一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种滤光片的锻膜方法，尤其是设及一种电焊护目镜滤光片的锻膜方 法。
【背景技术】
[000引公告号为CN2486990,名为"硬膜型电焊护目滤光片"的中国专利公开了一种电焊 护目滤光片的膜系结构，但是在实际使用过程中发现，该膜层与基片的附着力不佳，特别是 在恶劣环境下，如高温环境或低温环境下，膜层容易发生脱落，大大影响了护目镜的护目效 果。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种电焊护目镜滤光片的锻膜方 法，对应用在恶劣环境条件下，有效提高膜层的附着力。
[0004] 本发明的目的是该样实现的：
[0005] 本发明的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，包括W下步骤：
[0006] (1)切割基片，使基片成型；
[0007] (2)锻前对基片进行超声波清洗；
[000引 做电焊护目镜滤光片的膜层的锻制；使用的膜料为氧化侣、银和硫化锋，膜料的 预烙为采用=个相蜗逐次预烙，锻膜方式采用电子束锻膜，锻制过程采用两种过程，首先是 上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；
[0009] (4)检测环节；采用晶振法监控；
[0010] 通过上述的过程制成成品滤光片。
[0011] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（2)中的超声波清洗包括 W下步骤：
[0012] 对一号清洗槽加入2化纯水与500g草酸，控制药液温度45°C±2 °C对S号清洗槽 加入2化纯水与500g活性剂，控制药液温度45°C±2°C，对五号与六号槽各加入6化纯水 与4升C15清洗剂，控制药液温度45°C±2°C;
[001引二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用 50°C±2°C纯水漂洗；
[0014] 十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60°C±2°C，十=、十四号槽热风烘干，温度 65°C±2°C，十五号槽常温去离子烘干；
[0015] 将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序 依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；
[0016] 超声波的功率为700W;
[0017] 频率值的设定为28K监~40K监。
[0018] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（3)中，采用S个相蜗进行 逐次预烙，其中电子束技术参数设定如下：
[0019]
[0020] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（3)中，=种膜料沉积过程 中，电子束的技术参数如下：
[0021]
[0022] 现有生产工艺中硫化锋、银该两种材料是用电阻蒸发方式制成的，电阻蒸发不足 之处是功率小对膜料的加温不够（功率电流400A)，由此造成了膜层与基片的附着力不足， 本发明锻膜方法将硫化锋、银该两种材料采用电子束蒸发方式制成的，电子束的优点是对 膜料扫描功率高（局部温度800°C)，膜层与基片的附着力好，通过采用上述工艺调整杜绝 了锻膜过程中膜料造成的"瓣点"和"膜料被击穿"等异常现象。
【具体实施方式】
[0023] 下面将结合实施例，对本发明作进一步说明。
[0024] 本发明电焊护目镜滤光片的锻膜方法，包括W下步骤：
[002引 （1)切割基片，使基片成型；
[0026] (2)锻前对基片进行超声波清洗；
[0027] 做电焊护目镜滤光片的膜层的锻制；使用的膜料为氧化侣、银和硫化锋，膜料的 预烙为采用=个相蜗逐次预烙，锻膜方式采用电子束锻膜，锻制过程采用两种过程，首先是 上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；
[002引 （4)检测环节；采用晶振法监控；
[0029] 通过上述的过程制成成品滤光片。
[0030] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（2)中的超声波清洗包括 W下步骤：
[0031] 对一号清洗槽加入2化纯水与500g草酸，控制药液温度45°C±2°C对S号清洗槽 加入2化纯水与500g活性剂，控制药液温度45°C±2°C，对五号与六号槽各加入6化纯水 与4升C15清洗剂，控制药液温度45°C±2°C;
[0032] 二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用 50°C±2°C纯水漂洗；
[0033] 十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60°C±2°C，十S、十四号槽热风烘干，温度 65°C±2°C，十五号槽常温去离子烘干；
[0034] 将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序 依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；
[003引超声波的功率为700W;
[0036] 频率值的设定为28KHZ~40K监。
[0037] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（3)中，采用S个相蜗进行 逐次预烙，其中电子束技术参数设定如下：
[00%]
[0039] 上述的一种电焊护目镜滤光片的锻膜方法，其中，步骤（3)中，=种膜料沉积过程 中，电子束的技术参数如下：
[0040]
