专利名称：一种曝光机的制作方法
技术领域：
本发明涉及工程曝光设备技术领域，特别是涉及ー种曝光机。
背景技术：
随着有机膜在光刻エ艺中的广泛应用，曝光需要的时间越来越长并且曝光效果也有待提高，因此曝光成为整个光刻エ艺的瓶颈，严重影响了工程效率。现有的工程曝光机都是采用水平曝光方式，如图1所示，被曝光物03水平放置在载物台04上，光02从光源装置01中射出，从上向下对物体曝光。这种曝光机的载物台为实体结构，载物台与被曝光物的整个表面接触，这种曝光机的弊端为，如图2所示，当光线02通过被曝光物03后，仍有少量的光05被载物台04反射到被曝光物03上，因此在被曝光物03上形成载物台斑点。载物台斑点，是ー种很严重的斑点，使得产品显示效果出现异常。另外，由于被曝光物是直接接触载物台，容易产生很多不良，被曝光物上除载物台斑点外，还容易有颗粒附着，并且被曝光物与载物台接触摩擦还容易产生静电等。
发明内容
本发明提供了一种曝光机，以避免在被曝光物上形成载物台斑点，提高曝光质量。本发明的曝光机，包括载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的ー侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。所述载物框为吸光材料的载物框。优选的，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。所述固定件为卡夹或真空吸盘。所述的曝光机，还包括水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。所述托台上设置有轨道，所述载物框滑动装配于所述轨道上。所述轨道包括位于所述光源装置的两侧且互相平行的两条轨道，所述载物框包括分别滑动装配于一条轨道上的两个载物框。所述托台包括ー个固定台和分别位于所述固定台两侧的两个水平旋转台，每一条所述轨道分为三段，分别设置于所述固定台和两个所述水平旋转台上，且当任一所述水平旋转台旋转180度吋，轨道对接。所述光源装置包括光源；三棱镜,位于所述光源下方，将所述光源射出的光线由竖直方向反射为水平方向。在本发明技术方案中，将现有技术的载物台以载物框代替，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点，提高了曝光质量。
图1为现有技术的曝光机结构示意图；图2为现有技术的曝光机产生载物台斑点的示意图；图3为本发明一实施例曝光机结构示意图；
图4a、图4b为本发明曝光机载物框结构示意图，其中，图4a为卡夹关闭状态，图4b为卡夹打开状态；图5为本发明另ー实施例曝光机结构示意图；图6为本发明曝光机光源装置结构示意图；图7a-图7e为本发明实施例曝光机竖直双向曝光流程示意图。附图标记01-光源；02、74_光线；03、2_被曝光物；04、1_载物台；05_反射光；3-卡夹；4-托台；5_水平旋转台；6_固定台；7_光源装置；8_轨道；9_固定件；71_三棱镜；72_反光板；73-光源。
具体实施例方式为了避免曝光时产生的载物台斑点，本发明实施例提供了一种曝光机。该技术方案中，曝光机的载物台采用载物框结构，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，曝光时光通过被曝光物后不能被反射，因而避免了被曝光物上的载物台斑点，提高了曝光质量。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举具体实施例对本发明作进ー步详细说明。如图3所示，本发明实施例的曝光机，包括载物框1，载物框I的边框内侧设置有固定被曝光物2的固定件9 ；光源装置7，位于载物框I所在平面的ー侧，且出光方向垂直于载物框I所在平面。在本发明技术方案中，将现有技术中的载物台以载物框I代替，当光线垂直射入被曝光物2时，光线不会被载物框I重新反射，因而解决了载物台斑点问题，并且载物框I和被曝光物2接触面积较少，減少了摩擦产生的静电。此外，载物框I为框架结构，节省了材料。载物框I可以为水平放置，也可以为竖直放置，只要光线通过被曝光物2后不被载物框I反射即可。优选的，载物框I的材料为吸光材料，该吸光材料可以为铝合金或银纳米材料，其中银纳米材料为银与ニ氧化硅复合而成。被曝光物2边缘与载物框I接触的地方可能被载物框I反射光线产生载物台斑点,若载物框I的材料为吸光材料,被曝光物2边缘也不会产生载物台斑点。固定件9只要可以实现固定被曝光物即可，可以为卡夹或真空吸盘。图4a、图4b为采用卡夹3卡固被曝光物2的方式，图4a为卡夹3关闭时，被曝光物2固定于载物框I中，图4b为卡夹3打开时，此时被曝光物2可以从载物框I中取出；也可以采用真空吸盘吸附被曝光物2，真空吸盘和卡夹安装位置相同，但需要増加ー个真空源，真空源与真空吸盘通过细管连接，实现真空吸附被曝光物2。当然，上述所述的固定件的设置位置并不以图4a和图4b中描述的为限，可以根据固定需求进行设置，上述真空吸盘的真空源只要可以实现固定被曝光物即可，并不以上述描述为限。如图5所示，本发明另一实施例的曝光机，还包括水平设置的托台4，所述载物框I竖直设置于所述托台4上。载物框I竖直放置，被曝光物2固定于载物框I中，颗粒不容易附着在被曝光物2上。继续參照图5，优选的，托台4上设置有轨道8，载物框I滑动装配于轨道8上。载物框I在轨道8上滑动，可以实现曝光的连续性。优选的，轨道包括位于光源装置7的两侧且互相平行的两条轨道8，载物框I包括分别滑动装配于一条轨道8上的两个载物框I。在本发明技术方案中，在两个轨道8上分別各设置有ー个载物框I，光源装置7射出的光线分两路垂直射入两个被曝光物2，实现双向曝光。光线从光源装置7两侧射出，垂直射入到光源装置7两侧的被曝光物2上，由于载物框I为框架结构，光线不能被载物框I反射，避免了载物台斑点，提高了曝光质量，并且实现了两个被曝光物2同时曝光，大大提高了生产效率。