专利名称：基板载台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种平板显示器的生产和检测设备，特别是一种基板载台。
背景技术：
液晶显示器(Liquid Crystal Display,简称LCD)是目前主流的平板显示装置，由 于LCD体积小、结构紧凑，因此其生产和检测设备要求具有较高的可靠性和控制精度。 目前，现有LCD生产和检测中使用的基板载台通常包括台板和水平调节装置，水 平调节装置用于台板的水平调节。现有的水平调节装置主要包括减震器和气压调节阀，其 中减震器固定在台板上，而气压调节阀则采用机械原理起到控制调节作用。例如，如果台板 的某一侧下沉，下沉的一侧会压在其下方设置的气压调节阀的开关上，并将气压调节阀打 开，大量的高压气体冲入减震器，使减震器上升；当台板的某一侧过高时，则引起气压调节 阀放气，直到气压达到平衡状态时气压调节阀关闭，这时减震器会停留在该高度，从而实现 对台板水平姿态的调节。 实际应用中发现，现有这种结构形式的水平调节装置存在以下技术缺陷 (1)由于气压调节阀采用机械原理控制气体的充放，因此反应速度慢，调节不灵
敏，控制精度低； (2)长时间运行导致气压调节阀的机械结构磨损，气压调节阀很容易失去调节气 压平衡的能力，或者导致其失去充气的功能，或者导致减震器一直进气不放气，最终导致台 板过高或过低，甚至使台板失去水平，出现设备故障，使生产停滞； (3)气压调节阀工作寿命短，需要频繁更换，维护成本高。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种基板载台，不仅具有较高的反应速度和控制精度， 而且具有无损耗的优点。 为了实现上述目的，本实用新型提供了一种基板载台，包括台板、用于监测台板姿 态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，所述姿态传感装置包括液体水平 器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送 控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。 所述液体水平器设置在所述台板的下方，并位于所述台板的中心线上。 所述液体水平器为下端通过圆环相互连通的两个U形管，两个U形管的四个上端
部分别位于台板的四个角部。所述液位传感器设置在所述U形管的上端部，并位于液面的
上方，或位于液面的下方，或分别位于液面的上方和下方。进一步地，所述U形管为有机玻
璃制品。所述U形管的端部还设置有刻度。所述U形管的直径为8mm 12mm。所述导电液
体为盐水。 在上述技术方案基础上，所述姿态控制装置连接在所述台板的角部，包括减震器 和控制器，所述减震器设置有与所述控制器连接的进气阀门和出气阀门，所述控制器与液位传感器连接。所述台板下还设置有限位开关。 本实用新型提供了一种基板载台，通过设置监测台板姿态变化的姿态传感装置， 且姿态传感装置利用了连通器原理和液体导电原理， 一方面具有反应速度快，调节灵敏，控 制精度高等优点，另一方面避免了工作中的磨损，不仅减少了设备故障，而且提高了工作寿 命，降低了生产成本。此外，本实用新型姿态传感装置相对独立，可以便利地实现与台板的 组合和分解。
图1为本实用新型基板载台的结构示意图； 图2为本实用新型姿态传感装置一种实施结构的结构示意图。
附图标记说明 l-台板； 2-姿态控制装置； 3-支柱； 4-姿态传感装置；5-限位开关； 21-减震器； 22-控制器； 41-液体水平器； 42-液位传感器。
具体实施方式下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。 图1为本实用新型基板载台的结构示意图。如图1所示，本实用新型基板载台的 主体结构包括台板1、姿态控制装置2、支柱3和姿态传感装置4，其中姿态传感装置4设置 在台板1的中部，用于监测台板1的姿态变化，并在台板1姿态变化时输出控制信号；4个 姿态控制装置2分别固定连接在台板1的角部，用于根据姿态传感装置4发送的控制信号 通过上升或下降调整台板1的姿态，最终将台板1调整成水平状态；4个支柱3的下端固定 在地面上，上端与姿态控制装置2连接，用于通过姿态控制装置2支撑台板1。本实用新型 姿态传感装置4是一种利用连通器原理和液体导电原理实现台板姿态变化监测的装置，当 台板1偏离水平状态或从偏离状态回到水平状态时输出控制信号。具体地，本实用新型姿 态传感装置4包括液体水平器41和液位传感器42，作为姿态传感元件的液体水平器41设 置在台板l的下方，其内装设有导电液体，作为姿态控制元件的液位传感器42设置在液体 水平器41上，由于导电液体的液面与液位传感器42之间的距离随台板1姿态的变化而变 化，因此液位传感器42可以根据导电液体的液面变化发送控制信号，实现台板1姿态变化 的监测。 图2为本实用新型姿态传感装置一种实施结构的结构示意图。如图2所示，本实 施结构的液体水平器41由两个U形管构成，两个U形管的下端通过一个圆环使两个U型管 相互垂直连通，其内装设导电液体，形成凹形结构的液体容器。使用中，液体水平器41设 置在台板1的中心线上，两个U形管的四个上端部分别位于台板1的四个角部。液体水平 器41的尺寸和体积可根据台板大小和设备空间而定，考虑到导电液体的流动特性，可以设 置U形管的直径为8mm 12mm，优选地，U形管的直径为10mm。四个液位传感器42分别设 置在U型管的端部，位于液面的上方，在液体水平器41水平放置状态下，两个U形管四个上 端部的液面处于一个水平面内，四个液位传感器42也处于一个平面内，分别位于液面的上 方。实际使用中，液位传感器42与导电液体液面的距离可根据设备灵敏度要求而定，当然，初始设计时液位传感器42与液面的距离越小，本实用新型的控制精度越高。由于U形管 内装设的导电液体的液面永远处于一个水平面内，且导电液体流动性好，因此每个管内导 电液体的液面可以随时反映台板姿态的变化，大大提高了感受台板姿态变化的速度和灵敏度。 需要说明的是，图2所示的实施结构只是一种典型的实现结构，该结构可以避免 姿态传感装置中的导电液体在设备震动状态下产生剧烈的晃动。实际使用中，本实用新型 姿态传感装置还可以设置成多种结构形式或通过多种技术手段实现。例如，U型管可以采 用V型管替代，圆环可以采用筒状体替代等等。