1.一种高精度显微镜装置,包括支座、目镜、光学连接件、物镜、载物平台、用于移动所述载物平台的驱动组件,所述目镜通过所述光学连接件连接所述物镜,所述光学连接件连接所述支座,其特征在于,还包括用于控制所述驱动组件的控制组件,所述驱动组件包括:
X轴驱动组件,所述X轴驱动组件活动连接所述载物平台,用于沿X轴方向移动所述载物平台;
Y轴驱动组件,所述Y轴驱动组件活动连接所述载物平台,用于沿Y轴方向移动所述载物平台;
Z轴驱动组件,所述Z轴驱动组件活动连接所述光学连接件,用于在Z轴方向移动与所述光学连接件连接的所述物镜;
光栅尺组件,所述光栅尺组件用于检测所述载物平台在X轴方向和Y轴方向上的移动以及所述物镜在Z轴方向上的移动;
控制组件,所述控制组件连接所述X轴驱动组件、所述Y轴驱动组件、所述Z轴驱动组件以及所述光栅尺组件,用于根据所述光栅尺组件的检测结果控制所述X轴驱动组件、所述Y轴驱动组件、所述Z轴驱动组件。
2.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述高精度显微镜装置还包括:
面相机,所述面相机连接所述支座上,所述面相机还连接所述目镜组件和所述物镜组件,所述面相机用于拍摄放置在所述载物平台的切片。
3.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述X轴驱动组件包括:
第一导轨,所述第一导轨沿X轴方向设置,所述载物平台滑动设置于所述第一导轨上;
第一电机,所述第一电机用于驱动所述载物平台在所述第一导轨上沿X轴方向移动,所述第一电机上设有第一动力输出端,所述第一动力输出端连接所述载物平台。
4.根据权利要求3所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第一电机为直线电机。
5.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述Y轴驱动组件包括:
第二导轨,所述第二导轨沿Y轴方向设置,所述载物平台滑动设置于所述第二导轨上;
第二电机,所述第二电机用于驱动所述载物平台在所述第二导轨上沿Y轴方向移动,所述第二电机上设有第二动力输出端,所述第二动力输出端连接所述载物平台。
6.根据权利要求5所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第二电机为直线电机。
7.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述Z轴驱动组件包括:
第三导轨,所述第三导轨沿Z轴方向设置,所述光学连接件滑动设置于所述第三导轨上;
第三电机,所述第三电机用于驱动与所述光学连接件连接的所述物镜在所述第三导轨上沿Z轴方向移动,所述第三电机上设有第三动力输出端,所述第三动力输出端连接所述光学连接件。
8.根据权利要求7所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第三电机为直线电机。
9.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述光栅尺组件包括:
第一光栅尺,所述第一光栅尺用于检测所述载物平台在X轴方向上的移动;
第二光栅尺,所述第二光栅尺用于检测所述载物平台在Y轴方向上的移动;
第三光栅尺,所述第三光栅尺用于检测所述目镜、所述光学连接件以及所述物镜在Z轴方向上的移动。
10.根据权利要求9所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第一光栅尺包括:
第一标尺光栅,所述第一标尺光栅连接在所述载物平台上;
第一光栅读数头,所述第一光栅读数头连接在所述支座上且与所述第一标尺光栅位置对应。
11.根据权利要求9所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第二光栅尺包括:
第二标尺光栅,所述第二标尺光栅连接在所述载物平台上;
第二光栅读数头,所述第二光栅读数头连接在所述支座上且与所述第二标尺光栅位置对应。
12.根据权利要求9所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述第三光栅尺包括:
第三标尺光栅,所述第二标尺光栅连接在所述物镜上;
第三光栅读数头,所述第二光栅读数头连接在所述支座上且与所述第三标尺光栅位置对应。
13.根据权利要求1所述的高精度显微镜装置,其特征在于,所述控制组件包括:
单片机控制板,所述单片机控制板连接所述X轴驱动组件、所述Y轴驱动组件、所述Z轴驱动组件以及所述光栅尺组件;
PC控制端,所述PC控制端连接所述单片机控制板。