专利名称：数字显微镜的制作方法
技术领域：
本发明涉及数字显微镜，尤其涉及通过明视野照明以及暗视野照明来拍摄图像的数字显微镜。
背景技术：
以往已知使用明视野照明或者暗视野照明来拍摄样本的数字显微镜。在使用明视野照明的明视野观察中，使与放大光学系统平行的光照射到样本上，并观察其反射光。对此，在使用暗视野照明的暗视野观察中，使光从斜向照到样本上并观察产生的散射光和反射光。 专利文献I提出了一种能够进行明视野观察和暗视野观察双方的放大观察装置。专利文献I中记载的放大观察装置具有连接在反射照明部上的第一光纤束、和将连接在侧射照明部上的第二光纤束内置的光纤线缆。放大观察装置通过主体部所具有的切換机构而对是否将来自光源的光导入至第一光纤束进行切換。在专利文献I中，在未向第一光纤束中导入光的情况下，通过第二光纤束进行侧射照明。在向第一光纤束中导入光的情况下，进行侧射照明和反射照明这两者。在专利文献I中，由于反射照明光的强度大，且来自样本的直接反射光成分大，所以通过将光导入第一光纤束而在实质上进行反射照明。专利文献I :日本特开2009-128881号公报上述那样的现有的数字显微镜能够通过明视野照明和暗视野照明的切換，来进行明视野观察和暗视野观察的某ー个。但是，若反过来说，则只能够进行明视野观察和暗视野观察的某ー个。对此，期望有能够恰当地映现出样本表面的细微凹凸等的数字显微镜。
发明内容
本发明鉴于上述背景，以提供ー种能够更恰当地映现出样本的数字显微镜为目的。本发明的数字显微镜具有向样本供给明视野照明光的明视野照明部；向所述样本供给暗视野照明光的暗视野照明部；对明视野照明光和暗视野照明光的混合比例进行指定的操作部；根据所述操作部的操作改变明视野照明光和暗视野照明光的混合比例的混合比例变更部；使通过所述样本反射或者散射的光集中的放大光学系统；对通过所述放大光学系统入射的光进行光电转换来拍摄所述样本的拍摄部；和显示通过所述拍摄部拍摄到的图像的显示部，所述混合比例变更部具有向所述明视野照明部供给光的第一光传播路径；向所述暗视野照明部供给光的第二光传播路径；和使来自光源的光入射到所述第一光传播路径以及所述第二光传播路径的第三光传播路径，所述第一光传播路径的入光端与所述第ニ光传播路径的入光端向着相同方向相邻地配置，并且所述第三光传播路径的出光端与所述两入光端相对地配置，保持所述出光端与所述两入光端相対的状态，同时根据所述操作部的操作量使所述出光端移动。在此，作为光传播路径能够使用光纤、光纤束、丙烯酸树脂等。所述操作部也可以为与旋转量对应地控制所述输出端的移动量的刻度盘。这样，能够根据操作部的操作改变明视野照明与暗视野照明 的混合比例，由此，通过该构成能够恰当地映现出在明视野照明或者暗视野照明下难以观察的样本表面的质感等。另外，由于根据操作样本的观察情况逐渐改变，所以从该变化中能够得到信息。另外，保持传递来自光源的光的第三光传播路径的出光端与第一光传播路径、第二光传播路径的入光端相対的状态，同时使出光端移动，通过这样的简单的构成，能够随着出光端的移动来调整入射到第一光传播路径、第二光传播路径中的光量。在本发明的数字显微镜中，也可以为，所述第一光传播路径或者第二光传播路径由集束有多条光纤的光纤束构成，在其入光端到出光端之间，編入有所述多条光纤。通过这样地编入有多条光纤的构成，能够使出光端的各光纤的位置与相同光纤的入光端的位置不同。由此，即使在光入射到位于入光端的局部区域(例如，左半边的区域)中的多条光纤中的情况下，由于入射有光的光纤在出光端在光纤束的整体分布，所以，能够使光从出光端的整体射出。在本发明的数字显微镜中，也可以为，所述第一光传播路径的入光端的直径比所述第二光传播路径的入光端的直径小。通过该构成，能够减少向明视野照明部供给的光量，从而能够恰当地显示有效地利用了暗视野照明光的反射光或者散射光的成分的图像。本发明的数字显微镜，也可以为，具有安装在转换器上的多个物镜；安装在多个所述物镜的各个上的环形透镜；和向所述各环形透镜供给光的多个第四光传播路径，各个所述第四光传播路径的入光端以所述转换器的旋转中心为中心等角度地配置，当使所述转换器旋转时，所述第四光传播路径的输入端与所述第二光传播路径的输出端相対。