脂层形成工序中，在基板的至少一个面上，使用所述的感光性树脂组合物，或使用所述感光性转印材料，形成感光性树脂层。
作为使用感光性树脂组合物形成感光性树脂层的方法，没有特别限定，然而例如可以通过利用狭缝涂布等公知的涂布方法，在基板上涂布所述感光性树脂组合物来形成。根据需要，也可以在涂布后进行预烘烤。
作为使用感光性转印材料形成感光性树脂层的方法，没有特别限定，然而例如可以如下所示地形成。
准备如下的感光性转印材料，其在临时支承体上设置了氧阻断层、感光性树脂层，继而在该感光性树脂层上设置了覆盖薄片。首先，在将覆盖薄片剥离除去后，将露出了的感光性树脂层的表面贴合在永久支承体(基板)上，使之经过层压机而进行加热、加压，将其层叠(叠层体)。在层压机中，可以使用从以往公知的层压机、真空层压机等中适当地选择的层压机，也可以使用自动切割层压机(auto cut laminator)。
然后，通过在临时支承体与氧阻断层之间进行剥离，从所述叠层体上除去临时支承体，就可以在基板上依次形成感光性树脂层和氧阻断层。
(曝光工序及显影工序) 在曝光工序中，以使所述叠层体的除去临时支承体后的除去面(氧阻断层面)与所需的光掩模(例如石英曝光掩模)相面对的方式配置，在将该叠层体与光掩模垂直地竖立的状态下，适当地设定曝光掩模面与该氧阻断层之间的距离(例如200μm)，进行曝光。
然后，在照射后使用规定的处理液进行显影处理(显影工序)，接下来，根据需要，进行水洗处理，得到图案图像(分隔壁图案)。
另外，在将临时支承体作为能够阻断氧的保护层使用的情况下，在仍残留临时支承体(不将其剥离)的状态下，以使该临时支承体与所需的光掩模(例如石英曝光掩模)相面对的方式配置，在将该叠层体与光掩模垂直地竖立的状态下，适当地设定曝光掩模面与该氧阻断层之间的距离(例如200μm)，进行曝光。然后，将临时支承体除去，在照射后使用规定的处理液进行显影处理，接下来，根据需要，进行水洗处理，得到图案图像(分隔壁图案)。
作为该曝光，例如可以用具有超高压水银灯的近接型(proximity)曝光机(例如日立Hightech电子Engineering株式会社制)等来进行，作为曝光量，可以适当地选择(例如300mJ/cm2)。
在照射后使用规定的处理液进行显影处理。作为显影处理中所用的显影液，可以使用碱性物质的稀薄水溶液，然而也可以是还少量添加了与水具有混合性的有机溶剂的溶液。作为光照射中所用的光源，可以举出中压～超高压水银灯、氙灯、金属卤化物灯等。
在所述显影之前，最好利用喷淋喷嘴等将纯水喷雾，使感光性树脂组合物层或氧阻断层的表面均匀地湿润。作为所述显影处理中所用的显影液，可以使用碱性物质的稀薄水溶液，然而也可以是还少量添加了与水具有混合性的有机溶剂的溶液。
作为适当的碱性物质，可以举出碱金属氢氧化物类(例如氢氧化钠、氢氧化钾)；碱金属碳酸盐类(例如碳酸钠、碳酸钾)；碱金属碳酸氢盐类(例如碳酸氢钠、碳酸氢钾)、碱金属硅酸盐类(例如硅酸钠、硅酸钾)；碱金属硅酸盐类(例如硅酸钠、硅酸钾)、三乙醇胺、二乙醇胺、单乙醇胺、吗啉、氢氧化四烷基铵类(例如氢氧化四甲基铵)、磷酸三钠等。碱性物质的浓度优选0.01～30质量％，pH优选8～14。
作为所述「与水具有混合性的有机溶剂」，例如可以合适地举出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丁基醚、苄基醇、丙酮、甲基乙基酮、环己酮、ε-己内酯、γ-丁内酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。与水具有混合性的有机溶剂的浓度优选0.1～30质量％。另外，也可以添加公知的表面活性剂，作为该表面活性剂的浓度，优选0.01～10质量％。
所述显影液既可以作为浴液使用，也可以作为喷雾液使用。在要将感光性树脂组合物层的未固化部分除去的情况下，可以组合在显影液中用旋转刷或湿润海绵擦拭等方法。显影液的液温通常优选从室温(20℃)附近到40℃。显影时间虽然根据感光性树脂组合物层的组成、显影液的碱性或温度而定，在添加有机溶剂的情况下，还要根据其种类和浓度而定，然而通常为10秒～2分钟左右。当过短时，则非固化部(负型的情况下为非曝光部)的显影就会不充分，同时会有紫外光的吸光度变得不充分的情况，当过长时，则会有固化部(负型的情况下为曝光部)也被蚀刻的情况。在任意的情况下，都很难使得分隔壁形状成为理想的形状。也可以在显影处理之后加入水洗工序。利用该显影工序，可以如前所述地形成分隔壁形状。
(加热处理工序) 通过对由利用所述显影工序得到的感光性树脂层构成的图案图像(分隔壁图案)进行加热处理(也称作烘烤处理)就可以得到本发明的分隔壁。
加热处理是对利用曝光及显影形成的图案图像(分隔壁图案)进行加热而将其固化的处理。
作为加热处理的方法，可以使用以往公知的各种方法。即，例如为将多片基板收纳于盒子中而用对流式烤炉进行处理的方法、用加热平板逐片处理的方法、用红外线加热器处理的方法等。
另外，作为烘烤温度(加热温度)，通常为150～280℃，优选180～250℃。加热时间虽然根据所述烘烤温度而变动，然而在将烘烤温度设为240℃的情况下，优选10～120分钟，更优选30～90分钟。
另外，在分隔壁的形成方法中的加热处理工序中，对于利用所述曝光、显影工序形成的分隔壁图案，从防止不均匀的膜减薄，防止感光性树脂层中所含的UV吸收剂等成分的析出的观点考虑，也可以在加热处理前进行后曝光。当在实施加热处理前进行后曝光时，则可以有效地防止在层压时咬入的微小的异物鼓胀而成为缺陷的情况。
-后(post)曝光- 这里，对所述后曝光进行简单说明。
作为后曝光中所用的光源，只要是可以照射能够将感光性树脂层固化的波长区域的光(例如365nm、405nm)的光源，就可以适当地选用。具体来说，可以举出超高压水银灯、高压水银灯、金属卤化物灯等。
作为曝光量，只要是辅充所述曝光的曝光量即可，通常为50～5000mJ/cm2，优选200～2000mJ/cm2，更优选500～1000mJ/cm2。
<分隔壁> 利用所述制造方法，可以制造本发明的分隔壁。
而且，本发明的分隔壁最好在555nm具有高光学浓度，另外其值优选2.5以上，更优选2.5～10.0，更优选2.5～6.0，特别优选3.0～5.0。另外，由于是利用光引发体系将感光性树脂组合物层固化，因此相对于曝光波长(一般来说为紫外区域)的光学浓度也很重要。即，其值优选2.0～10.0，更优选2.5～6.0，特别优选3.0～5.0。当为所述优选的范围时，则可以将分隔壁形状制成所需的形状。
另外，对于如上所述地形成的本发明的分隔壁的宽度及高度，宽度(即形成滤色片时的像素与像素的间隔)优选15～100μm，另外高度(即从基板到分隔壁的顶点的距离)优选1.0～5.0μm。
对于该分隔壁的形状，在本发明中也适用特开2006-154804号公报的段落编号
～
中记载的形状。