如图5所示，优选的，托台4包括ー个固定台6和分别位于固定台6两侧的两个水平旋转台5，每一条軌道8分为三段，分别设置于固定台6和两个水平旋转台5上，且当任一水平旋转台5旋转180度吋，轨道对接。水平旋转台5可以在动力驱动下以其几何中心为中心水平旋转，通过马达驱动水平旋转台5，图示水平旋转台5可以以矩形两条对角线交点为中心旋转，从而使位于水平旋转台5的轨道8上的载物框I水平旋转，水平旋转台5与固定台6之间有ー个间距，使水平旋转台5有足够的空间旋转。当任一水平旋转台5旋转180度吋，轨道对接，载物框I可由水平旋转台5的轨道滑动至固定台6的轨道上，固定台6上放置有光源装置7，可以对载物框I中的被曝光物2曝光。水平旋转台5旋转可以使载物框I水平方向机械运动，节省人力，提高连续操作性。如图6所示，为本发明图5所示的曝光机光源装置7的内部结构，包括光源73 ；三棱镜71,位于光源73下方,将光源73射出的光线由竖直方向反射为水平方向。光源73射出的光线74 一部分被反光板72反射，一部分直接射到三棱镜71上，三棱镜作为反光镜，实现竖直光路变为水平光路。只需在现有技术的光源装置中増加ー个三棱镜71就可以实现。当然上述光源装置的实现方式并不仅限于这ー种，还可以通过其他光学结构实现，只要可以实现为被曝光物提供垂直于被曝光物的光源即可，如果为双向曝光吋，还可以为ー对出光方向相反的光源为其提供双向曝光光源。为了进一歩解释本发明双向曝光的连续性生产，列举具体的实施方式。如图7a_图7e所示，步骤1，在载物框中装载被曝光物。如图7a所示，在两个水平旋转台5的同一侧轨道8上竖直放置载物框11和载物框12，载物框11和载物框12中分别装载了被曝光物。步骤2，载物框旋转调整位置。如图7b所示，放置载物框11的水平旋转台5通过马达驱动以其几何中心为中心水平旋转180度，使得载物框11和载物框12分别位于托台4两侧轨道8上。载物框11和载物框12分别沿轨道8滑动，最后分别位于光源装置7的两侧。步骤3，双向曝光。如图7c所示，光源装置7射出两路水平光线，分别垂直于载物框11和载物框12，实现载物框11和载物框12上的被曝光物同时曝光。步骤4，曝光后载物框调整位置。如图7d所示，曝光后载物框11和12分别沿轨道8相反方向滑动至水平旋转台5上。步骤5，卸载曝光物。如图7e所示，放置载物框11的水平旋转台5通过马达驱动以其几何中心为中心水平旋转180度，返回至卸载位置，卸载曝光物。在本实施例技术方案中，由于载物框11为框架结构，光线从光源装置7射出后垂直射入被曝光物2中，由于没有载物框11的反射，避免了载物台斑点，提高了曝光质量，并且载物框11与被曝光物2接触面积较小，减少摩擦形成的静电，此外，由于载物框11竖直放置，减少了颗粒附着；由于载物框11竖直放置，光源装置7射出的水平光线分为两路，实现两个被曝光物2同时曝光，大大提高了生产效率。当然，上述连续性生产的双向曝光方式并不限于描述的这一种，还可以为在轨道一端的两侧同时设置载物框，在轨道下滑动至曝光处，曝光后直接滑动至轨道另一端，总之，只要可以实现双向曝光的连续性生产即可，具体的操作方式可以根据产线安排、需求等进行设置，并不以此为限。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种曝光机，其特征在于，包括 载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件； 光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。
2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述载物框为吸光材料的载物框。
3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。
4.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述固定件为卡夹或真空吸盘。
5.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括 水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。
6.如权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述托台上设置有轨道，所述载物框滑动装配于所述轨道上。
7.如权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述轨道包括位于所述光源装置的两侧且互相平行的两条轨道，所述载物框包括分别滑动装配于一条轨道上的两个载物框。
8.如权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述托台包括一个固定台和分别位于所述固定台两侧的两个水平旋转台，每一条所述轨道分为三段，分别设置于所述固定台和两个所述水平旋转台上，且当任一所述水平旋转台旋转180度时，轨道对接。
9.如权利要求f8任一项所述的曝光机，其特征在于，所述光源装置包括 光源； 三棱镜，位于所述光源下方，将所述光源射出的光线由竖直方向反射为水平方向。
全文摘要
本发明涉及工程曝光设备技术领域，公开了一种曝光机。所述曝光机包括载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点。另外，曝光机采用竖直曝光的方式，仅需在现有的光源装置中增加一个三棱镜，就可以实现双向曝光，大大提高了生产效率。
文档编号G03F7/20GK103019041SQ20121048922
公开日2013年4月3日 申请日期2012年11月26日 优先权日2012年11月26日
发明者陆忠, 李炳天, 黄丽娟, 靳福江 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 成都京东方光电科技有限公司