通过该构成，即使在旋转转换器来改变物镜的情况下，也能够向环形物镜供给暗视野照明光。也能够将改变明视野照明和暗视野照明的混合比例的构成适用于具有转换器的数字显微镜中。本发明的数字显微镜，还可以为，具有物镜检测部，检测所述多个物镜中正在使用哪个物镜；和发光部，点亮与检测到的物镜对应的顔色。通过该构成，能够容易地把握现在正在使用的物镜。本发明的数字显微镜，还可以为，具有物镜检测部，检测所述多个物镜中正在使用哪个物镜；和运算处理部，基于检测到的物镜的倍率和所述放大光学系统的倍率，将在所述显示部中显示的图像上的距离換算为实际的距离。通过该构成，即使在改变物镜的情况下，也能够容易地求出映现在图像中的两点间的实际距离。此外，放大光学系统的倍率能够通过公知的方法来检测。本发明的其他方式的数字显微镜，具有向样本供给明视野照明光的明视野照明部；向所述样本供给暗视野照明光的暗视野照明部；对明视野照明光和暗视野照明光的混合比例进行指定的操作部；根据所述操作部的操作改变明视野照明光和暗视野照明光的混合比例的混合比例变更部；使通过所述样本反射或者散射的光集中的放大光学系统；对通过所述放大光学系统入射的光进行光电转换来拍摄所述样本的拍摄部；和显示通过所述拍摄部拍摄到的图像的显示部。
这样，能够根据操作部的操作改变明视野照明与暗视野照明的混合比例，由此，通过该构成能够恰当地映现出在明视野照明或者暗视野照明下难以观察的样本表面的质感等。另外，由于根据操作样本的观察情况逐渐改变，所以从该变化中能够得到信息。发明的效果本发明具有能够恰当地映现出在明视野照明或者暗视野照明中难以观察到的样本表面的质感等的效果。如以下说明的那样，本发明还存在其他的方式。由此，本发明的公开是为了提供本发明的一部分，并非为了限制此处记述并请求的本发明的范围。
图I是第一实施方式的数字显微镜的整体构成图。 图2是示意地表示拍摄装置的构成的图。图3是表示物镜的构成的分解图。图4是表示操作部的构成的分解图。图5A是表示明视野照明时的光纤束的输出端的位置的一例的剖视图。图5B是表示暗视野照明时的光纤束的输出端的位置的一例的剖视图。图5C是表示明暗混合照明时的光纤束的输出端的位置的一例的剖视图。图6A是表示明视野照明时的光纤束的输出端的位置的一例的图。图6B是表示暗视野照明时的光纤束的输出端的位置的一例的图。图6C是表不明暗混合照明时的光纤束的输出端的位置的一例的图。图7A是表示仅基于明视野照明光的拍摄图像的例的图。图7B是表示基于明暗混合照明光的拍摄图像的例的图。图7C是表示基于明暗混合照明光的拍摄图像的例的图。图7D是表不基于明暗混合照明光的拍摄图像的例的图。图7E是表示基于明暗混合照明光的拍摄图像的例的图。图7F是表示仅基于暗视野照明光的拍摄图像的例的图。图8是表示具有转换器的拍摄装置的一部分的立体图。图9是表示转换器的上表面的立体10是表示操作部的其他的结构的分解图。
具体实施例方式以下，详细说明本发明。以下说明的实施方式只是本发明的示例，本发明能够变形为各种形式。因此，以下公开的特定的构成以及功能并不对权利要求的范围进行限定。以下，说明本发明的实施方式的数字显微镜。(第一实施方式)图I是表示第一实施方式的数字显微镜I的整体构成的图。数字显微镜I具有拍摄样本的拍摄装置10、和对所拍摄的图像进行加工、管理等的主体装置40。拍摄装置10和主体装置40通过光纤束19以及数据线缆20而连接。在本实施方式中，虽然说明了拍摄装置10与主体装置40分离的形式，但数字显微镜I也可以使拍摄装置10与主体装置40为一体，并在拍摄装置10中具有处理拍摄图像的功能和显示图像的画面。光纤束19将来自主体装置40所具有的光源的光供给至拍摄装置10。该光纤束19相当于本发明的“第三光传播路径”。数据线缆20将由拍摄装置10拍摄的图像数据以及变焦倍率和表示载物台11的位置的数据发送至主体装置40。