专利名称：光阻液的循环回收装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种回收装置，特别是指一种将使用过后的光阻 液直接在生产线上进行回收处理，以供再次利用的循环回收装置。
背景技木
一般产业界制作彩色滤光片、液晶面板元件时，其主要是利用光 阻液力口上一溶剂稀释成一浓度比例后，再以旋转涂布的方式将光阻剂 涂布于玻璃基板上，而为了使光阻液可以均匀地旋转涂布于该基板 上，业者会先在该基板上涂布大量的药液，以使旋转后光阻液能够均 匀披覆于整个基板上，然而此种涂布方式中光阻液的利用率一般约为
10%，而其余高达90%的光阻液都在旋转涂布过程中直接被排入废液 槽内，所以使用大量的光阻液来涂布基板将造成浪费，同时也会衍生 出生产成本高的缺失。
此外，为避免上述光阻液的浪费，故有部分业者在旋转涂布的过 程中，将旋转溅出的光阻液利用回收桶收集回收，以便将该回收桶中 的光阻液送回原供应厂进行再生处理，以再次重复使用，其方式虽可 减少部分光阻液的浪费，但送回原供应厂的运输、处理上均会增加生 产成本，再者该光阻液容易因置》文时间过久、或温度变化因素而造成 变质，导致无法再生使用，故成效不佳。有鉴于此，另有业者又针对 为了减少成本的支出，进而研发出另一种光阻液回收装置1,如图1所示，用来处理自一作业机台11排出的待回收的光阻液2,其包含有一用于暂存自该作业机台11排出的待回收的光阻液2的预备桶12 ,
一连接该作业机台11、预备桶12且将预备桶12中的光阻液2处理后再输送至作业机台11使用的混合桶13, —设置于该混合桶13上并用于搅拌光阻液2的搅拌器14,一连接混合桶13并提供一溶剂151至混合桶13内混合的溶剂装置15, —连接混合桶13并检测存放于混合桶13中的光阻液2的检测装置16，以及一连接作业机台11且才是供新光阻液171至作业机台11上的新液装置17。
操作时，由新液装置17提供一光阻液171至作业机台11进行涂布作业，而后先将喷洒于作业机台11上待回收的光阻液2,先行利用预备桶12进行收集至一定量后，再将光阻液2输送至混合桶13内并利用搅拌器14进行搅拌，由于光阻液2内含的溶剂151会有挥发的情形产生，因此搅拌后静置一段时间后，必须透过4佥测装置16枱r测其粘度,也即检测该光阻液2中溶剂151的含量是否因挥发而减少，而造成光阻液2的粘度过高，所以当粘度过高时，可立即利用溶剂装置15输送溶剂151至混合桶13内进行混合稀释动作，促使光阻液2的粘度介于可使用范围内，以便再将光阻液2输送到作业机台11以替换新光阻液171进行使用。
然而，实际使用后发现，该光阻液回收装置1易产生下列缺陷，现详述如下
(1 )由于光阻液2与溶剂151的密度不同，因此置放一段时间后，该光阻液2会与溶剂151产生分离的现象，就如习知在预备桶12内进行收集时，若收集时间过长，容易造成光阻液2沉淀，除使后续处理制程上需花较长时间搅拌外，更容易积存在预备桶12的底部，而造成输送上的不完全；
5(2)仍续前述，该混合桶13进行搅拌时，在搅拌的过程中，光
阻液2容易与混合桶13内的空气掺杂，使得混合后的光阻液2有气泡产生，除造成后续使用上不便外，同时光阻液2也易因搅拌而造成温度提高，导致光阻液2变质而影响其品质；
(3 )由于混合桶13需要一定时间以进行搅拌处理，因此在搅拌过程中混合桶13是停止进料、供料的，故搅拌时无法提供再生的光阻液2给作业机台ll使用，同时当预备桶12中的光阻液2集满时，对于该作业机台11上待回收的光阻液2则是必须丟弃，造成浪费；再者，当预备桶12或混合桶13中其一进行清洗时，均会造成光阻液2回收产线停摆，使得该光阻液2无法有效进行回收或进行供应等情形，实有待改善。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光阻液的循环回收装置，其既可在回收处理过程中有效提升回收效率，还可^f吏回收处理后的光阻液品质更加稳定。
为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是
