专利名称：感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法
感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法 相关申请的交叉引用
这个美国非临时专利申请根据美国法典第35条119款要求享有申请曰为 2008年9月IO日的韩国专利申请第10-2008-0089155的优先权，其全部内容以 引用的方式结合在本申请中。
发明的背景
这里公开的本发明涉及一种用来制造半导体设备的装置，并且尤其涉及用 在用来制造半导体设备的照相平版印刷步骤中的感光耐蚀膜供应装置和感光耐 蚀膜供应方法。
半导体设备通过执行从胶片制造步骤到半导体组装步骤的很多步骤来制 造。也就是说，用来制造半导体设备的步骤包括用于在胶片上形成薄膜的薄膜 形成步骤，用于注入掺杂离子到胶片内的离子注入步骤，以及用于在胶片上形 成薄膜图案的照相平版印刷步骤。在照相平版印刷步骤中使用感光耐蚀膜来形 成图案。
将感光耐蚀膜以薄的厚度涂覆在胶片上，然后，通过曝光步骤蚀刻感光耐 蚀膜以形成感光耐蚀膜图案。通过直接并强行输入惰性气体到抗蚀刻瓶内来涂 覆该感光耐蚀膜。直接并强行输入惰性气体的方法受到由于性能、气泡和管大 小带来的排放再现性的影响。尤其地，在直接并强行输入惰性气体的方法中， 排放压力受到根据该抗蚀刻瓶内部的容量变化的影响，从而改变了排放流速和 吸回再现性。
因此，存在这样的局限性该感光耐蚀膜不是以固定量排放，并且涂覆在 胶片上的该感光耐蚀膜不是以均匀的厚度被涂覆，以致于该胶片的出产率下降。而且， 一旦发生了该感光耐蚀膜的排放错误，4艮难快速地检测到处理失败，因 为不存在用来检测该处理失败的装置。
发明概述
本发明提供能够一种以固定量供应感光耐蚀膜的感光耐蚀膜供应装置和感 光耐蚀膜供应方法。
本发明也提供一种能够预先检测感光耐蚀膜是否以固定量排放以及是否存 在气泡的感光耐蚀膜供应装置和感光耐蚀膜供应方法。
本发明的实施方式提供的感光耐蚀膜供应装置包括容纳感光耐蚀膜的瓶; 从该瓶接收该感光耐蚀膜并用来存储所接收到的感光耐蚀膜的捕集箱；以及从 该捕集箱接收该感光耐蚀膜并用来供应固定量的感光耐蚀膜到排放喷嘴以排放 该感光耐蚀膜到胶片上的泵。
在一些实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括检测该泵的内 部压力的压力传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参
中的控制器。
在其他实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括供应管线和连接 到该泵排出口的第 一排放管线。
进一步在其它实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括布置在 连接该泵和排放喷嘴的供应管线内的过滤器，该过滤器过滤包含在该感光耐蚀 膜中的异物和气泡；以及排放由该过滤器过滤包含异物和气泡的感光耐蚀膜的 第二排放管线。
在本发明的其他实施方式中，感光耐蚀膜供应装置包括排放感光耐蚀膜 到胶片上的排放喷嘴；供应固定量感光耐蚀膜到该排放喷嘴内的泵；临时存储将被从该泵供应到该排放喷嘴的感光耐蚀膜的捕集箱；容纳存储在该捕集箱内 的感光耐蚀膜的瓶；检测在将被从该泵供应到该排放喷嘴的待处理的感光耐蚀 膜(standby photoresist)内是否存在气泡的气泡识别单元；以及连4妄该泵到废弃 流体箱以在该气泡识别单元检测到气泡时从该泵排放待处理的感光耐蚀膜到该 废弃流体箱的第 一排放管线。
在一些实施方式中，气泡识别单元可以包括4企测该泵的内部压力的压力 传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行
和关闭该第 一排放管线的控制器。
在其他实施方式中，可以将该瓶和该捕集箱连接到惰性气体供应管线以通 过该排放喷嘴排放的大量惰性气体将惰性气体填充到该瓶和该捕集箱内。
