专利名称：具恒温控制的光阻液调配槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光阻液调配槽，特别是一种具恒温控制的光 阻液调配槽。背景技木目前业界在制作彩色滤片、液晶板等元件时，为求能将光阻液涂 布均匀，其制程中大多采用旋转涂布，并利用大量光阻液涂抹于基板 上，然而制程中却只有小部分光阻液会沾附于其中，大多数都直接从 基板渗出而流入机台，故为避免造成浪费及成本增加，均会将多余光 阻液回收后重新调配再利用，以达到节省费用成本的功效。参阅图1、图2，习知光阻液调配槽1包含有一内部形成有一容 置空间111且供光阻液a容置的本体11,以及一伸置于该本体ll内 的搅拌装置12;其中，本体ll上开设有一供光阻液a输入且与容置 空间lll连通的第一入口 112， 一供调合溶剂(图中未示出)输入的 第二入口 113, —可将回收的光阻液a导入的导入口 114,以及一供 调配完成的光阻液输出的输出口 115;另外，该搅拌装置12具有一 设于本体11上的驱动单元121, —受该驱动单元121连动且伸置容 置空间111内的传动轴122，以及复数设于该传动轴121上的搅拌叶 片123。通过上述结构，当在光阻液调配槽l内进行光阻液回收作业时，内回收的光阻液a的重量比例，依序再由第一入口 112、第二入口 113输入光阻液a与调合溶剂(图中未 示)，而后再利用搅拌装置12进行混合调配，并经由一定时间的搅拌 混合后，即可输出以供使用。然而，有鉴于该光阻液调配槽1在进行液体混合时，为^f吏容置空 间lll内的光阻液a、调合溶剂及回收的光阻液a得以均匀混合，完 全是利用搅拌叶片123不断进行搅拌所致，但在这些搅拌叶片123长 时间不断的搅拌下，容易导致光阻液a的温度提高，不但会造成该光 阻液a变质而无法使用，甚至降低光阻液a的重复使用率及期限，如 此也会导致费用成本增加，实有待改进。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种具恒温控制的光阻液调配槽，其 利用冷却装置控制调配槽内的光阻液温度，确保该光阻液在一定恒温 状态下，除可避免光阻液变质而无法使用外，更可提升光阻液的重复 使用率及期限，大大降低费用成本支出。为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是 一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置 空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；其 中，本体上开设有一供光阻液输入且与容置空间连通的第一入口， 一 供调合溶剂输入的第二入口 ， 一可将回收的光阻液导入的导入口，以及一供调配完成的光阻液输出的输出口；另外，搅拌装置具有一设于 本体上的驱动单元， 一受该驱动单元连动且伸置容置空间内的传动 轴，以及复数设于该传动轴上的搅拌叶片；所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元， 一与该温控单元连接、并在温控 单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动 冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷 却装置。
上述冷却装置具有一包覆于本体外的槽体，以及充填于本体与槽 体间的冷却液，而前述槽体上开设有供冷却液出入的进水口 、出水口 。
上述冷却装置具有一储放冷却剂的桶体，以及一与该桶体连接且 包覆于本体外的冷凝管，而前述冷却剂流经冷凝管内。
采用上述结构后，本实用新型通过在光阻液调配槽上设置一冷却 装置，使光阻液在调配槽内进行搅拌作业过程中，可以在冷却装置的 作用下，控制光阻液保持在一定恒温状态下，避免光阻液在搅拌过程 中不断因温度提高而导致质变，提升光阻液的重复使用率及期限，降 低费用成本。
图1是习知调配槽的立体示意图2是习知调配槽的剖面示意图3是本实用新型第一较佳实施例的立体示意图4是本实用新型第一较佳实施例的剖面示意图5是本实用新型第一较佳实施例中冷却装置控制模式的方块
图6是本实用新型第二较佳实施例的剖面示意图。 主要元件符号说明1 光阻液调配槽11本体111容置空间
112第一入口113第二入口114导入口
115输出口12搅拌装置121驱动单元
122传动轴123搅拌叶片2光阻液调配才曹
21 本体211容置空间212第一入口
213第二入口214导入口215输出口
216温控单元217控制器22搅拌装置
221驱动单元222传动轴223搅拌叶片
3 冷却装置31槽体311进水口
312出水口32321压力表
322充填口323泄压口33冷凝管
a 光阻液b冷却液c冷凝剂
具体实施方式
有关本实用新型的前迷及其它技术内容、特点与功效，在以下配 合参考附图的较佳实施例的详细说明中，将可清楚地明白。
在本实用新型被详细描述前，要注意的是，在以下的说明中，类 似的元件是以相同的编号来表示的。
参阅图3、图4,是本实用新型具恒温控制的光阻液调配槽2的 第一较佳实施例，该光阻液调配槽2包含有一内部形成有一容置空间 211且供光阻液a容置的本体21，以及一伸置于该本体21内的搅拌 装置22;其中，该搅拌装置22具有一设于本体21上的驱动单元"1, 一受该驱动单元221连动且伸置容置空间211内的传动轴"2,以及 复数个设于该传动轴222上的搅拌叶片223。
