专利名称：玻璃加工方法
技术领域：
本发明涉及以感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的玻璃加工方法。
背景技术：
触摸面板通过在介由间隔物相对的玻璃基板和薄膜材料的相对面上分别将ITO等透明导电物质成膜而构成。在该触摸面板上，薄膜材料的接触位置作为坐标信息被检测。此外，最近，也提出触摸面板一体型的液晶显示器。其是构成液晶显示器的2片玻璃基板中的一片兼作触摸面板的玻璃基板的显示器，在实现薄型化及轻量化的方面非常有效。
以往，虽然作为这样的玻璃基板的加工方法一般为物理方法，但是存在加工时容易出现裂纹、强度降低或成品率恶化的问题。因此，近年，提出以将感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的化学方法(例如参照专利文献1、2)。根据这样的化学方法，由于在加工时不会受到物理性负荷，所以不易出现裂纹。此外，与物理方法不同，也可以对玻璃基板进行麦克风或扬声器用的开孔加工。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2008-076768号公报专利文献2 :日本特开2010-072518号公报
发明内容
发明所要解决的问题不过，最近作为这样的玻璃基板大多使用强化玻璃。伴随于此，蚀刻条件也变得苛亥IJ，正在研究例如将包含15质量％氟酸及15质量％硫酸的蚀刻液加温至25 60°C后使用。但是，使用专利文献1、2中记载的以往的感光性树脂组合物时，在上述那样苛刻的蚀刻条件下存在蚀刻耐性不足的问题。此外，本发明人等进行了研究，结果明确，虽然通过向感光性树脂组合物中添加无机填料可改善蚀刻耐性自身，但是分辨率及剥离性下降。本发明是鉴于这样的以往的实际情况而进行的，目的在于提供一种使用了蚀刻耐性高、且分辨率及剥离性优异的感光性树脂组合物的玻璃加工方法。用于解决问题的方法本发明人等为了解决上述问题反复进行了深入研究。其结果发现，通过使用特定的感光性树脂组合物能够解决上述问题，从而完成本发明。S卩，本发明的玻璃加工方法包括以下方法在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序；对上述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序；对曝光后的上述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序；以上述树脂图案作为掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及将上述树脂图案剥离的剥离工序。发明的效果
根据本发明，能够提供一种使用了蚀刻耐性高、且分辨率及剥离性优异的感光性树脂组合物的玻璃加工方法。
具体实施例方式以下，对本发明的实施方式进行详细地说明。本发明的玻璃加工方法是以将感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的方法。以下，首先对本发明中使用的感光性树脂组合物进行说明，接着对本发明的玻璃加工方法进行说明。《感光性树脂组合物》本发明中使用的感光性树脂组合物至少含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂。该感光性树脂组合物可以是正型、负型中的任一种。以下，对正型感光性树脂组合物及负型感光性树脂组合物中含有的各成分进行详细说明。<正型感光性树脂组合物>正型感光性树脂组合物至少含有(A)具有酚性羟基的碱可溶性树脂及(B)含醌二叠氮基的化合物。[ (A)具有酚性羟基的碱可溶性树脂]作为具有酚性羟基的碱可溶性树脂(以下也称为“㈧成分”。)，例如，可以使用聚羟基苯乙烯系树脂。聚羟基苯乙烯系树脂至少具有来自羟基苯乙烯的构成单元。这里所谓“羟基苯乙烯”是指包括羟基苯乙烯；及键合在羟基苯乙烯的α位上的氢原子被卤素原子、烷基、卤代烷基等其它的取代基取代的羟基苯乙烯；及它们的衍生物的羟基苯乙烯衍生物(单体)的概念。“羟基苯乙烯衍生物”至少维持苯环和其上键合的羟基，例如，包含键合在羟基苯乙烯的α位上的氢原子被卤素原子、碳原子数I 5的烷基、卤代烷基等其它的取代基取代的羟基苯乙烯、及羟基苯乙烯的键合了羟基的苯环上进一步键合了碳原子数I 5的烷基的羟基苯乙烯、或该键合了羟基的苯环上进一步键合了 I 2个羟基的羟基苯乙烯(这时羟基的数目的总计为2 3个。)等。作为卤素原子，可列举出氯原子、氟原子、溴原子等，优选氟原子。此外，只要没有特别指定，所谓“羟基苯乙烯的α位”是指键合了苯环的碳原子。来自该羟基苯乙烯的构成单元例如以下述式(a-Ι)表示。[化学式I]
权利要求
1.一种玻璃加工方法，其包括以下工序 在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序； 对所述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序； 对曝光后的所述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序； 以所述树脂图案作为掩模对所述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及 将所述树脂图案剥离的剥离工序。
2.根据权利要求I所述的玻璃加工方法，其中，在所述蚀刻工序中，使用包含氟酸及硫酸的25 60°C的蚀刻液对所述玻璃基板进行蚀刻。
3.根据权利要求I所述的玻璃加工方法，其中，在所述蚀刻工序之前进一步包括对所述树脂图案进行加热的加热工序。
4.权利要求I所述的玻璃加工方法，其中，所述感光性树脂组合物进一步含有聚乙烯基烷基醚作为增塑剂。
5.根据权利要求4所述的玻璃加工方法，其中，所述聚乙烯基烷基醚的重均分子量为10000 200000。
6.根据权利要求I至5中任一项所述的玻璃加工方法，其中，所述感光性树脂组合物进一步含有含醌二叠氮基的化合物。
7.根据权利要求I至5中任一项所述的玻璃加工方法，其中，所述感光性树脂组合物进一步含有交联剂和产酸剂。
全文摘要
提供使用了蚀刻耐性高、且分辨率及剥离性优异的感光性树脂组合物的玻璃加工方法。本发明的玻璃加工方法包括以下工序在玻璃基板上形成含有具有酚性羟基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物的涂布膜的涂布膜形成工序；对上述涂布膜进行选择性曝光的曝光工序；对曝光后的上述涂布膜进行显影而形成树脂图案的显影工序；以上述树脂图案作为掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序；以及将上述树脂图案剥离的剥离工序。
文档编号G03F7/00GK102902157SQ20121026076
公开日2013年1月30日 申请日期2012年7月25日 优先权日2011年7月28日
发明者植松照博 申请人:东京应化工业株式会社