专利名称：具有铰链的微镜的制作方法
財铰链的微镜
絲领域
_明涉及微镜的制造。
背景狄
空间光调制器(SLM)可具有带^t表面的可倾^H^L阵列。每^H^SL可 利用静电力倾斜成"开"位置和'关"位置。静电力可由舰与舰下的一个或多 个电极之间的电位差产生。在"开"位置，微4^^可将A^;5t^以形^示图 像中的图像像素。在"关"位置，微^1将A^絲向离开显示图像。
发明内容
一方面，本发明涉;5l—种^L^;^置，包括由衬底支撑的铰^绕该铰链可
倾斜的镜板。该铰链可包括选自由具有4t^分在大约30%和70%之间的钬碟 合金、1^分在大约30%和70%之间的钬-45^金、铜成分在大约5%和20% 之间的45^^、以及tA分在大约0和15%之间的^氮^^^赋的組中的
另一方面，本发明涉及一种微^^置，包括位于衬;Ui的铰链支柱；连接 到该铰链支柱的铰链；以;sj^接到该铰链并可绕该铰链可倾斜的m。该铰链
可包拾&自由具有^Ul分大约30%和70。/o的4^^ir、 ^j^分在大约30%和 70%之间的钬-4&^金、铜成分在大约5°/ 和20%之间的4&^1合金、以及tA分 在大约0和15。/。之间的^氮^^组成的组中的"^t材料。
另一方面，本发明涉及4^t^;^置，包括由衬底支撑的铰链，可绕该铰 链倾斜的镜&，以;^一控制器，能够产生一电信号以##*^^位于相对衬底
表面大于或等于2度的倾斜方向，而不使得该#^与衬^除了该铰船卜的任何结构B接触。该铰链可 己置成使得该#^该倾斜方向举性'随到实质上平^i^亥衬底。
另一方面，本发明涉及一种微^^置，^t由衬底支撑的铰魄可绕该铰链倾斜的m，其中该铰链^8l&置成当该^L倾斜时在该^^Ji产生举性紋 力；以及一控制器，能够产生""^电力i^JL该举性'l^力以将该m^不倾斜 位置倾斜至"开"位置或"关"位置，该静电力^S&置为与该举性鍵力相反以保 ^^^t"f"开"位置或"关"位置。
另一方面，本^发明涉^^^用于^^制4ti^倾斜移动的方法。该方法包括在 可绕由衬底支撑的铰链倾斜的^Ui产生4电力。当该4ti^倾斜时，该铰链 可在该4t^产生一弹性'ltt力。该方法还包括iJ良该举性M力以将该m 从不倾斜位置倾斜至"开"位置或"关"位置，并与该举性紋力平衡以^i亥镜
狄預"开，，位置或"关，，位置。
该系统的实现可^t一个或多个下列各项，该倾斜方向可相对于衬i^面 大于或等于3度，该铰細5置成将该^A倾斜方向萍性1^A实质上平肝 该衬底。该倾斜方向可相对于衬絲面大于或等于4度，该铰链可将该^^ 倾斜方向举性MA实质上平^该衬底。该铰链可包M自由具有M分在 大约30%和70%之间的钬"1^金、钬成分在大约30%和70%之间的钬-45^ 金、铜成分在大约5%和20%之间的4^^金、以及tA分在大约0和15V。之 间的45^氮^^^A的组中的"^t^r。该铰链可包括4S^L-氮^^。 4S^氮 化物中的铝和钬可具有大约相同的成分。该^^氮似称中的IA分可在大约0 和10%之间。该铰链可包^i-齡金。该钬-齡金中的钬成分可在大约40% 和60%之间。该钬-齡金中的钛成分可在大约45%和55%之间。该铰链可包 ^^-4&^r。该钬-^^r中的^A分可在大约40。/o和60。/o之间。该钛-4S^r 中的W^分可在大约45%和55%之间。
该系统的实现可包f个或多个下列各项。该铰链可包^"^-氮^^。 该4S^氮化物中的铝和钬可具有;^cit相同的成分。该M氮化物中的liA分可 在大约0和10%之间。该铰链可包^^4^r。该钬4!^金中的M分可在