此外，在图I中，示出了一根数据线缆20，但也可以分别设置发送图像数据的线缆、发送变焦倍率的数据的线缆、发送表示载物台11的位置的数据的线缆。图2是示意表示拍摄装置10的构成的图。拍摄装置10基本上具有与光学显微镜相同的构成。拍摄装置10具有载置样本的载物台11、对载置于载物台11上的样本进行拍摄的拍摄元件15。在连结载物台11和拍摄元件15的光轴(以下，称为“拍摄光轴A”)上配置有物镜12、单向反射玻璃13、放大光学系统14。 单向反射玻璃13对相对于拍摄光轴A从垂直方向入射的光进行反射。发射的光作为明视野照射光供给至载物台11。单向反射玻璃13相当于将明视野照射光供给至载物台11的“明视野照明部”。另外，单向反射玻璃13使被载物台11上的样本反射或者散射且朝向拍摄元件15的光透过。在物镜12上安装有环形透镜16。在环形透镜16上连接有光纤，通过光纤供给光。环形透镜16相对于载物台11从侧方供给暗视野照明光。在环形透镜16上安装有未图示的环状的棱镜，通过棱镜使来自环形透镜16的光朝向载置于载置台11上的样本。环形透镜16相当干“暗视野照明部”。连接主体装置40和拍摄装置10的光纤束19在拍摄装置10中分支。在光纤束19的出光端的附近向着相同方向而相邻地配置有两根光纤束17、18。光纤束19的出光端和光纤束17、18的入光端相対，从光纤束19射出的光入射至光纤束17、18。两根光纤束17、18中的一根为向单向反射玻璃13供给光的光纤束17。该光纤束17相当干“第一光传播路径”。在该光纤束17的出光端配置有由多个透镜和反射镜构成的照射光学系统21。从该光纤束17射出的光通过照射光学系统21而入射至单向反射玻璃13。另一方的光纤束18是向环形透镜16供给光的光纤。该光纤束18延伸至安装有环形透镜16的物镜12。该光纤束18相当于“第二光传播路径”。此外,在本实施方式中，列举了通过光纤束17构成第一光传播路径的示例，但第一光传播路径也可以通过丙烯酸树脂构成。此外，光纤束17的直径比光纤束18、光纤束19的直径小。在明暗混合照明吋，为了使暗视野照明的反射光或者散射光的成分恰当地反映在图像中，应该抑制明视野照射光的光量，从而缩小光纤束17的直径。在本实施方式中，光纤束17的直径为3mm,光纤束18、光纤束19的直径为6mm。此外,在此所不的数值是一例,各光纤束17 19的直径并不限定于上述数值。光纤束17的直径优选为2 4mm,更优选为2 3mm。光纤束18、19的直径优选为6 7mm。图3是表示物镜12的构成的分解图。物镜12具有保持多个透镜23a的筒状的透镜保持部件23b和覆盖透镜保持部件23b的壳体24。壳体24具有上侧壳体24a和下侧壳体24b。环形透镜16嵌入到下侧壳体24b的内側。也就是说，环形透镜16位于下侧壳体24b与透镜保持部件23b之间的空间中。在与上侧壳体24a的中空部相邻地形成的孔24c中，插入有光纤束25。光纤束25的入光端与光纤束18的出光端相对。光纤束25被分散开，并从透镜保持部件23b与壳体24之间的空间通过而连接到环形透镜16上。在图3中，表示有四根光纤，但也可以使用包含更多的光纤的光纤束25。光纤束19通过保持部件22保持(參照图2)。该保持部件22基于操作部26 (參照图I)的操作而滑动。滑动方向为，在保持光纤束19的出光端与光纤束17以及光纤束18的入光端相对的状态的平面内，连结光纤束17的入光端的中心与光纤束18的入光端的中心的直线方向。根据该构成，改变从光纤束19输入至光纤束17以及光纤束18的光量，从而能够改变明视野照明光与暗视野照明光的混合比例。光纤束19的移动量根据设置在拍摄装置10中的操作部26的操作量決定。在本实施方式中，操作部26如图I所示为刻度盘式的操作部26。图4是表示操作部26的构成的分解图。操作部26具有被使用者操作的刻度盘部27、能够转动地支承刻度盘部27的基部28、刻度盘部27的盖29、具有供保持部件22插入的孔30a的动作部30和以形成在基部28上的凸部28a为中心转动的板状部31。形成在板状部31上的凸部31b插入到形成在刻度盘部27上的孔27b中。另外，位于动作部30的上方的椭圆形的部分30b插入到形成在盖29的下侧的孔29a中。