此外，U型管可以采用有机玻璃制品或其它 透明材料制作，为方便人为观察，U型管的上端部还可以设置刻度，导电液体可以采用盐水。 由于三点确定一个平面的原理，所以本实用新型的液体水平器最少包括三根管，可以采用 多种方式将液体水平器固定在台板的下方。 本实用新型的台板1为矩形体，台板1的四个角部分别与姿态控制装置2连接。姿 态控制装置2实际上是一种设置有进气口和出气口的减震器21 ，进气口设置有进气阀门， 出气口设置有出气阀门，进气阀门与出气阀门均由控制器22控制，同时控制器22与每个液 位传感器42连接。实际应用中，控制进气阀门的控制器可以采用电磁控制电路，控制出气 阀门的控制器可以采用机械控制装置，由于电磁控制电路和机械控制装置已广为本领域技 术人员所熟知，这里不再赘述。由于本实用新型姿态控制装置的工作由控制信号驱动，因此 不仅可以实现快速、灵敏和高精度的台板姿态调节，而且无损耗，延长了工作寿命。 下面通过本实用新型基板载台的工作过程进一步说明本发明的技术方案。当台板 的某个角部下降时，由于U形管内装设的导电液体的液面永远处于一个水平面内，因此在 角部下降位置处，导电液体的液面与液位传感器之间的距离减小。当台板偏离水平状态一 定程度时，液位传感器与导电液体接触，液位传感器中的水位开关接通，向姿态控制装置中 的控制器发送开始充气的控制信号。接收到充气控制信号的控制器打开减震器的进气阀 门，气体进入减震器后减震器提升，该角部升高，使角部所在位置的液面具有离开液位传感 器的趋势。当液面离开液位传感器时，液位传感器中的水位开关断开，向姿态控制装置中的 控制器发送停止充气的控制信号。接收到停止充气控制信号的控制器关闭减震器的进气阀 门，减震器停止提升，台板恢复到水平状态。当台板的某个角部上升时，必然导致对角的角 部下降，其调整过程同前所述。 通过上述工作过程可以看出，本实用新型姿态传感装置中液位传感器的结构形式 和安装形式也存在多种扩展方案。例如，液位传感器的初始位置可以设置在导电液体内，并 位于液面的下方，此时液位传感器中的水位开关处于接通状态，当液面变动使液位传感器 离开导电液体时，液位传感器的水位开关断开，向姿态控制装置中的控制器发送控制信号。 再如，本实用新型姿态传感装置可以采用双液位传感器结构，即在液体水平器的每个端部 设置二个液位传感器，其中一个液位传感器位于液面的上方，称之为第一液位传感器，另一 个液位传感器位于液面的下方，称之为第二液位传感器。由于当台板的某个角部下降时，必 然导致与其相对的对角上升，因此，下降角部位置的第一液位传感器可以通过感受液面变 化输出控制信号，同时上升角部位置的第二液位传感器也可以通过感受液面变化输出控制 信号。由此可见，双液位传感器结构不仅可以进一步提高反应速度，而且还可以大大提高灵 敏度。
5[0027] 实际应用中，为了防止本实用新型基板载台整体上升以及对减震器进行保护，可 以在每个减震器上安装机械泄气装置，当减震器上升到一定高度时，与出气阀门连锁的机 械泄气装置打开出气阀门。此外，为了防止本实用新型基板载台整体下降，可以在台板下设 置限位开关5，当台板下降到限位开关5位置时，限位开关5发送控制信号，减震器使本实用 新型基板载台整体上升。前述设置机械泄气装置和限位开关的目的是让减震器工作在一定 的高度范围内，超过这个范围就放气，低于这个范围就充气。 最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管 参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对 本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范 围。
权利要求一种基板载台，包括台板、用于监测台板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，其特征在于，所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。
2. 根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述液体水平器设置在所述台板的 下方，并位于所述台板的中心线上。
3. 根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述液体水平器为下端通过圆环相 互连通的两个U形管，两个U形管的四个上端部分别位于台板的四个角部。
4. 根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述液位传感器设置在所述U形管的 上端部，位于液面的上方和/或下方。<
5. 根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管为有机玻璃制品。
6. 根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管的端部还设置有刻度。
7. 根据权利要求3所述的基板载台，其特征在于，所述U形管的直径为8mm 12mm。
8. 根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述导电液体为盐水。
9. 根据权利要求1 8中任一权利要求所述的基板载台，其特征在于，所述姿态控制装 置连接在所述台板的角部，包括减震器和控制器，所述减震器设置有与所述控制器连接的 进气阀门和出气阀门，所述控制器与液位传感器连接。
10. 根据权利要求1 8中任一权利要求所述的基板载台，其特征在于，所述台板下还 设置有限位开关。
专利摘要本实用新型涉及一种基板载台，包括台板、用于监测所述台板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。本实用新型通过设置监测台板姿态变化的姿态传感装置，且姿态传感装置利用了连通器原理和液体导电原理，一方面具有反应速度快，调节灵敏，控制精度高度优点，另一方面避免了工作中的磨损，不仅减少了设备故障，而且提高了工作寿命，降低了生产成本。
文档编号G02F1/1333GK201464755SQ20092011021
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月15日 优先权日2009年7月15日
发明者白国晓, 齐铮 申请人:北京京东方光电科技有限公司