大约40%和60%之间。该钬4$^会中的M分可在大约45%和55%之间。该 铰链可包^;-4S^金。该钬-45^金中的^^分可在大约40Vo和60Vo之间。该 钬-4&^金中的^^可在大约45%和55%之间。该铰链可4f^4^M目对于 该衬絲面大于或等于2度、3度或4度的第一方向举性'1^^到实质上平衬该 衬底的第二方向。该微^^置可进一步^""控制器，^^S己置为产生一电信 号以保#^亥^1^于相对于该衬^面大于或等于2度、3度、或4度的方向。该微#^置可进一步包括位于该衬底上的一 ^制动器，该^1^制动器 己置
为接触该m以制动该^l的倾^动.该铰链可^^5^^r。
该系统的实现可包4^个或多个下列优点。本说明书公开了适于接触和非
倾W^的静电力可容易;La铰链的举I^I^;，使#^1能够4膝易倾斜与 ^L^制动^^触。选择用于非接触微镜的该铰^#料財相对高的举性系数， 其允^H亥举性^I^;与该静电力平衡，^HWi玄^M:于限定"开"位置或"关" 位置的倾斜角。在该静电力减小或撤消后，该举性'岐力还可将该倾^H^恢 复到非倾離置。
本说明书还提供了 一种用于衬^-L可倾^H^的简单结构以及一种用于驱 动该可倾^ll的方法。可倾^^可响应于控制^^供的电信号被倾WH^ 持在预定的角度。^N"底或^Ji不需要Wfe制动器来制动倾斜的镇板并限定 该餘fe的倾斜角。当与一些传统的M才;i^制动器的微^^置H^时，消除机 械制动器可简^^M置'在^^衬虹例4*^制动器的结构之间没有机
;^^触，还可解决在传统的M置中已知的销>^*^制动恭之间存在的静摩 擦问题。it^描述的4^1^置可比传g置中的^L倾^小的角度。较小的 ^!倾斜可导致该4^^转围绕的铰^Ji较小的应力。这种装置很少可負^i ;fert^故障。从而，该装置的4m寿命可更长。jH^卜，由于该铰链不需要^^传 ^t^置中的旋转幅度，选择用于铰,成的材料可#多样。jH^卜，由于该镜 J^^受较小的角度偏转，其可以较高频率工作。
虽然已经利用多个实施例^^展示^H兌明了本发明，^^域才M^v员应
当J^，可在形式和细节上作出^t的^而不脱离本发明的^ft和范围。
并入^Ba^M兌明书-^分的下列附图，与本i兑明书^， ^兌明了本发明
的实施例，用于)l^^本发明的原理。
图1为适于在一^^目式下工作的微^^L图。 图2为图l的^b^ilW图。
图4A和4B说明了A4t;^皮倾^^^别在"开"方向和'关"方向上的反
。选择用于接触微镜的铰M^料具有相对低的举It系数。射。
图5说明了絲器絲的MM^皮倾^H^的絲。 图6说明了iut^i管絲的A^Me^倾^H^的^l"。 图7说明了包括微镜的图^^:影系统的氺刚。 图8说明了*中驱动电压乐辦与所产生的倾斜角的瞬时图。
图9为适于在接,式下工作的微镜的 图。
图io为图9的微镜,'m图。
图11为一图表，说明接触和,^^触微镜的舰的倾斜角与驱动电压函絲 系的响应曲线。
图12为一图表，说明在应力4i伸图表中^^触^^触微镜的工作范围。 图13为一图表，说明对于具有不同材料成^f铰^L件，^^L倾斜角与标>^区动电压的函数关系的响应曲线。
图14为一图表，说明对于具有不同材料成分的铰^t件，4^1倾斜角与驱 动电压的函数关系的响应曲线。
M实施方式