根据以上构成，当刻度盘部27转动时，板状部31以凹部31a为中心转动。由此，动作部30被按压在板状部31的孔31c的边缘，从而在纸面的前后方向上滑动。由此，被插入到动作部30中的保持部件22也滑动。图5A 图5C是表示使明视野照明光与暗视野照明光的混合比例变化时的光纤束19的输出端的位置的一例的剖视图，图6A 图6C是表示光纤束19的输出端的位置的一例的图。图5A以及图6A表示明视野照明时的一例、图5B以及图6B表示暗视野照明时的一例、图5C以及图6C表不明暗混合视野照明时的光纤束19的输出端的位置的一例。在明视野照明时，如图5A以及图6A所示，光纤束19的输出端位于光纤束17侧，只向光纤束17供给光。相反地，在暗视野照明时，如图5B以及图6B所示，光纤束19的输出端位于光纤束18侦彳，只向光纤束18供给光。在明暗混合照明时，如图5C以及图6C所示，光纤束19的输出端位于涉及光纤束17与光纤束18双方的位置上，井向光纤束17以及光纤束18的双方供给光。光纤束17以及光纤束18以从其入光端到出光端之间编入多条光纤的方式构成。通过这样地編入多条光纤的构成，而使出光端的各光纤的位置与相同光纤的入光端的位置不同。更具体地，光纤束的剖面中的各光纤的位置在入光端与出光端成为随机的配置。由此，如图6C所示，即使在光入射到位于光纤17、18的入光端的局部区域中的多条光纤的情况下，由于入射了光的光纤在出光端在光纤束的整体上分布，因此能够使光从出光端的整体射出。因此，在使射出的光经由单向反射玻璃13或者环形透镜16而使光照射到样本上时，能够使光从全方位照射。不会因为使光入射至光纤束17、18的局部区域等原因而产生阴影。将光纤束19的位置从图6A所示的状态逐渐滑动至图6B所示的状态，井一点点逐渐增大暗视野照明光的光量，由此，能够观察逐渐变化的样本表面的样子。下面，说明主体装置40。主体装置40具有从拍摄装置10接收图像数据的通信接ロ、对接收的图像进行编辑和管理的控制部、显示图像数据的监视器41和受到来自使用者的操作的操作部42。控制部具有对接收的图像数据进行加工而生成三维图像、调整对比度、强调边缘等的功能。另外，具有在通过操作部42对欲测定距离的两点进行特定的情况下，计算两点间距离的功能。除此之外，主体装置40能够进行各种图像处理。以上，对第一实施方式的数字显微镜I进行了说明。第一实施方式的数字显微镜I能够根据在操作部26的操作改变明视野照明与暗视野照明的混合比例，因此能够恰当地映现出在明视野照明或者暗视野照明下难以观察到的样本表面的质感等。图7A 图7F是表示通过本实施方式的数字显微镜I拍摄太阳能电池组的多単元表面的图像的图。图7A是仅基于明视野照明光的图像，图7F是仅基于暗视野照明光的图像，图7B 图7E是从明视野向暗视野逐渐改变混合比例的图像。这样，通过改变混合比例即使相同样本表面，其观察情况也不同。在该例中，图7D所示的图像良好地映现出样本表面的凹凸。第一实施方式的数字显微镜I能够根据操作，如图7A 图7F所示地观察到样本的观察情况逐渐改变的样子，因此，能够从该变化中得到信息。第一实施方式的数字显微镜I使光纤束19的输出端与光纤束17以及光纤束18 的输入端相对地配置，并使光纤束19的输出端滑动，通过这样的简单的构成，能够改变明视野照明光与暗视野照明光的混合比例。例如，上述专利文献I记载的放大观察装置，为了切换明视野照明和暗视野照明而需要内置有第一光纤束和第二光纤束的光纤线缆。但是，这样的分割光纤的成本非常高。在本实施方式中，能够使用通常的光纤束，因此，能够抑制制造成本。(第二实施方式)接下来，说明第二实施方式的数字显微镜。第二实施方式的数字显微镜的基本结构，与第一实施方式的数字显微镜I相同。第二实施方式的数字显微镜具有安装在转换器32上的多个物镜12，通过旋转转换器32来更换物镜12，由此，能够容易地变更倍率。图8是具有转换器32的拍摄装置的一部分的立体图。