确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置的制造方法

确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置的制造方法
【专利摘要】本公开涉及一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置。一种确定用于检测的光照强度的方法包括：获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像；对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准差；根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。采用根据本公开提供的方法确定的光照强度对待检测对象进行检测，能够提高检测的准确度。
【专利说明】
确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和 装置
技术领域
[0001] 本公开的实施例涉及自动光学检测领域，尤其涉及一种确定用于检测的光照强度 的方法和装置、及光学检测方法和装置。
【背景技术】
[0002] 自动光学检测(AOI,Automated Optical Inspection)为工业自动化有效的检测 方法，使用机器视觉作为检测标准技术，大量应用于LCD/TFT、晶体管与PCB工业制程上，在 民生用途方面则可延伸至保全系统。自动光学检测是工业制程中常见的代表性手法，利用 光学方式取得检测对象的表面状态，以影像处理来检出异物或图案异常等瑕疵。因为是非 接触式检查，所以可在中间工程检查半成品。当自动检测时，机器通过摄像头自动扫描检测 对象，采集图像，测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出检 测对象上的缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来，供维修人员修整。
[0003] 在进行自动光学检测时，所使用的光照强度的大小对检测的准确性具有较大的影 响。通常情况下，人们首先通过对待检测样品在不同的光照强度下进行检测，根据检测出的 缺陷数量来判断光照强度是否是最佳光照强度，检测出的缺陷数量越多，认为在该光照强 度下进行检测的结果越准确，然后可以使用该光照强度对待检测对象进行批量检测。
[0004] 图la和图lb分别示出了缺陷数量与反射照明时的光照强度和透射照明时的光照 强度的关系曲线。如图la和图lb所示，无论是反射照明还是透射照明，光照强度越强，检测 出的缺陷数量越多，因此理论上采用较强的照明可以提高检测准确度。但是，实际上，当光 照强度较强时，图像细节容易丢失，检测出的缺陷中可能包含误检的成分。图2a和图2b分别 示出通过反射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测样品拍摄的图像，图3a和图 3b分别示出通过透射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测样品拍摄的图像。从 图2a、2b、3a和3b可知，无论是反射照明还是透射照明，当光照强度较大时，图像细节丢失严 重，因此会造成误检。另一方面，虽然光照强度较弱时，图像细节比较明显，但是从图la和图 lb可知光照强度较弱时，没有峰值出现，因此无法确定较佳的光照强度。
[0005] 由此可见，需要一种能够确定用于检测的光照强度方法，以能够尽量多地检测出 缺陷，同时又能够减少误检的概率，提高检测准确性。

【发明内容】

[0006] 本公开的实施例提供了一种确定用于检测的光照强度的方法和装置、及一种光学 检测方法和装置，能够获得用于检测的光照强度，使用该光照强度对待检测对象进行检测 时，可以提尚检测的准确性。
[0007] 在本文描述的一个实施例中，一种确定用于检测的光照强度的方法，包括：
[0008] 获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄 的图像；
[0009] 对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度 标准差；
[0010] 根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0011] 在一个示例中，所述至少一个成像元件中的每个成像元件被配置为对所述待检测 样品的不同区域拍摄图像。
[0012] 在一个示例中，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强 度包括：
[0013] 对于每个成像元件，归一化所述灰度标准差；
[0014] 根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度之间的对应关系，确定每个成 像元件的优选光照强度范围；
[0015] 获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；
[0016] 根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0017] 在一个示例中，确定每个成像元件的所述优选光照强度范围包括：
[0018] 将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个 成像元件的所述优选光照强度范围。
[0019] 在一个示例中，获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集包 括：
[0020] 判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取 所述交集;否则，
[0021] 逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存 在交集，并获取所述交集。
[0022] 在一个示例中，所述预定值不小于0.8。
[0023] 在一个示例中，根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度包 括：
[0024] 将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0025] 在一个示例中，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强 度包括：