|^见图1-3，微镜100可包括位于衬底300上的镜板U0。鄉J10可包括 A4t层Ul、间隔层U3、以及铰^g:114。在一些实施例中，间隔层113包括 一对开口 108a和108b。在一些实施例中，铰M 114包括两^H^Mit件120a 和120b。铰^L件120a和120b通过^N4长铰链163a和163b相对应地与铰 M114的主辆^i^接。延长铰链163a和163b被位于延长铰链163a或163b 的两侧的间隙从铰^g: 114的主J^P分分离。在没有外力;^到4^1110的情 况下，镜板110位于非倾^置。该非倾^置可实质上平M该衬底的Ji4 面。镜板110可关于由这两^Mit件120a和120b限定的,斜。一^H^链 元件120a (或120b)与衬底300上的一铰链支柱121a (或121b)连接。铰链 支柱121a可由一^N^体形成，或包括两或三部分。例如，铰链支柱121a可 包括可在分开的沉积步骤中形成的上部分123a、中间部分123b、以及下部分 123c。
微镜100可进一步包括位于铰链支柱121a、 121b —侧上的具有下部分130a 和上部分131a的一两部分电极，以;5L位于4^链支柱121a、 121b另一侧上的具有下部分130b和上部分131b的另一两部分电札电极下部分130a、 130b可形 成自一导电层.电^Lh部分131a、 131b可形成自位于电极下部分130a、 130b 上的另一导电层。4^^iL柱121a、 121b连接到控制线311，两部分电极130a、 131a连接到控制线312，以及两部分电极130b、 131b连接到控制线313。控制 线311、 312、 313的电位由控制器350提供的夕Np电信号分别控制。瓶UO 和两部分电极130a、 131a或两部分电极13他、131b之间的电位差产生一静电 扭矩，其能倾斜镜板110。在2004年10月26日提交的美国公开 No. 2005-0128564、 "High Contrast Spatial Light Modulator and Method，，中、 以及2006年9月6日提交的美国申请No. 11/470^568、 "Spatial Light Modulator Multi-layer Mirror Plate"中进一步说明了合适的微H^置，为所有用^Ejtb引 入作参考。
参见图3和4A，控制器350可产生-"^电力来^艮由变形的延长铰链163a 或163b产生的举性^^以将该m^非倾斜位置倾斜到"开"位置或"关"位 置。该静电力可与该举性紋力反向以##^亥#^于"开"位置或"关"位置。 该非倾^置可不同于"开"位置和'关"位置。在一些实施例中，该非倾#^置
还可与"开"或"关"位置相同。條uo可在一方向Ji^非倾斜位置倾斜a目对
衬底300成倾斜角e。n。镜板110可^JtA4t光330以形^Jt光340在"开，，方 向上传播，以至于絲光340可到組示区域以形 示图像。"开"方向通常 垂直于衬底300。由于A^t角(即，A^"光330械法线方向之间的角度)和反 射角(即，絲光340^;法线方向之间的角度)相同，A^光330和絲光 340形成一角度29on，其是milO倾斜角e。n的两倍大。
参见图4B，瓶110可徊目对于衬底300 "^^倾斜角e。n方向的相^r向 Jj t称倾斜。镜板110可^gJfMJ"光330以形^4t光345在"关"方向上传播。 a光345可被一光圏(图5-7中的530)阻挡，并*^吸收器吸仏由于A4t 光330的A^"角为3e。n,絲角也应该是36。 。因此，"开"和'关，，方向上的反 射光340之间的角^49。n，是舰UO的倾斜角e冊的四倍.
