液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法。
【背景技术】
[0002] 目前，低温水系正胶剥离液，透明易挥发性液体，易燃，密度（25°C)约为1.0g/ml。 铝膜水系光阻剥离液主要用于FPD (Flat Panel Display，平板显示器）面板生产的光阻剥 离，其使用工艺温度为80°C左右；目前正胶剥离液主要由乙醇胺（MEA)、二甲基亚砜（DMS0) 和超纯水组成，该产品主要存在以下几点缺点：
[0003] 1)用该低温水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击， 导致产品良率降低；
[0004] 2)该低温水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高，需加热到80°C左右，能耗
[0005] 较大；
[0006] 3)乙醇胺（MEA)和二甲基亚砜（DMS0)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。
[0007] 因此有必要提供一种改良的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，提高液晶面板制 造工艺中的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的 对人体和环境造成的损害。
【发明内容】
[0008] 本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种液晶面板制造工艺中的铝膜水 系光阻剥离液及其制备方法。
[0009] 本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：一种液晶面板制造工艺中的铝膜水 系光阻剥离液，包括以下重量百分比的组合物：
[0012] 其余为水。
[0013] 进一步的，所述N-甲基吡咯烷酮的浓度为98% (重量百分比）；所述异丙酰胺的 浓度为75% (重量百分比）；所述二甲氧基苯乙胺的浓度为99. 5% (重量百分比）；所述乙 烯基正丁醚的浓度为85% (重量百分比）；所述异丙基正丙硫醚的浓度为99.5% (重量百 分比）；所述乙二醇单异丙基醚的浓度为89. 5% (重量百分比）。
[0014] 一种液晶面板制造工艺中铝膜水系光阻剥离液的制备方法，包括如下步骤：
[0015] 先通过自动上料系统将预定质量的N-甲基吡咯烷酮和水加入到反应釜中，并在 常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：15~25分钟，搅拌的速度为65-85转/分；
[0016] 然后继续通过自动上料系统以次加入异丙酰胺、二甲氧基苯乙胺、乙烯基正丁 醚、异丙基正丙硫醚、乙二醇单异丙基醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量为 11 %~16%，异丙酰胺的重量百分含量为20%~25%，二甲氧基苯乙胺的重量百分含量为 0. 2%~2. 5%，乙烯基正丁醚的重量百分含量为12%~17%，异丙基正丙硫醚的重量百 分含量5%~9%，乙二醇单异丙基醚的重量百分含量为7%~13%时停止上料，再次搅拌 15~25分钟，搅拌的速度为70-90转/分；
[0017] 最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0. 3um过滤器循环过滤2~4小时，再经 0. 15 ym的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即得铝膜水系光阻 剥离液。
[0018] 本发明的有益效果：本发明提供的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，能够提高 液晶面板产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造 成的对人体和环境造成的损害。
【具体实施方式】
[0019] 下面通过实施例进一步描述本发明，但不限于所举的实施例。
[0020] 本发明涉及一种液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液，包括以下重量百分 比的组合物：
[0021] N-甲基吡略烷酮 11 %~丨6%, 异丙酰胺 20%~25%; 二甲氧基苯乙胺 0.2%~2.5%; 乙烯基正丁醚 12%~17%; 异丙基正丙硫醚 5%~9%; 乙二醇单异丙基醚 7%~13%;
[0022] 其余为水。
[0023] 其中，选用浓度为98% (重量百分比）的N-甲基吡咯烷酮，浓度为75% (重量百 分比）的异丙酰胺，浓度为99. 5% (重量百分比）的二甲氧基苯乙胺；浓度为85% (重量 百分比）的乙烯基正丁醚，浓度为99. 5% (重量百分比）的异丙基正丙硫醚，以及浓度为 89.5% (重量百分比）的乙二醇单异丙基醚。
[0024] 实施例1、称取N-甲基吡咯烷酮11kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有5kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：15分钟，搅拌的速度为65转/分；以 次加入异丙酰胺20kg，二甲氧基苯乙胺0. 2kg，乙烯基正丁醚12kg，异丙基正丙硫醚5kg，乙 二醇单异丙基醚7kg，然后加水至100kg，再次搅拌15分钟后，搅拌的速度为70转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤2小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即制得铝膜水系光阻剥离液。
[0025] 实施例2、称取N-甲基吡咯烷酮12kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有8kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：18分钟，搅拌的速度为65转/分；以 次加入异丙酰胺21kg，二甲氧基苯乙胺0. 5kg，乙烯基正丁醚13kg，异丙基正丙硫醚6kg，乙 二醇单异丙基醚8kg，然后加水至100kg，再次搅拌18分钟后，搅拌的速度为70转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤2小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即制得铝膜水系光阻剥离液。
