感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法以及印制电路板的制作方法

专利名称：：感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法以及印制电路板的制作方法
技术领域：
：本发明涉及聚合性化合物能在短时间内高效聚合的高灵敏度感光性组合物、以及使用该感光性组合物的感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法以及印制电路板。
背景技术：
：阻焊剂用于防治在印刷布线板软钎焊部件时的锡焊桥以及保护电路，要求具有密合性、耐试剂性、电特性等各种特性。近年来，在印刷布线板制造行业，要求印刷布线板的轻量化、导体电路的高密度化，针对此需求，已开发并使用照片显影型的阻焊剂形成用感光性组合物、尤其是能在碱水溶液的作用下显影的感光性组合物(参照日本专利特开平1-141904号公报)。关于使用这种照片显影型的阻焊剂形成用感光性组合物的感光层的形成，必须要有如下工序利用丝网印刷法、帘式涂布法、喷涂法、辊涂法等将该阻焊剂形成用感光性组合物在基板上整面涂布的涂布工序；为了能进行接触曝光而使有机溶剂挥发的临时干燥工序；冷却、接触曝光的曝光工序；通过显影来除去未曝光部的显影工序；用于得到充分的涂膜特性的热固化工序。在这些工序中，尤其是曝光工序中，根据印刷布线板的种类交换底片，进行对位，然后抽真空，曝光，是极其繁琐的工序。因此，为了提高生产率、降低价格，曝光工序的縮短是一大因素，另外，阻焊剂形成用感光性组合物的高灵敏度化对曝光工序的縮短很有帮助，因此希望实现阻焊剂形成用感光性组合物的高灵敏度化。为了实现上述高灵敏度化的要求，已知某种肟酯衍生物以及某种二硫代亚烷基化合物能作为在光的作用下生成活性自由基而引发单体聚合的光聚合引发剂使用(参照日本专利特开昭60-166306号公报、日本专利特开2001-233842号公报、日本专利特开2000-80068号公报、日本专利特开2005-182004号公报以及日本专利第2632069号公报)。但最近，关于通用的电子设备中使用的阻焊剂形成用感光性组合物的现状，对在光的照射下产生活性自由基并高效地引发聚合、聚合性化合物能在短时间内高效聚合的高灵敏度的组合物的需求极高，希望进一步进行改良和开发。本发明的目的在于提供在能量线、尤其是光的照射下产生活性自由基并高效地引发聚合、聚合性化合物能在短时间内高效聚合的高灵敏度感光性组合物、以及使用该感光性组合物的感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法、以及印制电路板。用于解决上述技术问题的方法如下所述。即<1>一种感光性组合物，其特征在于，其至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-l)表示的化合物。上述通式(A-l)中，R'表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R'还可以被取代基取代，W表示氢原子、垸基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与W可以相互键合形成环，n表示0或1。上述通式(B-l)中，116和117可以分别相同或不同，表示烷基、芳基
发明内容以及烯基中的任一种，该W和该W可以与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，G'和GZ可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，该G1和该02可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，p表示0或l。<2〉根据上述<1〉所述的感光性组合物，其中，由通式(A-l)表示的化合物是由下述通式(A-2)表示的化合物。上述通式(A-2)中，R'表示酰基、垸氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，它们还可以被取代基取代，W表示烷基、烷氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种，m表示0以上的整数，当该m为2以上时，该R可以分别相同或不同，也可以相互连结形成环，Ar表示芳环和杂芳环中的任一种，A表示5元环、6元环以及7元环中的任一种，它们还可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一种。<3>根据上述<2〉所述的感光性组合物，其中，由通式(A-2)表示的化合物是由下述通式(A-3)以及(A-4)中的任一式表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>通式(A-4)上述通式(A-3)和(A-4)中，W表示烷基以及烷氧基中的任一种，该W还可以被取代基取代，RS表示院基、垸氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种，1表示06的整数，当该1为2以上时，该W可以分别相同或不同，可以相互连结形成环，A表示5元环以及6元环中的任一种，它们还可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一种。<4>根据上述<1><3>中任一项所述的感光性组合物，其中，由通式(B-l)表示的化合物是由下述通式(B-2)表示的化合物。上述通式(B-2)中，118和119可以分别相同或不同，表示氢原子、垸基、芳基、酰基以及卤原子中的任一种，该RS和该W可以相互连结形成芳环，还可以在该芳环上具有垸基、烷氧基以及卤原子中的至少任一种，RW和R"可以相同，也可以不同，表示氢原子、烷基以及芳基中的任一种，Y表示氧原子以及硫原子中的任一种。<5>根据上述<1><4>中任一项所述的感光性组合物，其中，热固性化合物是在1分子中具有2个以上环氧基的环氧化合物。<6>根据上述<5>所述的感光性组合物，其中，在1分子中具有2个以上环氧基的环氧化合物是选自双酚型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、含脂环基型环氧树脂以及难溶性环氧树脂中的至少1种。<7>根据上述<1><6>中任一项所述的感光性组合物，其还含有无机填充剂和有机填充剂中的至少任一种。<8>—种感光性薄膜，其特征在于，在支撑体上具有包含上述<1><7>中任一项所述的感光性组合物的感光层。<9>一种感光性层叠体，其特征在于，在基体上具有包含上述<1><7>中任一项所述的感光性组合物的感光层。<10>—种永久图案形成方法，其特征在于，包括对由上述<1><7>中任一项所述的感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤。<11>一种印制电路板，其特征在于，利用上述<10>所述的永久图案形成方法来形成永久图案。根据本发明，能解决现有问题，能提供在能量线、尤其是光的照射下产生活性自由基并高效地引发聚合、聚合性化合物能在短时间内高效聚合的高灵敏度感光性组合物、以及使用该感光性组合物的感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法以及印制电路板。具体实施例方式本发明的感光性组合物至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物和光聚合引发剂和增感剂，还可以根据需要含有其他成分。<粘合剂>作为上述粘合剂，在不损害本发明效果的前提下，没有特殊限制，可以根据目的适当选择。上述粘合剂可以单独使用1种，也可以2种以上并用。作为上述粘合剂的质均分子量，没有特殊限制，可以根据目的适当选择，例如优选为10000100000，更优选为1000050000。若上述质均分子量不足10000，则固化膜强度有可能不足，若超过100000，则存在显影性下降的倾向。作为上述粘合剂，例如优选1分子中具有1个以上羧基的含羧基树脂(以下有时也称为"含羧基树脂")。作为上述含羧基树脂，优选不溶于水且在碱性水溶液的作用下发生溶胀或溶解的化合物。作为上述含羧基树脂，只要在l分子中具有l个以上羧基即可，没有特殊限制，优选在1分子中分别具有至少1个羧基和能聚合的不饱和双键。作为该不饱和双键，例如可以列举丙烯酰基(例如(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰胺基等)、羧酸的乙烯基酯、乙烯基醚、烯丙基醚等各种聚合性双键。作为这种在1分子中分别具有至少1个羧基和能聚合的不饱和双键的含羧基树脂，更具体而言，可以列举使含有羧基的丙烯酸树脂与含有环状醚基的聚合性化合物(例如丙烯酸缩水甘油酯；甲基丙烯酸縮水甘油酯；肉桂酸等不饱和脂肪酸的縮水甘油酯；具有脂环式环氧基(例如环氧环己烷等)和(甲基)丙烯酰氧基的化合物；等)加成得到的化合物等。另外，还可以列举使含有羧基和羟基的丙烯酸树脂与(甲基)丙烯酸乙酯异氰酸酯等含有异氰酸酯基的聚合性化合物加成得到的化合物等。作为这样的化合物的例子，可以列举在日本专利2763775号公报、日本专利特开平3-172301号公报、日本专利特开2000-232264号公报等中记载的化合物等。这些化合物中，作为上述含羧基树脂，更优选选自使羧基的一部分与含有环状醚基(例如部分结构具有环氧基、氧杂环丁烷基的基团)的聚合性化合物加成得到的聚合物、以及使环状醚基的一部分或全部与含羧基聚合性化合物加成得到的聚合物中的任一种。此时，具有羧基和环状醚基的化合物的加成反应优选在催化剂的存在下实施，特别优选该催化剂为选自酸性化合物和中性化合物中的化合物。其中，从感光性组合物的经时显影稳定性的观点出发，作为含羧基树脂，优选在侧链含有羧基、可以含有杂环的芳香族基以及乙烯性不饱和键的含羧基树脂。-羧基-上述羧基可以利用1种以上具有酸基的自由基聚合性化合物与1种以上根据需要作为共聚成分的其他自由基聚合性化合物通过通常的自由基聚合法来制造，作为上述自由基聚合法，例如可以列举悬浮聚合法、溶液聚合法等。作为上述自由基聚合性化合物所具有的酸基，例如可以列举羧酸基、磺酸基、磷酸基等。其中，特别优选磺酸基。作为上述具有羧基的自由基聚合性化合物，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸、对羧基苯乙烯等。它们可以单独使用l种，也可以2种以上并用。其中，特别优选丙烯酸、甲基丙烯酸、对羧基苯乙烯。关于上述含羧基树脂中的羧基的含量，优选为1.0meq/g4.0meq/g，更优选为1.5meq/g3.0meq/g。若上述含量不足1.0meq/g，则显影性有时不足，若超过4.0meq/g，则碱水显影容易损害图像强度。这里，关于上述羧基的含量(meq/g)，例如可以通过使用氢氧化钠的中和滴定来测定。-可以含有杂环的芳香族基-作为上述可以含有杂环的芳香族基(以下有时也称为"芳香族基")，例如可以列举苯环、由2到3个苯环形成的縮合环、由苯环与5元不饱和环形成的縮合环等。作为上述芳香族基的具体例子，可以列举苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基、苯并吡咯环基、苯并呋喃环基、苯并噻吩环基、吡唑环基、异噁唑环基、异噻唑环基、吲唑环基、苯并异噁唑环基、苯并异噻唑环基、咪唑环基、噁唑环基、噻唑环基、苯并咪唑环基、苯并噁唑环基、苯并噻唑环基、吡啶环基、喹啉环基、异喹啉环基、哒嗪环基、嘧啶环基、吡嗪环基、酞嗪环基、喹唑啉环基、喹喔啉环基、氮丙啶环基、菲啶环基、咔唑环基、嘌呤环基、吡喃环基、哌啶环基、哌嗪环基、吲哚环基、吲哚嗪环基、色烯环基、噌啉环基、吖啶环基、吩噻嗪环基、四唑环基、三嗪环基等。其中，优选烃芳香族基，更优选苯基、萘基。上述芳香族基可以具有取代基，作为上述取代基，例如可以列举卤原子、可以具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羟基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烯基、可以具有取代基的炔基、可以具有取代基的杂环基等。作为上述垸基，例如可以列举碳原子数为120的直链状烷基、支链状烷基、环状垸基等。作为上述垸基的具体例子，可以列举甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一垸基、十二烷基、十三烷基、十六烷基、十八垸基、二十垸基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、异戊基、新戊基、l-甲基丁基、异己基、2-乙基己基、2-甲基己基、环己基、环戊基、2-降冰片烷基等。其中，优选碳原子数为112的直链状烷基、碳原子数为312的支链状垸基、碳原子数为510的环状烷基。作为上述烷基可以具有的取代基，例如可以列举包含去掉氢原子的一价非金属原子团的基团。作为这样的取代基，具体可以列举卤原子(-F、-Br、-Cl、-1)、羟基、烷氧基、芳氧基、巯基、烷基硫基、芳基硫基、烷基二硫基、芳基二硫基、氨基、N-烷基氨基、N，N-二垸基氨基、N-芳基氨基、N，N-二芳基氨基、N-垸基-N-芳基氨基、酰氧基、氨甲酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、N，N-二烷基氨甲酰氧基、N，N-二芳基氨甲酰氧基、N-垸基-N-芳基氨甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、酰基硫基、酰基氨基；N-烷基酰基氨基、N-芳基酰基氨基、脲基、N'-烷基脲基、N'，N，-二烷基脲基、N，-芳基脲基、N'，N'-二芳基脲基、N，-烷基-N，-芳基脲基、N-烷基脲基、N-芳基脲基、N'-烷基-N-烷基脲基、N'-垸基-N-芳基脲基、N'，N'-二烷基-N-垸基脲基、N'，N'-二垸基-N-芳基脲基、N'-芳基-N-烷基脲基、N'-芳基-N-芳基脲基、N'，N'-二芳基-N-垸基脲基、N'，N'-二芳基-N-芳基脲基、N'-烷基-N，-芳基-N-烷基脲基、N，-烷基-N'-芳基-N-芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N-垸基-N-垸氧基羰基氨基、N-烷基-N-芳氧基羰基氨基、N-芳基-N-垸氧基羰基氨基、N-芳基-N-芳氧基羰基氨基、甲酰基、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲酰基、N-烷基氨甲酰基、N，N-二烷基氨甲酰基、N-芳基氨甲酰基、N，N-二芳基氨甲酰基、N-烷基-N-芳基氨甲酰基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、磺基(-S03H)及其共轭碱基(也称为磺酸根(sulfonato))、垸氧基磺酰基、芳氧基磺酰基、氨亚磺酰基(sulfinamoyl,7少7^于千^，)、N-垸基氨亚磺酰基、N，N-二烷基氨亚磺酰基、N-芳基氨亚磺酰基、N，N-二芳基氨亚磺酰基、N-垸基-N-芳基氨亚磺酰基、氨磺酰基、N-烷基氨磺酰基、N，N-二垸基氨磺酰基、N-芳基氨磺酰基、N，N-二芳基氨磺酰基、N-烷基-N-芳基氨磺酰基、膦酰基(-PO3H2)或其共轭碱基(称作膦酸根(phosphonato，尔7尔于卜)基)、二垸基膦酰基(-P03(alkyl)2)(以下"alkyl"表示垸基)、二芳基膦酰基(-P03(aryl)2)(以下"aryl"表示芳基)、烷基芳基膦酰基(-P03(alkyl)(aryl))、单烷基膦酰基(-P03(alkyl))或其共轭碱基(称为垸基磷酸根基)、单芳基膦酰基(-P03H(aryl))或其共轭碱基(称为芳基膦酸根基)、膦酰氧基(-OP03H2)或其共轭碱基(称为磷酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(-OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(-OPO3(aryl)2)、烷基芳基膦酰氧基(-OP03(alkyl)(aryl))、单烷基膦酰氧基(-OP03H(alkyl))或其共轭碱(称为烷基膦酸根氧基)、单芳基膦酰氧基(-OP03H(aryl))或其共轭碱基(称为芳基磷酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、烯基、炔基、杂环基、甲硅烷基等。关于作为上述烷基可以具有的取代基的烷基的具体例子，可以列举上述烷基。关于作为上述烷基可以具有的取代基的芳基的具体例子，可以列举苯基、联苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、茶(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羟基苯基、甲氧基苯基、乙氧基苯基、苯氧基苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酰氧基苯基、甲基硫代苯基、苯基硫代苯基、甲基氨基苯基、二甲基氨基苯基、乙酰基氨基苯基、羧基苯基、甲氧基羰基苯基、乙氧基苯基羰基、苯氧基羰基苯基、N-苯基氨甲酰基苯基、氰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。