专利名称：高速数字扫描直写光刻装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体加工(包括PCB、FPD、LED、光掩模版等使用半导体加工工艺的加 工领域)所应用的光刻技术领域，具体涉及一种高速数字扫描直写光刻装置。
背景技术：
光刻技术是当前半导体主流平面加工工艺技术中的一环，其用于在基片(也可称 为基底)表面上形成特定结构的特征图形。基片可包括用于制造半导体器件、多种集成电 路、平面显示器(例如液晶显示器)、印刷电路板(PCB)、发光二极管(LED)、生物芯片、微电子 机械系统(MEMS)、光电子线路芯片或光掩膜版等基片。本领域的技术人员将会理解本文的 描述，还应用在本领域技术人员已知的其他类型基片。在实际光刻过程中，基片被传送带或传输手臂自动或操作人员手动传送至高精度 运动平台的曝光吸盘上，再利用光刻设备内的曝光装置，将设计好的特征构图投射感光到 基片表面的感光剂上，然后再通过后续的加热烘烤、图像显影和显影后烘烤、刻蚀等工序， 可以实现设计图案至基片表面的图形转移。在光刻过程中可以使用不同的投影光学装置， 依据具体应用，可以分为例如X射线、离子、电子或光子光刻的不同曝光装置，这已为本领 域的技术人员所熟知。在此，仅出于说明目的，讨论光刻的具体示例。印刷电路板(PCB)和平板显示器(FPD)行业内的所使用的光刻技术当前主要为平 行光光刻技术或接触/近式光刻技术，其首先需要利用高精度直写式光刻技术(该技术制 作精度较高，但生产效率较低下，相当于传统掩模投影式生产效率的1/50)将设计的图案制 作成光掩膜版/菲林版(或通称为母板)，然后利用投影成像技术将母板上的设计特征图案 转换至基片上。该光刻技术具有以下缺点一、工序复杂。相对于本发明所属的直写光刻技 术，首先需要额外加工母板，且对模板的质量具有较高的要求，否则直接影响产品的良率， 工序较为复杂。二、分辨率低。因为光学临近效应的影响，很难通过投影成像技术在基片表 面的感光剂上实现高精度的线条定义，分辨率较低。三、良率低。对于PCB和FPD行业，无 论其母板或基片的尺寸都较为巨大(当前主流尺寸超过400mmX400mm)，对母板和基片的光 刻加工技术提出较高的要求。在如此大的面积上形成特征图形，不同地域的特征图形因为 聚焦、系统稳定性、光平行性或光均勻性的影响，很难均有较高的一致性和重复性，从而良 率欠佳。大规模集成电路加工行业(即半导体加工或代工行业)、生物芯片、微电子机械系 统(MEMS)和光电子线路芯片制造业使用的为传统步进式或步进扫描式光刻设备，其类似于 平行光光刻技术或接近/触式光刻技术，首先也需要将设计图案经过分割，整合在一个光 掩膜版上，每套掩模版重复交叠形成特定功能的器件，然后再将此掩膜版上的图形通过投 影成像技术转换到基片上。对于步进式光刻技术，其通过移动平台将基片运载到物镜下的 特定位置，然后保持静止状态下投影曝光，然后运动平台移动至下一个曝光位置再投影曝 光，以此类推，直至处理完整片基片。对于步进投影式，首先运动平台将基片运载至物镜的 特定位置，然后运动平台和母板载运台相向连续运动，实现母板图形至基片的扫描投影曝光，然后运动平台再移至下个曝光位置，以此类推，直至曝光完成整个基片。此类光刻技术 具有以下缺点一、分辨率高，母板依赖性强。步进式或步进扫描式光刻技术配以先进的准 分子激光光源可以实现主流的45nm及以下节点工艺的实现。但如此高的分辨率主要依赖 于母板特征尺寸的准确性和精准度，如果母板精度变差，可直接造成器件的失效。二、工序 复杂。为在基片上制造器件需要多块母板。对于一个特定的器件，平均需要2(Γ40块母板， 且伴随着特征尺寸的减少以及对于较小特征尺寸的精确公差的精度要求变高的原因，每块 母板均需要多次直写才能成功，工序更为复杂。三、成本高。且伴随着特征尺寸的减少以及 对于较小特征尺寸的精确公差的精度要求变高的原因，这些母板对于生产而言成本很高， 耗时很长，从而使利用分划板的传统晶片光刻制造成本越来越高，非常昂贵。四、系统维护 成本高。步进式或步进扫描式光刻机的内部构造及其复杂，且因为需要一次曝光的视场较 大，光学系统较为复杂，为保证高精度，设备整体对外围环境要求较高，系统维护成本较高。 五、基片尺寸较大(400mmX400mm以上)的光掩膜版加工的光刻技术方法多采用直写式光刻 技术(或称无掩膜光刻技术)，无掩膜系统使用图形发生器(SLM)来代替母板。直接利用图形 发生器产生于设计文档一致的特征图形，并通过光学投影技术投影曝光至基片表面。