专利名称：光刻显影装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光刻显影装置。
背景技术：
液晶显示器通过应用电场控制具有介电各向异性的液晶的透光率，从而显示图像。因此，液晶显示器一般包括通过液晶单元矩阵显示图像的液晶显示面板和驱动该液晶显示面板的驱动电路。而现有技术的液晶显示面板一般包括:粘结在一起的彩膜基板和阵列基板以及在二者之间设有的液晶。一般通过多轮掩模工艺形成液晶显示面板的彩膜基板和阵列基板。这种掩模工艺包括薄膜淀积(涂覆)工艺、清洗工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、光刻胶剥离工艺、检查工艺等多个工艺。其中，光刻工艺以涂覆光刻胶、曝光、显影和烘烤的顺序进行。光刻胶具有光感度并可以通过曝光工艺进行构图。光刻胶根据其特性可以分为正光刻胶和负光刻胶。正光刻胶和负光刻胶各自应该通过不同的显影溶液显影。实现上述的工艺的生产线中包括光刻显影装置，这种光刻显影装置包括多个用于喷射显影液的喷嘴，这些喷嘴沿玻璃基板的前进方向依次并排排列，当玻璃基板匀速经过这些喷嘴时，这些喷嘴向玻璃基板喷出显影液。在实际生产中，显影液在显影掉光刻胶之后浓度会降低，显影效果会变差。在玻璃基板上的不同位置，需要显影掉的光刻胶的密度存在差异，由于喷涂在整个玻璃基板上的显影液浓度是相同的，这就导致在不同的位置处显影后得到的关键尺寸偏差会不同。以正性光刻胶为例，表现为:在显影后保留下来的光刻胶的密度高的地方，图形关键尺寸较设计值偏小(或偏薄)，反之，光刻胶关键尺寸较设计值偏大(或偏厚)。以上光刻显影装置存在的弊端，导致最后成品液晶面上不同图形设计密度的位置的显影效果存在差异或不均匀，从而对产品的成品率有直接影响。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种保证玻璃基板上不同位置处的显影效果均一性的光刻显影装置。本实用新型的光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使所述玻璃基板与所述喷涂装置相对移动的传送装置，所述喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个所述喷涂单元包括多个喷嘴，每个所述喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，所述控制器通过分别控制所述喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制所述喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。本实用 新型的光刻显影装置，其中，所述多个喷嘴分别通过管路与不同浓度的显影液的储存装置连接，所述管路上分别设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器电连接，所述控制器通过控制所述电磁阀的通断而控制所述喷嘴的开启与关闭。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述传送装置包括用于传送所述玻璃基板沿一运动路径运动的传动部件，所述喷涂装置固定于所述运动路径上，以使所述喷涂单元向所述玻璃基板喷涂显影液。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述多个喷涂单元沿垂直于所述玻璃基板的运动方向的方向排列于所述玻璃基板的运动路径上。本实用新型的光刻显影装置，其中，每一所述喷涂单元包括四个所述喷嘴，每一所述喷涂单元的四个所述喷嘴紧密排列在一起。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述光刻显影装置还包括驱动所述传动部件振动的振动驱动装置，与所述传动部件连接。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述传动部件包括用于运载所述玻璃基板的运载部件以及安装于所述运载部件的底部的用于承托所述运载部件的托板，所述振动驱动装置为振动电机，所述振动电机的输出轴与所述托板连接，以驱动所述托板沿与所述玻璃基板的运动方向的垂直的方向振动。