关于作为上述烷基可以具有的取代基的烯基的具体例子，可以列举乙烯基、l-丙烯基、l-丁烯基、肉桂基、2-氯-l-乙烯基等。，关于作为上述垸基可以具有的取代基的炔基的具体例子，可以列举乙炔基、l-丙炔基、l-丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。关于作为上述烷基可以具有的取代基的酰基(RQ1CO-)的RQ1，例如可以列举氢原子、上述烷基、以及芳基中的任一种。关于作为上述垸基可以具有的取代基的杂环基的具体例子，可以列举吡啶基、哌啶基等，作为上述取代基中的甲硅垸基，可以列举三甲基甲硅检其望关于作为上述烷基可以具有的取代基的氧基(RQ20-)，例如可以列举R"为由去掉氢原子的一价非金属原子团构成的基团等。作为这样的氧基，例如可以列举垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨甲酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、N，N-二垸基氨甲酰氧基、N，N-二芳基氨甲酰氧基、N-烷基-N-芳基氨甲酰氧基、烷基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、磷酰氧基等。作为其中的烷基和芳基，可以列举与作为上述烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基所示的基团相同的基团。另外，作为酰氧基中的酰基(RQ3CO-)，RW可以列举作为上述例子所列举的垸基、取代烷基、芳基、取代芳基等。其中，特别优选烷氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作为更优选的氧基的具体例子，可以列举甲氧基、乙氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二烷氧基、苄氧基、烯丙氧基、苯乙基氧基、羧基乙氧基、甲氧基羰基乙基氧基、乙氧基羰基乙基氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、吗啉代乙氧基、吗啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、茶基氧基、枯烯基氧基、甲氧基苯基氧基、乙氧基苯基氧基、氯苯基氧基、溴苯基氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘基氧基、苯基磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。关于作为上述烷基可以具有的取代基的磺酰基(R°4-S02-)，例如可以列举R0"为由1价非金属原子团构成的基团。作为这样的磺酰基，例如优选烷基磺酰基、芳基磺酰基等。作为其中的烷基和芳基，可以列举作为上述垸基、取代垸基、芳基以及取代芳基所例示的基团。作为上述磺酰基的具体例子，可以列举丁基磺酰基、苯基磺酰基、氯苯基磺酰基等。关于作为上述垸基可以具有的取代基的磺酸根(-S03-)，如上所述，意味着磺酸基(-S03H)的共轭碱阴离子，通常优选与对阳离子一起使用。作为这样的对阳离子，可以适当选择周知的对阳离子，例如可以列举鐵类(例如铵类、锍类、辚类、碘鑰类、叠氮鐵(:r^二々厶)类等)、金属离子类(例如Na+、K+、Ca2+、Zn2，)。关于作为上述烷基可以具有的取代基的羰基(RQ5-CO-)，例如可以列举RM为由l价非金属原子团构成的基团。作为这样的羰基，例如可以列举甲酰基、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲酰基、N-烷基氨甲酰基、N，N-二垸基氨甲酰基、N-芳基氨甲酰基、N，N-二芳基氨甲酰基、N-烷基-N'-芳基氨甲酰基等。作为其中的烷基和芳基，可以列举作为上述的烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基所例示的基团。作为上述羰基，可以列举甲酰基、酰基、羧基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲酰基、N-烷基氨甲酰基、N，N-二烷基氨甲酰基、N-芳基氨甲酰基等。其中，更优选甲酰基、酰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基。作为上述羰基的具体例子，可以列举甲酰基、乙酰基、苯甲酰基、羧基、甲氧基羰基、乙氧基羰基、芳氧基羰基、二甲基氨基苯基乙烯基羰基、甲氧基羰基甲氧基羰基、N-甲基氨甲酰基、N-苯基氨甲酰基、N，N-二乙基氨甲酰基、吗啉代羰基等。关于作为上述烷基可以具有的取代基的亚磺酰基(RD6-SO-)，可以列举RQ6由1价的非金属原子团构成的基团。作为这样的亚磺酰基，例如可以列举烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、氨亚磺酰基、N-烷基氨亚磺酰基、N，N-二烷基氨亚磺酰基、N-芳基氨亚磺酰基、N，N-二芳基氨亚磺酰基、N-烷基-N-芳基氨亚磺酰基等。作为其中的烷基和芳基，可以列举作为上述的垸基、取代垸基、芳基以及取代芳基所例示的基团。其中，优选烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基。作为上述取代亚磺酰基的具体例子，优选列举己基亚磺酰基、苄基亚磺酰基、甲苯基亚磺酰基等。作为上述烷基可以具有的取代基的膦酰基是指膦酰基上的一个或两个羟基被其他有机氧代基团取代的基团，例如优选上述二烷基膦酰基、二芳基膦酰基、烷基芳基膦酰基、单烷基膦酰基、单芳基膦酰基等。其中，更优选二烷基膦酰基、二芳基膦酰基。作为上述膦酰基的更优选的具体例子，可以列举二乙基膦酰基、二丁基膦酰基、二苯基膦酰基等。作为上述垸基可以具有的取代基的膦酸根(-P03H2-、-P03H-)，如上所述，是指膦酰基(-P03H2-)的来源于酸第一解离或酸第二解离的共轭碱阴离子基。通常优选与对阳离子一起使用。作为这样的对阳离子，可以适当选择周知的对阳离子，例如可以列举各种鑰类(铵类、锍类、鱗类、碘鐵类、叠氮鎿类等)、金属离子类(Na+、K+、Ca2+、Zn"等)。上述膦酸根基可以是膦酸基中羟基被取代为一个有机氧代基团后的共轭碱阴离子，作为这样的具体例子，可以列举上述单烷基膦酰基(-P03H(alkyl))、单芳基膦酰基(-P03H(aiyl))的共轭碱基。上述烷基可以具有的取代基中，优选卤原子(-F、-Br、-Cl、-1)、烷氧基、芳氧基、垸基硫基、芳基硫基、N-烷基氨基、N，N-二垸基氨基、酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、酰基氨基、甲酰基、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲酰基、N-烷基氨甲酰基、N，N-二垸基氨甲酰基、N-芳基氨甲酰基、N-垸基-N-芳基氨甲酰基、磺基、磺酸根、氨磺酰基、N-烷基氨磺酰基、N，N-二垸基氨磺酰基、N-芳基氨磺酰基、N-垸基-N-芳基氨磺酰基、膦酰基、膦酸根、二垸基膦酰基、二芳基膦酰基、单烷基膦酰基、垸基膦酸根、单芳基膦酰基、芳基膦酸根、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、烯基等。作为这种取代基和烷基组合得到的取代垸基的优选具体例子，可以列举氯甲基、溴甲基、2-氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、异丙氧基甲基、丁氧基甲基、仲丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、甲基硫代甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N-乙酰基四甲基哌啶基甲基、三甲基甲硅垸基甲基、甲氧基乙基、乙基氨基乙基、二乙基氨基丙基、吗啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酰氧基甲基、N-环己基氨甲酰氧基乙基、N-苯基氨甲酰氧基乙基、乙酰基氨基乙基、N-甲基苯甲酰氨基丙基、2-氧代乙基、2-氧代丙基、羧基丙基、甲氧基羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧基羰基甲基、氨甲酰基甲基、N-甲基氨甲酰基乙基、N，N-二丙基氨甲酰基甲基、N-(甲氧基苯基)氨甲酰基乙基、N-甲基-N-(磺基苯基)氨甲酰基甲基、磺基丁基、磺酸根丁基、氨磺酰基丁基、N-乙基氨磺酰基甲基、N，N-二丙基氨磺酰基丙基、N-甲苯基氨磺酰基丙基、N-甲基-N-(膦酰苯基)氨磺酰基辛基、膦酰丁基、膦酸根己基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸氧基丁基、苄基、苯乙基、ci-甲基苄基、l-甲基-l-苯基乙基、对甲基苄基、肉桂基、烯丙基、1-丙烯基甲基、2-丁烯基、2-甲基烯丙基、2-甲基丙烯基甲基、2-丙炔基、2-丁炔基、3-丁炔基等。另一方面，关于上述可以具有芳香族基的取代基的芳基，例如可以列举苯环、由2个到3个苯环形成的縮合环、由苯环与5元不饱和环形成的縮合环等。作为上述芳基的具体例子，例如可以列举苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基等。其中，优选苯基、萘基。上述芳基可以具有取代基，作为这种具有取代基的芳基(以下有时也称为"取代芳基")，例如可以列举在上述芳基的成环碳原子上具有由氢原子以外的1价非金属原子团形成的基团作为取代基的取代芳基。作为上述可以具有芳基的取代基，例如优选作为上述烷基、取代垸基、上述可以具有烷基的取代基所例示的基团。作为上述取代芳基的优选具体例子，可以列举联苯基、甲苯基、二甲苯基、莱基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羟基苯基、甲氧基苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙基氧基苯基、苯氧基苯基、甲基硫代苯基、甲苯基硫代苯基、乙基氨基苯基、二乙基氨基苯基、吗啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酰氧基苯基、N-环己基氨甲酰基氧基苯基、N-苯基氨甲酰基氧基苯基、乙酰基氨基苯基、N-甲基苯甲酰基氨基苯基、羧基苯基、甲氧基羰基苯基、烯丙基氧基羰基苯基、氯苯氧基羰基苯基、氨甲酰基苯基、N-甲基氨甲酰基苯基、N，N-二丙基氨甲酰基苯基、N-(甲氧基苯基)氨甲酰基苯基、N-甲基-N-(磺基苯基)氨甲酰基苯基、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺酰基苯基、N-乙基氨磺酰基苯基、N，N-二丙基氨磺酰基苯基、N-甲苯基氨磺酰基苯基、N-甲基-N-(磺基苯基)氨磺酰基苯基、膦酰基苯基、膦酸根苯基、二乙基膦酰基苯基、二苯基膦酰基苯基、甲基膦酰基苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦酰基苯基、甲苯基膦酸根苯基、甲苯基苯基、1-丙烯基甲基苯基、2-丁烯基苯基、2-甲基烯丙基苯基、2-甲基丙烯基苯基、2-丙炔基苯基、2-丁炔基苯基、3-丁炔基苯基等。关于作为上述可以具有芳香族基的取代基的烯基或炔基，例如可以列举除去上述碳原子数为120的垸基上的任意1个或2个氢原子得到的2价或3价的有机残基,例如优选碳原子数为112的直链状的烯基或炔基、碳原子数为312的支链状的烯基或炔基、碳原子数为510的环状的烯基或炔基等。作为上述烯基(-C(R07)=C(R08)(R09))以及炔基(-C三C(R固))，例如可以列举R137、RD8、R^以及R,为l价的非金属原子团形成的基团。作为上述R，R08、R09、R010，例如可以列举氢原子、卤原子、烷基、取代烷基、芳基、取代芳基等。作为它们的具体例子，可以列举作为上述例子所示的基团。其中，优选氢原子、卤原子、碳原子数为110的直链状烷基、支链状的烷基、环状的垸基。作为上述烯基以及炔基的优选具体例子，可以列举乙烯基、l-丙烯基、l-丁烯基、l-戊烯基、l-己烯基、l-辛烯基、l-甲基-l-丙烯基、2-甲基-1-丙烯基、2-甲基-l-丁烯基、2-苯基-l-乙烯基、2-氯-l-乙烯基、乙炔基、1-丙炔基、l-丁炔基、苯基乙炔基等。作为上述杂环基，例如可以列举作为取代垸基的取代基例示的吡啶基等。关于作为上述可以具有芳香族基的取代基的可以含有取代基的氨基(R011NH-、(R012)(R013)N-)，例如可以列举R^11、RQ12以及RQ13为由去掉氢原子的1价非金属原子团形成的基团。另外，R^和R。u可以键合形成环。作为上述氨基，例如可以列举N-烷基氨基、N，N-二烷基氨基、N-芳基氨基、N，N-二芳基氨基、N-烷基-N-芳基氨基、酰基氨基、N-垸基酰基氨基、N-芳基酰基氨基、脲基、N'-烷基脲基、N'，N，-二垸基脲基、N'-芳基脲基、N'，N'-二芳基脲基、N'-烷基-N'-芳基脲基、N-烷基脲基、N-芳基脲基、N'-烷基-N-烷基脲基、N，-烷基-N-芳基脲基、N'，N'-二垸基-N-烷基脲基、N，-垸基-N，-芳基脲基、N，，N，-二烷基-N-垸基脲基、N'，N，-二垸基-N，-芳基脲基、N，-芳基-N-垸基脲基、N，-芳基-N-芳基脲基、N'，N，-二芳基-N-烷基脲基、N'，N，-二芳基-N-芳基脲基、N，-烷基-N，-芳基-N-烷基脲基、N，-垸基-N，-芳基-N-芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N-垸基-N-垸氧基羰基氨基、N-烷基-N-芳氧基羰基氨基、N-芳基-N-垸氧基羰基氨基、N-芳基-N-芳氧基羰基氨基等。作为其中的烷基以及芳基，可以列举作为上述烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基所示的基团。另外，酰基氨基、n-烷基酰基氨基、n-芳基酰基氨基中的酰基(rq3co-)的rM如上所述。其中，更优选n-垸基氨基、n，n-二垸基氨基、n-芳基氨基、酰基氨基。作为优选的氮基的具体例子，可以列举甲基氨基、乙基氨基、二乙基氨基、吗啉基、哌啶基、吡咯嗪基、苯基氨基、苯甲酰氨基、乙酰氨基等。作为向侧链导入上述芳香族基的方法，没有特殊限制，例如可以将上述侧链含有羧基的聚合物与1种以上含有芳香族基的自由基聚合性化合物以及根据需要使用的l种以上作为共聚成分的其他自由基聚合性化合物通过通常的自由基聚合法来制造。作为上述自由基聚合法，例如通常可以列举悬浮聚合法或溶液聚合法等。作为上述含有芳香族基的自由基聚合性化合物，例如优选由下述通式(a-l)表示的化合物、下述通式(a-2)表示的化合物。r2C—0—l—Aro上述通式(a-l)中，R,、R2以及R3表示氢原子或1价的有机基团。L表示有机基团和单键中的任一种。Ar表示可以含有杂环的芳香族基。上述通式(a-2)中，R"R2、113以及Ar表示与上述通式(a-l)相同的思思。作为上述L的有机基团，例如由非金属原子形成的多价有机基团，可以列举由160个碳原子、0个10个氮原子、0个50个氧原子、1个100个氢原子及0个20个硫原子组成的有机基团。更具体来说，作为上述L的有机基团，可以列举由下述结构单位组合构成的有机基团、多价萘、多价蒽等。RiR3通式(a-i)上述L的连结基可以具有取代基，作为上述取代基，可以列举上述囱原子、羟基、羧基、磺酸根、硝基、氰基、酰胺基、氨基、烷基、烯基、炔基、芳基、取代氧基、取代磺酰基、取代羰基、取代亚磺酰基、磺基、膦酰基、膦酸根、甲硅垸基、杂环基。在由上述通式(a-l)表示的化合物以及由上述通式(a-2)表示的化合物中，通式(a-l)在灵敏度方面成为优选。另外，在上述通式(a-l)中，具有连结基的化合物在稳定性方面成为优选，作为上述L的有机基团，碳原子数为14的亚垸基在非像素部的除去性(显影性)方面成为优选。由上述通式(a-l)表示的化合物聚合时，形成含有由下述通式(a-3)表示的结构单元的聚合物。另外，由上述通式(a-2)表示的化合物形成含有由下述通式(a-4)的结构单元的聚合物。其中，含有通式(a-4)的结构单元的聚合物在保存稳定性方面成为优选。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(a-4)上述通式(a-3)禾卩(a-4)中，R,、R2、R3、L以及Ar表示与上述通式(a-l)以及(a-2)相同的意思。在上述通式(a-3)和(a-4)中，R,和R2为氢原子、113为甲基时在非像素部的除去性(显影性)方面成为优选。另夕卜，上述通式(a-3)的L为碳原子数为14的亚烷基时在非像素部的除去性(显影性)方面成为优选。