一种光阻液的循环回收装置，与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、 一抽真空装置、复数筛检装置、 一溶剂装置、 一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收，且该预备桶具有一底壁， 一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结该底壁与顶壁间以圈围形成有一容置空间的围绕壁；复数混合桶连结预备桶，每一混合桶具有一底壁， 一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结底壁与顶壁间以圈围形成有 一承接预备桶输出的光阻液的容置空间的围绕壁；前述预备桶、混合桶上各分别设有一搅拌装置，每一搅拌装置具有一设置于预备桶、混合桶上的动力源，以及一受该动力源驱动且伸置该预备桶、混合桶内的搅拌
件；前述预备桶、混合桶的外桶体上各分别设有一恒温装置，控制该预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；抽真空装置具有一设置于伸入预备桶、混合桶的容置空间内的管路，以及一连接该管路且将预备桶、所述混合桶内空气加以抽出的抽气动力源；每一混合桶均设有一检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值的筛检装置，同时该f^企装置设置于围绕壁上且伸置于容置空间内；溶剂装置具有一存放溶剂的溶剂供应桶，以及分别连结所述混合桶、溶剂供应
桶的溶剂管线；清洗装置具有一装有清洗液的清洗液供应桶， 一分别连结预备桶、所述混合桶的清洗液管线，以及一将供应桶内的清洗液输入预备桶与所述混合桶内的清洗动力源；新液装置具有一供应新光阻液的新液供应桶，以及一分别连结作业才几台、新液供应桶与混合桶的新液管线。
上述恒温装置具有包覆预备桶、混合桶的外桶体，并在预备桶、混合桶的外桶体间环设形成一冷却环槽，以及充填于冷却环槽内的冷却剂。
上述筛检装置具有一4企测光阻液温度的温度计及一检测光阻液粘度的粘度计。
采用上述结构后，本实用新型是与一作业机台相互连结，且该作业机台可将使用后的光阻液排出；本实用新型利用复数个混合桶的设计，其具有较充分的緩冲空间，不但可针对预备桶上回收的光阻液进行有效的回收处理，更可储备较多处理后的光阻液以供利用；再者，在处理过程中利用抽真空装置及恒温装置的设计，能够避免在搅拌制程中产生气泡及温度提高而影响生产品质，从而使回收处理过后的光阻液品质更加稳定且使用寿命更长。
图1是习知光阻液回收装置的示意图2是本实用新型第一较佳实施例光阻液的循环回收装置的示意图3是本实用新型第 一较佳实施例中预备桶的局部剖视图；图4是本实用新型第二较佳实施例光阻液的循环回收装置的示意图。
主要元件符号说明
1 光阻液回收装置11作业机台12预备桶
13 混合桶14搅拌器15溶剂装置
151溶剂16检测装置17新液装置
171新光阻液2光阻液3循环回收装置
30 新液装置301新液供应桶302新液管线
31 作业机台32预备桶321底壁
322顶壁323围绕壁324容置空间
33 混合桶331底壁332顶壁
333围绕壁334容置空间34搅拌装置
341动力源342搅拌件35恒温装置
8351外桶体
352冷却环槽
353冷却剂
36抽真空装置
361管路
362抽气动力源
37筛检装置
371温度计
372粘度计
373重量器
38溶剂装置
381溶剂供应桶
382溶剂管线
39 清洗装置
391清洗液供应桶
392清洗动力源
393清洗液管线
具体实施方式
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配 合参考附图的较佳实施例的详细说明中，将可清楚地明白。
在详细描述本实用新型前，要注意的是，在以下的说明中，类似 的元件是以相同的编号来表示。
参阅图2所示，是本实用新型光阻液的循环回收装置3的第一较 佳实施例，该循环回收装置3与一作业才几台31相互连接，以〗更将作 业机台31多余排出的光阻液力n以承接回收，而该循环回收装置3包 含有至少一连接作业机台31且承接该作业机台3排出的光阻液加以 集收的预备桶32,复数个分别连接预备桶32且将待回收的光阻液加 以混合处理后输送到作业机台31的混合桶33,复数个各设于预备桶 32、混合桶33上的搅拌装置34,复数个各设置于预备桶32、混合桶 33外围且维持其内温度的恒温装置35， 一可将预备桶32与混合桶 33内的空气抽出的抽真空装置36，复数个各设置于这些混合桶33的 围绕壁333且检测其中光阻液状态的筛检装置37, —将溶剂加入这 些混合桶33内并稀释光阻液的溶剂装置38， 一将清洗液分别送至所 述混合桶33、预备桶32进行清洗的清洗装置39，以及一与作业机台31、所述混合桶33连接且输入新的光阻液的新液装置30。