A^"光330可由不同光源提供，例如絲器500iUt5t^l管(LED)510， 分别示于图5和6中。由^t器500发出的A^tibi相干的，并能够4^L， 110>^#后絲准直。光圏530、絲器500、以及milO可这样朝剛，以至 于当倾斜在"开，，方向上时/L^所有由舰110幼的絲光3仰穿狄團SO的开口 535。从LED510发出的A^光330通常是非相干的，并M向船巨离 而发t光圏530、 LED510、以及镜板110可这样#^ ，以至于由在"开"方向 的镜板110^Jf的大多lUt穿itit團530中的开口 535。例如，A4t光340可穿 过开口 535，同时，MA^光340 ^C散离开的A4t光340a和340b故 t團530 喊
在图7中示出了基于微镜阵列100的示范性图^a影系统700。红、绿、 和蓝'^Ut器500a、 500b和500c可分别发射红、绿和蓝色g束330a、 330b和 330c。红、绿和蓝色光330a、 330b和330c可穿过扩散片710a、 710b和710c, 以形成彩色光331a、 331b和331c。扩散片710a、 710b和710c可调整大小(例 如扩大)并能^lfg束330a、 330b和330c的形状调整为与微镜阵列100 — 致的截面形状。例如，彩色光331a、 331b和331c的形状可被调整为矩形，其 能与微镜阵列100的形状更一致。彩色光331a、331b和331c可^L^分离器720a、 720b和720c (其用作束合成器)M， ^f成一^^AJN"光330。彩&A^J"光 330可被全内絲(TIR)棱镜740絲以照射支撑部730上的微镜100。狄 于"开"位置的條110偏转的A^t光340可穿过TIR棱镜740和光圏530的开 口 535，以被投影系统750投影而形 示图像。
光圏530、 TIR棱镜740、以及微镜100的相对位置可这样朝刚，使得位于 "开，，方向上的;L^4^P^f光340能够穿过开口 535，而位于"关"方向上的4r^ ;5tSJt光345能够,狄圏530 F雄。^"~#|^#^圏530 P雄的^光340在 显示亮JLtjl:一种损失。穿过开口 535的任何偏离的^t光345将降低显示图 像的对比度。幼光340和^1"光345之间展开的角^^,鄉易分离贿 光340和絲光345,以 示图像中实贿大^>1和对比度。换句^i兑，显示 系统700中的倾斜角e冊(或0。ff)越大，鄉易分离絲光340和絲光345, 以至于实质上4^a光345被阻掉，和实质上4^^Jtt光3幼能够到达显示 表面以形 示图像。
图8示出了iE4区动电压財801和负驱动电压断802'零倾斜角相应于 镜板110平^^衬底300表面的7JC平方向。iE4E动电压脉冲801 ^i^驱动电压 V。n，用于控制舰110处于'开"位置，如图3、 4A、 5和6中所示。正电压脉 冲柳l能够产生以静电力，110在"开"方向(在图中是逆时財向) 上倾斜勤目对于衬底300的Ji^面成倾斜角e。n。镜板110在非倾斜状态下没有承受^T萍性'J^7。当舰110倾斜时， 110承受一由延长铰链163a或 163b的械变形产生的弹性^1^，其^顷时4t"^向Ji^舰110Ji^力。虽 然1^倾斜角的增^#电力有些增加，，性i^X力作为倾斜角的函数比静电 力^pi5til增加。当弹!±<^/变#^于静电力时，最^SL 110停ih^倾斜 角e咖处。换句^i兑，舰110由于静电力和^M^向上向瓶110施力的举性
1^7之间的平衡而^^在倾斜角e。n处。,uo最;^r在区域811中在平均 倾斜角e。n周围振荡并i^停留在倾斜角e。n处。