<图案图像上面的接触角测定> 本发明中，加热处理(也称作烘烤处理)前后的图案图像(例如分隔壁)的水接触角变化十分重要。这里的接触角的测定方法是依照财团法人·日本标准协会的JIS标准的方法，具体来说，是JIS R3257「基板玻璃表面的浸润性试验方法」中的6.静滴法中记载的方法。更具体来说，使用接触角测定仪(协和表面科学(株)制的接触角仪(CA-A))，制成20标度大小的水滴，通过从针尖滴出水滴，使之与图案图像上面接触，而在图案图像上面形成水滴，在静置了10秒后，从接触角仪的观察孔观察水滴的形状，求得了25℃的接触角θ。另外，这里所说的「加热处理后」是指，在240℃加热50分钟后，在室温下放置1小时而自然冷却后。
这里，对于图案图像上面，以分隔壁的情况为例使用图1进行说明。
所谓分隔壁的上面是指分隔壁的表面当中的相对于接触基板的一面来说相反一侧的露出面(图1中所示的上面4)。
而且，所谓分隔壁的侧面是指分隔壁的表面当中的所述分隔壁上面以外的表面(图1中所示的侧面5)。另外，所谓基板上的凹部是指由分隔壁侧面与基板上的分隔壁非形成面构成的凹部(图1中所示的凹部3)。
<接触角值> 对于本发明的感光性树脂组合物，在利用所述方法测定使用该感光性树脂组合物形成的图案图像(例如分隔壁)上面的水接触角的情况下，当将实施加热处理前的图案图像(例如加热处理前的分隔壁图案)上面的水接触角设为A°，将240℃下加热处理50分钟，自然冷却1小时后的图案图像(例如分隔壁)上面的水接触角设为B°时，则接触角差B°-A°需要达到20°以上。
作为所述接触角差B°-A°，更优选30°以上，最优选40°以上。
另外，作为A°，从进一步提高分隔壁与基板的密接性的观点考虑，优选0～60°，更优选0～55°，特别优选0～50°。
另外，作为B°，从更为有效地抑制制成滤色片时的混色的观点考虑，优选65～180°，更优选80～180°，特别优选90～180°。
《滤色片及其制造方法》 本发明的滤色片的制造方法的特征是，使用具有所述分隔壁的基板，向由该分隔壁划分的基板上的凹部(像素形成用的区域)赋予2色以上的着色液体组合物，形成由2色以上的多种着色像素(例如红、绿、蓝、白、紫等)构成的着色像素组。作为赋予所述着色感光性树脂组合物的方法，没有特别限定，可以适当地使用喷墨法、狭缝涂覆法、stripe Güsser涂覆法等公知的方法，而在本发明中，特别优选使用喷墨法。所述stripe Güsser涂覆法是使用开设了细小的液滴喷出用的孔的Güsser向基板上赋予液滴，形成条纹状像素的方法。
-喷墨方式- 作为本发明中所用的喷墨方式，可以采用连续地喷射带电的墨液而利用电场进行控制的方法、使用压电元件间歇地喷射墨液的方法、加热墨液而利用其发泡间歇地喷射的方法等各种方法。
对于所用的墨液，无论是油性还是水性都可以使用。另外，对于该墨液中所含的着色剂，无论是染料、还是颜料都可以使用，从耐久性方面考虑，更优选使用颜料。另外，也可以使用在公知的滤色片制作中所用的涂布方式的着色墨液(着色树脂组合物，例如特开2005-3861号公报
～
中记载的)、特开2004-325736号公报中记载的着色墨液、特开2002-372613号公报中记载的墨液等公知的墨液。
在喷墨方式中所用的墨液中，考虑到着色后的工序，也可以添加因加热而固化的或因紫外线等能量射线而固化的成分。作为因加热而固化的成分，可以广泛使用各种热固化性树脂，另外作为因能量射线而固化的成分，例如可以例示出在丙烯酸酯衍生物或甲基丙烯酸酯衍生物中添加了光反应引发剂的物质。特别是考虑到耐热性，更优选在分子内具有多个丙烯酰基、甲基丙烯酰基的物质。这些丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物更优选使用水溶性的物质，即使是难溶于水的物质，也可以通过进行乳液化等而使用。
该情况下，可以将所述的感光性树脂组合物中举出的含有颜料等着色剂的感光性树脂组合物作为合适的物质使用。
本发明中的滤色片优选利用喷墨方式形成了像素的滤色片，优选至少喷射RGB三色的墨液而形成至少三色的滤色片。如此形成的滤色片的图案形状没有特别限定，无论是作为一般的黑矩阵形状的条纹状，还是格子状，以及三角型(delta)排列状都可以。
(覆盖层) 在制作了滤色片后，为了全面地提高耐受性，有时设置覆盖层。覆盖层虽然可以保护墨液R、G、B的着色像素，并且使表面平坦，然而从工序数增加的观点考虑，最好不设置。
作为形成覆盖层的树脂(OC剂)，可以举出丙烯酸类树脂组合物、环氧树脂组合物、聚酰亚胺树脂组合物等。其中，由于在可见光区域中的透明性优良，另外由于滤色片用光固化性组合物的树脂成分通常是以丙烯酸类树脂作为主成份，密接性优良，因此优选丙烯酸类树脂组合物。
作为覆盖层的例子，可以举出特开2003-287618号公报的段落编号0018～0028中记载的覆盖层、作为覆盖剂的市售品的JSR公司制「オプトマ一SS6699G)。
在着色像素层上，根据需要，也可以设置透明电极、取向膜等。作为透明电极的具体例，例如可以举出ITO。另外，作为取向膜的具体例，可以举出聚酰亚胺。
《显示装置》 利用所述的方法得到的滤色片可以与液晶显示元件、电泳显示元件、电致发光显示元件、PLZT等组合而作为显示元件使用。也可以用于彩色照相机或其他的使用滤色片的用途中。
作为该显示装置，可以举出液晶显示装置、等离子体显示器显示装置、EL显示装置、CRT显示装置等显示装置等。显示装置的定义或各显示装置的说明例如被记载于「电子显示器设备(佐佐木昭夫著，(株)工业调查会1990年发行)」、「显示器设备(伊吹顺章著，产业图书(株)平成元年发行)」等中。
具备本发明的滤色片的显示装置当中，特别优选液晶显示装置。对于液晶显示装置，例如记载于「下一代液晶显示技术(内田龙男编集，(株)工业调查会1994年发行)」中。对于可以应用本发明的液晶显示装置，没有特别限制，例如可以应用于所述的「下一代液晶显示技术」中记载的各种各样的方式的液晶显示装置中。在它们当中，本发明对于彩色-TFT方式的液晶显示装置特别有效。对于彩色-TFT方式的液晶显示装置，例如记载于「彩色-TFT液晶显示器(共立出版(株)1996年发行)」中。另外，本发明当然也可以应用于IPS等横电场驱动方式、MVA等像素分割方式等将视场角度放大了的液晶显示装置中。对于这些方式，例如记载于「EL、PDP、LCD显示器技术与市场的最新动向-(东レ研究中心调查研究部门2001年发行)」的43页中。
液晶显示装置除了滤色片以外，还由电极基板、偏振薄膜、相位差薄膜、背光灯、间隔物、视场角度补偿薄膜等各种各样的构件构成。本发明的滤色片可以应用于由这些公知的构件构成的液晶显示装置中。对于这些构件，例如记载于「’94液晶显示器周边材料·化学品的市场(岛健太郎(株)CMC 1994年发行)」、「2003液晶相关市场的现状与将来展望(下卷)(表良吉(株)富士キメラ综研2003年发行)」中。
而且，作为对象用途，可以没有特别限制地应用于电视机、个人电脑、液晶投影仪、游戏机、携带电话等携带终端、数字照相机、导航装置等用途中。
[实施例] 以下将举出实施例而对本发明进行进一步具体说明。以下的实施例中所示的材料、试剂、比例、机器、操作等只要不脱离本发明的精神，就可以适当地变更。所以，本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。