作为由上述通式(a-l)表示的化合物或由通式(a-2)表示的化合物，没有特殊限制，例如可以列举以下的例示化合物(1)(30)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>(22).0、(29)SiCCHaJa(3^上述例示化合物(1)(30)中，优选(5)、(6)、(11)、(14)以及(28)，其中，从保存稳定性和显影性的观点出发，更优选(5)和(6)。上述可以含有杂环的芳香族基在上述含羧基树脂中的含量，没有特殊限制，当以含羧基树脂的总结构单元为100mol。/。时，优选含有20mol。/。以上的由上述通式(a-3)表示的结构单元，更优选含有30mol。/。45mo1。/。。若上述含量不足20mol%，则保存稳定性有时会下降，若超过45mo1。/。，则显影性有时会下降。-乙烯性不饱和键-作为上述乙烯性不饱和键，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选由下述通式(a-5)(a-7)中任一式所示的乙烯性不饱和键。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>OC3OKgK6K7z—c二ct1R9Rio通式(a-7)上述通式(a-5)(a-7)中，R,R分别独立地表示氢原子、1价的有机基团。X和Y分别独立地表示氧原子、硫原子、或-N-R4。Z表示氧原子、硫原子、-^&或亚苯基。R4表示氢原子、或l价的有机基团。在上述通式(a-5)中，作为Rp分别独立地优选为例如氢原子、可以具有取代基的垸基等，从自由基反应性高的观点出发，更优选氢原子、甲基。作为上述R2和R3，分别独立地例如为氢原子、卤原子、氨基、羧基、垸氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的烷基磺酰基、可以具有取代基的芳基磺酰基等，从自由基反应性高的观点出发，更优选氢原子、羧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基。作为上述R4，例如优选氢原子、可以具有取代基的烷基等，从自由基反应性高的观点出发，更优选氢原子、甲基、乙基、异丙基。这里，作为能导入的上述取代基，例如可以列举烷基、烯基、炔基、芳基、烷氧基、芳氧基、卤原子、氨基、垸基氨基、芳基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、酰胺基、垸基磺酰基、芳基磺酰基等。上述通式(a-6)中，作为R4R8，分别独立地例如为氢原子、卤原子、氨基、二烷基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的垸基磺酰基、可以具有取代基的芳基磺酰基等，更优选氢原子、羧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基。作为能导入的上述取代基，可以例示上述通式(a-5)中列举的取代基。上述通式(a-7)中，作为R9，例如优选氢原子、可以具有取代基的垸基等，从自由基反应性高的观点出发，优选氢原子、甲基。作为上述Ru)、Ru，分别独立地例如为氢原子、卤原子、氨基、二烷基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的烷基磺酰基、可以具有取代基的芳基磺酰基等，从自由基反应性高的观点出发，更优选氢原子、羧基、垸氧基羰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基。这里，作为能导入的上述取代基，可以例示上述通式(a-5)中列举的取代基。作为上述Z，表示氧原子、硫原子、-NR13-、或可以具有取代基的亚苯基。Rn表示可以具有取代基的烷基等，从自由基反应性高的观点出发，优选氢原子、甲基、乙基、异丙基。由上述通式(a-5)(a-7)表示的乙烯性不饱和键中，由上述通式(a-5)表示的乙烯性不饱和键的聚合反应性高，灵敏度高，因而更优选。关于上述乙烯性不饱和键在上述含羧基树脂中的含量，没有特殊限制，优选0.5meq/g3.0m叫/g，更优选1.0meq/g3.0m叫/g，特别优选1.5m叫/g2.8m叫/g。当上述含量不足0.5meq/g时，固化反应量少，因此有时灵敏度低，当超过3.0meq/g时，保存稳定性有时会下降。这里，上述含量(meq/g)例如可以通过碘滴定来测定。作为在侧链导入上述通式(a-5)所示的乙烯性不饱和键的方法，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如，可以通过使上述侧链含有羧基的聚合物与具有乙烯性不饱和键和环氧基的化合物加成反应来得到。作为上述具有乙烯性不饱和键和环氧基的化合物，只要具有这些基团即可，没有特殊限制，例如优选由下述通式(a-8)和(a-9)中任一式表示的化合物。上述通式(a-8)中，R,表示氢原子或甲基。L,表示有机基团。上述通式(a-9)中，R2表示氢原子或甲基。L2表示有机基团。W表示47元环的脂肪族烃基。上述通式(a-8)所示的化合物以及通式(a-9)所示的化合物中，优选通式(a-8)所示的化合物，上述通式(a-8)中，更优选L,是碳原子数为14的亚垸基的化合物。作为由上述通式(a-8)表示的化合物或由通式(a-9)表示的化合物，没有特殊限制，例如可以列举以下的例示化合物(31)(40)。iII—^r"iTHc一o—u—c—通式(a-8)作为上述侧链的导入反应，具体而言，可以通过如下方法来进行以三乙胺、苄基甲基胺等叔胺、十二垸基三甲基氯化铵、四甲基氯化铵、四乙基氯化铵等季铵盐、吡啶、三苯基膦等为催化剂，在有机溶剂中，在反应温度5015(TC下反应数小时数十小时来进行。作为上述侧链具有乙烯性不饱和键的结构单元，没有特殊限制，例如优选由下述通式(a-10)表示的结构单元、由通式(a-ll)表示的结构单元以及它们混合合成的结构单元。RaRcRjt-t十i=CH2febS—0~CH2-CH—Lroi通式(a—10)(5i)H&RaRc(!;-c4"C=CH2通式(a-ll)(!)CH2OHO上述通式(a-10)和(a-11)中，RaRc表示氢原子或1价的有机基团。R,表示氢原子或甲基。Li表示可以具有连结基的有机基团。关于由上述通式(a-10)表示的结构以及由通式(a-11)表示的结构单元的含量，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，当含羧基树脂的总结构单元为100mol。/。时，优选为20mol。/。以上，更优选为20mol%50mol%，特别优选为25mol%45mol%。当上述含量不足20mol。/。时，由于固化反应量少，因此有时灵敏度低，当超过50moiy。时，保存稳定性有时会下降。关于上述含羧基树脂，出于提高图像强度等各性能的目的，除上述自由基聚合性化合物外，优选还使其他的自由基聚合性化合物共聚。作为上述其他的自由基聚合性化合物，例如可以列举选自丙烯酸酯类、甲基丙烯酸酯类、苯乙烯类等中的自由基聚合性化合物等。具体而言，可以列举丙烯酸烷基酯等丙烯酸酯类；丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸烷基酯等甲基丙烯酸酯类；甲基丙烯酸芳基酯、苯乙烯、烷基苯乙烯等苯乙烯类；烷氧基苯乙烯、卤苯乙烯等。作为上述丙烯酸酯类，优选垸基的碳原子数为120的丙烯酸酯类，例如可以列举丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸戊酯、丙烯酸乙基己酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸叔辛酯、丙烯酸氯乙酯、丙烯酸2，2-二甲基羟丙酯、丙烯酸5-羟戊酯、三羟甲基丙垸单丙烯酸酯、季戊四醇单丙烯酸酯、丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸甲氧基苄酯、丙烯酸糠酯、丙烯酸四氢糠酯等。作为上述丙烯酸芳酯，例如可以列举丙烯酸苯酯等。作为上述甲基丙烯酸酯类，优选烷基的碳原子数为120的甲基丙烯酸酯类，例如可以列举甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸戊酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸氯苄酯、甲基丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸4-轻基丁酯、甲基丙烯酸5-羟基戊酯、甲基丙烯酸2，2-二甲基-3-羟基丙酯、三羟甲基丙烷单甲基丙烯酸、季戊四醇单甲基丙烯酸、甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸糠酯、甲基丙烯酸四氢糠酯等。作为上述甲基丙烯酸芳基酯，例如可以列举甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸甲苯酯、甲基丙烯酸萘酯等。.作为上述苯乙烯类，例如可以列举甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、十二烷基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酰氧基甲基苯乙烯等。作为上述烷氧基苯乙烯，例如可以列举甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等。作为上述卤苯乙烯，例如可以列举氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等。这些自由基聚合性化合物可以单独使用l种，也可以2种以上并用。作为在合成上述含羧基树脂时使用的溶剂，没有特殊限制，可以根据目的适当选择，例如可以列举二氯乙垸、环己酮、甲乙酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙酸2-甲氧基乙酯、l-甲氧基-2-丙醇、乙酸l-甲氧基-2-丙酯、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、甲苯、乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。它们可以单独使用l种，也可以2种以上混合使用。在上述含羧基树脂中，可以含有未反应的单体。此时，上述单体在上述含羧基树脂中的含量优选为15质量％以下。上述含羧基树脂可以单独使用1种，也可以2种以上混合使用。关于上述含羧基树脂的含量，相对于感光性组合物中的总固体成分，优选为5质量％80质量％，更优选为10质量％70质量％。若该固体成分含量不足5质量％，则感光层的膜强度容易变弱，该感光层的表面的粘性有时会下降，若超过80质量％，则感光灵敏度有时会下降。<聚合性化合物>作为上述聚合性化合物，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选在1分子中具有至少1个不饱和双键的聚合性化合物，例如可以优选列举选自具有(甲基)丙烯酰基的单体中的至少l种。另外，优选常压下的沸点为iocrc以上的化合物。作为上述具有(甲基)丙烯酰基的单体，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等单官能丙烯酸酯或单官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙垸三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰脲酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙垸或甘油、双酚等多官能醇与环氧乙垸或环氧丙烷加成反应后进行(甲基)丙烯酸酯化得到的化合物、日本专利特公昭48-41708号、日本专利特公昭50-6034号、日本专利特开昭51-37193号等各公报中记载的丙烯酸脲酯类；日本专利特开昭48-64183号、日本专利特公昭49-43191号、日本专利特公昭52-30490号等各公报中记载的聚酯丙烯酸酯类；环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物即环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特别优选三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。关于上述聚合性化合物的含量，当上述粘合剂的含量为100质量份时，优选为2质量份50质量份，更优选为10质量份35质量份。若该含量不足2质量份，则有时会出现显影性恶化、曝光灵敏度下降等问题，若超过50质量份，则有时感光层的粘附性过强，不优选。<热固性化合物>作为上述热固性化合物(热交联剂)，只要是通过加热引起交联反应的化合物即可，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，为了改善用上述感光性组合物形成的感光层的固化后的膜强度，在不对显影性带来不良影响的范围内，例如可以使用在1分子内具有至少2个环氧基(环氧乙烷环)的环氧化合物(环氧乙烷化合物)、l分子内具有至少2个氧杂环丁垸环的氧杂环丁垸化合物等。其中，特别优选l分子内具有至少两个环氧基的环氧化合物。作为上述1分子中具有至少2个环氧基的环氧化合物，例如可以列举二甲苯酚型(匕、年、乂lz/—少)或双酚型环氧树脂("YX4000、日本环氧树脂公司制"等)或它们的混合物、具有异氰脲酸酯骨架等的杂环式环氧树脂("TEPIC、日产化学工业株式会社制"、"7，》夕、V卜PT810、汽巴精化公司制"等)、双酚A型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、氢化双酚A型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚酚醛型环氧树脂、甲酚酚醛型环氧树脂、卤化环氧树脂(例如、低溴化环氧树脂、高卤化环氧树脂、溴化苯酚酚醛型环氧树脂等)、含烯丙基双酚A型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、二苯基二甲醇型环氧树脂、苯酚亚联苯型环氧树脂、双环戊二烯型环氧树脂("HP-7200，HP-7200H;大日本油墨化学工业株式会社制"等)、縮水甘油胺型环氧树脂(二氨基二苯基甲烷型环氧树脂、二縮水甘油苯胺、三縮水甘油氨基苯酚等)、縮水甘油酯型环氧树脂(邻苯二甲酸二缩水甘油酯、己二酸二缩水甘油酯、六氢邻苯二甲酸二縮水甘油酯、二聚酸二縮水甘油酯等)乙内酰脲型环氧树脂、脂环式环氧树脂(3，4-环氧基环己基甲基-3'，4'-环氧基环己烷羧酸酯、双(3，4-环氧基环己基甲基)己二酸酯、双环戊二烯二环氧化物、"GT-300、GT-400、ZEHPE3150;大赛璐化学工业株式会社制"等)、酰亚胺型脂环式环氧树脂、三羟基苯基甲垸型环氧树脂、双酚A酚醛型环氧树脂、四苯酚基乙垸型环氧树脂、邻苯二甲酸縮水甘油酯樹脂、四縮水甘油二甲酚基乙烷樹脂、含萘基环氧树脂(萘酚芳烷基型环氧树脂、萘酚酚醛型环氧树脂、4官能萘型环氧树脂、作为市售品的"ESN-190，ESN-360;新日铁化学株式会社制"、"HP-4032,EXA-4750,EXA-4700;大日本油墨化学工业株式会社制"等)、由苯酚化合物与二乙烯基苯或双环戊二烯等二烯化合物的加成反应得到的多酚化合物和环氧氯丙垸的反应产物、用过乙酸等将4-乙烯基环己烯-l-氧化物的开环聚合物环氧化得到的化合物、具有线状含磷结构的环氧树脂、具有环状含磷结构的环氧树脂、a-甲基芪型液晶环氧树脂、二苯甲酰氧基苯型液晶环氧树脂、偶氮苯基型液晶环氧树脂、偶氮次甲基苯基型液晶环氧树脂、联萘型液晶环氧树脂、吖嗪型环氧树脂、甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚类环氧树脂("CP-50S，CP-50M;日本油脂株式会社制"等)、环己基马来酰亚胺与甲基丙烯酸縮水甘油酯的共聚环氧树脂、双(缩水甘油基氧基苯基)芴型环氧树脂、双(縮水甘油基氧基苯基)金刚垸型环氧树脂等，但不限于这些。这些环氧树脂可以单独使用1种，也可以2种以上并用。作为上述1分子中具有至少2个环氧基的环氧化合物中的环氧基，可以在e位具有烷基，特别优选P位被垸基取代的环氧基(更具体而言，如P-垸基取代縮水甘油基等)。上述至少含有在e位具有烷基的环氧基的环氧化合物，可以是1分子中含有的2个以上的环氧基均为P-垸基取代縮水甘油基，也可以是至少1个环氧基为P-烷基取代縮水甘油基。上述含有在P位具有垸基的环氧基的环氧化合物，从室温下的保存稳定性的观点出发，在上述感光性组合物中含有的上述环氧化合物总量中的总环氧基中的P-垸基取代縮水甘油基的比例优选为30%以上，更优选为40%以上，特别优选为50%以上。作为上述P-垸基取代缩水甘油基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举e-甲基縮水甘油基、P-乙基缩水甘油基、P-丙基縮水甘油基、e-丁基缩水甘油基等，其中，从提高上述感光性组合物的保存稳定性的观点以及合成容易性的观点出发，优选P-甲基縮水甘油基。作为上述含有在P位具有烷基的环氧基的环氧化合物，例如优选由多价苯酚化合物与P-烷基环氧卤丙垸衍生的环氧化合物。