勤以的，负驱动电压乐辦802用于控制舰110处于"关"位置，如图4B 中所示。电压^f802包括一驱动电压V。ff。电压脉冲802可产生一静电力以将 舰110在"关，，方向(在图中为顺时粉向)上倾斜J^f目对于衬底300的4
面成倾斜角e通。m在非倾斜状态下没有承受，举性^l力。^Lt倾角的增
加，由延长铰链163a或163b的械变形产生举性fel^，其扭时財向上
施力。举lt^l力絲倾斜角的作用比静电力ibNS^增加。当举性^JJ;变 #^于静电力时，110最^uh^倾斜角e。ff处。,110由于由负电压脉 冲802产生的静电力和由变形的延长铰链163a和163b产生的萍性'^Jj^之间
的平衡而^#在倾斜角eoFF处。舰uo最初可在区域821中在平均倾斜角e通
周围振荡并(^停留在倾斜角e。ff处。在图4A和4B中所示的结构中，倾斜角
e。n^e。ff具有相同的大小。移除负驱动电压断802后，muo可5^i长铰链
163a和163b举錄回JJ^倾斜角(即7jc平方向)。
参见图9和10,适于在接)li^式下工作的微镜1100可包括位于衬底300 上的M制动器U60a和U60b。积械制动器U60a和U60b可接触倾斜的4t^L U0以阻ji^MJ5时针方向上以;Sj^时针方向上的倾斜移动，当镜板110与枳械制 动器1160a和U60b接触时，限定了镜板110的"开"和'关"位置。位^"开"位 SJi的瓶110方向决定了絲光340的方向。微镜1100还可^i午多相同的 元件作为##触型微镜100。在一些实施例中，枳械制动器1160a和U60b可以 是导电的。Wfe制动器U60a和U60b可以连接到控制线311 (在图10中未示 出)，从而W^制动器U60a和U60b能够利用来自控制器350的电信号与, 110的铰链层114保持斜目同的电位'在M制动器U60a和U60b以及铰^g: 114上的等电位能够防止电流^Ut铰链层114和W^制动器U60a和1160b之间 当它们接触时的界面。* 110的电位以;Sj^口到4^ 110的静电力不受与机械制动器1160a和1160b "^触的影响。
^^说明书中，微镜100表^'^^触"微镜。微镜1100表^"接触，，微镜。
"接触"微镜中的^^倾^f多动可被W^制动ll4f止。m的"开"和'关"位置由
^1与;| 1^制动||#触时舰的方向限定。相反，圳^^触微镜100不包树fe够 限制41^倾^#动的;| ^制动器。剡以的，瓶的"开，，^"关"位置由胁到镜 板110和两部分电极130a、 131a、 130b、和131b上的驱动电錄制。
^L倾斜角与驱动电压的函数响应曲线示于图11中。m的倾斜角首it4艮 据驱动电压函数沿着曲线905 iWt加。接着，倾斜角沿着曲线910l^"驱动 电压增加iSiit增加，彭'Hte^急变电压V，p处"急变"，在急变电压V，处倾 斜角增加而举性^^l^停iBf加。静电力(SI^倾斜角的增加继续增加。更强的
静电力和恒定的塑性<^7 (示于图12)之间的不平衡急剧增加倾斜角至e目，
在e,处4^的倾###^衬底300上的才;L^制动器1160a和U60b停止，如图 10中所示。^M^说明书中，术發'急变"表示條的不平^^1的械定的状态，
其中4^ti4倾斜iJ^^^一个固定物体停止。
m的"急变"是微镜中铰链的才;i^'I^斤致。参见图12，在4^Ji产生的 应力，例如，可以由4^Nt底上的电极之间的静电力所致。铰链的变形M
沿曲线1000在低应力范围内的应力增加。曲线1000表示对应力的4^链的萍性
响应。在一个实施例的微镜中，铰錄变形m处急变。换句^i兌，醋倾斜角
增加超ii^目应于Dl的丄述倾斜角萍h^^J^停jtit加。曲线1010表示铰, 料的塑性区域。从而相应于曲线1010的铰##料^^1于图9和10所示的接