《含氟化合物的合成例》 以本发明中的含氟化合物的例示化合物当中的具体的含氟化合物为例来给出合成例。而且，对于例示化合物以外的本发明的含氟化合物，也可以利用相同的方法来合成。
只要没有特别限定，数值都是质量份、质量％的表述。另外，分子量是利用凝胶渗透色谱(GPC)得到的聚苯乙烯换算的重均分子量，含氟化合物中的氟原子含有率表示根据结构式设想的氟量。
<含氟化合物(1)的合成例> 在氮气流下，将丙二醇单甲醚乙酸酯[MMPG-Ac，DAICEL(株)制]30g加入到设置了冷却管的300ml的三口烧瓶中，用加入石蜡的水浴加热至70℃。向其中分别用柱塞泵用2小时滴加在MMPG-Ac35g中溶解了丙烯酸[AA，东京化成工业(株)制]2.5g、丙烯酸2-(全氟己基)-乙基酯[FAAC6，NOK(株)制]25g、末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]22.5g和月桂基硫醇[LM，东京化成工业(株)制]0.70g的溶液；及在MMPG-Ac10g中溶解了2，2’-偶氮双(异戊腈)[V65，和光纯药工业(株)制]0.285g的溶液。结束滴加后，搅拌了5小时。
如上所述，将丙烯酸2-(全氟己基)乙基酯[FAAC6]、丙烯酸[AA]及聚环氧乙烷单体[PME1000]共聚，合成了FAAC6/AA/PME1000＝50/5/45(质量比)的含氟化合物(1)。重均分子量为1.3万。含氟化合物(1)中的氟原子含有率为36质量％。
而且，含氟化合物(1)是属于所述的例示化合物(1)的化合物。
<含氟化合物(2)、(3)、(8)、(9)的合成例> 依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(2)FAAC6/AA/PME1000＝65/5/25(质量比)、含氟化合物(3)FAAC6/AA/PME1000＝80/5/15(质量比)、含氟化合物(8)FAAC6/AA/PME1000＝36/5/59(质量比)、含氟化合物(9)FAAC6/AA/PME1000＝90/5/5(质量比)的合成。对于各个共聚成分、含氟化合物(2)、(3)、(8)、(9)中的氟原子含有率，如表1所示。
其中，对于含氟化合物(9)，由于树脂的溶解性不足，因此在合成时析出，无法评价。
而且，所述含氟化合物(2)、(3)是属于所述的例示化合物(1)的化合物。所述含氟化合物(8)、(9)虽然具有与例示化合物(1)相同的构造，但是由于氟原子含有率为36～70质量％的范围外，因此不属于所述的例示化合物(1)。
<含氟化合物(4)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为日本油脂(株)制的Blenmer ANE1300、PEO的重复数(30)末端壬基Ph，将其他的成分变更为表1所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(4)FAAC6/AA/ANE1300＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(4)是属于所述的例示化合物(21)的化合物。
<含氟化合物(5)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为新中村化学(株)制的NK-Easter M90G、PEO的重复数(9)末端Me，将其他的成分变更为表1所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(5)FAAC6/AA/M90G＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(5)是属于所述的例示化合物(2)的化合物。
<含氟化合物(6)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了未添加丙烯酸[AA、东京化成工业(株)制]2.5g以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(6)FAAC6/PME1000＝50/50(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(6)是属于所述的例示化合物(25)的化合物。
<含氟化合物(7)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为日本油脂(株)制的Blenmer PE350、PEO的重复数(8)末端H，将其他的成分变更为表1所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(7)FAAC6/AA/PE350＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(7)是属于所述的例示化合物(36)的化合物。
<含氟化合物(10)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将丙烯酸2-(全氟己基)-乙基酯[FAAC6，NOK(株)制]变更为丙烯酸3-(全氟己基)-2-羟基丙基酯[R1633，Daikin工业(株)制]，将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为新中村化学(株)制的NK Easter AM230G、PEO的重复数(23)末端甲基以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(10)R1633/AA/AM230G＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(10)是属于所述的例示化合物(27)的化合物。
<含氟化合物(11)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为新中村化学(株)制的NK-Easter AM130G、PEO的重复数(13)末端甲基，将其他的成分变更为表2所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(11)FAAC6/AA/AM130G＝65/5/30(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(11)是属于所述的例示化合物(15)的化合物。