作为上述P-烷基环氧卤丙烷，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举e-甲基环氧氯丙垸、P-甲基环氧溴丙烷、P-甲基环氧氟丙烷等e-甲基环氧卤丙烷；P-乙基环氧氯丙烷、P-乙基环氧溴丙烷、e-乙基环氧氟丙垸等e-乙基环氧卤丙烷；e-丙基环氧氯丙烷、P-丙基环氧溴丙烷、e-丙基环氧氟丙烷等e-丙基环氧卤丙烷；P-丁基环氧氯丙垸、e-丁基环氧溴丙烷、P-丁基环氧氟丙烷等P-丁基环氧卤丙垸等。其中，从与上述多价苯酚的反应性以及流动性的观点出发，优选e-甲基环氧卤丙烷。作为上述多价苯酚化合物，只要是1分子中含有2个以上芳香族性羟基的化合物即可，没有特殊限制，可以根据目的适当选择，例如可以列举双酚A、双酚F、双酚S等双酚化合物、联苯酚、四甲基联苯酚等联苯酚化合物、二羟基萘、联萘酚等萘酚化合物、苯酚-甲醛缩聚物等苯酚酚醛树脂、甲酚-甲醛縮聚物等碳原子数110的单垸基取代苯酚-甲醛缩聚物、二甲酚-甲醛縮聚物等碳原子数为110的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物、双酚A-甲醛縮聚物等双酚化合物-甲醛縮聚物、苯酚与碳原子数为110的单烷基取代苯酚与甲醛的共縮聚物、苯酚化合物与二乙烯基苯的加聚物等。其中，例如在出于提高流动性和保存稳定性的目的而选择时，优选上述双酚化合物。作为上述含有在3位具有垸基的环氧基的环氧化合物，例如可以列举双酚A的二-e-烷基縮水甘油醚、双酚F的二-P-垸基縮水甘油醚、双酚S的二-P-烷基缩水甘油醚等双酚化合物的二-e-烷基縮水甘油醚；双酚的二-e-烷基縮水甘油醚、四甲基双酚的二-P-烷基縮水甘油醚等双酚化合物的二-P-垸基縮水甘油醚；二羟基萘的二-P-烷基縮水甘油醚、联萘酚的二-P-烷基縮水甘油醚等萘酚化合物的3-烷基縮水甘油醚;苯酚-甲醛縮聚物的聚-P-垸基縮水甘油醚；甲酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基缩水甘油醚等碳原子数为110的单烷基取代苯酚-甲醛缩聚物的聚-e-烷基縮水甘油醚；二甲酚-甲醛縮聚物的聚-e-烷基縮水甘油醚等碳原子数为iio的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚；双酚A-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等双酚化合物-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚;苯酚化合物与二乙烯基苯的加聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等。其中，优选由下述通式(C-1)表示的双酚化合物、由其与环氧氯丙垸等得到的聚合物衍生的e-烷基縮水甘油醚、以及由下述通式(C-2)表示的苯酚化合物-甲醛縮聚物的聚-3-垸基缩水甘油醚。O-ctvRH~(O》°~浙9"-通式(C-l)上述通式(C-1)中，R表示氢原子和碳原子数为16的烷基中的任-种。n表示020的任一整数。通式(C-2)上述通式(C-2)中，R表示氢原子和碳原子数为16的烷基中的任一种。R"表示氢原子以及CH3中的任一种，n表示020的任一整数。这些含有在e位具有烷基的环氧基的环氧化合物可以单独使用1种，也可以2种以上并用。另外，还可以将1分子中具有至少2个环氧基(环氧乙烷环)的环氧化合物以及含有在P位具有烷基的环氧基的环氧化合物并用。作为上述环氧化合物的骨架，优选选自双酚型环氧树脂、酚醛型环氧树脂、含脂环基型环氧树脂、以及难溶性环氧树脂中的至少l种。作为上述在1分子中具有至少2个氧杂环丁烷环的环氧化合物，例如可以列举双[(3-甲基-3-氧杂环丁垸基甲氧基)甲基]醚、双[(3-乙基-3-氧杂环丁垸基甲氧基)甲基]醚、1，4-双[(3-甲基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4-双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-甲基-3-氧杂环丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲酯或它们的低聚物或共聚物等多官能氧杂环丁烷类、以及具有氧杂环丁烷基的化合物与、酚醛树脂、聚(对-羟基苯乙烯)、Cardo型双酚类、杯芳烃类、间苯二酚杯芳烃(CalixResorcinarene)类、硅倍半氧烷等具有羟基的树脂等的醚化合物等，此外，还可以列举具有氧杂环丁烷环的不饱和单体与(甲基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。关于上述热固性化合物(热交联剂)的含量，相对于感光性组合物中的总固体成分，优选为1质量％50质量％，更优选为3质量％30质量％。若上述含量不足1质量％，则固化膜的膜强度不会提高，若超过50质量％，则有时会出现显影性的下降和曝光灵敏度的下降。<光聚合引发剂>本发明的上述感光性组合物含有肟化合物作为光聚合引发剂，还可以根据需要含有该肟化合物以外的现有公知的光聚合引发剂。-肟化合物-本发明中使用的肟化合物用下述通式(A-O表示。上述通式(A-l)中，W表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种。作为上述酰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举脂肪族酰基、芳香族酰基、杂芳香族酰基等。作为上述酰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选230，进一步优选220，更优选216。作为上述酰基，还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、芳基氧基、卤原子等。作为上述酰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举乙酰基、丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、环己垸羰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、苄基羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、对甲氧基苯甲酰基、2，5-二丁氧基苯甲酰基、l-萘氧基、2-萘氧基、吡啶基羰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。作为上述烷氧基羰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。关于上述垸氧基羰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选230,进一步优选220，更优选为216。上述垸氧基羰基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、卤原子等。作为上述烷氧基羰基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基丁氧基羰基、异丁基氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。作为上述芳氧基羰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。关于上述芳氧基羰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选730，进一步优选720，更优选为716。上述芳氧基羰基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、卤原子等。作为上述芳氧基羰基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧基羰基等。上述通式(A-l)中，W表示氢原子、垸基、氰基。作为上述烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲基、乙基、异丙基、叔丁基、叔辛基等。上述通式(A-l)中，Ar表示芳香族环和杂芳香族环中的任一种。作为上述芳香族环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举苯环、萘环、蒽环等。作为杂芳香族环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举吡咯环、吲哚环、苯并呋喃环、苯并噻吩环等。n表示O或l的整数，Ar与W可以相互连结形成环。由上述通式(A-l)表示的肟化合物中，从灵敏度优异的观点出发，优选下述通式(A-2)表示的化合物。N(R\r~A/A1通式(A—2)、？上述通式(A-2)中，R"表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，它们还可以被取代基取代。W表示垸基、烷氧基、芳基氧基、垸基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种。m表示0以上的整数，当该m表示2以上的整数时，该W可以分别相同或不同，可以相互连结形成环，Ar表示芳环和杂芳环中的任一种。A表示5元环、6元环以及7元环中的任一种，它们还可以被取代基取代。X表示氧原子以及硫原子中的任一种。另外，关于上述R'和Ar的详细情况，与上述通式(A-l)相同。作为上述酰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举脂肪族酰基、芳香族酰基、杂芳香族酰基等。作为上述酰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选.择，优选230，进一步优选220，更优选216。作为上述酰基，还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、芳基氧基、卤原子等。作为上述酰基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举乙酰基、丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、环己垸羰基、辛酰基、癸酰基、十二垸酰基、十八垸酰基、苄基羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、对甲氧基苯甲酰基、2，5-二丁氧基苯甲酰基、l-萘氧基、2-萘氧基、吡啶基羰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。作为上述垸氧基羰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。关于上述烷氧基羰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选230，进一步优选220，更优选为216。上述垸氧基羰基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、卤原子等。作为上述烷氧基羰基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基丁氧基羰基、异丁基氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二垸氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。作为上述芳氧基羰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。关于上述芳氧基羰基的总碳原子数，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选730，进一步优选720，更优选为716。上述芳氧基羰基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、卤原子等。作为上述芳氧基羰基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧基羰基等。上述通式(A-2)中，113分别独立地表示垸基、烷氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氮基中的任一种。作为上述垸基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲基、乙基、异丙基、叔丁基、叔辛基等。作为烷氧基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。作为芳基氧基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举苄基氧基、苯氧基、4-氯苯氧基、4-甲基苯氧基等。作为上述垸基硫基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲基硫基、丁基硫基、辛基硫基、十二烷基硫基等。作为上述芳基硫基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举节基硫基、苯基硫基、4-甲基苯基硫基等。作为上述卤原子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举卤基、溴基、碘基等。作为上述垸氧基羰基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲氧基羰基、乙氧基羰基等。作为上述酰基氨基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲基羰基氨基、乙基羰基氨基、苯甲酰基氨基等。上述通式(A-2)中，m表示0以上的任一整数，可以根据上述Ar的结构来适当选择。另外，当上述m表示2以上的任一整数时，该ie可以分别相同或不同，可以相互连结形成环。当该RS相互连结形成环时，作为通式(A-2)表示的躬化合物的具体例子，可以列举下述结构式表示的化合物等。另外，包含形成的环结构部分的、用Ar表示的芳香族环上可以进一步具有取代基，该取代基与上述W相同。X表示-CH2-、氧原子以及硫原子中的任一种。上述结构式中，Y和Z分别表示CH2、-O-、-S-以及-NR-中的任一种，该R表示氢原子或烷基。上述通式(A-2)中，Ar表示芳香族环和杂芳香族环中的任一种。作为上述芳香族环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举苯环、萘环、蒽环等。作为杂芳香族环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举吡咯环、吲哚环、苯并呋喃环、苯并噻吩环等。上述通式(A-2)中，A表示5元环、6元环以及7元环中的任一种。作为上述5元环、上述6元环或上述7元环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选利用成环取代基来形成。作为该成环取代基，例如可以列举亚烷基、烯基、炔基等。该成环取代基可以单独使用1种，也可以2种以上并用，另外，还可以具有氧原子、硫原子等杂原子。上述5元环、上述6元环以及上述7元环还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸基、烯基、烷氧基、芳基氧基、卤原子等。其中，作为上述A，从灵敏度优异的观点出发，优选上述5元环以及上述6元环中的任一种。在上述通式(A-2)表示的肟化合物中，从灵敏度优异的观点出发，更优选由下述通式(A-3)和(A-4)中任一式表示的化合物。通式(A-3)通式(A-4)上述通式(A-3)和(A-4)中，W表示烷基以及垸氧基中的任一种。作为上述烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。上述垸基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举烷氧基、卤原子等。作为上述烷基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲基、乙基、丙基、丁基、己基等。其中，从灵敏度优异的观点出发，优选甲基、乙基、丙基。作为上述垸氧基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择。作为垸氧基，还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举垸氧基、卤原子等。作为垸氧基的具体例子，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。上述通式(A-3)和(A-4)中，RS分别独立地表示烷基、垸氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种。