空间 光调制器包括数字微镜阵列(DMD)或液晶显示器(IXD)，图形发生器包括一个可独立寻址 和控制的象素阵列，每个象素可以对透射、反射或衍射的光线产生包括相位、灰度方向或开 关状态的调制。当前应用于光掩膜版加工的无掩膜光刻系统主要采用的是以下两种方法 一、激光束直写法；二、图形发生器精缩排版曝光。其中，激光束直写法是逐点曝光，采用高 能激光在光敏感衬底上直接产生图形，缺点是加工速度较慢，单个基片曝光时间长；第二种 方法采用计算机控制图形发生器的迂回扫描光刻，缺点是一方面效率较慢，再者分辨率较 低，并且受到单位象素的形状和有效通光孔径(fill-in factor)的限制，难以制作连续光 滑的图形轮廓。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种高速数字扫描直写光刻装置，其将加工效 率较为低的直写式光刻技术应用在半导体工业化加工中。本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种高速数字扫描直写光刻 装置，其特征在于，其包括光源、光源准直光路、图形发生器、成像光路系统、基底、自动运动 平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列 和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的拼接，设计文档通过电脑传送至数据 处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光源准直光路，产生均勻的面光源投影 至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进入成像光路系统，曝光光线穿过投影 光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。优选地，所述光源为发光二极管、准分子激光器或汞灯等波长小于436nm的紫外 光源。优选地，所述光源准直光路至少包含一个复眼和一片凸透镜。优选地，所述成像光路系统包括光耦合器、第一阶光路成像系统、微透镜阵列、微 光栅阵列和第二阶光路成像系统，第一阶光路成像系统实现光耦合器后的多个微透镜阵列 的拼接像在微透镜阵列上表面成像；微光栅阵列与微透镜阵列对应，实现消除或降低特定阶的光或者不同像素调制的光之间的干涉；第二阶光路成像系统实现微光栅阵列到基底表 面的投影成像。优选地，所述锥形反射棱镜的底面为正方形，其他四面为等腰三角形，四个等腰三 角形与底面正方形所成的面夹角均为四十五度。优选地，所述锥形反射棱镜的正方形底面平行于基底的曝光面放置。优选地，所述锥形反射棱镜的等腰三角形面将数字微镜阵列的图形反射至基底的 曝光面上。优选地，所述每个数字微镜阵列与锥形反射棱镜中的一个等腰三角形面相对应。优选地，所述锥形反射棱镜的两个等腰三角形面作为两个数字微镜阵列的反射 优选地，所述锥形反射棱镜的四个等腰三角形面作为四个数字微镜阵列的反射本发明的积极进步效果在于本发明可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能 提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率，降低了产品的生产成本。
图1为本发明高速数字扫描直写光刻装置的原理框图。图2为本发明高速数字扫描直写光刻装置的工作原理示意图。图3为锥形反射棱镜的结构示意图。图如描述光路中含有两个DMD时，DMD与锥形反射棱镜关系的俯视图；图4b描述 光路中含有四个DMD时，DMD与锥形反射棱镜关系的俯视图。图fe描述图如光路中含有两个DMD光路的侧视图；图恥描述图4b光路中含有 四个DMD光路的侧视图。图6为带有光源的四个DMD的光路图。图7为四个DMD光路放大系统的结构示意图。图8为四个DMD光路缩放系统的结构示意图。图9a为多光路扫描系统的结构示意图，图9b为多光路扫描系统投影和光路排布 图。图IOa为同一 DMD内交叠区域能量分布图；图IOb为一 DMD的阵列排布图；图IOc 为实现图IOa所示的能量分布图所需的DMD的列控制信号图。图11为多光路扫描能量分布补偿的示意图。图12为数据处理引擎的的数据处理流程图。