[0026] 对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定 为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0027] 在一个示例中，所述待检测样品为用于液晶显示器的彩膜基板、薄膜晶体管阵列 基板、或印刷电路板。
[0028] 在另一个实施例中，一种光学检测方法包括：
[0029] 从多个待检测对象中选择至少一个待检测对象作为待检测样品；
[0030] 使用所述待检测样品，根据前述任一实施例描述的方法确定至少一个成像元件中 的每个成像元件的用于检测的光照强度；
[0031 ]使用所确定的光照强度对所述多个待检测对象进行光学检测。
[0032] 在又一种实施例中，一种确定用于检测的光照强度的装置，包括：
[0033] 至少一个成像元件，用于对待检测样品拍摄图像；
[0034] 图像获取单元，用于获取每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图 像；
[0035] 计算单元，用于对于每个成像元件计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每 幅图像的灰度标准差；
[0036] 光照强度确定单元，用于根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测 的光照强度。
[0037] 在一个示例中，所述至少一个成像元件中的每个成像元件用于对所述待检测样品 的不同区域拍摄图像。
[0038] 在一个示例中，所述光照强度确定单元包括：
[0039] 归一化单元，用于对于每个成像元件归一化所述灰度标准差；
[0040] 优选光照强度范围确定单元，用于根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照 强度之间的对应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围；
[0041] 交集获取单元，用于获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交 集；
[0042] 光照强度确定子单元，用于根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光 照强度。
[0043] 在一个示例中，所述优选光照强度范围确定单元还用于：
[0044] 将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个 成像元件的所述优选光照强度范围。
[0045] 在一个示例中，所述交集获取单元还用于：
[0046] 判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取 所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集;否则，
[0047] 逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存 在交集。
[0048] 在一个示例中，所述预定值为大于或等于0.8。
[0049] 在一个示例中，所述光照强度确定子单元还用于：
[0050] 将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0051 ]在一个示例中，所述光照强度确定单元还用于：
[0052]对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定 为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0053]在又一个实施例中，一种光学检测装置，包括上述任一实施例描述的确定用于检 测的光照强度的装置。
[0054] 在本文中描述的示例性的实施例中，根据图像的灰度标准差来确定用于检测的光 照强度。由于图像的灰度标准差越大，表明图像包含的细节信息越多，越利于待检测样品的 缺陷的检测，通过使用本文中的实施例描述的方法确定的光照强度对待检测对象进行检 测，能够提尚检测的准确性。
[0055] 适应性的进一步的方面和范围从本文中提供的描述变得明显。应当理解，本申请 的各个方面可以单独或者与一个或多个其他方面组合实施。还应当理解，本文中的描述和 特定实施例旨在仅说明的目的并不旨在限制本申请的范围。
【附图说明】
[0056] 本文中描述的附图用于仅对所选择的实施例的说明的目的，并不是所有可能的实 施方式，并且不旨在限制本申请的范围。
[0057] 在附图中：
[0058] 图la和图lb分别示出了缺陷数量与反射照明时的光照强度和透射照明时的光照 强度的关系曲线；
[0059] 图2a和图2b分别示出通过反射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测 样品拍摄的图像；
[0060] 图3a和图3b分别示出通过透射照明使用较强光照强度和较弱光照强度对待检测 样品拍摄的图像；
[0061 ]图4示意性地示出根据一种实施例的确定用于检测的光照强度的方法的流程图；
[0062] 图5示意性示出根据灰度标准差确定用于检测的光照强度的示例性方法的流程 图；
[0063] 图6示意性示出单个成像元件的〇-1曲线；
[0064] 图7示意性示出根据一个实施例的光学检测方法的流程图；
[0065] 图8示意性示出根据一个实施例的确定用于检测的光照强度的装置的结构框图；
[0066] 图9示意性示出在一个实例中的确定用于检测的光照强度的方法的流程图；
[0067] 图10中示出了在图9的实例中的对应于摄像机1/3/7/11/15/19的〇-1曲线。
[0068] 贯穿这些附图的各个视图，相应的参考编号指示相应的部件或特征。
【具体实施方式】
[0069] 现将参照附图更全面地描述示例性的实施例。
[0070] 需要说明的是，在本文中描述的实施例中，可以从多个待检测对象中选择一个或 多个待检测对象作为待检测样品，通过对待检测样品实施本公开的实施例提供的光照强度 确定方法来确定用于检测的光照强度。使用该确定的光照强度可以对待检测对象进行单个 或批量检测。例如，当需要对液晶显示器的彩膜基板上的保护层进行检测时，可以选择一个 做完保护层的彩膜基板作为待检测样品进行检测，以确定用于检测的光照强度，然后可以 采用该确定的光照强度对彩膜基板上的保护层进行批量检测。图4示意性地示出根据一种 实施例的确定用于检测的光照强度的方法的流程图。