另外，上述垸基、上述垸氧基、上述芳基氧基、上述烷基硫基、上述芳基硫基、上述囟原子、上述垸氧基羰基、上述硝基以及上述酰基氨基的详细情况，与上述通式(A-l)中112表示的上述烷基、上述垸氧基、上述芳基氧基、上述烷基硫基、上述芳基硫基、上述卤原子、上述烷氧基羰基、上述硝基以及上述酰基氨基的情况相同。其中，作为上述R5，从吸收效率优异的观点出发，优选上述烷氧基、上述芳基硫基、上述卤原子。上述通式(A-3)和(A-4)中，I表示06中的任一整数。其中，从合成适应性的观点出发，优选02中的任一整数。另外，当上述1表示2以上的任一整数时，该W可以相同，也可以不同，还可以相互连结形成环。上述通式(A-3)和(A-4)中，A表示5元环和6元环中的任一环，它们还可以被取代基取代。另外，上述5元环和上述6元环的详细情况与上述通式(A-2)中A表示的上述5元环和上述6元环的详细情况相同。其中，作为上述A，从灵敏度优异的观点出发，优选为5元环。上述通式(A-3)和(A-4)中，X表示-CH2-、氧原子以及硫原子中的任一种。作为上述通式(A-O、(A-2)、(A-3)以及(A-4)中的至少任一种表示的肟化合物的具体例子，可以列举下述结构式(1)(26)表示的化合物，但本发明不限于这些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>上述结构式(1)(26)中，Me表示甲基，Ph表示苯基。上述结构式(24)(26)为CIBA公司制IRGACUREOXEOl、IRGACUREOXE02、IRGACURECGI325。-现有公知的光聚合引发剂-作为上述光聚合引发剂，例如可以列举樟脑醌、二苯甲酮、二苯甲酮衍生物、苯乙酮、苯乙酮衍生物、例如a-羟基环垸基苯基酮或2-羟基-2-甲基-l-苯基丙酮、二烷氧基苯乙酮、a-羟基-或a-氨基-苯乙酮、例如(4-甲基硫代苯甲酰)-l-甲基-l-吗啉代乙垸、(4-吗啉代苯甲酰)-l-节基-l-二甲基氨基丙垸、4-芳酰基-l，3-二噁烷、苯偶姻浣基醚以及苄基縮酮(例如二甲基节基縮酮)、苯基乙醛酸酯或其衍生物、二聚物的苯基乙醛酸酯、双乙酰酮、全酯(例如欧洲专利第126541号公报中记载的二苯甲酮四羧酸全酯)、单酰基膦氧化物(例如(2，4，6-三甲基苯甲酰)二苯基膦氧化物、双酰基膦氧化物、双(2，6-二甲氧基苯甲酰)-(2，4，4-三甲基戊基)膦氧化物、双(2，4，6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物、双(2，4，6-三甲基苯甲酰)-2，4-二戊氧基苯基膦氧化物、三酰基膦氧化物)、卤甲基三嗪(例如2-(2-(4-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双三氯甲基〔1，3，5)三嗪、2-(3，4-二甲氧基苯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-甲基-4，6-双三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(4-N，N-二(乙氧基羰基甲基氨基苯基)-4，6-双(三氯甲基)(1，3，5)三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(1，3-苯并噁烷-5-基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-〔2-〔4-(戊氧基)苯基)乙烯基〕-4，6-双三氯甲基〔1，3，5)三嗪、2-(2-(3-甲基-2-呋喃基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(5-甲基-2-呋喃基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(2，4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(2-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(2-(4-异丙基氧基苯基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(3-氯-4-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-溴-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基〕-4，6-双三氯甲基〔1，3,5〕三嗪、2-〔2-氯-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-双三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(3-溴-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5〕三嗪、2-〔3-氯-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-双三氯甲基(1，3，5〕三嗪)；G.Buhr，R.DammelandC.Lindley，Polym.Mater.Sci.Eng.61，269(1989)、欧洲专利第022788号公报等中记载的其他卤甲基三嗪；美国专利第4371606号说明书、美国专利第4371607号说明书等中记载的卤甲基噁唑光引发剂；E.A,Bartmann，Synthesis5490(1993)等中记载的1，2-二砜；六芳基联咪唑、以及六芳基联咪唑/共引发剂类(例如2-巯基苯并噻唑、二茂铁錄化合物)；二茂钛鐺(例如与双(环戊二烯基)-双(2，6-二氟-3-吡咯基苯基)钛组合的邻氯六苯基-联咪唑的混合物)等。作为上述现有公知的光聚合引发剂，还可以列举阳离子光引发剂、过氧化化合物(例如过氧化苯甲酰、美国专利第4950581号说明书第19栏第1725行中记载的过氧化化合物等)、美国专利第4950581号说明书第1S栏第60行第19栏第IO行中记载的、芳香族的锍、鳞或碘鎗盐、环戊二烯基-芳烯-铁(II)络盐(例如(116-异丙基苯)(115-环戊二烯基)-铁(II)六氟磷酸盐)、欧洲专利第780729号公报中记载的肟磺酸酯等。此外，还可以列举例如欧洲专利第497531号以及第441232号公报中记载的吡啶鎗以及(异)喹啉鑰盐等。关于上述光聚合引发剂的含量，相对于上述感光性组合物的固体成分，优选为0.01质量％25质量％，进一步优选为0.01质量％10质量％，进一步优选为0.01质量％5质量％。在将现有公知的光聚合引发剂并用的情况下，上述含量表示全部光聚合引发剂的合计。<增感剂>作为上述增感剂，用下述通式(B-l)表示。^by_^~c—c^j~_^通式(b-i)上述通式(B-1)中，R6和R7分别独立地表示烷基、芳基以及烯基中的任一种。作为上述烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选甲基、乙基等碳原子数为110的垸基等。上述垸基还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举羟基、氰基、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、卤原子(例如氯基、溴基等)、羧基、羧基烷氧基、磺酰基、苯基、芳基(例如对硝基苯基等)、乙烯基、甲基乙烯基、肉桂酰基等。作为上述芳基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选苯基、萘基等。上述芳基可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举碳原子数为110的烷基、羟基、氰基、碳原子数为110的烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、卤原子(例如氯基、溴基等)、羧基、羧基烷氧基、磺酰基等。作为上述烯基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选乙烯基等。上述烯基，还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举碳原子数为110的烷基、碳原子数为618的芳基等，该取代基还还可以被甲基等碳原子数为110的垸基等取代。上述W和上述W可以与各自连结的硫原子一起形成包含非金属元素的环。作为该环，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举5元环、6元环、由芳香族环縮环得到的5元环、由芳香族环縮环得到的6元环等。上述环还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举烷基、芳基、取代烷基、取代芳基、羟基、氰基、烷氧基、卤原子、羧基、羧基垸氧基、磺酰基等。上述通式(B-l)中，p表示O或l。上述通式(B-l)中，G'和该02分别独立地表示氢原子、氰基、、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟垸基磺酰基中的任一种。但是，该G'和该GZ中的任一种表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种。作为上述烷氧基羰基、上述烷基硫基、上述垸基磺酰基、以及上述氟烷基磺酰基中的烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选碳原子数为110的烷基等。作为上述芳氧基羰基、上述芳基硫基、以及上述芳基磺酰基中的芳基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选苯基、萘基等。作为上述酰基(-COR)，例如可以列举该R为烷基、芳基以及烷基芳基中的任一种的酰基等。作为该芳基以及该烷基芳基中的烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选碳原子数为110的烷基等。作为芳基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选苯基、萘基等。作为上述烷基和芳基，还可以被取代基取代，作为该取代基，例如可以列举碳原子数为110的烷基、羟基、氰基、碳原子数为110的垸氧基、卤原子、羧基、羧基烷氧基、磺酰基、磺基垸氧基、碳原子数为618的芳基、酰基、乙烯基、肉桂酰基等。上述G1和上述G2可以与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的作为花部青色素的酸性核使用的环。该作为花部青色素的酸性核使用的环没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举以下的(a)(t)等。(a)1，3-二羰基核(例如l，3-茚二酮、1，3-环己二酮、5，5-二甲基-1，3-环己二酮、1，3-二噁烷-4，6-二酮等。)(b)吡唑啉酮核[例如3-甲基-l-苯基-2-吡唑啉-5-酮、l-苯基-2-吡唑啉-5-酮、1-(2-苯并噻唑啉基)-3-甲基-2-吡唑啉-5-酮等〗(c)异噁唑啉酮核(例如3-苯基-2-异噁唑啉-5-酮、3-甲基-2-异噁唑啉-5-酮等)(d)羟吲哚核(例如l-垸基-2，3-二氢-2-羟吲哚)(e)2，4，6-三酮基六氢嘧啶核[例如可以列举巴比土酸、2-硫代巴比土酸、或其衍生物等。作为该衍生物，例如可以列举l-甲基、1-乙基等l-烷基体；1，3-二乙基、1，3-二丁基等l，3-二烷基体；1，3-二苯基、1，3-二(对-氯苯基)、1，3-二(对-乙氧基羰基苯基)等1，3-二芳基体；1-乙基-3-苯基等l-烷基-3-芳基体等](f)2-硫代-2，4-噻唑烷二酮核(例如可以列举绕丹宁或其衍生物等。作为该衍生物，例如可以列举3-乙基绕丹宁、3-烯丙基绕丹宁等3-烷基绕丹宁；3-苯基绕丹宁等3-芳基绕丹宁等。)(g)2-硫代-2，4-噁唑烷二酮(2-硫代-2，4-(3H，5H)-噁唑二酮)核(例如2-乙基-2-硫代-2，4-噁唑垸二酮等)(h)硫茚酮核[例如3(2H)-硫茚酮、3(2H)-硫茚酮-l，1-二氧化物等](i)2-硫代-2，5-噻唑烷二酮核(例如3-乙基-2-硫代-2，5-噻唑烷二酮等)(j)2，4-噻唑烷二酮核(例如2，4-噻唑烷二酮、3-乙基-2，4-噻唑烷二酮、3-苯基-2，4-噻唑垸二酮等)(k)噻唑烷酮核(例如4-噻唑垸酮、3-乙基-4-噻唑院酮等)(1)4-噻唑啉酮核(例如2-乙基巯基-5-噻唑啉-4-酮、2-烷基苯基氨基-5-噻唑啉-4-酮等)(m)2-亚氨基-2-噁唑啉-4-酮(凝乙内酰脲)核(n)2，4-咪唑啉二酮(乙内酰脲)核(例如2，4-咪唑啉二酮、3-乙基-2，4-咪唑啉二酮等)(o)2-硫代-2，4-咪唑啉二酮(2-硫代乙内酰脲)核(例如2-硫代-2，4-咪唑啉二酮、3-乙基-2-硫代-2，4-咪唑啉二酮等)(p)2-咪唑啉-5-酮核(例如2-正丙基-巯基-2-咪唑啉-5-酮等)(q)呋喃-5-酮核(r)4-羟基-2(1H)-喹啉酮核或4-羟基-2(1H)-吡啶酮核[例如N-甲基-4-羟基-2(1H)-喹啉酮、N-正丁基-4-羟基-2(1H)-喹啉酮、N-甲基-4-羟基-2(1H)-吡啶酮等](s)可以被取代基取代的4-羟基-2H-卩比喃-2-酮核或4-羟基香豆素核(t)可以被取代基取代的硫茚羟核(例如5-甲基硫茚羟等)上述通式(B-l)表示的增感剂中，从固化灵敏度的观点出发，优选下述通式(B-2)表示的化合物。上述通式(B-2)中，RS和W可分别独立地表示氢原子、烷基、芳基、酰基以及卤原子中的任一种。该118和该119可以相互连结形成芳环，还可以在该芳环上具有烷基、垸氧基以及卤原子中的至少任一种。上述通式(B-2)中，111()和R"分别独立地表示氢原子、烷基以及芳基中的任一种。Y表示氧原子、硫原子。作为上述烷基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选乙基、丁基等o作为上述芳基，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选苯基等。作为上述通式(B-l)以及(B-2)的至少任一种表示的增感剂的具体例子，可以列举下述例示化合物No.lNo.36，但本发明不限于这些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage54</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage55</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula>,产SNo.34PhPh'产SNo.35wNo36O、Et上述结构式中，t-Bu表示叔丁基。Ph表示苯基。Et表示乙基。上述增感剂的含量没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，相对于上述聚合性化合物，优选为0.01质量5%50质量％，更优选为0.1质量%20质量％。<无机填充剂和有机填充剂>上述无机填充剂没有特殊限制，可以从公知的无机填充剂中适当选择，例如可以列举高岭土、硫酸钡、钛酸钡、氧化硅粉、微粉状氧化硅、气相法二氧化硅、无定形二氧化硅、晶体二氧化硅、熔融二氧化硅、球状二氧化硅、滑石粉、粘土、碳酸镁、碳酸钙、氧化铝、氢氧化铝、云母等。上述无机填充剂的平均粒径优选不足10Um，更优选为3nm以下。若该平均粒径为10um以上，则会因光散射而导致析像度下降。上述有机填充剂没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举三聚氰胺树脂、苯并胍胺树脂、交联聚苯乙烯树脂等。另外，还可以使用平均粒径为0.015txm、吸油量为100200m2/g左右的二氧化硅、由交联树脂形成的球状多孔质微粒等。关于上述无机填充剂和有机填充剂的至少任一种的含量，相对于上述感光性组合物的总固体成分，优选为1质量％60质量％。若上述含量不足1质量％，则无法使线膨胀系数充分下降，若超过60质量％，则当在感光层表面形成固化膜时，该固化膜的膜质变脆，在使用永久图案来形成布线的情况下，有时会影响作为布线的保护膜的功能。<其他成分>作为上述其他成分，例如可以列举环氧固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、着色剂(着色颜料或染料)、体质颜料等，此外，还可以并用针对基材表面的密合促进剂及其他助剂类(例如导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、均化剂、剥离促进剂、抗氧剂、香料、表面张力调节剂、链转移剂等)。通过适当含有这些成分，可以调节目标感光性薄膜的稳定性、感光性、膜物性等性质。-环氧固化促进剂-为了促进上述热固性化合物(热交联剂)的热固化，本发明的感光性组合物可以使用公知的环氧固化促进剂。