<含氟化合物(12)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为新中村化学(株)制的NK Easter AM230G、PEO的重复数(23)末端甲基，将其他的成分变更为表2所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(12)FAAC6/AA/AM230G＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(12)是属于所述的例示化合物(16)的化合物。
<含氟化合物(13)的合成例> 在所述含氟化合物(1)的合成例中，除了将末端甲基聚环氧乙烷单体[PME1000，日本油脂(株)制，PEO的重复数(23)末端Me]变更为新中村化学(株)制的NK Easter AM230G、PEO的重复数(23)末端甲基，将丙烯酸2-(全氟己基)-乙基酯[FAAC6，NOK(株)制]变更为依照下述合成例合成的化合物M-1(丙烯酸2-(全氟己基)-乙基氧基氨基甲酰基-乙基酯)，将其他的成分变更为表2所述的添加量以外，依照所述含氟化合物(1)的合成例，进行了含氟化合物(13)M-1/AA/AM230G＝50/5/45(质量比)的合成。
而且，含氟化合物(13)是属于所述的例示化合物(33)的化合物。
～化合物M-1的合成例～ 在氮气流下，将脱水四氢呋喃[anhydTHF，关东化学(株)制]150g、全氟己基乙醇[FA6，NOK(株)制]加入到装入了丙烯酰氧基乙基异氰酸酯[AOI，昭和电工(株)制]70.6g的设置了滴液漏斗、冷却管的1000ml的三口烧瓶中，浸渍于冰冷却了的水浴中。从滴液漏斗滴加AOI，使得内温达到5℃以下。滴液后，升温到室温，搅拌1小时。搅拌后，通过在50℃下加热4小时来结束反应。将反应液用二乙醚/蒸馏水分液，在用饱和食盐水清洗后，将有机层用硫酸镁干燥。利用过滤除去硫酸镁，通过将滤得的滤液添加2，5-二-叔辛基对苯二酚100mg而进行减压浓缩，得到了化合物M-1的粗产物。通过将其用己烷/乙酸乙酯为20/1的硅胶柱色谱精制，得到了234g(93％)化合物M-1。
关于所述说明中所合成的各个共聚成分、含氟化合物(1)～(13)中的氟原子含有率，如表1及表2所示。另外，添加丙二醇单甲醚乙酸酯，将各含氟化合物的固形成分浓度调整为达到25％。
[表1] 单位g [表2] (表1及表2中的记号的说明) ·PME1000Blenmer PME1000，PEO的重复数(23)末端Me，[日本油脂(株)制] ·AA丙烯酸[东京化成工业(株)制] ·FAAC6丙烯酸2-(全氟己基)-乙基酯[NOK(株)制] ·M90GNK-Easter M90G，PEO的重复数(9)末端Me[新中村化学(株)制] ·ANE1300Blenmer ANE1300，PEO的重复数(30)末端壬基Ph[日本油脂(株)制] ·PE350Blenmer PE350，PEO的重复数(8)末端H[日本油脂(株)制] ·R1633丙烯酸3-(全氟己基)-2-羟基丙基酯[Daikin工业(株)制] ·M-1丙烯酸2-(全氟己基)-乙基氧基氨基甲酰基-乙基酯[所述合成例的合成品] ·AM130GNK-EasterAM130G，PEO的重复数(13)末端Me[新中村化学(株)制] ·AM230GNK-EasterAM230G，PEO的重复数(23)末端Me[新中村化学(株)制] ·V652，2’-偶氮双(异戊腈)[和光纯药工业(株)制] ·LM月桂基硫醇[东京化成工业(株)制] ·MMPG-Ac丙二醇单甲醚乙酸酯[DAICEL(株)制] 《感光性树脂组合物的调制》 感光性树脂组合物K1是如下得到的，即，首先，量取表3中记载的量的K颜料分散物1、丙二醇单甲醚乙酸酯，在温度24℃下(±2℃)混合，以150RPM搅拌10分钟，然后，量取表3中记载的量的甲基乙基酮、粘合剂2、对苯二酚单甲醚、DPHA液、2，4-双(三氯甲基)-6-[4’-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)-3’-溴苯基]-s-三嗪、表面活性剂1、含氟化合物(1)，在25℃(±2℃)的温度下以该顺序添加，在40℃(±2℃)的温度下以150RPM搅拌30分钟。而且，表3中记载的量为质量份，具体来说形成以下的组成。
<K颜料分散物1> ·碳黑(Degussa公司制Nipex35) …13.1％ ·分散剂1 …0.65％ [化17] 分散剤1
·聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸＝72/28摩尔比的无规共聚物，分子量3.7万)…6.72％ ·丙二醇单甲醚乙酸酯 …79.53％ <粘合剂2> ·聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸＝78/22摩尔比的无规共聚物，分子量3.8万)…27％ ·丙二醇单甲醚乙酸酯 …73％ <DPHA液> ·二季戊四醇六丙烯酸酯(含有聚合抑制剂MEHQ 500ppm，日本化药(株)制，商品名KAYARAD DPHA)…76％ ·丙二醇单甲醚乙酸酯 …24％ <表面活性剂1> ·下述构造物1…30％ ·甲基乙基酮 …70％ [化18] 构造物1
(n＝6、x＝55、y＝5、 Mw＝33940、Mw/Mn＝2.55 PO环氧丙烷，EO环氧乙烷) [表3] (质量份) [实施例1] 《分隔壁的形成》 在将无碱玻璃基板用UV清洗装置清洗后，使用清洗剂进行冲刷清洗，继而用超纯水进行了超声波清洗。将基板在120℃下热处理3分钟，使表面状态稳定化。
在将基板冷却而调温至23℃后，利用具有狭缝状喷嘴的玻璃基板用涂覆器(F·A·S Asia公司制，商品名MH-1600)，涂布了由上表中记载的组成构成的感光性树脂组合物K1。接下来在VCD(真空干燥装置，东京应化工业公司制)中以30秒将溶剂的一部分干燥，消除了涂布层的流动性后，在120℃下预烘烤3分钟，得到了膜厚2.3μm的感光性树脂组合物层K1。
利用具有超高压水银灯的近接式曝光机(日立Hightech电子Engineering株式会社制)，以将基板与掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直地竖立的状态，将曝光掩模面与感光性树脂组合物层K1之间的距离设定为200μm，在氮气气氛下，以300mJ/cm2的曝光量进行了图案曝光。
然后，在利用喷淋喷嘴将纯水喷雾，将感光性树脂组合物层K1的表面均匀地湿润后，利用将KOH类显影液(含有KOH、非离子表面活性剂，商品名CDK-1，富士胶片电子材料(株)制)稀释为100倍的液体，在23℃下以0.04MPa的平面喷嘴压力进行喷淋显影80秒，得到了图案化图像。接下来，用超高压清洗喷嘴以9.8MPa的压力喷射超纯水，进行残渣除去，在大气下以2000mJ/cm2的曝光量进行后曝光，接下来在240℃下进行50分钟的后烘烤(加热处理)，得到了膜厚为2.0μm、光学浓度为4.0、具有100μm宽度的开口部的条纹状的分隔壁(带有分隔壁的基板)。
《滤色片的制作》 <像素用着色墨液组合物的调制> 在下述成分中，首先混合颜料、高分子分散剂和溶剂，使用3个辊和珠磨机(beads mill)得到了颜料分散液。将该颜料分散液用溶解器等充分搅拌，同时将其它材料一点一点地添加，配制了红色(R)像素用着色墨液组合物。