进一步在本发明的其它实施方式中，感光耐蚀膜供应方法包括临时将容 纳在瓶中的感光耐蚀膜存储到捕集箱内；以及执行用存储在捕集箱内的感光耐 蚀膜填充该泵腔室的泵吸取操作；以及执行供应填充在该泵腔室内的感光耐蚀 膜到排放喷嘴内的排放操作，其中该吸取和排放操作的执行包括将测量该泵内 部压力的测量压力值与参考压力值进行比较，以在将填充该泵的泵腔室内的感 光耐蚀膜供应到排放喷嘴内之前，检测在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中是否 存在气泡。
在一些实施方式中，在该吸取和排放操作的执行中，当在填充在该泵的泵 腔室内的感光耐蚀膜中存在气泡时，由于该泵的排放操作，可以通过排放管线 排放填充在该泵腔室内的感光耐蚀膜。
在其他实施方式中，可以通过在该吸取和排放操作执行中使用的大 惰性 气体将惰性气体填充该捕集箱内。附图的简要说明
包括的附图提供对本发明的进一步了解，以及附图被结合到并构成说明书 的一部分。这些附图示阐述了本发明示意性的实施方式，并且与该说明书一起
用来解释本发明的原理。在这些图中
图1是根据本发明的一个实施方式的感光耐蚀膜供应装置的原理视图。 图2和3是阐述与该实施方式相适应的泵的吸取操作和排放操作的各自视
图；以及
图4是阐述供应感光耐蚀膜步骤的流程图。
优选实施方式的详细描述
在下面将参考附图更详细地描述本发明的优选实施方式。然而本发明可以 以不同的方式实施并且不应将本发明解释为限制在这里阐述的实施方式内。更 恰当地，提供这些实施方式以便该公开是彻底的和完整的，并且将充分地将本 发明的范围传达给本领域的熟练技术人员。
图1是根据本发明的一个实施方式的感光耐蚀膜供应装置的原理视图。
参考图l，感光耐蚀膜供应装置1包括瓶100、捕集箱200、泵300、过滤 器400和排放喷嘴500。
瓶100用感光耐蚀膜填充，并且被连接到第一惰性气体供应管线32和第一 供应管线12。供应的一种惰性气体(例如氦气或氮气)通过调节器34进入瓶 100以维持通过第一惰性气体供应管线32密封的瓶100内的惰性气体气压。由 于两者之间的相对压力，瓶100内的感光耐蚀膜通过第一供应管线12移动到捕 集箱200内。调节器34、气体过滤器35和气动阀36按先后顺序安装在第一惰 性气体供应管线32上。仅当在更换瓶100时才关闭气动阀36。
该捕集箱通过第一供应管线12供应感光耐蚀膜并且存储该供应的感光耐蚀膜。高度传感器210安装在捕集箱200的侧面用来检测存储在捕集箱200内的 感光耐蚀膜的数量水平。连续地给捕集箱200供应感光耐蚀膜直到高度传感器 210检测到的数量水平等于适当的数量水平为止。第二排放管线24连接到捕集 箱200的顶端。第二排放管线24移除累积在捕集箱200上部的气泡或者根据感 光耐蚀膜性能的变化被动地排放。通过第二排放管线24排放的气泡和性能变化 的感光耐蚀膜存储到废弃流体箱800中。第二供应管线14连接到捕集箱200的 底端。第二供应管线14连接到泵300的输入口 302。
由于吸取和排放操作产生的流体压力，泵300以固定量供应存储在捕集箱 200内的感光耐蚀膜到排放喷嘴500内。泵300 /人捕集箱200吸取一次在一个胶 片上完成涂覆步骤所要求的量的感光耐蚀膜到泵腔室310,并且随后在涂覆步骤 期间，用均匀的压力和流速通过排放喷嘴500排放该感光耐蚀膜。在这个实施 方式中使用了风箱式的管膜泵。
图2和3是阐述与该实施方式相适应的泵的吸取操作和排放操作的各自视图。
参考图1和2,泵300包括具有用来将驱动腔室320和与输入口 302及输出 口 304连通的泵腔室310分开的可变容量管膜(塑料隔膜)330的外壳301。工 作流体是一种不易压缩的媒介，其是用来传输风箱部350伸长产生的驱动力到 管膜330的媒介。风箱部350的风箱352受到步进电机360的驱动并且根据例 如伸长操作时序或伸长速度、感光耐蚀膜的吸取和排放时序、及控制器900控 制下的排放压力的条件而受到控制。回流阻止阀305各自布置在泵300的输入 口 302和输出口 304内。输出口 304连接到与排放喷嘴500相连接的第三供应 管线16以及与废弃流体箱800相连接的第一排;故管线22。吸回阀17、关断阀 18和过滤器400布置在第三供应管线16上。第三排放管线26连接到过滤器400上以移除累积在过滤器400上部的气泡。气动阀28各自布置在第二排放管线24 和第三排放管线26上。
