气浮平台以及自动光学检查设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种气浮平台，包括若干间隔排列的气浮带以及支撑所述气浮带的支撑装置，所述气浮带朝向承载物的一侧设置有若干气孔，其中，至少部分气浮带的两侧设置有保护装置，所述保护装置的顶面高于所述气浮带朝向所述承载物的表面。如有异常情况，玻璃基板首先与气浮带两侧的保护装置发生接触，可避免其与气浮带相互吸附而引起玻璃基板或气浮带的损伤。
【专利说明】气浮平台以及自动光学检查设备
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光机电【技术领域】，具体涉及一种气浮平台及包含所述气浮平台的自动光学检查设备。
【背景技术】
[0002]薄膜晶体管液晶显示器的阵列基板经过复杂的工艺流程制造，基板上线路容易形成断路和短路现象，检测出基板上线路的断路和短路并进行维修可提高产品的良率，加快设备的检测速度和减少设备的硬件结构都可以达到提高检测效率和节约成本的目的。
[0003]自动光学检查(八1:6(1 0^)1:1081八01)设备作为检测基板缺陷的工具被广泛运用在显示屏生产行业中。通常，八01设备采用气浮平台来进行玻璃基板的承载与运输，采用气浮平台的方式实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力，提闻了生广效率。
[0004]具体如图1和图2所示，现有的气浮平台包括气浮带1以及支撑该气浮带1的支撑装置2。为了节约设备开发成本，气浮带1通常设计成中空的条状结构，若干气浮带1阵列排布，每一气浮带1下方设置一支撑装置2，若干气浮带1共同支撑玻璃基板3。通过气浮带1上的气孔排出空气，使气浮带1与承载物如玻璃基板3之间形成空气膜5，将玻璃基板3浮起，达到非接触承载与无摩擦传输的目的。
[0005]然而，实际使用中发现，当气浮平台上承载有大尺寸的玻璃基板3时，在镂空区即两个气浮带1之间的空隙处，玻璃基板3会有一定的弯曲，并且本身玻璃基板3距离气浮平台的高度非常小(通常为50 9 III?150 9 111)，很容易因为静电或者其他问题如玻璃背部存有水汽等，导致玻璃基板3与气浮平台相互吸附，从而造成对玻璃基板3的划伤与污染，严重地，直接导致玻璃基板3破碎或者气浮平台损伤，严重影响产品的质量和成品率以及生产效率。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于解决现有的气浮平台的气浮带与承载物如玻璃基板相互吸附导致承载物或者气浮平台受损的问题。
[0007]为解决上述问题，本实用新型提供一种气浮平台，包括若干间隔排列的气浮带以及支撑所述气浮带的支撑装置，所述气浮带朝向承载物的一侧设置有若干气孔，其中，至少部分气浮带的两侧设置有保护装置，所述保护装置的顶面高于所述气浮带朝向所述承载物的表面。
[0008]可选的，在所述的气浮平台中，所述保护装置包括支架以及设置于所述支架上并与所述支架转动连接的被动滚轮。
[0009]可选的，在所述的气浮平台中，所述支架固定于所述气浮带上。
[0010]可选的，在所述的气浮平台中，所述支架固定于所述支撑装置上。
[0011]可选的，在所述的气浮平台中，所述气浮带为条状中空结构，每一气浮带下方设置一支撑装置，所述若干气浮带阵列排布。
[0012]可选的，在所述的气浮平台中，所述若干气浮带排布为长方形阵列，长方形阵列边缘的气浮带仅靠向长方形阵列中心的一侧设置有保护装置，其余气浮带的两侧均设置有所述保护装置。
[0013]可选的，在所述的气浮平台中，所述气浮带的一侧边上设置有压缩空气入口。
[0014]可选的，在所述的气浮平台中，所述气浮平台还包括一气动元件，所述气动元件通过所述气浮带的压缩空气入口与所述气浮带连通。
[0015]可选的，在所述的气浮平台中，所述承载物是玻璃基板。
[0016]根据本实用新型的另一面，还提供一种自动光学检查设备，包括如上所述的气浮
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[0017]与现有技术相比，本实用新型在气浮平台的部分或者全部气浮带两侧增加了保护装置，所述保护装置的顶面高于所述气浮带朝向所述承载物的表面。如有异常情况，承载物如玻璃基板朝气浮带方向弯曲时，玻璃基板首先与气浮带两侧的保护装置发生接触，可避免玻璃基板与气浮带相互吸附而引起玻璃基板或气浮带的损伤，有利于提高产品的质量和成品率以及生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为现有的气浮平台的立体结构图；
[0019]图2为现有的气浮平台的局部纵向切面图；
[0020]图3为本实用新型气浮平台的局部纵向切面图。
【具体实施方式】
[0021]以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0022]如图3所示，本实用新型提供一种气浮平台，所述气浮平台包括若干间隔排列的气浮带10以及用以支撑所述气浮带10的支撑装置20，所述气浮带10朝向承载物的一侧设置有若干气孔，所述全部或者部分气浮带10两侧设置有保护装置40，所述保护装置40的顶面高于所述气浮带10朝向承载物一侧的表面。
[0023]采用本实用新型的气浮平台，通过气浮带10上的气孔排出空气，使气浮带10与承载物如玻璃基板30之间形成空气膜50，将玻璃基板30浮起，达到非接触承载与无摩擦传输的目的，也就是说，正常情况下，依靠向上的合适的气压使得玻璃基板30不与气浮带10接触。如有异常情况发生，例如静电吸附、玻璃背面残留水汽等情况时，玻璃基板30朝气浮带10方向弯曲时，玻璃基板30首先与气浮带10两侧的保护装置40发生接触，可避免其与气浮带10相互吸附而引起玻璃基板30或气浮带10的损伤，有利于提高产品的质量和成品率以及生产效率。