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述运载部件为多个平行排列的传动辊，所述多个传动辊可旋转地设置于所述托板上，所述多个传动辊在电机的驱动下旋转，以传送所述玻璃基板。本实用新型的光刻显影装置，其中，所述光刻显影装置还包括固定于所述托板上的多个挡轮，所述多个挡轮分别位于所述玻璃基板的运动路线的两侧，对所述玻璃基板进行限位。本实用新型的光刻显影装置中的每个喷涂单元可以喷涂不同浓度显影液，这样在工作过程中，每个喷涂单元可以根据玻璃基板的不同位置以及显影时间向玻璃基板喷涂不同浓度的显影液，这样避免在玻璃基板不同的位置处显影后得到的关键尺寸偏差产生不同，由此保证玻璃基板上不同位置处的显影效果的均一性。
图1为本实用新型的光刻显影装置的结构示意图的立体图；图2为图1中喷涂装置的结构示意图的立体图；图3为本实用新型的光刻显影装置的结构示意图的主视图；图4为本实用新型的光刻显影装置中喷涂装置与控制器的连接示意图。
具体实施方式
本实用新型的光刻显影装置在玻璃基板上不同的地方，涂覆不同浓度的显影液，并在显影时增加对所涂覆显影液的振动来实现显影效果的均匀化。如图1、图2、图4所示，本实用新型的光刻显影装置，包括用于向玻璃基板I喷涂显影液的喷涂装置20以及用于使玻璃基板I与喷涂装置20相对移动的传送装置10，其中，喷涂装置20包括控制器4以及多个可以喷涂不同浓度显影液的喷涂单元2，每个喷涂单元2包括多个喷嘴3，每个喷嘴3用于喷涂单一浓度显影液。控制器4通过分别控制喷涂单元2的多个喷嘴3的开启与关闭控制喷涂单元2喷涂不同浓度的显影液。控制器4可以为单片机、PLC或计算机。当本实用新型的光刻显影装置工作时，控制器4控制每一个喷嘴3喷出的单一浓度的显影液的流量，以调配每个喷涂单元2喷涂显影液的浓度。[0023]本实用新型的光刻显影装置中的每个喷涂单元因为其本身包括多个用于喷涂单一浓度显影液喷嘴，则可以喷涂不同浓度显影液，这样在工作过程中，每个喷涂单元可以根据玻璃基板的不同位置以及显影时间向玻璃基板喷涂不同浓度的显影液，例如，在需要显影掉的光刻胶的密度较大位置喷涂浓度较大的显影液，在需要显影掉的光刻胶的密度较小位置喷涂浓度较小的显影液，这样避免在玻璃基板不同的位置处显影后得到的关键尺寸偏差产生不同，由此保证玻璃基板上不同位置处的显影效果的均一性。本实用新型的光刻显影装置，其中，多个喷嘴3分别通过管路与不同浓度的显影液的储存装置5连接，管路上分别设置有电磁阀6，电磁阀6与控制器4电连接，控制器4通过控制电磁阀6的通断控制喷嘴3的开启与关闭。当本实用新型的光刻显影装置工作时，控制器4可以根据玻璃基板的不同位置以及显影时间控制喷涂单元2喷涂不同浓度的显影液。工作人员可以事先根据玻璃基板I的运动位置、运动速度对控制器4进行编程，这样随着玻璃基板I的运动，控制器4自动控制每一个喷涂单元2喷涂不同浓度显影液。本实用新型的光刻显影装置，其中，传送装置10包括用于传送玻璃基板I沿一运动路径运动的传动部件，喷涂装置20固定于上述运动路径上，以使喷涂单元2向玻璃基板I喷涂显影液。本实用新型的光刻显影装置，其中，多个喷涂单元2沿垂直于玻璃基板I的运动方向的方向排列于玻璃基板I的运动路径上。本实用新型的光刻显影装置，其中，每一喷涂单元2包括四个喷嘴3，每一喷涂单元2的四个喷嘴4紧密排列在一起。每一喷涂单元2包括四个喷嘴3，每一喷嘴3喷涂单一浓度的显影液，这样控制器4通过分别控制四个喷嘴3喷出的单一浓度的显影液的流量来控制一个喷涂单元2喷涂显影液的浓度。结合图3所示，本实用新型的光刻显影装置，其中，光刻显影装置还包括驱动上述传动部件振动的振动驱动装置30,与上述传动部件连接。当本实用新型的光刻显影装置工作时，振动驱动装置30使玻璃基板I沿与玻璃基板I的运动方向的垂直的方向振动，这样有助于增强显影效果的均匀化。本实用新型的光刻显影装置，其中，上述传动部件包括用于运载玻璃基板的运载部件11以及安装于运载部件11的底部的用于承托运载部件的托板12，振动驱动装置30为振动电机，振动电机的输出轴与托板12连接，以驱动托板12沿与玻璃基板I的运动方向的垂直的方向振动。本实用新型的光刻显影装置，其中，运载部件11为多个平行排列的传动辊13，多个传动辊13可旋转的设置于托板12上，多个传动辊13在电机15的驱动下旋转，以传送玻