(红色像素用着色墨液组合物的组成) ·颜料(C.I.颜料红254) …5份 ·高分子分散剂(AVECIA公司制SOLSPERSE 24000)…1份 ·粘合剂(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸＝72/28摩尔比的无规共聚物，分子量3.7万) …3份 ·第一环氧树脂(酚醛型环氧树脂，油化Shell公司制Epicoat154)…2份 ·第二环氧树脂(新戊二醇二缩水甘油基醚)…5份 ·固化剂(偏苯三酸) …4份 ·溶剂3-乙氧基丙酸乙酯…80份 另外，除了取代所述组成中的C.I.颜料红254，使用相同量的C.I.颜料绿36以外，与红色像素用着色墨液组合物的情况相同地调制了绿色(G)像素用着色墨液组合物。
另外，除了取代所述组成中的C.I.颜料红254，使用相同量的C.I.颜料蓝15:6以外，与红色像素用着色墨液组合物的情况相同地调制了蓝色(B)像素用着色墨液组合物。
然后，使用所述的R、G、B像素用着色墨液组合物，向所述说明中得到的带有分隔壁的基板的由分隔壁划分的区域内(由凸部包围的凹部)，使用喷墨方式的记录装置进行墨液组合物的喷出，直至达到所需的浓度，制作了由R、G、B的图案构成的滤色片。通过将像素着色后的滤色片在230℃的烤炉中烘烤30分钟，将分隔壁、各像素一起完全固化，得到了滤色片基板。
如下所述地评价了如此得到的滤色片。
(滤色片的混色评价) 从与形成了像素的一侧相反一侧，利用200倍的光学显微镜目视观察所得的滤色片，调查了有无像素间的混色。观察1000个像素，分为下述的等级。将结果表示在表10中。可以容许的为A等级、B等级及C等级的像素。
A等级完全没有混色 B等级1～2个部位有混色 C等级3～10个部位有混色 D等级11个部位以上有混色 《液晶显示装置的制作》 在利用所述操作得到的滤色片基板的R像素、G像素及B像素以及分隔壁之上，又利用溅射形成了ITO(Indium Tin Oxide)的透明电极。
测定了该滤色片的ITO电阻(三菱化学(株)制「RORESTA」；利用四探针法测定薄片电阻)，其结果为，显示出12Ω/□这样的非常低的值。
<柱状间隔物图案的形成> 将下述的间隔物用的感光性树脂层用涂布液的配方SP1，利用与所述相同的狭缝涂覆器涂布于所述滤色片的ITO上，干燥，形成了感光性树脂层SP1。
(感光性树脂层用涂布液的配方SP1) ·甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙基酯共聚物(摩尔比＝20/80，重均分子量40000；高分子物质)…108份 ·二季戊四醇六丙烯酸酯(聚合性单体)…64.7份 ·2，4-双(三氯甲基)-6-[4’-(N，N-双(乙氧基羰基甲基)氨基)-3’-溴苯基]-s-三嗪 …6.24份 ·对苯二酚单甲醚 …0.0336份 ·维多利亚纯蓝BOHM(保土ケ谷化学公司制)…0.874份 ·MEGAFACE F780F(大日本油墨化学工业(株)制；表面活性剂)…0.856份 ·甲基乙基酮 …328份 ·1-甲氧基-2-丙基乙酸酯 …475份 ·甲醇…16.6份 然后，介由规定的光掩模利用超高压水银灯以300mJ/cm2进行近接式曝光。曝光后，使用KOH显影液[CDK-1(商品名)的100倍稀释液(pH＝11.8)、富士照片胶片(株)制]将未曝光部的感光性树脂层溶解除去。
接下来，在230℃下烘烤30分钟，在位于玻璃基板上的ITO膜之上的分隔壁的上部的部分形成直径16μm、平均高度3.7μm的柱状间隔物图案。在其上又设置了由聚酰亚胺构成的取向膜。
<液晶取向分割用突起的形成> 将下述的突起用感光性树脂层用涂布液的配方A利用与所述相同的狭缝涂覆器涂布于所述滤色片基板的ITO上，干燥，形成了突起用感光性树脂层。
然后，在突起用感光性树脂层上，使用下述配方P1的中间层用涂布液，设置了干燥膜厚为1.6μm的中间层。
(突起用感光性树脂层用涂布液配方A) ·正型抗蚀剂液 53.3份 (富士胶片电子材料(株)制，FH-2413F) ·甲基乙基酮46.7份 ·所述表面活性剂1 0.04份 (中间层用涂布液配方P1) ·PVA205(聚乙烯醇，Kuraray(株)制， 皂化度＝88％，聚合度550)32.2份 ·聚乙烯基吡咯烷酮(ISP·Japan(株)制，K-30) 14.9份 ·蒸馏水524份 ·甲醇 429份 然后，配置近接式曝光机，使得光掩模与突起用感光性树脂层的表面达到100μm的距离，介由该光掩模利用超高压水银灯以150mJ/cm2的照射能量进行了近接式曝光。其后，在将2.38％氢氧化四甲基铵水溶液利用喷淋式显影装置在33℃下向基板喷雾30秒的同时显影，将突起用感光性树脂层的不要部(曝光部)显影除去。这时，在位于所述滤色片基板的ITO膜之上的R、G、B像素的上部的部分，形成由被以所需的形状图案化了的感光性树脂层构成的突起。然后，通过将形成了该突起的滤色片基板在240℃下烘烤50分钟，就可以在滤色片基板上形成高1.5μm、纵剖面形状为拱形的取向分割用突起。
另外，通过在利用所述操作得到的滤色片基板上，组合驱动侧基板及液晶材料，制作了取向分割垂直取向型液晶显示元件。即，作为驱动侧基板，准备排列形成了TFT和像素电极(导电层)的TFT基板，以使该TFT基板的设置了像素电极等的一侧的表面与利用所述操作得到的滤色片基板的形成了取向分割用突起的一侧的表面相面对的方式配置，设置由所述操作中形成的间隔物所形成的间隙而固定。向该间隙中封入液晶材料，设置了负责图像显示的液晶层。在如此得到的液晶盒的两面，贴附了(株)SANRITZ制的偏振片HLC2-2518。然后，构成冷阴极管的背光灯，配置于成为设置了所述偏振片的液晶盒的背面的一侧，形成了取向分割垂直取向型液晶显示装置。
《测定及评价》 <分隔壁上亲/疏水性评价> 对与所述实施例1相同地制作的感光性树脂组合物层K1，除了不使用掩模地曝光以外，利用与实施例1相同的方法进行曝光，其后直至后曝光都在相同的条件下进行，得到了测试用感光性树脂组合物层。对所得的测试用感光性树脂组合物层，将实施例1中调制的红色(R)像素用墨液使用接触角测定仪(协和表面科学(株)制的接触角仪(CA-A))制成20标度大小的液体试样(墨液试样)，从针尖滴出该墨液试样，通过使之与所述的测试用感光性树脂组合物层接触，而在测试用感光性树脂组合物层上形成红色(R)像素用墨液滴，从接触角仪的观察孔观察墨液滴的形状，求得了25℃的接触角θ。放置10秒后的墨液接触角为10℃。其后，在与实施例1相同的条件下对该测试用感光性树脂组合物层进行了后烘烤后，再次测定了红色(R)像素用墨液的接触角，其结果为，提高到37°。另外，将所述接触角测定的墨液滴变为水滴，利用相同的顺序测定了烘烤前后的水接触角，其结果为，烘烤前为48°，烘烤后为92°。
