一种通用掩模夹具的制作方法

本实用新型涉及光刻技术领域，具体为一种通用掩模夹具。

背景技术：

在半导体制造中，许多芯片工艺步骤采用光刻技术，用于这些步骤的图形"底片"称为掩模(也称作"掩模")，其作用是在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。

掩模夹具的出现大大方便了掩模的固定，但是目前阶段的掩模夹具，存在诸多的不足之处，在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用，更换比较麻烦，实用价值低，为此，我们提出一种通用掩模夹具。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷的通用掩模夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本实用新型通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

优选的，所述夹持装置包括弹簧，所述弹簧设有多个，均匀分布在底座上，所述底座上设有滑槽，所述滑槽设有多个，均匀分布在底座上，所述弹簧一端固定在滑槽侧壁上，另一端设有滑块，所述滑块与滑槽滑动连接，所述滑块远离滑槽的一侧设有支杆，所述支杆远离滑块的一端设有用于放置掩模的放置结构，可以对不同大小的掩模进行夹持。

优选的，所述放置结构包括固定台，所述固定台固定在支杆远离滑块的一端上，所述固定台靠近放置台的一侧设有放置槽，所述放置槽内设有凹槽，所述凹槽内设有用于夹紧掩模的夹紧装置，用于放置掩模。

优选的，所述夹紧装置包括伸缩杆，所述伸缩杆一端与凹槽顶部固定，另一端设有抵块，所述伸缩杆上穿设有压簧，所述压簧一端固定在凹槽顶部上，另一端与抵块固定，可以对掩模的四角进行固定。

优选的，所述支杆远离放置台的一侧设有斜台，起到加固的作用。

与传统技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型整体结构俯视图

图3为图1中a处放大图；

图4为图1中b处放大图。

图中：1-底座；2-放置台；3-掩模；4-夹持装置；5-弹簧；6-滑槽；7-滑块；8-支杆；9-放置结构；10-固定台；11-放置槽；12-凹槽；13-夹紧装置；14-伸缩杆；15-抵块；16-压簧；17-斜台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，图示中的一种通用掩模夹具，包括底座1，底座1上设有放置台2，所述放置台2上设有掩模3，所述底座1上设有用于夹持不同大小掩模3的夹持装置4，通过设有夹持装置4，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模3需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模3通用的问题，在夹持不同大小的掩模3时无需更换夹具，方便快捷。

夹持装置4包括弹簧5，所述弹簧5设有多个，均匀分布在底座1上，所述底座1上设有滑槽6，所述滑槽6设有多个，均匀分布在底座1上，所述弹簧5一端固定在滑槽6侧壁上，另一端设有滑块7，所述滑块7与滑槽6滑动连接，所述滑块7远离滑槽6的一侧设有支杆8，弹簧5处于松弛状态时，支杆8抵在放置台2上；

支杆8远离滑块7的一端设有用于放置掩模3的放置结构9，所述放置结构9包括固定台10，所述固定台10固定在支杆8远离滑块7的一端上，所述固定台10靠近放置台2的一侧设有放置槽11，所述放置槽11内设有凹槽12，放置槽11为l形，可以将掩模3的四角很好的卡住；

凹槽12内设有用于夹紧掩模3的夹紧装置13，所述夹紧装置13包括伸缩杆14，所述伸缩杆14一端与凹槽12顶部固定，另一端设有抵块15，所述伸缩杆14上穿设有压簧16，所述压簧16一端固定在凹槽12顶部上，另一端与抵块15固定，压簧16处于松弛状态时，抵块15贴合在支杆8上部；

支杆8远离放置台2的一侧设有斜台17，可以对支杆8进行加固，防止发生倾倒。

工作原理：工作人员通过滑块7在滑槽6内滑动来拉动支杆8外移，从而将掩模3放置在放置台2上，将掩模3的四角放置在放置槽11内，此时通过抬起抵块15将掩模3的四角放置在凹槽12内，松开抵块15，抵块15在压簧16的弹力作用下将掩模3的四角压紧，实现对不同大小掩模3的夹紧固定。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种通用掩模夹具，包括底座(1)，所述底座(1)上设有放置台(2)，所述放置台(2)上设有掩模(3)，其特征在于：所述底座(1)上设有用于夹持不同大小掩模(3)的夹持装置(4)。

2.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述夹持装置(4)包括弹簧(5)，所述弹簧(5)设有多个，均匀分布在底座(1)上，所述底座(1)上设有滑槽(6)，所述滑槽(6)设有多个，均匀分布在底座(1)上，所述弹簧(5)一端固定在滑槽(6)侧壁上，另一端设有滑块(7)，所述滑块(7)与滑槽(6)滑动连接，所述滑块(7)远离滑槽(6)的一侧设有支杆(8)，所述支杆(8)远离滑块(7)的一端设有用于放置掩模(3)的放置结构(9)。

3.根据权利要求2所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述放置结构(9)包括固定台(10)，所述固定台(10)固定在支杆(8)远离滑块(7)的一端上，所述固定台(10)靠近放置台(2)的一侧设有放置槽(11)，所述放置槽(11)内设有凹槽(12)，所述凹槽(12)内设有用于夹紧掩模(3)的夹紧装置(13)。

4.根据权利要求3所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述夹紧装置(13)包括伸缩杆(14)，所述伸缩杆(14)一端与凹槽(12)顶部固定，另一端设有抵块(15)，所述伸缩杆(14)上穿设有压簧(16)，所述压簧(16)一端固定在凹槽(12)顶部上，另一端与抵块(15)固定。

5.根据权利要求3所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述支杆(8)远离放置台(2)的一侧设有斜台(17)。

技术总结
本实用新型公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本实用新型通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

技术研发人员：华卫群;尤春;刘维维;杨东海;顾梦星;刘浩
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2020.10.31
技术公布日：2021.05.25