触型微镜l亂
如前述关于圓7讨论的，^^^^l镜^^具有大倾斜角，例如大约2°、大 约3°、大约4°、大约5°、或狄，用于最佳^^示图像的^L和对比度。大的"开" 或"关，，倾斜角需要宽的角范围，其中*能够倾#^被铰,性恢复回非倾斜 位置。图12示出了另一微镜实施方式，在变形D2>D1处，v^N4响应曲线1000 转变到塑性响应曲线1020。微^W较宽范围用于萍性4^^形，从而^Nt 于4^^触镜板100。 D2和Dl中的差异能够从镜板110和1100的铰^^fi誠 的差别中得出(如图14中所示)。相反，接触微镜1100伏选具有较小范围用于 举性铰链变形，从而相对小的驱动电压能够使^急变以导致4^与>^1制动 ^#触。因此，相应于塑性曲线1010的微^^it于接触微镜。微镜100中适于4^#触微镜的铰^#料的一个实施例是4^氮化物，其具有IA分可以在大 约0至15%、或0至10。/o的范围内，并且铝和M分;^bf目等。M氮化物制 成的铰^H"料的一个实施例是AW/JV/。Ti4。/。。 ^4^r^oii于用作接触微镜 1100的铰M^t料。454^^|—个实施例可以是包括90%铝和10%铜，
回见图ll,在微镜1100中的镜板110在倾斜角e,处急变后，在由线915 表示的驱动电压范围中，当驱动电压减少时，4^>^1^^#与 ^制动器U60a 或U60b接触。在铰链'^1到萍性区域后，恢复其弹性，并能够J^^N^制动 器U60a或U60b处的静摩擦，最终，当驱动电压与线920相交时，镜板IIOO 倾斜回响应曲线905。由曲线905和910以及线915和920表示的滞后现象是接
触微镜的"f^特性。圳^#触微镜100的工作窗口沿着m的弹法区域中的曲线 905。,能够被驱动电压v咖倾WHM^在倾斜角e加或e。ff处。在静电力移除
后，微镜100中的镜板110能够被铰涟163a和163b沿着相同的响应曲线905 举性M回初始位置。本说明书中公开的4N^触微镜100没有实质的滞后。
的响应曲线。标斜区动电压只是4M^i急变电压区分的驱动电压。对于具有不 同材料成分的铰链， 1倾斜角能够作为标准驱动电压的函数沿着不同曲线
1105上升。由TiNi^r、 AlTiN^^;、以及ATR ^*成的铰链的倾斜角 比由AlCu制成的铰链大。JJl说明的适于^^^触微镜的铰^H"料可包括下列 #^的成分对于TiM^rTi5o。/。Niso。/。、对于A1TIN^^Al48。/。TLw。/。N4。/。、对 于Arn^rAW。Tisoy。。 A!Cu^riWt于接触微镜。AlCu妙可包括大约 70%至95%的铝、或卯％铝和10%铜。
如上所述，^i^可在由曲线1105限定的角度范围内倾Wf举性^l到它们 各自的非倾#^置。对于一N^触孩^fc作的曲线1105有效的倾斜角的范围对于 i^个描迷的材料成分是不同的。尤其在图13中描述的例子，由TiM制成的 铰M^许4^^触^泉比其它两个铰^H"料成分在更宽的范围内倾Wf举性恢 器。 、、.'-
适于微镜的铰缺料可包糊如钬、金、银、镍、铁、钴、铜、铝、氮、 和氧的材料范围。铰链可由TiNi制成，其中赋分可在大约30%和70%之间、 或大约40%和60°/。之间、或大约45%和55%之间。铰链可由AlTi制成，其中^^分可在大约30%和70%之间、或大约40%和60%之间、或大约45%和55% 之间。用于"4^^触"微镜的适合的铰^#^￡可包括微氮^^, 0至
10%、或0至15。/o范围的fA分，并且铝^^分;W目等。由45^氮^^b组 成的铰链可实质上不含其它成分(在本上下文中，实质上不含的意思是其它成 分可与制iiit^目应的痕量(traceamount)存在)，尤其能够实质上不含氧。