<分隔壁-基板密接评价> 准备三片利用与所述分隔壁的形成相同的条件进行至图案曝光的工序的基板，除了将显影时间延长为90秒、100秒、110秒而进行了处理以外，利用相同的显影条件进行处理，以1000个像素量利用目视如下所述地评价了各个显影时间下的分隔壁的缺陷，其结果为B等级。而且，可以容许的等级为A等级、B等级及C等级。
(评价基准) 完全没有分隔壁缺陷 …A等级 有1～2个部位的分隔壁缺陷 …B等级 有3～10个部位的分隔壁缺陷…C等级 有11个部位以上的分隔壁缺陷 …D等级 <液晶显示装置的评价> 如下所述地评价了所述实施例1中制作的液晶显示装置。
对于各个液晶显示装置，利用目视观察了输入了灰色的测试信号时的灰度显示，依照下述评价基准评价了有无显示不均的发生。将评价结果表示于表10中。
(评价基准1) A完全没有不均(非常良好) B虽然在玻璃基板的边缘部分看到微量不均，但是在显示部中没有问题(良好) C虽然在显示部中看到微量不均，然而是可以实际应用的水平(普通) D在显示部中有不均(略差) E在显示部中有强的不均(非常差) [实施例2] 《感光性转印材料K1的制法》 在厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜临时支承体上，使用狭缝状喷嘴，涂布由下述配方H1构成的热塑性树脂层用涂布液，将其干燥。然后，涂布由下述配方P1构成的中间层用涂布液，将其干燥。另外，涂布所述感光性树脂组合物K1，将其干燥。像这样就在临时支承体上设置了干燥膜厚为14.6μm的热塑性树脂层、干燥膜厚为1.6μm的中间层、干燥膜厚为2.3μm的感光性树脂组合物层，最后压接了保护膜(厚度12μm聚丙烯薄膜)。
像这样就制作了临时支承体、热塑性树脂层、中间层(氧阻断膜)与黑色(K)的感光性树脂组合物层一体化了的感光性转印材料，将样品名设为感光性转印材料K1。
<热塑性树脂层用涂布液配方H1> ·甲醇 …11.1份 ·丙二醇单甲醚乙酸酯…6.36份 ·甲基乙基酮…52.4份 ·甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2-乙基己基酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)＝55/11.7/4.5/28.8， 分子量＝10万，Tg70℃)…5.83份 ·苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)＝63/37，平均分子量＝1万，Tg100℃) …13.6份 ·2，2-双[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷(新中村化学工业(株)制)…9.1份 ·所述表面活性剂1 …0.54份 <中间层用涂布液配方P1> ·PVA205(聚乙烯醇，(株)Kuraray制，皂化度＝88％，聚合度550) …32.2份 ·聚乙烯基吡咯烷酮(ISP·Japan公司制，K-30) …14.9份 ·蒸馏水…524份 ·甲醇 …429份 《分隔壁的形成》 对无碱玻璃基板，在利用喷淋器喷射调整为25℃的玻璃清洗剂的同时，用具有尼龙毛的旋转刷清洗，在纯水喷淋清洗后，利用喷淋器喷射20秒硅烷耦合液(N-β(氨基乙基)γ-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3质量％水溶液，商品名KBM603，信越化学工业(株)制)，进行了纯水喷淋清洗。将该基板用基板预热装置在100℃下加热2分钟。
从利用所述的制法制作的感光性转印材料K1上除去覆盖薄膜，以使除去后露出的感光性树脂组合物层的表面与所述硅烷耦合处理玻璃基板的表面接触的方式，重合在所得的硅烷耦合处理玻璃基板上，使用层压机(株式会社日立Industries(LamicII型))，对所述以100℃加热了2分钟的基板，以橡胶辊温度130℃、线压力100N/cm、搬送速度2.2m/分钟的条件进行了层压。接下来，将聚对苯二甲酸乙二醇酯的临时支承体在与热塑性树脂的界面上剥离，除去了临时支承体。在将临时支承体剥离后，用具有超高压水银灯的近接式曝光机(日立Hightech电子Engineering株式会社制)，以使基板与掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直地竖立的状态，将曝光掩模面与感光性树脂组合物层之间的距离设定为200μm，以70mJ/cm2的曝光量进行了图案曝光。
然后，利用KOH显影液[CDK-1(商品名)的100倍稀释液(pH＝11.8)，富士照片胶片(株)制]显影，除去感光性树脂组合物层的未曝光部及其下的中间层、热塑性树脂层，在玻璃基板上得到了黑矩阵图案样分隔壁。接下来在大气下利用对准器(aligner)从基板的表面侧将基板的全面以2000mJ/cm2的曝光量进行后曝光，接下来在240℃下进行50分钟的后烘烤，得到了光学浓度为4.0的分隔壁。
然后，与实施例1相同地制作滤色片、液晶显示装置，将进行了与实施例1的记载相同的评价的结果表示于表10中。
[实施例3] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(2)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K2，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K2，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例4] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(3)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K3，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K3，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例5] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(4)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K4，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K4，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例6] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(5)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K5，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K5，