作为该环氧固化促进剂，例如可以使用胺化合物(例如双氰胺、苄基二甲基胺、4-(二甲基氨基)-N，N-二甲基节基胺、4-甲氧基-N，N-二甲基苄基胺、4-甲基-N，N-二甲基苄基胺等)、季铵盐化合物(例如三乙基苄基氯化铵等)、封端异氰酸酯化合物(例如二甲基胺等)、咪唑衍生物二环式脒化合物及其盐(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、l-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯基膦等)、三聚氰二胺化合物(例如三聚氰胺、三聚氰二胺、乙酰三聚氰二胺、苯并三聚氰二胺等)、S-三嗪衍生物(例如2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基-S-三嗪异氰脲酸加成物、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪，异氰脲酸加成物等)等。它们可以单独使用1种，也可以2种以上并用。另外，作为上述环氧固化促进剂，只要是上述热交联剂、或能促进其与羧基的反应的化合物即可，没有特殊限制，可以使用上述以外的能促进热固化的化合物。上述环氧固化促进剂在上述感光性组合物固体成分中的固体成分含量优选为0.01质量％15质量％。-热聚合抑制剂-为了防止上述感光性组合物中的上述聚合性化合物的热聚合或经时聚合，还可以添加上述热聚合抑制剂。作为上述热聚合抑制剂，例如可以列举4-甲氧基苯基、氢醌、烷基或芳基取代氢醌、叔丁基儿茶酚、联苯三酚、2-羟基二苯甲酮、4-甲氧基-2-羟基二苯甲酮、氯化亚铜、吩噻嗪、四氯对醌、萘胺、e-萘酚、2，6-二叔丁基_4_甲酚、2，2'-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4-甲苯胺、亚甲基蓝、铜与有机螯合剂反应物、水杨酸甲酯、吩噻嗪、亚硝基化合物、亚硝基化合物与Al的螯合物等。关于上述热聚合抑制剂的含量，相对于上述感光性组合物中的上述聚合性化合物，优选为0.001质量％5质量％，更优选为0.005质量％2质量％，特别优选为0.01质量％1质量％。若上述含量不足0.001质量％，则保存时的稳定性有时会下降，若超过5质量％，则对活性能量线的灵敏度有时会下降。-增塑剂-为了控制上述感光性组合物形成的感光层的膜物性(可挠性)，还可以添加上述增塑剂。作为上述增塑剂，例如可以列举邻苯二甲酸二甲酯、邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二异丁酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二环己酯、邻苯二甲酸二(十三烷基)酯、邻苯二甲酸丁基苄基酯、邻苯二甲酸二异癸酯、邻苯二甲酸二苯酯、邻苯二甲酸二烯丙酯、邻苯二甲酸辛基癸酰基酯等邻苯二甲酸酯类；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、二甲基葡萄糖邻苯二甲酸酯、乙基邻苯二甲酰羟乙酸乙酯、甲基邻苯二甲酰羟乙酸乙酯、丁基邻苯二甲酰羟乙酸丁酯、三甘醇二辛酸酯等二醇酯类；三甲苯基磷酸酯、三苯基磷酸酯等磷酸酯类；4-甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N-正丁基苯磺酰胺、N-正丁基乙酰胺等酰胺类；己二酸二异丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、马来酸二丁酯等脂肪族二元酸酯类；柠檬酸三乙酯、柠檬酸三丁酯、三乙酸甘油酯、月桂酸丁酯、4，5-二环氧基环己烷-l，2-二羧酸二辛酯等；聚乙二醇、聚丙二醇等二醇类。关于上述增塑剂的含量，相对于上述感光性组合物的总固体成分，优选为0.1质量％50质量％，进一步优选为0.5质量％40质量％，更优选为1质量％30质量％。-着色剂-上述着色剂没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举维多利亚纯蓝BO(C丄42595)、槐黄(C丄41000)、苏丹黑HB(C丄26150)、莫诺赖特黄GT(C.I.颜料黄12)、永固黄GR(C.I.颜料黄17)、永固黄HR(C丄颜料黄83)、永固洋红FBB(C丄颜料红146)、广告画颜料红ESB(C.I.颜料紫19)、永固宝石红FBH(C.I.颜料红ll)、法斯特尔粉红B苏普拉(C丄颜料红81)、莫钠斯特拉尔坚牢蓝(C.I.颜料蓝15)、莫诺赖特坚牢黑B(C.I.颜料黑1)、碳、C.I.颜料红97、C.I.颜料红122、C.I.颜料红149、C丄颜料红168、C.I.颜料红177、C丄颜料红180、C.I.颜料红192、C丄颜料红215、C丄颜料绿7、C.I.颜料绿36、C丄颜料蓝15:1、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝22、C.I.颜料蓝60、C丄颜料蓝64等。它们可以单独使用l种，也可以2种以上并用。此外，根据需要，还可以使用从公知的染料中适当选择的染料。关于上述着色剂的含量，可以考虑永久图案形成时的感光层的曝光灵敏度、析像度等来决定，根据上述着色剂的种类的不同而各异，通常，相对于上述感光性组合物的总固体成分，优选为0.01质量％10质量％，更优选为0.05质量％5质量％。-密合促进剂-为了提高各层间的密合性、或由感光性组合物形成的感光层与基体间的密合性，可以在各层中使用公知的所谓的密合促进剂。作为上述密合促进剂，例如可以优选列举在日本专利特开平5-11439号公报、日本专利特开平5-341532号公报以及日本专利特开平6-43638号公报等中记载的密合促进剂。具体而言，可以列举苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、3-吗啉代甲基-l-苯基-三唑-2-硫酮、3-吗啉代甲基-5-苯基-噁二唑-2-硫酮、5-氨基-3-吗啉代甲基-噻二唑-2-硫酮以及2-巯基-5-甲硫基-噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基苯并三唑、硅烷偶联剂等。关于上述密合促进剂的含量，相对于上述感光性组合物的总固体成分，优选为0.001质量％20质量％，进一步优选为0.01质量％10质量%，特别优选为0.1质量％5质量％。本发明的感光性组合物在灵敏度、析像度以及保存稳定性上优异，能高效地形成高精细的永久图案。因此，可以广泛应用于印刷布线板、滤色器或柱材、筋材、间隔物、隔板等显示器用部件、全息图、微机电系统、印样等的永久图像形成用途，特别优选用于印制电路板的永久图案形成用途。(感光性薄膜)作为本发明的感光性薄膜，优选至少具有支撑体和形成于该支撑体上的由本发明的上述感光性组合物形成的感光层，根据需要具有合适的热可塑性树脂层等其他层。<支撑体>上述支撑体没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选上述感光层能剥离且透光性良好的支撑体，更优选表面的平滑性良好。上述支撑体优选为合成树脂制且透明，例如可以列举聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纤维素、二乙酸纤维素、聚(甲基)丙烯酸烷基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、赛璐玢、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亚胺、氯乙烯'乙酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氟乙烯、纤维素类膜、尼龙膜等各种塑料膜。其中，特别优选聚对苯二甲酸乙二醇酯。上述支撑体的厚度没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选为2um150iim，进一步优选为5Um100Pm，更优选为8ym50um。上述支撑体可以是单层，也可以具有多层结构。上述支撑体的形状没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，优选长条状。上述长条状的支撑体的长度没有特殊限制，例如可以列举长10m20000m的支撑体。<感光层>上述感光层采用本发明的上述感光性组合物来形成。在将上述感光层曝光并显影的情况下，在该曝光和显影后不使该感光层的曝光部分的厚度改变的上述曝光中使用的光的最小能量优选为0.1mJ/cm2200mJ/cm2，进一步优选为0.2mJ/cm2100mJ/cm2，更优选为0.5mJ/cm250mJ/cm2，特别优选为lmJ/cm230mJ/cm2。若上述最小能量不足0.1mJ/cm2，则会在处理工序中产生灰雾，若超过200mJ/cm2，则曝光所需的时间会延长，处理速度变慢。这里，"在该曝光和显影后不使该感光层的曝光部分的厚度改变的上述曝光中使用的光的最小能量"即所谓的显影灵敏度，例如可以由表示将上述感光层曝光时的上述曝光中使用的光的能量(曝光量)与通过上述曝光后的上述显影处理而生成的上述固化层的厚度之间的关系图(灵敏度曲线)来求出。上述固化层的厚度随上述曝光量的增加而增加，然后与上述曝光前的上述感光层的厚度大致相同且大致恒定。上述显影灵敏度是通过读取在上述固化层的厚度大致恒定时的最小曝光量而求出的值。这里，当上述固化层的厚度与上述曝光前的上述感光层的厚度之差在土lmy以内时，视为上述固化层的厚度未因曝光和显影而发生变化。上述固化层和上述曝光前的上述感光层的厚度的测定方法没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，可以列举使用膜厚测定装置、表面粗糙度测定仪(例如撒氟可穆(廿一73厶)1400D、东京精密株式会社制)等来测定的方法。上述感光层的厚度没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选为lum100um，更优选为2iim50nm，特别优选为4um30um。<保护膜>上述感光性薄膜可以在上述感光层上形成保护膜。作为上述保护膜，例如可以列举上述支撑体中使用的膜、纸、聚乙烯、聚丙烯层叠而成的纸等，其中，优选聚乙烯膜、聚丙烯膜。上述保护膜的厚度没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选为5ym100iim，进一步优选为8um50um，更优选为10um30ym。作为上述支撑体和保护膜的组合(支撑体/保护膜)，例如可以列举聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/玻璃纸、聚酰亚胺/聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚对苯二甲酸乙二醇酯等。另外，还可以通过对支撑体和保护膜中的至少任一者进行表面处理，来调节层间胶粘力。为了提高与上述感光层之间的胶粘力，可以实施上述支撑体的表面处理，例如可以列举底涂布层的涂设、电晕放电处理、火焰处理、紫外线照射处理、高频照射处理、辉光放电照射处理、活性等离子体照射处理、激光照射处理等。上述支撑体与上述保护膜之间的静摩擦系数优选为0.31.4，更优选为0.51.2。若上述静摩擦系数不足0.3，则由于过滑，在制成辊状时会巻偏，若超过1.4，则很难巻成良好的辊状。上述感光性薄膜优选例如巻取于圆筒状巻芯并以长条状巻成辊状后保管。上述长条状的感光性薄膜的长度没有特殊限制，例如可以从10m20000m的范围适当选择。另外，为了便于使用者使用，也可以进行分切加工，将100m1000m范围的长条膜制成辊状。此时，优选按上述支撑体为最外侧的方式来巻取。另外，也可以将上述辊状的感光性薄膜分切成层状。保管时，从保护端面、防止熔边的观点出发，优选在端面设置间隔物(特别是防湿性间隔物、含干燥剂的间隔物)，包装也优选采用透湿性低的材料。为了调节上述保护膜与上述感光层之间的胶粘性，可以对上述保护膜进行表面处理。关于上述表面处理，例如在上述保护膜的表面形成由聚有机硅氧烷、氟化聚烯、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物形成的底涂层。该底涂层可以通过如下方法来形成在上述保护膜的表面涂布上述聚合物的涂布液后，在3(TC150。C下干燥1分钟30分钟，来形成上述底涂层。上述干燥时的温度特别优选为5(TC120。C-其他的层-作为上述感光性薄膜中的其他的层，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以具有缓冲层、氧屏蔽层(PC层)、剥离层、胶粘层、光吸收层、表面保护层等层。可以单独具有这些层中的1种层，也可以具有2种以上。另外，在上述感光层上还可以具有保护膜。[感光性薄膜的制造方法]上述感光性薄膜例如可以如下来制造。首先，将上述感光性组合物中含有的材料在水或溶剂中溶解，使其乳化或分散，制备感光性薄膜用的感光性组合物溶液。上述溶剂没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇类；丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二异丁基酮等酮类；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸正戊酯、硫酸甲酯、丙酸乙酯、邻苯二甲酸二甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸甲氧基丙酯等酯类；甲苯、二甲苯、苯、乙基苯等芳烃类;四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1，1，l-三氯乙烷、二氯甲烷、一氯代苯等卤代烃类；四氢呋喃、乙醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、1-甲氧基-2-丙醇等醚类；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、环丁砜等。它们可以单独使用1种，也可以2种以上并用。另外，还可以添加公知的表面活性剂。接着，在上述支撑体上涂布上述感光性组合物溶液，使其干燥形成感光层，即可制造感光性薄膜。上述感光性组合物溶液的涂布方法没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举喷雾法、辊涂法、旋涂法、狭缝涂布法、挤出涂布法、帘式涂布法、模涂法、凹版涂布法、线棒涂布法、气刀涂布法等各种涂布方法。作为上述干燥的条件，根据各成分、溶剂的种类、使用比例等的不同而各异，通常为在6(TC11(TC的温度下干燥30秒15分钟左右。上述感光性薄膜例如优选巻取于圆筒状巻芯并以长条状巻成辊状后保管。上述长条状感光性薄膜的长度没有特殊限制，例如可以从10m20000m的范围适当选择。另外，为了便于使用者使用，也可以进行分切加工，将100m1000m范围的长条膜制成辊状。此时，优选按上述支撑体为最外侧的方式来巻取。另外，也可以将上述辊状的感光性薄膜分切成层状。保管时，从保护端面、防止熔边的观点出发，优选在端面设置间隔物(特别是防湿性间隔物、含干燥剂的间隔物)，包装也优选采用透湿性低的材料。(感光性层叠体)上述感光性层叠体在基体上至少具有上述感光层，层叠根据目的适当选择的其他层。<基体>上述基体是形成感光层的被处理基体、或是至少转印本发明的感光性薄膜的感光层的被转印体，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如，可以从表面平滑性好的基体到表面凸凹的基体中任意选择。优选板状基体，也就是指使用基板。具体而言，可以列举公知的制造印刷布线板的基板(印制电路板)、玻璃板(钠玻璃板等)、合成树脂性膜、纸、金属板等。关于上述感光性层叠体的制造方法，作为第1方案，可以列举将上述感光性组成物在上述基体表面上涂抹、干燥的方法，作为其第2方案，可以列举一边对本发明的感光性薄膜中的至少感光层进行加热和加压中的至少任一种，一边转印、层叠的方法。上述第1方案的感光性层叠体的制造方法是指在上述基体上涂布上述感光性组成物，使其干燥形成感光层。作为上述涂布和干燥的方法，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举如下方法将上述感光性组成物溶解在水或溶剂中，使其乳化或分散，制备感光性组成物溶液，将该溶液直接涂布在上述基体的表面上，使其干燥而层叠。作为上述感光性组成物溶液的溶剂，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，可列举与上述感光性薄膜中使用溶剂相同的溶剂。这些溶剂可以单独使用l种，也可以2种以上并用。另外，还可以添加公知的表面活性剂。'作为上述涂布方法和干燥条件，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，可在与上述感光性薄膜中使用的同样的方法和条件下进行。上述第2方案的感光性层叠体的制造方法是指一边对本发明的感光性薄膜进行加热和加压中的至少任一种，一边在上述基体的表面层叠。另外，当上述感光性薄膜具有上述保护膜时，优选将该保护膜剥离后，将上述感光膜层叠于上述基体。上述加热温度没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如，优选15。