璃基板I。为防止振动驱动装置30驱动玻璃基板I振动的过程中，玻璃基板I向左右滑动，本实用新型的光刻显影装置还包括通过支架固定于托板12上的多个挡轮18，多个挡轮18分别位于玻璃基板I的运动路线的两侧，多个挡轮18的轴线均垂直于玻璃基板I的运动路线，当玻璃基板I运动时，多个挡轮18对玻璃基板I限位，防止其由传动辊13上滑脱。当本实用新型的光刻显影装置工作时，运载部件11带动玻璃基板I非匀速进行，且可前后方向运动。两方面结合加速显影液的均匀化。上述实施例仅为本实用新型的光刻显影装置的一种实现方案，在本实用新型的光刻显影装置的其他实施例中，可以灵活改变喷涂单元的数量、喷涂单元的排列方向、喷涂单元中喷嘴的数量、喷涂单元中喷嘴的排列方式以及振动驱动装置的位置，以适应不同条件的玻璃基板。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使所述玻璃基板与所述喷涂装置相对移动的传送装置，其特征在于，所述喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个所述喷涂单元包括多个喷嘴，每个所述喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，所述控制器通过分别控制所述喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制所述喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。
2.根据权利要求1所述的光刻显影装置，其特征在于，所述多个喷嘴分别通过管路与不同浓度的显影液的储存装置连接，所述管路上分别设置有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器电连接，所述控制器通过控制所述电磁阀的通断而控制所述喷嘴的开启与关闭。
3.根据权利要求2所述的光刻显影装置，其特征在于，所述传送装置包括用于传送所述玻璃基板沿一运动路径运动的传动部件，所述喷涂装置固定于所述运动路径上，以使所述喷涂单元向所述玻璃基板喷涂显影液。
4.根据权利要求3所述的光刻显影装置，其特征在于，所述多个喷涂单元沿垂直于所述玻璃基板的运动方向的方向排列于所述玻璃基板的运动路径上。
5.根据权利要求4所述的光刻显影装置，其特征在于，每一所述喷涂单元包括四个所述喷嘴，每一所述喷涂单元的四个所述喷嘴紧密排列在一起。
6.根据权利要求3-5任一项所述的光刻显影装置，其特征在于，所述光刻显影装置还包括驱动所述传动部件振动的振动驱动装置，与所述传动部件连接。
7.根据权利要求6所述的光刻显影装置，其特征在于，所述传动部件包括用于运载所述玻璃基板的运载部件以及安装于所述运载部件的底部的用于承托所述运载部件的托板，所述振动驱动装置为振动电机，所述振动电机的输出轴与所述托板连接，以驱动所述托板沿与所述玻璃基板的运动方向的垂直的方向振动。
8.根据权利要求7所述的光刻显影装置，其特征在于，所述运载部件为多个平行排列的传动辊，所述多个传动辊可旋转地设置于所述托板上，所述多个传动辊在电机的驱动下旋转，以传送所述玻璃基板。
9.根据权利要求8所述的光刻显影装置，其特征在于，所述光刻显影装置还包括固定于所述托板上的多个挡轮，所述多个挡轮分别位于所述玻璃基板的运动路线的两侧，对所述玻璃基板进行限位。
专利摘要本实用新型提供的光刻显影装置，包括用于向玻璃基板喷涂显影液的喷涂装置以及用于使玻璃基板与喷涂装置相对移动的传送装置，喷涂装置包括控制器以及多个可以喷涂不同浓度的显影液的喷涂单元，每个喷涂单元包括多个喷嘴，每个喷嘴用于喷涂单一浓度的显影液，控制器通过分别控制喷涂单元的每个喷嘴的开启与关闭而控制喷涂单元喷涂不同浓度的显影液。本实用新型的光刻显影装置中的每个喷涂单元可以喷涂不同浓度显影液，这样在工作过程中，每个喷涂单元可以根据玻璃基板的不同位置以及显影时间向玻璃基板喷涂不同浓度的显影液，这样避免在玻璃基板不同的位置处显影后得到的关键尺寸偏差产生不同，由此保证玻璃基板上不同位置处的显影效果的均一性。
文档编号G03F7/30GK202995258SQ201220734989
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月27日 优先权日2012年12月27日
发明者张治超, 孙亮, 郭总杰, 刘正, 赵海廷, 林承武 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司