一种用于镜体检测的吸附夹具的制作方法

文档序号:9615528阅读:433来源:国知局
一种用于镜体检测的吸附夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于光学元件检测技术领域,特别是涉及一种用于镜体检测的吸附夹具。
【背景技术】
[0002]镜体元件的夹持技术多应用在镜体面形的检测领域,传统的镜体元件夹具一般通过机械方式对镜体进行固定:通过均布的三点或多点的压紧实现镜体的位置约束,或是靠镜体自身的重力,对镜体均布的三点或多点进行支撑,这些夹持技术难免会产生应力并作用到镜体上,而且由于镜体所受的应力比较集中,对于厚度较小的镜体,镜体面形会发生较大变化,检测的结果不能真实的反映镜体元件的面形。

【发明内容】

[0003]为了克服上述现有技术的不足,本发明提供了一种用于镜体检测的吸附夹具,该吸附夹具解决了通过机械方式约束的被夹镜体受力不均匀、面形变化大的技术问题,适用于背部为平面的镜体的夹持。
[0004]为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种用于镜体检测的吸附夹具,包括吸附盘、密封板和气管,在所述的吸附盘上设置有通孔,在吸附盘的上表面设置有导气槽,在吸附盘的下表面设置有凹槽,凹槽的内部通过通孔与导气槽相通,所述的密封板固定在凹槽的下部开口处,所述的气管设置在吸附盘上,气管的内端与凹槽的内部相通,气管的外端用于与抽气装置连通。
[0005]所述的吸附盘的通孔设置在吸附盘的中心。
[0006]所述的吸附盘的导气槽由若干条环状导气槽和若干条直线导气槽组成,若干条环状导气槽以通孔为圆心、沿吸附盘的径向分布,且分布区域大于被夹持镜体的背部区域;每条直线导气槽均经过通孔与每条环状导气槽交叉相通。
[0007]在所述的吸附盘与密封板之间设置有密封圈。
[0008]所述的气管通过气管接头固定在吸附盘的侧壁上。
[0009]所述的环状导气槽的横截面为三角形。
[0010]所述的直线导气槽的横截面为矩形或三角形。
[0011]本发明的有益效果:
本发明的用于镜体检测的吸附夹具,吸附端面刻有多条紧密分布的导气槽,将镜体元件牢固的吸附在吸附盘上,镜体元件所受的吸附力均匀,而且不存在装配应力,镜体变形小,检测设备能够检测镜体元件的真实面形,当被检测镜体元件有一定倾斜角度时,这种夹具的优势更加明显;本发明夹具结构简单,镜体元件取放方便,适用于夹持背部为平面的镜体元件。
【附图说明】
[0012]图1为本发明的用于镜体检测的吸附夹具的结构示意图; 图2为图1的俯视图;
图3为图2的A-A剖视图;
图中,1 一吸附盘,11 一通孔,12—环状导气槽,13—直线导气槽,14 一凹槽,141 一第一凹槽,142—第二凹槽,15—螺纹孔,2—气管接头,3—气管,4一密封板,5—螺钉,6—密封圈。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明。
[0014]如图1~图3所示,一种用于镜体检测的吸附夹具,包括吸附盘1、密封板4和气管3,在所述的吸附盘1的中心设置有通孔11,吸附盘1的上表面分布有多条环状导气槽12和一条直线导气槽13,环状导气槽12以通孔为圆心、沿吸附盘1的径向紧密分布,且分布区域大于被夹持镜体的背部区域;直线导气槽13与每个环状导气槽12交叉相通;在吸附盘1的下表面设置有凹槽14,凹槽14通过通孔11与直线导气槽13相通,所述的密封板4通过螺钉5固定在凹槽14的下部开口处,用于密封凹槽14的下部开口,所述的气管3设置在吸附盘1上,气管1的内端与凹槽14的内部相通,气管1的外端用于与抽气装置连通。
[0015]所述的凹槽14由相连通的第一凹槽141和第二凹槽142组成,第一凹槽141设置在第二凹槽142的上方,第二凹槽142的直径大于第一凹槽141的直径,所述的密封板4固定在第二凹槽142内,用来密封第一凹槽141的下部开口。
[0016]在所述的吸附盘1与密封板4之间设置有密封圈6,密封圈6用于提高密封效果,防止凹槽14内的气体从密封板4与吸附盘1之间泄露。
[0017]所述的气管3通过气管接头2固定在吸附盘1的侧壁上。
[0018]在所述的吸附盘1的侧壁上设置有螺纹孔15,螺纹孔15与凹槽4的内部相通,气管接头2具有螺纹的一端与吸附盘1的螺纹孔15相配合,气管接头2的另一端与气管3相连。
[0019]所述的环状导气槽12的横截面为三角形。
[0020]所述的直线导气槽13为矩形或三角形。
[0021]下面结合【附图说明】本实施例的具体使用过程。
[0022]如图1~图3所示,将待夹持的镜体元件放置在吸附盘1的导气槽分布区域内,打开与气管3相连的抽气装置,将吸附盘1的凹槽14内的空气不断抽出,外部空气在压差下通过直线导气槽13、环状导气槽12及通孔11进入凹槽14内,将镜体元件吸附在吸附盘1上,吸附力的大小与抽气速度成正比,停止抽气,可将镜体元件从吸附盘1上取下。
【主权项】
1.一种用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于,包括吸附盘、密封板和气管,在所述的吸附盘上设置有通孔,在吸附盘的上表面设置有导气槽,在吸附盘的下表面设置有凹槽,凹槽的内部通过通孔与导气槽相通,所述的密封板固定在凹槽的下部开口处,所述的气管设置在吸附盘上,气管的内端与凹槽的内部相通,气管的外端用于与抽气装置连通。2.根据权利要求1所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于所述的吸附盘的通孔设置在吸附盘的中心。3.根据权利要求1所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于所述的吸附盘的导气槽由若干条环状导气槽和若干条直线导气槽组成,若干条环状导气槽以通孔为圆心、沿吸附盘的径向分布,且分布区域大于被夹持镜体的背部区域;每条直线导气槽均经过通孔与每条环状导气槽交叉相通。4.根据权利要求1所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于在所述的吸附盘与密封板之间设置有密封圈。5.根据权利要求1所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于所述的气管通过气管接头固定在吸附盘的侧壁上。6.根据权利要求3所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于所述的环状导气槽的横截面为三角形。7.根据权利要求3所述的用于镜体检测的吸附夹具,其特征在于所述的直线导气槽的横截面为矩形或三角形。
【专利摘要】一种用于镜体检测的吸附夹具,属于光学元件检测技术领域,特别是涉及一种用于镜体检测的吸附夹具。本发明解决了通过机械方式约束的被夹镜体受力不均匀、面形变化大的技术问题,适用于背部为平面的镜体的夹持。本发明所采用的技术方案是:一种用于镜体检测的吸附夹具,包括吸附盘、密封板和气管,在所述的吸附盘上设置有通孔,在吸附盘的上表面设置有导气槽,在吸附盘的下表面设置有凹槽,凹槽的内部通过通孔与导气槽相通,所述的密封板固定在凹槽的下部开口处,所述的气管设置在吸附盘上,气管的内端与凹槽的内部相通,气管的外端用于与抽气装置连通。
【IPC分类】G02B7/00
【公开号】CN105372777
【申请号】CN201510866061
【发明人】郭本银, 苗亮, 刘钰, 王辉, 周烽, 王丽萍, 谢耀, 金春水
【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年12月1日
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