参见图14，具有由^t不同材^"材料l、材料2和材料3制成的铰链的镜 板倾斜角可最初沿着相同曲线1205，上升。对于铰^N"料1、材料2和材料 3的急变电压V,p" V，2和V，p3可不同V，,V,p^Vsn^。对于相应于三
种铰^H"料的一^^触倾斜角e。m、 e。^种。n3的工作窗口也可不同e。m〈e。d^。^
在图14所示实施例中，材料3^it于作为^^触微镜铰^H"料，因为它負级 ##^的倾粉<1^￡到非倾離置的最大角度范围。例如，由材料3制成的铰 链可4^^M目对于非倾^Hi置大于或等于2度、3度或4度的第一方向萍性恢 复。材料1 JWt于接触微镜，例如图9和10中所示微镜1100。
jji/;Hf的方法可用于选"^it于接触和一^^触微镜的铰^N"料。具有相对 低的举性系数的铰^t料可选择用于接触微镜。倾^#^的静电力能够容易克
服铰链的举性"l^;,从而舰能够容易倾斜到接 *^制动器，其中"开"或
"关"镜位置可被p艮定。具有相对高的萍性系数的铰^t料可选择用于4^^触微
镜，其允许举性紋力与静电力平衡，#^#^^:于限定了"开"或"关"镜位 置的倾斜角处。在减小或移絲电力后，弹性'1^1^还可^^倾^H^J，J非倾
顺置，
倾^K的方法。可倾W^能够响应于控制^l供的电信"fi^倾^HH^^在 预定角度。在衬底或^Ji不需J^r^^制动器来停止倾斜的^^限定镜 板的倾斜角。取消M制动器不仅仅简化了微M置，而且消除了公知的在传
统^^置中存在于^Hl^制动^间的静摩擦。iiE描述的^^L^置可倾 斜到比传^^置中的^^1较窄的角度，较小的^SL倾斜能够导致,围^^转 的铰MJi较小的应力。这种装置不容易纽*1^赠。因此，装置的^^1寿命 可更长。必w卜，由于铰链不需要象传^^置一样旋,么多，可选择更多不同 的材料用于铰,成。jH^卜，由于^i^受较小的角度偏转，其能够以较高频 率工作。应当鄉，4Hf的方法适于微镜的其它结构。与那些Ji^描述的材料不同 的材^l"可用于形成,、铰^^接柱、铰链支撑柱、电极以;8*^制动器的不
同层。如图所示，电极可包絲干层，或单絲导材料。#^可具有不同的形
状，例如，矩形、六边形、菱形、或Aii形。驱动电压脉沖可包括不同的波形 ^fel性。显示系统可包括不同结构^i殳计的;5tl洛，而不脱离本发明的樹申。
权利要求
1.一种微镜装置，包括由衬底支撑的铰链；以及可绕该铰链倾斜的镜板，其中该铰链包括选自由具有钛成分在大约30％和70％之间的钛-镍合金、钛成分在大约30％和70％之间的钛-铝合金、铜成分在大约5％和20％之间的铝-铜合金、以及氮成分在大约0和15％之间的铝钛氮化物组成的组中的一种材料。
2. 才N^3U'J^求1的微^^A，其中该铰链包^i亥4&4^氮^^，并且该铝 钬氮^^中的铝和钬具有;^L相等的M。
3. ^t拟'j^求1的微4t^置，其中该铰链包^^^L氮^^，并且该铝 钬氮^^中的M^分在大约0和10%之间。
4. 才^^U'澳求1的微4t^置，其中该铰链包^i玄^14^^，并且该钬镍 合金中的钬成分在大约40%和60%之间。
5. 才^^M，J^求1的微^^置，其中该4^链^i亥^fcl^r，并且该钬镍 *中的城分在大约45%和55%之间。
6. 才^^权矛J^"求1的^^^^置，其中该铰链包^i亥钛45^r，并且该钬铝 合金中的钛成分在大约40%和60%之间。
7. 條似怯求l的微敏置，其中该铰链包絲钬45^r,并且该钬铝 ^r中的itu^分在大约45%和55%之间，
8. &似']^求i的微^^置，其中该铰链i^己置为^^4^M目,衬M面成大于或等于2度的第一方向萍性^^到实质上平^f汁该衬底的第二方 向。
