一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架（1）、曝光箱（2）和装载箱（3），装载框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12），真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是：提高了曝光效率，装载工作方便、容易进行，能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。
【专利说明】一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。
【背景技术】
[0002]在FPC板制造工艺中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光显影、图像电镀极大工序。其中，在曝光显影工序中有一道外层曝光的工序，该工序使用一种手动曝光机。该手动曝光机包括一个玻璃台面，用以放置待曝光的FPC板，以及一个贴膜层，用以贴敷定位所述FPC板。玻璃台面与贴敷膜层之间，还设有抽气口，工作时，先将FPC板放置于所述玻璃台面上，再将贴敷膜层贴敷在所述FPC板的表面，然后通过所述抽气口抽气，开启光源，对待曝光的FPC板的下表面进行曝光。此装置仅能完成FPC板的单面曝光，对于需要双面曝光的FPC板需要进行两次曝光操作，效率低，耗时长。
[0003]并且，目前使用的曝光机一般通过目测凭经验估计腔体内的的真空度，误差大，且无法控制腔体内的真空度，可能会引起真空度抽气过度而导致玻璃盖板爆裂，或者由于真空度太低，空气残留过多，造成曝光不良。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种方便装载、提高曝光效率、具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置。
[0005]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架、以及依次连接为一体的曝光箱和装载箱，曝光箱和装载箱上均设置有用于安装装载框架的水平导轨，曝光箱位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源，所述的装载框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通过设置于后侧面上的合页连接为一体，上框架的底面上设置有上透光板，下框架的顶面上设置有容置上框架的凹槽，该凹槽的底面上设置有下透光板，下框架内部设置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之间的部分上设置有抽真空气孔，下框架上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头，抽真空接头通过抽真空通道与抽真空气孔连通，所述的下框架的左右两侧均设置有水平凸棱，下框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。
[0006]所述的上框架的前端面上安装有把手。
[0007]所述的上框架的前端面设置有凸块，下框架上设置有与凸块相配合的缺口，凸块的前端面与下框架的前端面相平齐，把手安装于凸块的前端面上。
[0008]本实用新型具有以下优点:本实用新型可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架的结构设计使得装载装置与曝光光源安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行。通过设置真空气压监控装置，从而能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图
[0010]图2为本实用新型的装载框架的俯视结构示意图
[0011]图3为图2沿A-A截面的剖视图
[0012]图4为本实用新型的下框架的剖视结构示意图
[0013]图5为本实用新型曝光时的结构示意图
[0014]图6为本实用新型真空气压监控装置的框图
[0015]图中，1-装载框架，2-曝光箱，3-装载箱，4-水平导轨A，5_水平导轨B，6_曝光光源，7-合页，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空气孔，12-抽真空接头，13-水平凸棱，14-把手，15-凸块，16-缺口，17-上框架，18-下框架。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
[0017]如图1所示，一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架1、以及依次连接为一体的曝光箱2和装载箱3，曝光箱2和装载箱3上均设置有用于安装装载框架I的水平导轨，曝光箱2内的水平导轨A4与装载箱3的水平导轨B5连接为连续的水平导轨，曝光箱2位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源6，如图2、图3、图4所示，所述的装载框架I包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通过设置于后侧面上的合页7连接为一体，上框架17的底面上设置有上透光板8，下框架18的顶面上设置有容置上框架17的凹槽9,该凹槽9的底面上设置有下透光板10,上框架17和下框架18均为由四个边框围成的矩形框架，透光板的四个边缘均与对应侧的边框紧密固定连接，下框架18内部设置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之间的部分上设置有抽真空气孔11，下框架18上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头12，抽真空接头12通过抽真空通道与抽真空气孔11连通，所述的下框架18的左右两侧均设置有水平凸棱13，下框架18的水平凸棱13滑动安装于曝光箱2和装载箱3的水平导轨内，
[0018]如图6所示，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头12通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架18的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。
[0019]所述的凹槽9仅设置于非安装合页7的边框上，为了提高气密性，上框架17在安装合页7的边框的下表面设置有密封条，上框架17在非安装合页7的边框的凹槽9的侧面设置有密封条；为了进一步提高气密性，下框架18在安装合页7的边框的上表面设置有密封条，下框架18在非安装合页7的边框的侧面设置有密封条，所述的抽真气孔设置于下框架18非安装合页7的边框上。
[0020]所述的上框架17的前端面上安装有把手14。
[0021]所述的上框架17的前端面设置有凸块15，下框架18上设置有与凸块15相配合的缺口 16，凸块15的前端面与下框架18的前端面相平齐，把手14安装于凸块15的前端面上。
[0022]本实用新型的工作过程如下:通过把手14翻开上框架17，上框架17绕合页7旋转打开，将待曝光的贴有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后盖合上框架17，由真空泵通过抽真空气孔11对下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，由上透光板8和下透光板10压紧薄板，此时，操作者可使用滚筒、压板等装置在上透光板8上滚压或推压，以将下透光板10、薄板、上透光板8之间的空气完全抽出，气压传感器实时监测抽真空通道内的气压变化，并将感应信号传输至控制器，当抽真空通道内的气压达到设定值时，控制器控制关闭电磁阀、真空泵停止工作，此时便可推动下框架18沿导轨滑动，整个装载框架I进入曝光箱2，由分别位于装载框架I上部和下部的光源对装载于上透光板8和下透光板10之间的薄板的两个表面同时进行曝光，如图5所示。在此过程中，若气压传感器监测到抽真空通道内的气压变化至未达到设定值时，控制器控制真空泵开始工作、打开电磁阀，对下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，保证下透光板10和上透光板8之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。
[0023]本实用新型可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架I的结构设计使得装载装置与曝光光源6安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行，同时能够满足真空条件的工况需求。本实用新型通过设置真空气压监控装置，从而能够准确的检测下透光板10和上透光板8之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板10和上透光板8之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。
【权利要求】
1.一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于:它包括真空气压监控装置、装载框架(I)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3)，曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(I)的水平导轨，曝光箱(2)位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源(6)，所述的装载框架(I)包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体，上框架(17)的底面上设置有上透光板(8)，下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9)，该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10)，下框架(18)内部设置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11)，下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12)，抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通，所述的下框架(18)的左右两侧均设置有水平凸棱(13)，下框架(18)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头(12)通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架(18)的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面上安装有把手(14)。
3.根据权利要求1所述的一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面设置有凸块(15)，下框架(18)上设置有与凸块(15)相配合的缺口( 16)，凸块(15)的前端面与下框架(18)的前端面相平齐，把手(14)安装于凸块(15)的前端面上。
【文档编号】G03F7/20GK203799175SQ201420218725
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年4月30日 优先权日:2014年4月30日
【发明者】刘维军, 郭宝贵 申请人:遂宁市维海电子科技有限公司