[0042] 由于电焊护目镜滤光片使用的环境比较恶劣，所W对膜层各项性能在锻制过程中 采取W上所介绍的几项工艺创新，而且在膜层附着力性能检测方面也制定了一系列规范的 检验，合格后才能出厂。
[0043] 局温实验
[0044] 实验条件；温度60°C120H
[0045] 实验设备；高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司）
[0046] 锻膜材料；氧化侣、硫化锋、银
[0047] 测试仪器；岛津UV-1700
[0048]
[0049] 低温实验
[0050] 实验条件；温度-40°C120H
[CK)5U 实验设备；高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司）
[0化2] 锻膜材料；氧化侣、硫化锋、银
[005引测试仪器；岛津UV-1700 [0054]
[005引高低温实验
[0化6] 实验条件；温度60°C变化-40°C(1.5H)100次循环
[0057] 实验设备；高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司）
[0058] 锻膜材料；氧化侣、硫化锋、银
[0059] 测试仪器；岛津UV-1700
[0060]
[0061] 高温高湿实验
[0062] 实验条件；温度60°C湿度90% 120H
[006引实验设备；高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司）
[0064] 锻膜材料；氧化侣、硫化锋、银
[0065] 测试仪器；岛津UV-1700
[0066]
[0067] 通过上述检测可见，本发明锻膜方法制得的电焊护目镜滤光片，其膜层与基片的 附着力极佳，特别是在恶劣环境下也依然保持较高的附着力，大大保障了电焊护目镜的护 目效果。
[0068] W上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人 员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可W作出各种变换或变型，因此所有等同的 技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。
【主权项】
1. 一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤： (1) 切割基片，使基片成型； (2) 镀前对基片进行超声波清洗； (3) 电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔 为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述 膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程； (4) 检测环节：采用晶振法监控； 通过上述的过程制成成品滤光片。2. 如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤（2)中的 超声波清洗包括以下步骤： 对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45°C ±2°C对三号清洗槽加入 20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45°C ±2°C，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升 Cl5清洗剂，控制药液温度45°C ±2°C ; 二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50°C ±2°C纯 水漂洗； 十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60°C ±2 °C，十三、十四号槽热风烘干，温度 65°C ±2°C，十五号槽常温去离子烘干； 将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序依次 清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束； 超声波的功率为700W ; 频率值的设定为28KHZ~40KHZ。3. 如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤（3)中， 采用三个坩埚进行逐次预熔，其中电子束技术参数设定如下： 硫化锌X^O~L 5 Y^O~2. O功率150预熔时间5min ; 银 X~0~1.5Y~0~2.0功率220预熔时间4min ; 氧化铝X~0~1.5 Y~0~2.0功率300预熔时间6min。4. 如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤（3)中， 三种膜料沉积过程中，电子束的技术参数如下： 硫化锌放电功率5. 5-6. OKW沉积速率5nm/s偏转电流0. 5-1. 2A ; 银 放电功率7. 5-8. OKW沉积速率6nm/s偏转电流0. 5-1. 2A ; 氧化铝放电功率7. 5-8. OKW沉积速率6nm/s偏转电流0. 5-1. 2A。
【专利摘要】本发明公开了一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：(4)检测环节：采用晶振法监控。本发明镀膜方法将硫化锌、银这两种材料采用电子束蒸发方式制成的，电子束的优点是对膜料扫描功率高，膜层与基片的附着力好，通过采用上述工艺调整杜绝了镀膜过程中膜料造成的“溅点”和“膜料被击穿”等异常现象。
【IPC分类】G02B1/10
【公开号】CN104965240
【申请号】CN201510415497
【发明人】吴险峰, 孙怀张
【申请人】上海巨煌光电科技有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年7月15日