在图8中，例举了在转换器32上安装有三个物镜12的示例，但安装在转换器32上的物镜12的数量也可以为四个以上，也可以为两个。通过旋转转换器32，能够更换用于观察的物镜12。图9是表示转换器32的上表面的立体图。在转换器32的上表面，且在拍摄光轴A通过的孔33的旁边形成有孔34，该孔34使向环形透镜16供给光的光纤束25(參照图3)的入光端露出。从各孔34露出入光端的多个光纤束相当干“多个第四光传播路径”。该孔34以转换器32的旋转中心0为中心等间隔(120°间隔)地形成。因此，当使转换器32旋转来更换物镜12时，不论使用哪个物镜12，都能够使孔34到达与光纤束18的出光端相对的位置上。由此，即使旋转转换器32来更换物镜12，也能够向环形物镜16供给暗视野照明光，从而能够进行基于明视野照明光和暗视野照明光的混合光的观察。在转换器32的上表面，且在隔着旋转中心与各物镜12対称的位置上具有用于对物镜12进行特定的识别元件35。在覆盖转换器32的上侧的盖部36上，埋入有读取识别元件35的光学读取装置37。通过光学读取装置37来读取识别元件35，由此能够对用于观察的物镜12进行特定。识别元件35以及光学读取装置37相当干“物镜检测部”。光学读取装置将读取的识别元件的数据向主体装置40发送。由此，主体装置40能够对用于观察的物镜12进行特定。主体装置40通过接收对物镜12进行特定的数据，例如能够显示对所使用的物镜12进行特定的信息。此外，作为对物镜12进行特定的信息也可以显示物镜12的倍率的信息，也可以点亮与物镜12对应地预先规定的颜色。通过用颜色来显示，而能够直观地理解正在使用哪ー个物镜12。另外，主体装置40通过接收基于放大光学系统14的变焦倍率的信息以及物镜14的倍率的信息，而能够把握基于拍摄装置10的总的倍率，因此，能够将图像上的两点间的距离换算为实际的距离。也就是说，即使在具有多个物镜的数字显微镜中，也能够实现ACS(Auto Calibration System ;自动校准系统)。此夕卜，ACS的详细在日本特开2008-233201中有记载。以上，列举了实施方式具体说明了本发明的数字显微镜，但本发明并不限于上述的实施方式。在上述的实施方式中，作为对明视野照明光与暗视野照明光的混合比例进行指示的操作部，列举了刻度盘式的 操作部26，但操作部也可以不一定是刻度盘式。图10是表示滑动式的操作部50的构成的分解图。滑动式的操作部50具有被使用者操作的滑动部51、能够移动地支承滑动的基部52和滑动部51的盖53。保持光纤束19的保持部件22插入到形成在滑动部51上的孔51a中。通过使滑动部51在纸面的前后移动，保持部件22也滑动。在上述第二实施方式中，就使用了用于对正在使用的物镜12进行特定的识别元件35以及光学读取装置37的示例进行了说明，但对物镜12进行特定的机构并不限于上述机构。例如，也可以使用旋转编码器或电位计来检测转换器32的旋转角度，并从旋转角度来对物镜12进行特定。在上述实施方式所说明的拍摄装置10中，也可以在供给暗视野照明光的光路上插入对边缘或对比度进行强调的过滤器。例如，能够在光纤束18与光纤束25之间、和在环形透镜16之下(环形透镜16与载物台11之间)插入过滤器。由此，能够得到强调了边缘或对比度的图像。在上述实施方式所说明的拍摄装置10中，也可以对照射明视野照射光或者暗视野照射光的方向进行控制，而显示样本的阴影。例如，可以通过在环形透镜16的下部设置将光遮断的可动的过滤器，来遮断从环形透镜16照射的光的一部分。通过使该过滤器移动，而相对于样本来改变接收到暗视野照射光的方向，从而能够取得通过来自各种角度的光而造成阴影的图像。以上，说明了在现阶段考虑到的本发明的优选实施方式，但相对于本实施方式能够进行多种变形，而且，添附的权利要求书包含了处于本发明的真实的精神和范围内的所有的变形。エ业实用性如以上说明的那样，本发明具有能够恰当地映现出在明视野照明或者暗视野照明中难以观察到的样本表面的质感等的效果，作为数字显微镜是有用的。附图标记说明I数字显微镜10拍摄装置11载物台12 物镜13单向反射玻璃