C180。C，更优选60。C140。C。上述加压的压力没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如优选0.1MPa1.OMPa，更优选为0.2MPa0.8MPa。作为至少实行上述加热中任一种的装置，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如，优选列举层压机(大成层压机株式会社制、VP-II;Nichigo-morton株式会社制、VP130;日立化成工业株式会社制、HLM-V570)等。本发明的感光性薄膜和感光性层叠层由于使用本发明的上述感光性组成物，因而具有高灵敏度、高析像度，灵敏度的经时稳定性、膜硬化性以及耐热冲击性良好，能高效地形成高精细的永久图案，可试用于保护膜、层间绝缘膜及阻焊图案等永久图案等各种图案形成用途；滤色器、柱材、筋材、间隔物、隔板等液晶结构器材的制造用途；全息图、微机电系统、印样等图案形成用途等，特别可以优选用于印制电路板的永久图案形成用途。本发明的感光性薄膜由于膜的厚度均一，因此在形成永久图案之际，即使将永久图案(保护膜、层间绝缘膜、阻焊剂等)薄层化，也不会在高加速度试验(HAST)中发生离子迁移，能得到耐热性、耐湿性优异的高精细永久图案，因此能更精细地在基材上进行层叠。(图案形成装置和永久图案形成方法)本发明的图案形成装置具备上述感光层，至少具有光照射机构和光调制机构。本发明的永久图案形成方法至少包括曝光工序，可包括适当选择的显影工序等其他工序。另外，通过本发明的上述永久图案形成方法的说明，即可明白本发明的上述永久图案形成装置。上述曝光工序是对感光层进行曝光的工序。上述感光层和基体的材料如上所述。作为上述曝光的对象，只要是上述感光层即可，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如如上所述，优选对通过边对感光性组成物实行加热和加压中的至少任一种边在基体上层叠而形成的感光性层叠体中的感光层实行曝光。作为上述曝光，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，可列举数码曝光、模拟曝光等，其中，优选数码曝光。作为上述模拟曝光，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举如下方法通过具有规定图案的光掩膜，用(超)高压汞灯、疝灯、卤素灯等进行曝光。作为上述数码曝光，只要是不用上述光掩模而进行曝光即可，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如，优选移动至少具有光照射机构和光调制机构的曝光头和上述感光层中的至少任一者，对上述感光层，基于图案信息通过上述光调制机构调制从上述光照射机构射出的光的同时，从上述曝光头进行照射。作为上述数码曝光使用的光源，只要是发出紫外到近红外线的光源即可，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以使用(超)高压汞灯、疝灯、炭弧灯、卤素灯和复印机用等的荧光管、或是激光等公知的光源。其中，优选(超)高压汞灯、激光，更优选激光。上述(超)高压汞灯是指将石英玻璃管等封入水银中得到的放电灯，将汞的蒸气压设定得较高，发光效率变高。线光谱中，使用ND滤色器等，可以使用仅1波长的线光谱，也可以使用具有多个线光谱的光线。上述激光白勺"laser"是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用光的受激射出的光的放大)的首字母简称。作为发出上述激光的装置，是利用在具有旋转分布的物质中发生的诱导射出的现象，利用光波的放大、振荡，创造相干性、方向性更强的单色光的振荡器及放大器。作为上述激光的激发介质，有结晶、玻璃、液体、色素、气体等，可以从这些介质中使用固体激光、液体激光、气体激光、半导体激光等公知的激光。具体而言，作为气体激光，可列举Ar离子激光(364nm、351nm)、Kr离子激光(356nm、351nm)、He-Cd激光(325nm);作为固体激光，可列举YAG激光、YV04激光(1064nm)、YAG激光或YV04激光的2倍波(532nm)、3倍波(355nm)、4倍波(266nm)、波导型波长转换元件与AlGaAs、InGaAs半导体的组合(380nm400nm)、波导型波长转换元件与AlGalnP或InGaAs半导体的组合(300nm350nm)、AlGalnN(350nm470nm)等。其中，从成本方面考虑，可列举AlGalnN半导体激光(市售InGaN类半导体激光375nm或405nm)，从生产率方面考虑，可列举高功率的355nm激光。上述激光的波长例如优选为200nm1500nm，进一步优选为300nm800nm，更优选为330nm500nm，特优选为350nm420nm。-光调制机构-作为上述光调制机构，具有代表性的方法可以举出优选具有n个描绘部，对应上述图案信息控制上述描绘部的方法。具体而言，可以举出数字'微镜'器件(DMD)、MEMS(微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystems))型的空间光调制元件(SLM;空间光调节器(SpecialLightModulator))、利用电光学效果调制透过光的光学元件(PLZT元件)、液晶光开闭器(FLC)等，其中，可以优选举出DMD。使用上述DMD的情况下，来自光源的光被适当的光学系照射在上述DMD上，来自在DMD上二维排列的各镜的反射光，经过其他光学系等，在感光层上形成排列成二维的光点的像。可以以如下所述的形式，对感光层的全面进行曝光，即如果不直接在光点与光点之间曝光，而使上述二维排列的光点的像，相对二维的排列方向略微倾斜的方向摇动，后方列的光点在最初列的光点与光点之间进行曝光。上述DMD通过控制各镜角度，开-关控制上述光点，可以形成图像图案。通过排列使用具有这样的上述DMD的曝光头，可以对应各种宽度的基板。在上述DMD中，上述光点的亮度只有开或关这2个等级，但如果使用镜等级型空间调制元件，则可以进行256个等级的曝光。另外，上述光调制机构优选具有基于形成的图案信息来生成控制信号的图案信号生成机构。此时，上述光调制机构对应上述图案信号生成机构产生的控制信号来调制光。作为上述控制信号，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可优选列举数字信号。另一方面，上述光调制机构的其他代表性方法，可以举出使用多角镜(polygonmirror)的方法。在此，多角镜是指在周围具有一列的平面反射面的旋转构件。上述多角镜在感光层上反射照射来自光源的光，而反射光的光点被该平面镜的旋转扫描。通过使基板相对该扫描方向成直角地移动，可以对基板上的感光层的全面进行曝光。接着，可以通过开-关来自光源的光的强度或将其控制为中间色调，形成图像图案。此时，可以通过使来自光源的光成为多束，縮短扫描时间。作为上述光调制机构，还可列举日本专利特开平5-150175号公报中记载的使用多面镜描绘的例子、特表2004-523101号公报(国际公开第2002/039793号小册子)中记载的视觉获取下部层的图像的一部分、通过使用多面镜的装置将上部层的位置与下部层位置一致曝光的例子、日本专利特开2004-56080号公报中记载的具有DMD的曝光的例子、特表2002-523905号公报中记载的具有多面镜的曝光装置，日本专利特开2001-255661号公报中记载的具有多面镜的曝光装置，日本专利特开2003-50469号公报中记载的DMD、LD、多重曝光的组合例、日本专利特开2003-156853号公报中记载的利用基板部位来改变曝光量的曝光方法的例子、日本专利特开2005-43576号公报中记载的进行错位调整的曝光方法的例子等。-光照射机构-上述光照射机构、即光照射方法，没有特殊限制，可以根据目的适当选择上述曝光光源，优选将2种以上来自这些光源的光合成后照射，特别优选照射由2种以上的光合成的激光(合波激光)。作为上述合波激光的照射方法，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，可优选列举如下方法利用多个激光光源、多模光纤、将来自该多个激光光源的激光会聚并使其与上述多模光纤键合的集合光学系统，构成合波激光后进行照射。上述激光的光束径没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，从深色隔离板的析像度的观点出发，高斯光束的1/V值优选为5um30um，更优选为7um20um。在本发明中，优选根据图像数据对激光进行空间光调制。因此，出于此目的，优选使用空间光调制元件的上述DMD。作为具有上述光调制机构和上述光照射机构的曝光装置，例如可以使用在日本专利特开2005-222039号公报、日本专利特开2005-258431号公报、日本专利特开2006-30966号公报等中记载的装置，但本发明的曝光装置不限于此。作为上述显影，通过除去上述感光层的未曝光部分来进行。作为上述未固化区域的除去方法，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举使用显影液来除去的方法等。作为上述显影液，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可以列举碱性水溶液、水系显影液、有机溶剂等，其中，优选弱碱性的水溶液。作为该弱碱性水溶液的碱成分，例如可以列举氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾、磷酸钠、磷酸钾、焦磷酸钠、焦磷酸钾、硼砂等。上述弱碱性水溶液的pH例如优选为812，更优选为911。作为上述弱碱性水溶液，例如可以列举0.1质量％5质量％的碳酸钠水溶液或碳酸钾水溶液等。上述显影液的温度可以根据上述感光层的显影性来适当选择，例如优选为25。C40。C。上述显影液可以与表面活性剂、消泡剂、有机碱(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氢氧化铵、二乙烯三胺、三乙烯五胺、吗啉、三乙醇胺等)、用于促进显影的有机溶剂(例如醇类、酮类、酯类、醚类、酰胺类、内酯类等)等并用。另外，上述显影液可以是由水或碱水溶液与有机溶剂混合得到的水系显影液，也可以是单独的有机溶剂。在上述图案的形成中，例如还可以含有固化处理工序、蚀刻工序、镀敷工序等。它们可以单独使用l种，也可以2种以上并用。当上述图案的形成方法是形成保护膜、层间绝缘膜、阻焊剂等永久图案或滤色器的永久图案形成方法时，优选在上述显影工序后具备对感光层进行固化处理的固化处理工序。作为上述固化处理工序，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可优选列举整面曝光处理、整面加热处理等。作为上述整面曝光处理的方法，例如可以列举在上述显影后将形成了上述永久图案的上述层叠体上的整个面曝光的方法。通过该整面曝光，促进形成上述感光层的感光组成物中的树脂的固化，使上述永久图案的表面固化。作为进行上述整面曝光的装置，没有特殊限制，可以根据目的来适当选择，例如可优选列举超高压汞灯等UV曝光机、使用氙灯的曝光机、激光曝光机等。曝光量优选为10mJ/cm22000mJ/cm2。作为上述整面加热处理的方法，可以列举在上述显影后将形成了上述永久图案的上述层叠体上的整个面加热的方法。通过该整面加热，使上述永久图案表面的膜强度提高。上述整面加热中的加热温度优选为12(TC250。C，更加优选为120'C20(TC。若上述加热温度不足120'C，则加热处理不能提高膜强度，若超过250'C，则上述感光性组成物中的树脂会分解，膜的质量变脆弱。上述整面加热中的加热时间优选为10分钟120分钟，更优选为15分钟60分钟。作为进行上述整面加热的装置，没有特殊限制，可以从公知的装置中根据目的来适当选择，例如可列举干燥箱、加热板、IR加热器等。上述图案的形成方法可以应用于在通过405nm的激光曝光进行直接曝光时必须防止由氧引起的感光层灵敏度下降的各种图案的形成等，适用于兼具高密度和高生产率的图案的形成。在上述永久图案形成方法中，若用永久图案形成方法形成的永久图案是上述保护膜或上述层间绝缘膜，则可以保护布线使其避免来自外部的冲击或弯曲，特别是上述层间绝缘膜的情况下，例如可用于将半导体和部件高密度安装于多层布线基板和再组装布线基板。本发明的永久图案形成方法由于使用本发明的上述感光性组合物，因此适用于保护膜、层间绝缘膜以及阻焊图案等永久图案等各种图案形成用71途；滤色器、柱材、筋材、间隔物、隔板等液晶结构部件的制造；全息图、微机电系统、印样等的制造，特别适用于印制电路板的永久图案形成用途。实施例以下，对本发明的实施例进行说明，但本发明不限于下述实施例。(合成例1)-高分子化合物1的合成-在1000mL的三口烧瓶内装入l-甲氧基-2-丙醇159g,在氮气流下，加热至85°C。在其中花2小时滴加甲基丙烯酸苄酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V-601(和光纯药工业株式会社制)4.15g的l-甲氧基-2-丙醇159g溶液。滴加结束后，进一步加热5小时使其反应。然后，停止加热，得到甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(30/70mol。/。比)的共聚物。接着，将上述共聚物溶液中的120.0g转移至300mL的三口烧瓶内，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯16.6g和对甲氧基苯酚0.16g，搅拌，使其溶解。溶解后，加入三苯基膦3.0g，加热至10(TC,进行加成反应。用气相色谱法确认甲基丙烯酸縮水甘油酯消失后，停止加热。加入l-甲氧基-2-丙醇，制备固体成分30质量％的下述结构式表示的高分子化合物1的溶液。以聚苯乙烯为标准物质，用凝胶渗透色谱法(GPC)测定得到的高分子化合物1的质均分子量，结果为15000。采用氢氧化钠进行滴定，每份固体成分的酸值为2.2meq/g。另外，由碘值滴定求得的每份固体成分的乙烯性不饱和键的含量(C-C值)为2.1meq/g。<高分子化合物1>上述高分子化合物1中，*1表示下述结构式(a)表示的结构和结构式(b)表示的结构的混合(混合比不详)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage73</formula>(实施例1)<感光性组合物的制作>-分散液的制备-关于分散液，将下述成分预先混合后，在电动磨M-200(阿依嘎(7一力'一)公司制)中，采用直径l.Omm的氧化锆珠，以9m/s的圆周速度分散3小时来制备。二氧化硅(株式会社亚渡(Admatechs)制、Admafme(了K^770)S0-C2)…22质量份*热固化促进剂(双氰胺)…0.26质量份HELIOGENBLUED7086(BASF公司制)…0.40质量份PALIOTOLYELLOWD0960(BASF公司制)…0.11质量份*合成例1的高分子化合物1(1-甲氧基-2-丙醇溶液中固体成分质量45质量％)…35质量份乙酸正丙酯…43质量份接着，将下述各成分与上述分散液(过滤后)38质量份混合，制备感光性组合物溶液。*合成例1的高分子化合物1(l-甲氧基-2-丙醇溶液中固体成分质量45质量％)…40质量份*聚合性化合物(六丙烯酸二季戊四醇酯)…9.6质量份下述结构式表示的热固性化合物(东都化成株式会社制、艾泡陶特(工求卜一卜)YDF-170、环氧当量为170g/eq)…5.3质量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>其中，n为0体，70%以上。下式10表示的光聚合引发剂…0.82质量份O、、<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>下式表示的增感剂(例示化合物No.33)…0.06质量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>式中，Me表示甲基，Et表示乙基。'氟类表面活性剂(麦嘎法库(;^力'77:y夕)F-780F、大日本油墨化学工业株式会社制、30质量%2-丁酮溶液)…0.2质量份甲乙酮…10质量份-感光性薄膜的制造-在作为支撑体的厚16lim、宽300mm、长200m的PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜(东丽株式会社制、16FB50)上，用棒涂器涂布得到的感光性组合物溶液，在80。C热风循环式干燥机中干燥，形成厚30um的感光层。然后，在该感光层上通过层压来层叠作为保护膜的膜厚20wm、宽310mm、长210m的聚丙烯膜(王子制纸株式会社制、E-200)，制造感光性薄膜。-感光性层叠体的制备-然后，对上述基材、即作为印制电路板的形成了布线的覆铜层叠板(无通孔、铜厚度为12um)的表面实施化学研磨处理来制备。