具体实施例方式下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。本发明的目的是提供一种高速数字扫描直写光刻装置，其克服了直写式光刻技术 原有的加工效率低下的缺点，整合无掩膜的优势，为直写式光刻技术在半导体加工(包括 PCB、FPD、LED、光掩模板等使用半导体加工工艺的加工领域)中的工业化应用提供一种方 法。其具体实施方法和原理如下所述如图1所示，本发明高速数字扫描直写光刻装置包括光源21、光源准直光路22、图形发 生器23、成像光路系统M、基底25、自动运动平台26、电脑27、数据处理引擎观、数据传输 板四、成像镜头组和用户操作系统等八个子系统构成。光源21为LED (发光二极管)、准分 子激光器或汞灯等波长小于436nm的紫外光源。成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和 锥形反射棱镜。如图2所示，电脑27为用户和设备的沟通端口，实际曝光过程中，一方面，设计文 档通过电脑27传送至数据处理引擎观、数据传输板四，然后控制图形发生器23产生时的 曝光图样。另一方面，曝光光线从光源21发出，进入光源准直光路22，产生均勻的面光源投 影至图形发生器23，而此时图形发生器23上的图形信息伴随光线进入成像光路系统24，曝 光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台沈所载的基底25上。此过程，自动运动平 台26沿方向13做勻速扫描运动，此为最基本的直写扫描光刻装置图。光源准直光路至少 包含一个复眼和一片凸透镜。如图3所示，该锥形反射棱镜Ml的形状为锥形，底面为正方形，即底边线条35、 36,37和38位于同一个平面内，且四条直线以此首位相接且垂直组成一个正方形。其他四 面为等腰三角形，即侧边线条31、32、33和34分别有一端与下面的正方形面的角向交，另一 端交于同一点，且四条线条长度相同，且四个等腰三角形与底面正方形所成的面夹角均为 四十五度；若假设所使用的数字微镜阵列(DMD)的正方形区域边长为a，则锥形反射棱镜的 底面正方形的边长应为2 (2a) 1/2，其余等腰三角形的腰长应为(6a) 1/2。图如、图4b、图fe和图恥揭示了在实际曝光系统中，光耦合器部分两个或四个数 字微镜阵列相对于锥形反射棱镜的位置关系。当系统中放置两个数字微镜阵列(DMD)时， 如图如所示，锥形反射棱镜241在系统中倒置放置，即棱镜的正方形底面平行于基底的曝 光面放置，锥形反射棱镜的等腰三角形面将DMD的图形反射至基底的曝光面上。每个DMD 与锥形反射棱镜中的一个等腰三角形面相对应。锥形反射棱镜的两个等腰三角形面作为两 个数字微镜阵列的反射面。锥形反射棱镜的四个等腰三角形面作为四个数字微镜阵列的反 射面。如图如所示，第一数字微镜阵列23a和第二数字微镜阵列2 投影于相邻的两个等 腰三角形面。如图fe所示，第一数字微镜阵列23a垂直于第二数字微镜阵列23b，且第一 数字微镜阵列23a中所选取的正方形曝光区域的一条对角线垂直于锥形反射棱镜Ml的 正方形地面，且该对角线的一端投影至等腰三角形的上顶点(非正方形底面上的那点)，另 一条对角线与与之对应的等腰三角形的中位线所构成的平面平行于锥形反射棱镜的底面 正方形。依据上述排列，第一数字微镜阵列23a和第二数字微镜阵列2 经过等腰三角形 的反射在基底分别形成第一像43a和第二像43b，且两个像一边有交叠。当系统中放置四 个数字微镜阵列(DMD)时，如图4b所示，相似于两个DMD，四个DMD分别对应锥形反射棱镜 241的四个等腰三角形面，且DMD在等要三角形面的放置关系与两个DMD时相同。图恥是 图4b的截面图。如图4b所示，第三数字微镜阵列23c和第四数字微镜阵列23d投影于相 邻的两个等腰三角形面。如图恥所示，依据上述排列，第三数字微镜阵列23c和第四数字 微镜阵列23d经过等腰三角形的反射在基底分别形成第三像43c和第四像43d，且两个像一 边有交叠。图6揭示了带有光源21的完整的四个DMD的光耦合器60，图6为图恥的衍生，它 亦为一个界面图。图中，第一光源21a和第三光源21c发出的点光源经过第一光源准直光路2 和第三光源准直光路22c转变成均勻的面光源，然后投影至反射镜，经反射镜反射后 投影至第一数字微镜阵列23a和第二数字微镜阵列23b，然后再经过锥形反射棱镜241的反 射，最终在基底形成第一像43a和第二像43b。成像光路系统M包括第一光路系统。图7揭示了一种带有光耦合器60的第一光 路系统70。