14放大光学系统15拍摄元件16环形透镜17 19光纤束20数据线缆21照射光学系统22保持部件23a 透镜
23b透镜保持部件24 壳体25光纤束26操作部32转换器40主体装置41监视器42操作部
权利要求
1.一种数字显微镜，具有 向样本供给明视野照明光的明视野照明部； 向所述样本供给暗视野照明光的暗视野照明部； 对明视野照明光和暗视野照明光的混合比例进行指定的操作部； 根据所述操作部的操作改变明视野照明光和暗视野照明光的混合比例的混合比例变更部; 使通过所述样本反射或者散射的光集中的放大光学系统； 对通过所述放大光学系统入射的光进行光电转换来拍摄所述样本的拍摄部；和 显示通过所述拍摄部拍摄到的图像的显示部， 所述混合比例变更部具有 向所述明视野照明部供给光的第一光传播路径； 向所述暗视野照明部供给光的第二光传播路径；和 使来自光源的光入射到所述第一光传播路径以及所述第二光传播路径的第三光传播路径， 所述第一光传播路径的入光端与所述第二光传播路径的入光端向着相同方向相邻地配置，并且所述第三光传播路径的出光端与所述两入光端相对地配置，保持所述出光端与所述两入光端相对的状态，同时根据所述操作部的操作量使所述出光端移动。
2.如权利要求I所述的数字显微镜，其特征在于，所述第一光传播路径或者第二光传播路径由集束有多条光纤的光纤束构成，在其入光端到出光端之间，编入有所述多条光纤。
3.如权利要求I或2所述的数字显微镜，其特征在于，所述第一光传播路径的入光端的直径比所述第二光传播路径的入光端的直径小。
4.如权利要求I至3中任一项所述的数字显微镜，其特征在于，所述操作部为通过旋转量来控制所述输出端的移动量的刻度盘。
5.如权利要求I至4中任一项所述的数字显微镜，其特征在于，具有 安装在转换器上的多个物镜； 安装在多个所述物镜的各个上的环形透镜；和 向所述各环形透镜供给光的多个第四光传播路径， 各个所述第四光传播路径的入光端以所述转换器的旋转中心为中心等角度地配置，当使所述转换器旋转时，所述第四光传播路径的输入端与所述第二光传播路径的输出端相对。
6.如权利要求5所述的数字显微镜，其特征在于，具有 物镜检测部，检测所述多个物镜中正在使用哪个物镜；和 发光部，点亮与检测到的物镜对应的颜色。
7.如权利要求5所述的数字显微镜，其特征在于，具有 物镜检测部，检测所述多个物镜中正在使用哪个物镜；和 运算处理部，基于检测到的物镜的倍率和所述放大光学系统的倍率，将在所述显示部中显示的图像上的距离换算为实际的距离。
8.一种数字显微镜，其特征在于，具有 向样本供给明视野照明光的明视野照明部；向所述样本供给暗视野照明光的暗视野照明部； 对明视野照明光和暗视野照明光的混合比例进行指定的操作部； 根据所述操作部的操作改变明视野照明光和暗视野照明光的混合比例的混合比例变更部; 使通过所述样本反射或者散射的光集中的放大光学系统； 对通过所述放大光学系统入射的光进行光电转换来拍摄所述样本的拍摄部；和 显示通过所述拍摄部拍摄到的图像的显示部。
全文摘要
本发明所提供的数字显微镜(1)具有供给明视野照明光的单向反射玻璃(13)、供给暗视野照明光的环形透镜(16)、根据操作部(26)的操作改变明视野照明光和暗视野照明光的混合比例的机构。改变混合比例的机构具有向单向反射玻璃(13)供给光的光纤束(17)、向环形透镜(16)供给光的光纤束(18)、使来自光源的光入射至光纤束(17)以及光纤束(18)的光纤束(19)。光纤束(17)的入光端与光纤束(18)的入光端向着相同方向相邻地配置，并且光纤束(19)的出光端与两入光端相对地配置。而且，保持出光端与两入光端相对的状态，同时根据操作部(26)的操作量使光纤束(19)的出光端移动。由此，能够恰当地映现出样本。
文档编号G02B21/10GK102754010SQ20118000844
公开日2012年10月24日 申请日期2011年4月28日 优先权日2010年5月10日
发明者上代洋一 申请人:浩视有限公司