图2是阐述电动机吸取操作的视图。参考图2，当风箱352通过步进电机 360以向后方向退回时，工作流体从驱动腔室320移动到风箱部350以减小驱动 腔室320内的压力。当管膜330由于驱动腔室320的压力下降而受到压缩时， 从捕集箱200吸取预定量(一次执行涂覆操作所需要的量)的感光耐蚀膜到泵 腔室310。
图3是阐述电动机排放操作的视图。参考图1和3,当风箱352通过步进电 才/L 360以向前方向前进时，工作流体/人风箱部350移动到驱动腔室320以升高 驱动腔室320内的压力。结果，管膜330由于驱动腔室320的压力升高而受到 扩张，通过第三供应管16排放填充在泵腔室310内的感光耐蚀膜到排放喷嘴 500。
压力传感器390布置在泵300内以^r测泵腔室310内的感光耐蚀膜压力。 由压力传感器390测量得到的测量压力值4是供给控制器900。控制器900将该测 量压力值与预先设置的压力值(参考压力值)进行比较。在填充在泵腔室310 内的感光耐蚀膜中存在气泡的地方的测量压力值与在感光耐蚀膜中不存在气泡 的地方的测量压力值是不同的。因此，在将感光耐蚀膜供应给排放喷嘴500之 前可以斥企测在该感光耐蚀膜中是否包含气泡。在当前示意性实施方式中，压力 传感器390和控制器卯0起气泡识别单元的作用，用于确定在填充在用来从泵 300供应感光耐蚀膜到排放喷嘴500的泵腔室310内的感光耐蚀膜中是否包含气 泡。
当在填充在泵300的泵腔室内的感光耐蚀膜中检测到气泡，泵300操作以 将填充在泵腔室310内的感光耐蚀膜通过第一排放管线22排放到废弃流体箱
9■中。
图4是阐述供应感光耐蚀膜步骤的流程图。
参考图1至4,在步骤S10和S20中，容纳在^f瓦100内的感光耐蚀膜由于被 供应进瓶100的惰性气体的压力而从瓶100排放出来，并且从瓶100排放的感 光耐蚀膜被临时存储在捕集箱200内。
在步骤S30中，存储在捕集箱200内的感光耐蚀膜由于泵300的吸取操作 而移动到泵300的泵腔室310内。在步骤S40中，压力传感器390测量填充在 泵腔室310内的感光耐蚀膜的压力值(排放压力)。由压力传感器390测量得到 的压力值提供给控制器卯0。在步骤S50中，控制器900将测量的压力值与参考 压力值进行比较。在步骤S55中，控制器900检测在测量的压力值与该参考压 力值之间的差值是否在预定差值范围内从而检测在填充在泵300的泵腔室310 内的感光耐蚀膜中是否存在气泡以及该感光耐蚀膜是否以固定量排放。在当前 示意性实施方式中，该预定差值范围包括与包含在该感光耐蚀膜中的气泡的可 接受范围相适应的值。当该差值超过该预定差值，控制器900确定在该感光耐 蚀膜中存在气泡。在这种情况下，以固定量排放感光耐蚀膜是不可能的。因此， 在步骤S60中泵300操作以通过第一排放管线22排放填充在泵腔室310内的感 光耐蚀膜。然后，泵300再次操作以用感光耐蚀膜填充该泵腔室310。
另一方面，当该测量压力值和该参考压力值之间的差值小于预定值时，在 步骤S70中泵300执行排放操作以将感光耐蚀膜排放到第三供应管线16内。在 步骤S72中该排放的感光耐蚀膜通过过滤器400，并且随后在步骤S80中开启关 断阀18以便在步骤S90中将感光耐蚀膜通过排放喷嘴涂覆在胶片上。
上述主题应该被认为是阐述性的，而不是限制性的，并且附加权利要求的 目的在于覆盖所有落入在本发明的真实精神和范围内的例如修改、改进和其他实施方式。因此，为了法律允许的最大延伸，本发明的范围应该由下面的权利 要求和它们的等价方式允许的最宽泛解释来确定，并且不应该由前面的详细描 述所限制或限定。
权利要求