9，才N^M'J^求8的^t^;^置，其中该铰链净站己置为将该4^M目对该衬M面成大于或等于4度的第一方向举性'fel到实质上平^"f该衬底的第二方向。
10. 推据;I5U'决求1的微^^置，进一步^r""控制器，^LS&置为产生 一电信号以保^^^M:于相对该衬^^面大于或等于2度的方向。
11. ^^M'漆求l的微^^置，进一步包^-~控制器，其^cS&置为产生一电信号以保#^#^于相对该衬;^面大于或等于4度的方向。
12. 根据权利要求1的微镜装置，进一步包括位于该衬底上机械制动器，其中该机械制动器被配置为接触该镜板以停止该镜板的倾斜移动。
13. 根据权利要求12的微镜装置，其中该铰链包括铝铜合金，并且该铝铜合金中的铝成分在大约70%和95%之间。
14.一种微镜装置，包括位于衬底上的铰链支柱； 连接到该铰链支柱的铰恋；以及可绕该铰链倾斜的镜板，其中该铰链包括选自由具有钛成分在大约30%和 70%之间的钛－镍合金、 钛成分在大约30%和70%之间的钛－铝合金、铜成分在 大约5%和20%之间的铝－铜合金、以及氮成分在大约0和15%之间的铝钛氮化物组成的组中的一种材料。
15. 根据权利要求14的微镜装置，其中该镜板包括该铰链层，该铰链层包括该铰链，其中该铰链层包括与该铰链实质上相同的材料。
16. 根据权利要求14的微镜装置，其中该铰链至少部分延伸至该镜板的下 表面中的空腔中。
17. 根据权利要求14的微镜装置，其中该铰链包括该铝钛氮化物，其中铝 和钬具有大致相等的成分，氮成分在大约0和10%之间。
18. 根据权利要求14的微镜装置，其中该铰链包括该钛镍合金，该钛镍合金中的钛成分在大约40%和60%之间。
19. 根据权利要求18的微镜装置，其中该钛镍合金中的钛成分在大约45% 和55%之间。
20. 根据权利要求14的微镜装置，其中该铰链包括该钛铝合金，并且该钛铝合金中的钛成分在大约40%和60%之间。
21.根据权利要求20的微镜装置，其中该钛铝合金中的钛成分在大约45% 和55%之间。
22. 根据权利要求14的微镜装置，其中该铰链被配置为将该镜板从相对该衬底表面成大于或等于2度的第一方向弹性恢复到实质上平行于该衬底的第二 方向。
23. 根据权利要求22的微镜装置，其中该铰链链被配置为将该镜板从相对该 衬底表面大于或等于3度的第一方向弹性恢复到实质上平行于该衬底的第二方向。
24. ##*^'澳求14的微^￡，进一步包括一控制器，^^LS&置为产生 一电信号以^i亥^^于相对该衬A^面大于或等于2度的方向。
25. #^^，澳求14的微*置，进一步包^"-控制器，^MLS己置为产生 一电信号以保#^^^:于相对该衬^面大于或等于3度的方向。
26. WI^M'J^求14的微^^置，进一步包^"位于该衬^lLh的W^制动 器，其中该 ^制动器^^置为接触该#^以停止该#^的倾斜移动。
27. 才M)I拟'J^求26的微^^置，其中该铰链包括^4^r，并且该鄉 ^r中的铝成分在大约70%和95%之间。
全文摘要
一种微镜装置，包括由衬底支撑的铰链和可绕该铰链倾斜的镜板。该铰链包括选自由具有钛成分在大约30％和70％之间的钛-镍合金、钛成分在大约30％和70％之间的钛-铝合金、铜成分在大约5％和20％之间的铝-铜合金、以及氮成分在大约0和15％之间的铝钛氮化物组成的组中的一种合金。
文档编号G02B26/08GK101299093SQ20071018617
公开日2008年11月5日 申请日期2007年10月26日 优先权日2006年10月27日
发明者V·诺沃特尼, 李启光, 潘晓和, 高 俊德 申请人:视频有限公司