6仍续前述，本体21上开设有一供光阻液a输入且与容置空间211 连通的第一入口 212,—供调合溶剂(图中未示)输入的第二入口 213, 一可将回收的光阻液a导入的导入口 214,以及一供调配完成的光阻 液a输出的输出口 215，同时本体21上设有一固定该本体21且伸置 于容置空间211内的温控单元216, —与该温控单元216连接的控制 器217 ，以及一与该控制器217连接且包覆于本体21外的冷却装置3, 其中，在本实施例中，冷却装置3具有一包覆于本体21外的槽体31， 以及充填于本体21与槽体31间的冷却液b，而前述槽体31上开设 有供冷却液b出入的进水口 311、出水口 312。
参阅图4、图5，光阻液调配槽2在进行混合调配制程时，必须 先在温控单元216上预设温度差值设定值后，即可进行调配光阻液a 制程；首先，依据本体21内回收的光阻液a的重量比例，再依照调 配比例由第一入口 212、第二入口 213依序输入光阻液a与调合溶剂 进入本体21内后，即启动驱动单元221带动传动轴222作动，并使 全部搅拌叶片223同时在本体21内进行搅拌，由于为使光阻液a能 在本体21内完全均匀混合，即需长时间不断进行搅拌，因此光阻液 a会随着不断搅拌而产生温度提高，而当温差值达到温控单元216先 前所预设的设定值时，该温控单元216即会发出一控制讯号至控制器 217,以使该控制器217启动冷却装置3,从而进行光阻液a在光阻 液调配槽2内的温度调节作业。
仍续前述，当冷却装置3受到控制器217启动时，其冷却液b即 会适时由进水口 311注入，并充填于本体21与槽体31之间，使冷却 液b与光阻液a进行热交换作用，进而降低光阻液a在搅拌时所:提高 的温度，同一时间，先前滞留于本体21与槽体31间的部分冷却液b 也会经由该出水口 312排出，以使冷却装置3能够将本体21内的光阻液a的温度有效维持、控制在一定恒温状态中，以确保光阻液a的 品质，除增加光阻液a的重复使用率及期限外，并且能有效避免光阻 液a因温度提升而产生质变，导致无法使用进而造成的资源浪费，大 大降低费用成本支出，最后再将已调配完成的光阻液a由输出口 215 输出，即可供应机台(图中未示)再重复利用。
参阅图6，是本实用新型的第二较佳实施例，其与第一实施例所 述类似，仍包含有本体21、搅拌装置22与冷却装置3等构件；特别 是，在本实施例中冷却装置3是呈不同设计，也即该冷却装置3具有 一储放冷凝剂c的桶体32,以及一与该桶体32连接且包覆在本体21 外的冷凝管33;其中，桶体32上分别设有一与冷凝管33枢接的压 力表321, —供冷凝剂输入且于冷凝管33—端枢接的充填口 322，及 一连接压力表321与冷凝管33相反另一端枢接且可供压力排放的泄 压口 323,而前述充填口 322为冷凝剂c的补充枢接处，以使冷凝剂 c能够流经冷凝管33内，从而与光阻液a进行热交换作用，且在同 时，压力表321也会感测冷凝管33中的冷凝剂c转换成气态所产生 的压力差值，即控制该泄压口 323自动开始泄压，以使本体21内的 光阻液a得以维持、控制在一定恒温状态。
归纳前述，本实用新型具恒温控制的光阻液调配槽，主要利用冷 却装置3控制光阻液调配槽2内的光阻液a温度，以避免搅拌过程 所造成的温度提高，以保持光阻液调配槽2内的品质稳定，有效增加 该光阻液a的重复使用率及期限，避免造成光阻液a质变产生的资源 浪费，大大降低费用成本支出，故确实能达到本实用新型的目的。
以上所述仅为说明本实用新型的较佳实施例，不能以此限定本实 用新型实施的范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方 案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型保护范围之内。
权利要求1、一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；其中，本体上开设有一供光阻液输入且与容置空间连通的第一入口，一供调合溶剂输入的第二入口，一可将回收的光阻液导入的导入口，以及一供调配完成的光阻液输出的输出口；另外，搅拌装置具有一设于本体上的驱动单元，一受该驱动单元连动且伸置容置空间内的传动轴，以及复数设于该传动轴上的搅拌叶片；其特征在于所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。
2、 如权利要求l所述的具恒温控制的光阻液调配槽，其特征在于 所述冷却装置具有一包覆于本体外的槽体，以及充填于本体与槽体间 的冷却液，而前述槽体上开设有供冷却液出入的进水口、出水口。
3、 如权利要求l所述的具恒温控制的光阻液调配槽，其特征在于 所述冷却装置具有一储放冷却剂的桶体，以及一与该桶体连接且包覆 于本体外的冷凝管，而前述冷却剂流经冷凝管内。
专利摘要本实用新型公开一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。此种调配槽利用冷却装置控制调配槽内的光阻液温度，确保该光阻液在一定恒温状态下，除可避免光阻液变质而无法使用外，更可提升光阻液的重复使用率及期限，大大降低费用成本支出。
文档编号G03F7/16GK201421545SQ20092015842
公开日2010年3月10日 申请日期2009年5月21日 优先权日2009年5月21日
发明者林淑芬 申请人:久弘庆股份有限公司