配合参阅图3，预备桶32及每一混合桶33均由一底壁321( 331 ), 一与该底壁321 ( 331 )呈相对设置的顶壁322 ( 332 )，及一连结该底 壁321 ( 331 )与顶壁322 ( 332 )间以圏围形成有一容置空间324 ( 334 ) 的围绕壁323 ( 333 )所组成，同时在本实施例中，这些混合桶33以 设置两个为例加以说明；另外，每一搅拌装置34具有一设置于顶壁 322 ( 332 )上的动力源341,以及一由该顶壁322 ( 332 )伸入至容置 空间324 ( 334 )内并受动力源341驱动的搅拌件342;又，恒温装置 35具有分别包覆于预备桶32、所述混合桶33外围的外桶体351,以 使预备桶32、所述混合桶33与外桶体351之间形成有一冷却环槽 352,以便将冷却剂353 (如水、冷却气体等)注入冷却环槽352内 进行循环，从而控制将预备桶32、混合桶33的光阻液温度维持在一 定范围中，避免光阻液在搅拌中温度提高而导致变质。
另外，抽真空装置36具有一设置于伸入预备桶32、所述混合桶 33的容置空间324 ( 334 )内的管路361，以及一连接该管路361且 将预备桶32、所述混合桶33内的空气抽出的抽气动力源362,以使 该预备桶32、混合桶33内呈真空状态；再则，本实施例中的筛;险装 置37则具有一检测光阻液温度的温度计371，以及检测光阻液的粘 度粘度计372,设置在混合桶33的围绕壁323上并深入其容置空间 334内。
再者，在本实施例中，溶剂装置38具有一存;^文溶剂的溶剂供应 桶381，以及一分别连结所述混合桶33、溶剂供应桶381的溶剂管线 382,以便将该溶剂从溶剂供应桶381输送至混合桶33内，并将光阻 液浓度进行稀释；另外，清洗装置39具有一装有清洗液的清洗液供 应桶391, —分别连结清洗液供应桶391、预备桶32、所述混合桶33
10的清洗液管线393,以及一将该清洗液供应桶391内的清洗液打入预 备桶32、所述混合桶33内的清洗动力源392。
最后，新液装置30具有一供应新光阻液的新液供应桶301,以 及一分别连结作业才几台31、新液供应桶301的新液管线302，以便将 该光阻液乂人该新液供应桶301输送至该作业才几台31，当然该新液管 线302除可与作业机台31连接外，更可与所述混合桶33进行连接， 并可适时选择供应新的光阻液至作业机台31或者所述混合桶33中； 此外，在本实施例中，在预备桶32、混合桶33、溶剂供应桶381、 新液供应桶301上，都增设有一重量器373，用以量测其内液体变化 并以此定量。
参阅图2、图3,操作时，首先将作业机台31运转过程中多余的 光阻液输送至预备桶32内集收，同时在集收过程中搅拌装置34 —直 处于动作的情况下，可避免长时间的集收下光阻液与溶剂产生分离沉 淀甚至积存的情况产生，促使后续处理更为快速；而后当预备桶32 收集的光阻液达到一定的量后，即可输入至混合桶33内进4亍;险测、 混合作业，以利用温度计371与粘度计372,分别检测带回收液的温 度与粘度，在粘度过高的情况下，可透过溶剂装置38将溶剂输送至 混合桶33内进行混合稀释，以供作业机台31能正常进行使用，当然 前述不管混合过程或混合后，搅拌装置34都在持续地进行转动，以 确保输送至作业机台31上的光阻液与溶剂处于均匀状态；至于，通 过设置复数个混合桶33，能在其一混合桶33内还储存有光阻液时， 或者其一混合桶33故障时，预备桶32仍可将光阻液供应至其它混合 桶33中进行处理，确保回收作业的顺利进行，更可l是升循环回收装 置3的回收效率。
特别需要指出的是，预备桶32、所述混合桶33借助抽真空装置36的设置，使预备桶32、混合桶33内都处于真空状态下，因此在搅 拌过程中，可避免光阻液产生气泡，使得回收后的光阻液品质更加稳 定；再者，搅拌时所造成光阻液的温度提高，也可通过恒温装置35 的设置，也即借助冷却剂353在冷却环槽352内进行循环，与容置空 间324 ( 334 )内的光阻液温度进行热交换作用，使光阻液的温度维 持在一定温度范围内，除能避免搅拌过程中因温度提高而造成光阻液 变质外，更可延长光阻液的保存期限。