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例7] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(6)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K6，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K6，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例8] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(7)以外，利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K7，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K7，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例9] 使用除了将实施例1中的感光性树脂组合物K1的组成如下表所示地变更以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K8，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K8，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[表4] (质量份) [实施例10] 使用除了将实施例1中的感光性树脂组合物K1的组成如下表所示地变更以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K9，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K9，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[表5] (质量份) [实施例11] 使用除了将实施例1中的感光性树脂组合物K1的组成如下表所示地变更以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K10，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K10，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[表6] (质量份) [实施例12] 使用除了将实施例1中的感光性树脂组合物K1的组成如下表所示地变更以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K11，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K11，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[表7] (质量份) [实施例13] 在实施例1中，将RGB像素用着色墨液组合物变更为下述的RGB像素用着色墨液组合物2以外，用与实施例1相同的方法制作了滤色片、液晶显示装置，以与实施例1相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
-颜料分散液的调制- 在溴化酞菁绿(C.I.Pigment Green36，商品名Rionol Green 6YK，东洋油墨制造(株)制)中，如下述的表8所示地配合分散剂(所述分散剂1)及溶剂(1，3-丁二醇二乙酸酯)(以下简记为1，3-BGDA)，在预混后，用Motor mill M-50(Aiga·Japan公司制)，以80％的填充率使用直径0.65mm的氧化锆珠子，以9m/s的圆周速度分散25小时，调制了G用颜料分散液(G1)。除了在G用颜料分散液(G1)中，将颜料及其他的成分如表8所示地配合以外，与G用颜料分散液(G1)相同地调制了G用颜料分散液(G2)、R用颜料分散液(R1)、(R2)、B用颜料分散液(B1)、(B2)。而且，使用日机装公司制Nanotrack UPA-EX150，测定了该颜料分散液的数均粒径。
[表8] (单位质量份) 然后，像下述表9中所示的配方那样，将溶剂、单体、表面活性剂成分混合，在25℃下搅拌了30分钟后，确认没有不溶物，调制了单体溶液。
然后，在搅拌G用颜料分散液(G1)、G用颜料分散液(G2)的同时，缓慢地添加所述单体液，在25℃下搅拌30分钟，调制了G用喷墨墨液(墨液G-1)。
同样地调制了各色墨液(B-1、R-1)。
给出所用的原材料的详细情况。
·C.I.P.R.254(商品名Irgaphor Red B-CF，Ciba·Specialty·Chemicals(株)制) ·C.I.P.R.177(商品名Cromophtal Red A2B，Ciba·Specialty·Chemicals(株)制) ·C.I.P.Y.150(商品名Bayplast Yellow 5GN 01，Bayer株式会社制) ·C.I.P.B.15:6(商品名Rionol Blue ES，东洋油墨制造(株)制) ·C.I.P.V.23(商品名Hostaperm Violet RL-NF，Clariant Japan(株)制) ·1，3-BGDA(1，3-丁二醇二乙酸酯；沸点232℃) ·DPHA(日本化药(株)制，商品名KAYARAD DPHA)，(固形成分100％) ·表面活性剂2所述表面活性剂1的一栏中所示的构造物1(固形成分100％) [表9] (单位质量份) [实施例14] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(10)以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K12，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K12，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例15] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(11)以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K13，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K13，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例16] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(12)以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K14，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K14，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[实施例17] 使用除了在所述感光性树脂组合物K1中将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(13)以外利用相同的顺序制作的感光性树脂组合物K15，用实施例2中记载的方法制作了感光性转印材料K15，以与实施例2相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[比较例1] 除了在所述感光性树脂组合物K1中，将所添加的含氟化合物(1)变更为含氟化合物(8)以外，利用与实施例1相同的顺序进行了相同的评价，将结果表示于表10中。