1、一种感光耐蚀膜供应装置，包括容纳感光耐蚀膜的瓶；从该瓶接收该感光耐蚀膜并用来存储所接收到的感光耐蚀膜的捕集箱；以及从该捕集箱接收该感光耐蚀膜并用来供应固定量的感光耐蚀膜到排放喷嘴以排放该感光耐蚀膜到胶片上的泵。
2、 如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括 检测该泵的内部压力的压力传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行比较以确 定在将被通过该泵供应的感光耐蚀膜中是否存在气泡的控制器。
3、 如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括供应管线和连接到该 泵排出口的第一排放管线。
4、 如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括 布置在连接该泵和排放喷嘴的供应管线内的过滤器，该过滤器过滤包含在该感光耐蚀膜中的异物和气泡；以及排放由该过滤器过滤包含异物和气泡的感光耐蚀膜的第二排放管线。
5、 一种感光耐蚀膜供应装置，包括 排放感光耐蚀膜到胶片上的排放喷嘴；供应固定量的感光耐蚀膜到该排放喷嘴内的泵；临时存储将被从该泵供应到该排放喷嘴的感光耐蚀膜的捕集箱；容纳存储在该捕集箱内的感光耐蚀膜的瓶；检测在将被从该泵供应到该排放喷嘴的待处理的感光耐蚀膜内是否存在气 泡的气泡识别单元；以及连接该泵到废弃流体箱以在该气泡识别单元纟全测到气泡时从该泵排放待处 理的感光耐蚀膜到该废弃流体箱的第 一排放管线。
6、 如权利要求5的感光耐蚀膜供应装置，其中气泡识别单元包括 检测该泵的内部压力的压力传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行比较以确 定在将被通过该泵供应的感光耐蚀膜中是否存在气泡，从而开启和关闭该第一 排放管线的控制器。
7、 如权利要求5的感光耐蚀膜供应装置，其中将该瓶和该捕集箱连接到惰 性气体供应管线以通过该排放喷嘴排放的大量惰性气体将惰性气体填充到该瓶 和该捕集箱内。
8、 一种感光耐蚀膜供应方法，包括临时将容纳在瓶中的感光耐蚀膜存储到捕集箱内；以及 执行泵吸取操作以使得存储在捕集箱内的感光耐蚀膜填充该泵的泵腔室； 以及执行排放操作以供应填充在该泵腔室内的感光耐蚀膜到排放喷嘴内，其中该吸取和排放操作的执行包括将测量该泵内部压力的测量压力值与参 考压力值进行比较，以在将填充该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜供应到排放喷嘴 内之前，^r测在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中是否存在气泡。
9、 如权利要求8的方法，其中在该吸取和排放操作的执行中，当在填充 在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中存在气泡时，由于该泵的排放操作使得填充 在该泵腔室内的该感光耐蚀膜通过排放管线被排放。
10、 如权利要求8的方法，其中通过在该吸取和排放操作执行中使用的大 量惰性气体将惰性气体填充该捕集箱内。
全文摘要
提供的是一种感光耐蚀膜供应装置。该感光耐蚀膜供应装置包括排放喷嘴、计量泵、捕集箱、瓶和第一排放管线。该排放喷嘴排放感光耐蚀膜到胶片上。该计量泵供应固定量的感光耐蚀膜到该排放喷嘴内。该捕集箱临时存储将被从该计量泵供应到该排放喷嘴内的感光耐蚀膜。该瓶容纳存储在该捕集箱内的感光耐蚀膜。气泡检测单元确定在将被从该泵供应到该排放喷嘴内的待处理的感光耐蚀膜中是否存在气泡。该第一排放管线将该泵连接到废弃流体箱以用于当气泡检测单元检测到气泡时从该泵排放该待处理的感光耐蚀膜到该废弃流体箱。
文档编号G03F7/16GK101673055SQ200910161988
公开日2010年3月17日 申请日期2009年9月10日 优先权日2008年9月10日
发明者金东浩, 黄修敏 申请人:细美事有限公司