在该覆铜层叠板上，以上述感光性薄膜的感光层与上述覆铜层叠板相接的方式，一边将上述感光性薄膜的保护膜剥离，一边使用真空层压机(二于^一千一卜乂株式会社制、VP130)使其层叠，制备以上述覆铜层叠板、上述感光层、上述聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(支撑体)的顺序层叠而成的感光性层叠体。层压条件为抽真空的时间为40秒，压接温度为70°C，压接压力为0.2MPa，加压时间为10秒。<灵敏度的评价>将上述层叠体在室温(23°C、55%RH)下静置IO分钟。在得到的上述层叠体的感光层表面，使用INPREXIP-3000(富士胶片株式会社制、像素间距-1.0um)，以0.5mJ/cm22l/2倍间距照射光能量不同的光直至500mJ/cn^来进行曝光，使L/S=50/50(um/um)的图案固化。在室温下静置10分钟后，将上述支撑体从上述感光性层叠体剥离，在覆铜层叠板上的感光层的整个面上，将3(TC的1质量％碳酸钠水溶液在喷淋压0.15MPa下以上述最短显影时间的2倍的时间进行喷淋显影，将未固化的区域溶解除去，测定L/S-50/50(um/um)的图案的线宽，将线宽为50wm的曝光量作为最佳曝光量。结果如表l所示。〈析像度的评价〉将上述层叠体在室温(23°C、55%RH)下静置IO分钟。在得到的上述层叠体的感光层表面，使用INPREXIP-3000(富士胶片株式会社制、像素间距=1.0um)，以上述最佳曝光量照射直径为40ym直径400um的以lOum为刻度的圆孔图案数据，进行各孔径的图案曝光。在室温下静置IO分钟后，采用与上述最短显影时间的评价中相同的方法，以通过上述方法求得的最短显影时间的2倍的时间进行喷淋显影，将未固化的区域溶解除去。用光学显微镜观察上述方式得到的固化树脂图案的表面，将固化树脂图案没有堵塞、歪曲等异常的最小圆孔径作为析像度。结果如表1所示。另外，析像度的数值越小越好。(实施例2)除了将下式10表示的化合物用作光聚合引发剂、将下式表示的例示化合物No.36用作增感剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表1所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage76</formula>OEt(实施例3)除了将下式17表示的化合物用作光聚合引发剂，将下式表示的例示化合物No.34用作增感剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表1所示。No<formula>formulaseeoriginaldocumentpage76</formula>式中，Ph表示苯基，Et表示乙基。(实施例4)除了将下式18表示的化合物用作光聚合引发剂、将下式表示的例示化合物N0.4用作增感剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表l所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage77</formula>式中，t-Bu表示叔丁基。(实施例5)除了将下式24表示的化合物用作光聚合引发剂、将下式表示的例示化合物No.33用作增感剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表1所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage77</formula>MeOSNo.33式中，Me表示甲基，Et表示乙基。(比较例1)除了不添加光聚合引发剂、用下式表示的例示化合物No.4作为增感剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表l所示。t-Bu他.4C:HS式中，t-Bu表示叔丁基。(比较例2)除了不添加增感剂、用下式IO表示的化合物作为光聚合引发剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表l所示。O、、10(比较例3)除了不添加增感剂、用下式24表示的化合物作为光聚合引发剂以外，均与实施例1同样地来制备感光性组合物。用得到的各感光性组合物，与实施例1同样地进行灵敏度和析像度的评价。结果如表1所示。oIRGACUREOXE0124<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table>本发明的感光性组合物和感光性薄膜在灵敏度和析像度上优异，能高效地形成高精细的图案，因此可以广泛应用于保护膜、层间绝缘膜、阻焊图案等各种图案形成用途、印制电路板、滤色器或柱材、筋材、间隔物、隔板等显示器用部件、全息图、微机电系统、印样等永久图像形成用途，特别优选用于印制电路板的永久图案形成用途。权利要求1.一种感光性组合物，其特征在于，其至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-1)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-1)表示的化合物，id="icf0001"file="A2009101601340002C1.tif"wi="55"he="30"top="72"left="37"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>通式(A-1)所述通式(A-1)中，R1表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R1还可以被取代基取代，R2表示氢原子、烷基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与R2可以相互键合形成环，n表示0或1，id="icf0002"file="A2009101601340002C2.tif"wi="61"he="17"top="145"left="38"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>通式(B-1)在所述通式(B-1)中，R6和R7可以分别相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一种，该R6和该R7可与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，G1和G2可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，该G1和该G2可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素作为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，G1和G2中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，p表示0或1。2.根据权利要求l所述的感光性组合物，其中，由通式(A-l)表示的化合物是由下述通式(A-2)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(R3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-2)在所述通式(A-2)中，R'表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，它们还可以被取代基取代，W表示垸基、烷氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种，m表示0以上的整数，当该m为2以上时，该W可以分别相同或不同，可以相互连结形成环，Ar表示芳环和杂芳环中的任一种，A表示5元环、6元环以及7元环中的任一种，它们还可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一种。3.根据权利要求2所述的感光性组合物，其中，由通式(A-2)表示的化合物是由下述通式(A-3)以及(A-4)中任一式表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-4)在所述通式(A-3)和(A-4)中，R"表示烷基以及垸氧基中的任一种，该W还可以被取代基取代，RS表示烷基、烷氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一种，1表示06的整数，当该1为2以上时，该RS可以分别相同或不同，可以相互连结形成环，A表示5元环以及6元环中的任一种，它们还可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一种。4.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，由通式(B-l)表示的化合物是由下述通式(B-2)表示的化合物，在所述通式(B-2)中，RS和W可以分别相同或不同，表示氢原子、烷基、芳基、酰基以及卤原子中的任一种，该RS和该W可以相互连结形成芳环，还可以在该芳环上具有烷基、垸氧基以及卤原子中的至少任一种，R^和R"可以分别相同或不同，表示氢原子、烷基以及芳基中的任一种，Y表示氧原子以及硫原子中的任一种。5.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，热固性化合物是在1分子中具有2个以上环氧基的环氧化合物。6.根据权利要求1所述的感光性组合物，所述组合物还含有无机填充剂和有机填充剂中的至少任一种。7.—种感光性薄膜，其特征在于，在支撑体上具有包含下述感光性组合物的感光层，所述感光性组合物至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-l)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>所述通式(A-l)中，R'表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R'还可以被取代基取代，W表示氢原子、垸基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与ie可以相互键合形成环，n表示0或1，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>在所述通式(B-l)中，116和117可以相同，也可以不同，表示垸基、芳基以及烯基中的任一种，该116和该117可与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，G'和GZ可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、垸基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，该G'和该GS可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素作为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、垸基磺酰基、芳基磺酰基以及氟垸基磺酰基中的任一种，p表示0或l。8.—种感光性层叠体，其特征在于，在基体上具有包含下述感光性组合物的感光层，该感光性组合物至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-l)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>所述通式(A-l)中，W表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R'还可以被取代基取代，W表示氢原子、烷基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与W可以相互键合形成环，n表示0或1，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>在所述通式(B-l)中，116和117可以分别相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一种，该W和该W与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，G'和02可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、垸基磺酰基、芳基磺酰基以及氟垸基磺酰基中的任一种，该G1和该02可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，p表示0或l。9.永久图案形成方法，其特征在于，包括对由下述感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤，该感光性组合物至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-l)表示的化合物，所述通式(A-l)中，R"表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R'还可以被取代基取代，W表示氢原子、垸基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与W可以相互键合形成环，n表示0或1，在所述通式(B-l)中，W和R7可以分别相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一种，该^和该W与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，0]和tf可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、垸基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，该G1和该G2可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，01和02中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺酰基中的任一种，p表示0或l。10.—种印制电路板，其特征在于，所述印制电路板是利用包括对由下述感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤的永久图案形成方法形成有永久图案的印制电路板，该感光性组合物至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述光聚合引发剂是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感剂是由下述通式(B-l)表示的化合物，所述通式(A-l)中，W表示酰基、垸氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一种，该R'还可以被取代基取代，W表示氢原子、烷基以及氰基中的任一种，Ar表示芳环以及杂芳环中的任一种，Ar与W可以相互键合形成环，n表示0或1，在所述通式(B-l)中，116和117可以分别相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一种，该116和该117与各自键合的硫原子一起形成包含非金属元素的环，它们还可以被取代基取代，G'和02可以分别相同或不同，表示氢原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、垸基磺酰基、芳基磺酰基以及氟垸基磺酰基中的任一种，该G1和该02可与各自键合的碳原子一起形成包含非金属原子的以部花青色素为酸性核的环，它们还可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一个表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、垸基磺酰基、芳基磺酰基以及氟垸基磺酰基中的任一种，p表示0或l。全文摘要本发明提供一种感光性组合物，其至少含有粘合剂、聚合性化合物、热固性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，光聚合引发剂是由下述通式(A-1)表示的化合物，增感剂是由下述通式(B-1)表示的化合物。通式(A-1)R¹表示酰基、烷氧基羰基或芳氧基羰基，R²表示氢原子、烷基或氰基，Ar表示芳环或杂芳环，n表示0或1。通式(B-1)R⁶和R⁷表示烷基、芳基或烯基，G¹和G²表示氢原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基或氟烷基磺酰基，p表示0或1。文档编号G03F7/004GK101639627SQ20091016013公开日2010年2月3日申请日期2009年7月24日优先权日2008年7月29日发明者神川弘申请人:富士胶片株式会社