[0024]优选实施例中，所述保护装置40包括支架41以及设置于所述支架41上并与所述支架41转动连接的被动滚轮42。所述支架41固定于所述气浮带10或者支撑装置20上，可以采用公知的固定方式固定所述支架41，例如将支架41粘附于所述气浮带10上，或者，通过卡具将支架41固定于气浮带10上，再或者，通过卡具将支架41固定于支撑装置20上，本实用新型不予限定。所述被动滚轮42与所述支架41转动连接，若承载物如玻璃基板30移动时，所述被动滚轮42可以随之转动，可以最大程度的减少承载物与被动滚轮42的摩擦力。
[0025]如图3所示，所述气浮带10为条状中空结构，若干气浮带10阵列排布，每一气浮带10下方设置一支撑装置20，若干气浮带10共同支撑玻璃基板30。优选的，所述若干气浮带10排布为长方形阵列，长方形阵列边缘的气浮带10仅是靠向长方形阵列中心的一侧设置有保护装置40，而其余气浮带10的两侧均设置有所述保护装置40，如此可以更加全面的支撑承载物。当然，所述气浮带10的形状并不局限于条形，其也可以是方形或根据承载物形状制成特殊形状。
[0026]此外，也可以仅在玻璃基板30容易发生弯曲的区域设置保护装置40，而不需要在所有的气浮带10两侧均设置保护装置40，如此可以节省成本。另外，本气浮平台可根据玻璃基板30幅面的大小将若干气浮带10组装成气浮平台，且可以根据不同用途设计出不同精度等级的气浮带10或采用不同种类的气浮带10，若干气浮带10排列的形状也可根据承载物的形状变换，例如排列成正方形、圆形或者其它形状。气浮带10上的气孔大小的由浮起承载物如玻璃基板30的大小、重量以及上浮量计算决定。
[0027]进一步的，所述气浮平台还包括一气动元件(图中未示出)，所述气动元件通过气浮带10 —侧开设的压缩空气入口与气浮带10的腔体连通，气动元件用于提供洁净的压缩空气，并能够控制压缩空气的流速、流量，以较好的支撑承载物。较佳的，所述气浮带10的腔体内还可以设置有若干气浮块，气动元件接入腔体为其供气，再由腔体供气给各个气浮块，使各气浮块气压、流量一致，可以保证玻璃基板30受力均匀。
[0028]继续参考图3，所述支撑装置20用于支撑气浮带10和调整气浮平台的高度。支撑装置20上设置有升降螺钉和紧固螺钉(图中未示出)，通过调节升降螺钉可调整气浮平台整体的高度，以便将气浮平台的若干个气浮带10的上表面调整到同一平面，紧固螺钉可用于将整体紧固。
[0029]需要说明的是，尽管上文以承载物是玻璃基板30详细介绍了气浮平台的功能，但是，所述气浮平台不仅可以用于平板显示行业及太阳能电池行业玻璃基板30的承载与运输，还可以用于其他面积或者尺寸较薄较大容易发生弯曲现象需要得到支撑的承载物的承载与运输。
[0030]根据本实用新型的另一面，还提供一种自动光学检查(Automated OpticalInspect1n, Α0Ι)设备，所述包括自动光学检查设备采用如上所述的气浮平台。正常情况下，玻璃基板30运动过程中，依靠向上的合适的气压使得玻璃基板30不与气浮带10及被动滚轮42接触，如有异常发生，例如静电吸附、玻璃背面残留水汽等，玻璃基板30朝气浮带10方向弯曲时，其首先与气浮带10两侧的保护装置40发生接触，可避免其与气浮带10相互吸附而引起玻璃基板30或气浮带10的损伤。
[0031 ] 所述自动光学检查设备还包括光源装置以及影像感测装置，光源装置用以产生光线以照射于承载物的待检表面，影像感测装置接收该承载物的反射光线以产生检测影像。本实用新型并不涉及上述公知部分的改进，此处不再赘述。
[0032]显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种气浮平台，包括若干间隔排列的气浮带以及支撑所述气浮带的支撑装置，所述气浮带朝向承载物的一侧设置有若干气孔，其特征在于，至少部分气浮带的两侧设置有保护装置，所述保护装置的顶面高于所述气浮带朝向所述承载物的表面。
2.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述保护装置包括支架以及设置于所述支架上并与所述支架转动连接的被动滚轮。
3.如权利要求2所述的气浮平台，其特征在于，所述支架固定于所述气浮带上。
4.如权利要求2所述的气浮平台，其特征在于，所述支架固定于所述支撑装置上。
5.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮带为条状中空结构，所述若干气浮带阵列排布，每一气浮带下方设置一支撑装置。
6.如权利要求5所述的气浮平台，其特征在于，所述若干气浮带排布为长方形阵列，长方形阵列边缘区域的气浮带仅靠向长方形阵列中心的一侧设置有保护装置，长方形阵列中心区域的气浮带的两侧均设置有所述保护装置。
7.如权利要求1所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮带的一侧边上设置有压缩空气入口。
8.如权利要求7所述的气浮平台，其特征在于，所述气浮平台还包括一气动元件，所述气动元件通过所述气浮带的压缩空气入口与所述气浮带连通。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的气浮平台，其特征在于，所述承载物是玻璃基板。
10.一种自动光学检查设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的气浮T D O
【文档编号】G02F1/13GK204155034SQ201420614208
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年10月22日 优先权日:2014年10月22日
【发明者】施文峰 申请人:昆山国显光电有限公司