[比较例2] 对于含氟化合物(9)，由于树脂的溶解性不足，因此在合成时析出，无法进行评价。
[表10] 如表10所示，在使用本发明的感光性树脂组合物，制作了分隔壁、滤色片及液晶显示装置的情况下(实施例1～17)，分隔壁-基板间的密接性良好(或在容许范围内)，抑制了混色及显示不均。
另一方面，在使用含氟化合物中的氟原子含有率为26％的感光性树脂组合物，制作了分隔壁、滤色片及液晶显示装置的情况下(比较例1)，分隔壁-基板间的密接性、混色及显示不均恶化，超过了容许范围。
而且，所述实施例中，虽然以作为含氟化合物分别使用了所述含氟化合物(1)～(7)、(10)～(13)的情况为中心进行了说明，然而在使用了本发明的范围中所含的含氟化合物当中的其他的含氟化合物的情况下，或将两种以上组合使用的情况下，也可以发挥与本实施例相同的作用，可以与所述相同，在良好地保持分隔壁-基板间的密接性的同时，抑制混色及显示不均。
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，其特征是，在依照JIS R3257中所记载的方法测定使用该感光性树脂组合物形成的图案图像上面的水接触角之际，当将实施加热处理前的图案图像上面的水接触角设为A°，将240℃下加热处理50分钟、自然冷却1小时后的图案图像上面的水接触角设为B°时，则接触角差B°-A°在20°以上。
2.一种感光性树脂组合物，是至少含有1)引发剂、2)粘合剂、3)乙烯性不饱和化合物、4)色材及5)含氟化合物的感光性树脂组合物，其特征是，该含氟化合物含有至少在侧链具有氟原子的重复单元，该含氟化合物中的氟原子含有率为36～70质量％。
3.根据权利要求2中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述含氟化合物含有(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元、(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元。
4.根据权利要求2中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述含氟化合物含有(a)至少在侧链具有氟原子的重复单元、(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元、(c)在侧链具有羧酸基的重复单元。
5.根据权利要求3中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元具有末端封闭型的聚醚构造。
6.根据权利要求4中所述的感光性树脂组合物，其特征是，所述(b)在侧链具有聚醚构造的重复单元具有末端封闭型的聚醚构造。
7.一种感光性转印材料，其在临时支承体上，具有由权利要求1～6中任意一项所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂层。
8.一种分隔壁的制造方法，其特征是，至少具有
在基板的至少一个面上，使用权利要求1～6中任意一项所述的感光性树脂组合物形成感光性树脂层的感光性树脂层形成工序；
将所述感光性树脂层曝光的曝光工序；
将曝光了的所述感光性树脂层显影的显影工序；
将由进行所述显影而得的感光性树脂层构成的图案图像加热处理的加热处理工序。
9.一种分隔壁的制造方法，其特征是，至少具有
在基板的至少一个面上，使用权利要求7中所述的感光性转印材料形成感光性树脂层的感光性树脂层形成工序；
将所述感光性树脂层曝光的曝光工序；
将曝光了的所述感光性树脂层显影的显影工序；
将由进行所述显影而得的感光性树脂层构成的图案图像加热处理的加热处理工序。
10.一种分隔壁，其特征是，利用权利要求8中所述的分隔壁的制造方法形成的。
11.一种分隔壁，其特征是，利用权利要求9中所述的分隔壁的制造方法形成的。
12.一种滤色片的制造方法，其特征是，权利要求10中所述的分隔壁将基板上部分区，向被分区了的基板上的凹部中赋予着色液体组合物。
13.一种滤色片的制造方法，其特征是，权利要求11中所述的分隔壁将基板上部分区，向被分区了的基板上的凹部中赋予着色液体组合物。
14.一种滤色片的制造方法，其特征是，权利要求12中所述的赋予着色液体组合物的方法是利用喷墨法赋予着色液体组合物的液滴而形成像素的像素形成方法。
15.一种滤色片的制造方法，其特征是，权利要求13中所述的赋予着色液体组合物的方法是利用喷墨法赋予着色液体组合物的液滴而形成像素的像素形成方法。
16.一种利用权利要求12中所述的滤色片的制造方法制造的滤色片。
17.一种利用权利要求13中所述的滤色片的制造方法制造的滤色片。
18.一种利用权利要求14中所述的滤色片的制造方法制造的滤色片。
19.一种利用权利要求15中所述的滤色片的制造方法制造的滤色片。
20.一种具有权利要求16中所述的滤色片的显示装置。
21.一种具有权利要求17中所述的滤色片的显示装置。
22.一种具有权利要求18中所述的滤色片的显示装置。
23.一种具有权利要求19中所述的滤色片的显示装置。
全文摘要
本发明提供一种感光性树脂组合物，其特征是，在依照JIS R3257中所记载的方法测定使用该感光性树脂组合物形成的图案图像上面的水接触角之际，当将实施加热处理前的图案图像上面的水接触角设为A°，将240℃下加热处理50分钟，自然冷却1小时后的图案图像上面的水接触角设为B°时，则接触角差B°-A°在20°以上。利用本发明，可以提供一种感光性树脂组合物，其在形成了图案图像(例如分隔壁)之时，可以在保持该图案图像上面(与基板接触的面的相反一侧的露出面)的疏水性及疏墨液性的同时，良好地保持该图案图像与将形成该图案图像的基板的密接性。
文档编号G03F7/00GK101101444SQ200710127100
公开日2008年1月9日 申请日期2007年6月28日 优先权日2006年7月7日
发明者柏木大助, 有冈大辅, 安藤豪 申请人:富士胶片株式会社