该系统由光耦合器60、第一阶光路成像系统M2、微透镜阵列M3、微光栅阵列 244和第二阶光路成像系统245构成。实际曝光设备中，光耦合器60实现四个数字微镜阵 列(DMD)的拼接；第一阶光路成像系统242实现光耦合器后的多个DMD的拼接像在微透镜 阵列上表面成像；微透镜阵列243实现DMD中的单个像素像的缩放，提高系统分辨率；微光 栅阵列244与微透镜阵列243对应，实现消除或降低特定阶的光或者不同像素调制的光之 间的干涉，进而提高成像质量；第二阶光路成像系统245实现微光栅阵列到基底25表面的 投影成像。该系统中，微透镜阵列243中微透镜的排布与DMD中选取的阵列排布相一致，且 单个微透镜的直径尺寸与DMD单像素经过第一阶成像系统放大后的像的尺寸相一致。即若 选取的DMD的阵列为700X700，单个像素的尺寸为13. 68um，第一阶成像系统的放大倍率为 两倍，则微透镜的阵列为700X700，单个像素的尺寸为13. 68umX2=27. 36um。图7设备系统 中所使用的微光栅阵列244的排布与微透镜阵列243 —致，但微光栅阵列透光圆孔的直径 不得大于微透镜单个透镜直径的3/4，且不得小于1/2。图8揭示了另外一种带有四个DMD的光耦合器60的第二光路系统80。该系统相 对于图7中的系统差别在于，图8中的第二阶光路成像系统245为缩小的倍率，其他系统结 构均相同。此系统可以实现高精度直写式光刻设备方案。图9a和9b揭示了一种可以实现工业化大面积基底的高产能要求的光路系统结 构，如图所示，该结构包含多个图7所示的第一光路系统70，多个第一光路系统70呈阵列排 布，从而实现基片的一次扫描完成。在该系统中，多个成像光路排列为多行交叉排列，且保 证同一行光路轴心在同一个面上，且此面垂直于运动平台的扫描方向；随后的第二行光路 轴心也在同一个面上，且第二行中的光路在基片上的投影宽度(与平台扫描方向相垂直的 宽度)与前一行中相邻的两个光路在基片上的投影宽度有交叠，且交叠的像素分别不得少 于八列。如图所示，第一扫描投影81a、第二扫描投影81b和第三扫描投影81c分别为三个 第一光路系统70在基底25上的扫描投影，其中第一扫描投影81a和第三扫描投影81c由 排列在第一行的第一光路系统70扫描投影所得，第二扫描投影81b由排列在第二行的第一 光路系统70扫描投影所得。第二扫描投影81b在基底25上分别与第一扫描投影81a、第三 扫描投影81c有交叠。在实际曝光过程中，投影光路内的DMD正方形投影图形与运动平台 的扫描方向在水平方向上有一定的夹角，而并非垂直。在实际曝光过程中，设备的多个成像光路的交叠处，为实现能量在曝光视场的均 一性要求，对边缘交叠的像素进行能量递增补偿。如图IOa所示，第二扫描投影81b为第一 光路系统在基底上的扫描带，假设DMD由图IOb所示的13X13微镜阵列组成，则实际曝光过 程中，选取第1、2、3、4列微镜反射至基底表面的能量为预设能量的20%、40%、60%和80%，同 时选取第13、12、11、10列微镜反射至基底表面的能量为预设能量的20%、40%、60%和80%。 如图11所示，当第二扫描投影81b置于系统光路阵列时，设置第一扫描投影81a、第三扫描 投影81c的边缘四列也有相似的能量，则扫描过程中如果因为运动平台的精度误差造成运 动平台在与扫描方向相垂直的方向上的移位，也不会造成两个100%的能量叠加或完全未曝光的现象，从而缩小了因为平台精度问题造成的系统曝光精度控制问题。在实际能量百 分比的控制过程中，选取图IOc所示的高低压信号即可实现同一 DMD中不同列的能量控制。如图12所示，该数据处理引擎分三步完成此转换流程第一步，将设计文档格式 转换成媒介数据格式，此操作在主服务器内完成，主要实现设计数据的X/Y方向的偏移/图 形旋转/数据镜像/图形比例调整/图形反色/图形反版；第二步完成媒介数据格式至位 图的时时转换，此操作在附服务器内完成，且为时时操作，并未有数据存储于附服务器的硬 盘中，主要实现媒介数据到位图数据时时转换、软件对准和时时分割后图形验证功能。第三 步，主要实现位图数据到DMD所识别的帧数据的时时转换，此步骤由高速数据传输板和DMD 驱动板完成，目的为调整数据分辨率和曝光速率，以及协同信号同步板控制运动平台扫描 速率和曝光数据传输速率的同步。虽然以上描述了本发明的具体实施方式
，但是本领域的技术人员应当理解，这些 仅是举例说明，在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变 更或修改。因此，本发明的保护范围由所附权利要求书限定。