[0026] 实施例3、称取N-甲基吡咯烷酮13kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有10kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：20分钟，搅拌的速度为70转/分；以 次加入异丙酰胺22kg，二甲氧基苯乙胺0. 8kg，乙烯基正丁醚14kg，异丙基正丙硫醚7kg，乙 二醇单异丙基醚l〇kg，然后加水至100kg，再次搅拌20分钟后，搅拌的速度为75转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤3小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即制得铝膜水系光阻剥离液。
[0027] 实施例4、称取N-甲基吡咯烷酮14kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有12kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：20分钟，搅拌的速度为75转/分；以 次加入异丙酰胺22kg，二甲氧基苯乙胺1. 6kg，乙烯基正丁醚15kg，异丙基正丙硫醚7kg，乙 二醇单异丙基醚11kg，然后加水至100kg，再次搅拌20分钟后，搅拌的速度为80转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤3小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
[0028] 实施例5、称取N-甲基吡咯烷酮15kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有15kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：25分钟，搅拌的速度为70转/分；以 次加入异丙酰胺23kg，二甲氧基苯乙胺2. 0kg，乙烯基正丁醚15kg，异丙基正丙硫醚8kg，乙 二醇单异丙基醚12kg，然后加水至100kg，再次搅拌25分钟后，搅拌的速度为80转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤4小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
[0029] 实施例6、称取N-甲基吡咯烷酮16kg，在搅拌下通过自动上料机加入到装有15kg 水的反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为：25分钟，搅拌的速度为85转/分；以 次加入异丙酰胺25kg，二甲氧基苯乙胺2. 5kg，乙烯基正丁醚17kg，异丙基正丙硫醚9kg，乙 二醇单异丙基醚13kg，然后加水至100kg，再次搅拌25分钟后，搅拌的速度为90转/分；开 动隔膜泵，将制得的混合物先经过〇. 3um过滤器循环过滤4小时，再经0. 15 y m的过滤器过 滤，以去除混合物中粒径大于0. 15 ym的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
[0030] 综上所述，本发明提供的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，不改变客户使用效 果的前提下，通过配方的改变，提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了 原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害，本方法能适用于大规模生产。具 体优点如下：1)本发明的铝膜水系光阻剥离液在进行光阻剥离时不会攻击金属层；2)本发 明的低温型水系正胶剥离液工艺温度条件为60°C，低于原来的工艺温度80°C，能耗降低； 3)本发明的铝膜水系光阻剥离液中的组份对人体健康危害和环境污染小；4)采用微乳技 术：采用微乳化技术，加入特殊添加剂，产品在乳化后形成了各向同性和较好的分散性，使 产品在使用过程中能够有效去除光阻。同时采用新的配方如用异丙酰胺替代乙醇胺，二甲 氧基苯乙胺代替二甲基亚砜，使该产品达到低毒，绿色环保，环境友好的目的。
[0031] 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和 原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种液晶面板制造工艺中的侣膜水系光阻剥离液，其特征在于，包括w下重量百分 比的组合物：2. 如权利要求1所述的液晶面板制造工艺中的侣膜水系光阻剥离液，其特征在于，所 述N-甲基化咯烧酬的浓度为98% (重量百分比）；所述异丙酷胺的浓度为75% (重量百 分比）；所述二甲氧基苯己胺的浓度为99. 5% (重量百分比）；所述己烯基正了離的浓度为 85% (重量百分比）；所述异丙基正丙硫離的浓度为99. 5% (重量百分比）；所述己二醇单 异丙基離的浓度为89. 5% (重量百分比）。3. -种如权利要求1或2所述的液晶面板制造工艺中的侣膜水系光阻剥离液的制备方 法，其特征在于，包括如下步骤： 先通过自动上料系统将预定质量的N-甲基化咯烧酬和水加入到反应蓋中，并在常温、 常压下充分揽拌，揽拌时间为；15~25分钟，揽拌的速度为65-85转/分； 然后继续通过自动上料系统W次加入异丙酷胺、二甲氧基苯己胺、己烯基正了離、异 丙基正丙硫離、己二醇单异丙基離和水，使得N-甲基化咯烧酬的重量百分含量为11%~ 16%，异丙酷胺的重量百分含量为20 %~25%，二甲氧基苯己胺的重量百分含量为 0. 2%~2. 5%，己烯基正了離的重量百分含量为12%~17%，异丙基正丙硫離的重量百 分含量5%~9%，己二醇单异丙基離的重量百分含量为7%~13%时停止上料，再次揽拌 15~25分钟，揽拌的速度为70-90转/分； 最后开动隔膜累，将制得的混合物先经过0. 3um过滤器循环过滤2~4小时，再经 0. 15ym的过滤器过滤，W去除混合物中粒径大于0. 15ym的有害粒子，即得侣膜水系光阻 剥离液。
【专利摘要】本发明公布了一种液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，其中，所述铝膜水系光阻剥离液括以下重量百分比的组合物：N-甲基吡咯烷酮11％～16％；异丙酰胺20％～25％；二甲氧基苯乙胺0.2％～2.5％；乙稀基正丁醚12％～17％；异丙基正丙硫醚5％～9％；乙二醇单异丙基醚7％～13％；其余为水。本发明提供的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，能够提高液晶面板产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
【IPC分类】G03F7/42
【公开号】CN104932211
【申请号】CN201510296596
【发明人】殷福华, 邵勇, 朱龙
【申请人】江阴江化微电子材料股份有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年6月2日