参阅图4，是本实用新型光阻液的循环回收装置3的第二较佳实 施例，其仍包含有预备桶32、复数个混合桶33、搅拌装置34、恒温 装置35、抽真空装置36、筛检装置37、溶剂装置38、清洗装置39 及新液装置30等要件，且其动作与欲达成的功效均在第一实施例中 详细描述；特别地，在本实施例中预备桶32设置有复数个(图中以 两个表示)，这样当其一预备桶32故障或清洗作业等而无法使用时， 还能够使用其它预备桶32，更具较佳的缓沖空间，确保循环回收装 置3不中断，当然，该预备桶32与混合桶33的设计均为相同，因此， 当其一预备桶32或混合桶33故障时，还可互相置换使用。
归纳前述，本实用新型光阻液的循环回收装置3，利用预备桶32 配合复数个混合桶33的设计，使光阻液的处理上具有较充分的緩沖 空间，除了有效提升其回收效率外，同时在处理过程中利用抽真空装 置36及恒温装置35,更可避免搅拌过程中产生气泡或温度提高而影 响其品质，以使回收处理后的光阻液品质更加稳定且使用寿命更长， 故确实能达到本实用新型的目的。
前述实施例仅为本实用新型例示，不能以此限制本实用新型的保 护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所 做的任何改动，均落入本实用新型保护范围之内。
权利要求1、一种光阻液的循环回收装置，其特征在于与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、一抽真空装置、复数筛检装置、一溶剂装置、一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收，且该预备桶具有一底壁，一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结该底壁与顶壁间以圈围形成有一容置空间的围绕壁；复数混合桶连结预备桶，每一混合桶具有一底壁，一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结底壁与顶壁间以圈围形成有一承接预备桶输出的光阻液的容置空间的围绕壁；前述预备桶、混合桶上各分别设有一搅拌装置，每一搅拌装置具有一设置于预备桶、混合桶上的动力源，以及一受该动力源驱动且伸置该预备桶、混合桶内的搅拌件；前述预备桶、混合桶的外桶体上各分别设有一恒温装置，控制该预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；抽真空装置具有一设置于伸入预备桶、混合桶的容置空间内的管路，以及一连接该管路且将预备桶、所述混合桶内空气加以抽出的抽气动力源；每一混合桶均设有一检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值的筛检装置，同时该筛检装置设置于围绕壁上且伸置于容置空间内；溶剂装置具有一存放溶剂的溶剂供应桶，以及分别连结所述混合桶、溶剂供应桶的溶剂管线；清洗装置具有一装有清洗液的清洗液供应桶，一分别连结预备桶、所述混合桶的清洗液管线，以及一将供应桶内的清洗液输入预备桶与所述混合桶内的清洗动力源；新液装置具有一供应新光阻液的新液供应桶，以及一分别连结作业机台、新液供应桶与混合桶的新液管线。
2、 如权利要求l所述的光阻液的循环回收装置，其特征在于所 述恒温装置具有包覆预备桶、混合桶的外桶体，并在预备桶、混合桶 的外桶体间环设形成一冷却环槽，以及充填于冷却环槽内的冷却剂。
3、 如权利要求l所述的光阻液的循环回收装置，其特征在于所 述筛检装置具有一检测光阻液温度的温度计及一检测光阻液粘度的 粘度计。
专利摘要本实用新型公开一种光阻液的循环回收装置，其与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、一抽真空装置、复数筛检装置、一溶剂装置、一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收；恒温装置控制预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；筛检装置检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值；溶剂装置用于稀释光阻液的浓度；新液装置将新光阻液从新液供应桶输送至作业机台。此种回收装置既可在回收处理过程中有效提升回收效率，还可使回收处理后的光阻液品质更加稳定。
文档编号G03F7/16GK201417363SQ20092015842
公开日2010年3月3日 申请日期2009年5月21日 优先权日2009年5月21日
发明者林淑芬 申请人:久弘庆股份有限公司