权利要求
1.一种高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，其包括光源、光源准直光路、图形发 生器、成像光路系统、基底、自动运动平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成 像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的 拼接，设计文档通过电脑传送至数据处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光 源准直光路，产生均勻的面光源投影至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进 入成像光路系统，曝光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。
2.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述光源为发光二 极管、准分子激光器或汞灯等波长小于436nm的紫外光源。
3.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述光源准直光路 至少包含一个复眼和一片凸透镜。
4.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述成像光路系统 包括光耦合器、第一阶光路成像系统、微透镜阵列、微光栅阵列和第二阶光路成像系统，第 一阶光路成像系统实现光耦合器后的多个微透镜阵列的拼接像在微透镜阵列上表面成像； 微光栅阵列与微透镜阵列对应，实现消除或降低特定阶的光或者不同像素调制的光之间的 干涉；第二阶光路成像系统实现微光栅阵列到基底表面的投影成像。
5.如权利要求1所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜 的底面为正方形，其他四面为等腰三角形，四个等腰三角形与底面正方形所成的面夹角均 为四十五度。
6.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜 的正方形底面平行于基底的曝光面放置。
7.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜 的等腰三角形面将数字微镜阵列的图形反射至基底的曝光面上。
8.如权利要求7所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述每个数字微镜 阵列与锥形反射棱镜中的一个等腰三角形面相对应。
9.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜 的两个等腰三角形面作为两个数字微镜阵列的反射面。
10.如权利要求5所述的高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，所述锥形反射棱镜 的四个等腰三角形面作为四个数字微镜阵列的反射面。
全文摘要
本发明公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，其包括光源、光源准直光路、图形发生器、成像光路系统、基底、自动运动平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的拼接，设计文档通过电脑传送至数据处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光源准直光路，产生均匀的面光源投影至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进入成像光路系统，曝光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。本发明可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率，降低了产品的生产成本。
文档编号G03F7/20GK102103332SQ20111005957
公开日2011年6月22日 申请日期2011年3月14日 优先权日2011年3月14日
发明者张雯 申请人:张雯