[0071] 参照图4,一种确定用于检测的光照强度的方法包括以下步骤：
[0072] -图像获取步骤41:获取在多个光照强度下每个成像元件对待检测样品的不同区 域拍摄的图像；
[0073] -灰度标准差计算步骤42:对于每个成像元件，计算在多个光照强度下获取的图像 的灰度标准差；
[0074]-光照强度确定步骤43:根据灰度标准差确定每个成像元件的用于检测的光照强 度。
[0075]在本文描述的实施例中，至少一个成像元件可以在多个光照强度的照明下对待检 测对象/样品拍摄图像。当成像元件为多个时，每个成像元件被配置为对待检测对象/样品 的不同区域拍摄图像，例如，当具有5个成像元件时，该5个成像元件负责对待检测对象/样 品的5个不同区域拍摄图像。
[0076] 将参照相应附图对前述这些步骤中的每个步骤进行详细描述。为了便于描述，本 文中公开的实施例以多个成像元件为例进行描述确定用于检测的光照强度的方法。
[0077] 在图像获取步骤41中，多个成像元件中的每一个在多个不同的光照强度的照明下 对待检测样品拍摄图像，以获取待检测样品的多幅图像。如上所述，每个成像元件负责对待 检测样品的不同区域拍摄图像。在一个实施例中，成像元件可以配置为通过反射光照明的 模式对待检测样品拍摄图像，还可以配置为通过透射光照明的模式对待检测样品拍摄图 像。
[0078]在可选的实施例中，可以将光照强度设定为0-255个等级，以对应于图像的0-255 个灰度级。多个光照强度选自该0-255个等级。例如，对于每个成像元件，将光照强度以10为 间隔从10开始逐渐增加到250依次对待检测样品拍摄图像，因此每个成像元件可以拍摄25 张图片。
[0079]在灰度标准差计算步骤42中，图像的灰度标准差越大，表明图像包含的细节信息 越多，越利于待检测样品的缺陷的检测，因此在本文中描述的实施例中，将图像的灰度标准 差作为判断光照强度是否最佳的依据。
[0080]在操作时，每幅图像的灰度标准差可以通过以下等式计算：
[0082] 式中，S为标准差，M、N分别表示图像在x、y方向上的像素个数，I(x，y)表示图像上 某一点的灰度值，1〇表示图像的平均灰度值。
[0083] 在光照强度确定步骤43中，对于每个成像元件，可以将最大的灰度标准差对应的 光照强度确定为每个成像元件的用于检测的光照强度。通过这种方法确定的光照强度，可 以获得每个成像元件的最佳光照强度，但是由于每个成像元件的硬件性能可能不完全一 致，因此每个成像元件的最佳光照强度可能不同，在对待检测对象进行光学检测时，需要针 对每个成像元件设置不同的光照强度。
[0084] 在另一个示例性的实施例中，参见图5,还可以通过以下步骤来确定用于检测的光 照强度：
[0085]归一化步骤431:对于每个成像元件，将灰度标准差进行归一化处理；
[0086] 〇-1曲线绘制步骤432:对于每个成像元件，绘制归一化的灰度标准差-光照强度的 曲线(0-1曲线）；
[0087] 优选光照强度范围确定步骤433:根据归一化的灰度标准差与光照强度之间的对 应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围；
[0088] 交集获取步骤434:获取各个成像元件的优选光照强度范围之间的交集；
[0089] 根据在步骤434中获取的交集确定每个成像元件的用于检测的光照强度的步骤 435〇
[0090] 通过图5中示出的示例性方法确定的光照强度，可以使得在对待检测对象进行批 量检测时，每个成像元件使用相同的光照强度进行照明，不需要为每个成像元件设置不同 的光照强度，操作简单，且利于检测标准的统一。
[0091]在归一化步骤431中，可以通过下式进行归一化：
[0093]其中，〇为图像的归一化的灰度标准差，5为图像的灰度标准差，5 m a x为对应于单个 成像元件的最大灰度标准差。可以理解，也可以通过其他的方法对灰度标准差进行归一化 处理，例如通过对数函数或者反正切函数进行归一化。
[0094] 在〇-1曲线绘制步骤432步骤中，针对每个成像元件，可以绘制一个〇-1曲线。图6示 意性示出单个成像元件的0-1曲线。从图6可以看出，绘制的0-1曲线具有峰值，因此可以根 据该曲线确定用于检测的较佳的光照强度。
[0095]在优选光照强度范围确定步骤433中，可以根据在步骤432中绘制的〇-1曲线获取 每个成像元件的优选光照强度范围。在一个示例性的实施例中，可以将等于预定值的归一 化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像元件的所述优选光照强度 范围。对于每个成像元件，可以设定预定值为a，其中0〈a<l。如图6所示，当〇 = a且a辛1时， 对应两个光照强度I#PI2,将位于1:和12之间(含I#PI 2)光照强度范围确定为成像元件的优 选光照强度范围。在一个特殊的实施例中，当a= 1时，只对应一个光照强度，可以认为优选 光照强度范围中只有一个元素。
[0096]在交集获取步骤434中，根据在优选光照强度确定步骤433中获取的各个成像元件 的优选光照强度范围，获取这些优选光照强度范围之间的交集。
[0097] 在具体操作时，示例性地，可以按照如下步骤获取交集：
[0098] i)设定a=l，判断a=l时各个成像元件的相应光照强度是否相同，如果是，则将该 光照强度作为用于检测的光照强度;否则执行步骤ii);
[0099] ii)减小a的取值；
[0100] iii)判断a是否大于预定阈值b，其中0〈b彡1，若是，则执行步骤IV);否则，对用于 检测的光学检测装置的硬件进行调试；
[0101] IV)获取〇 = a所对应的优选光照强度范围，判断各个成像元件的优选光照强度范 围是否存在交集，若是，则获取各个成像元件的优选光照强度范围之间的交集;否则返回步 骤ii)。
[0102] 通常情况下，光学检测装置的各个成像元件具有相同或相近的硬件配置，当a的值 减小到足够小时，例如小于预定阈值b时，各个成像元件的优选光照强度之间依然没有交 集，意味着光学检测装置的硬件可能出现问题，因此需要对硬件进行调试，调试后再次通过 上述方法获取交集，以便根据交集获取用于检测的光照强度。
[0103] 在一个实施例中，预定阈值设定为0.8。
[0104] 在步骤435中，将各个成像元件的优选光照强度范围的交集的中间值作为各个成 像元件的用于检测的光照强度，使得每个成像元件使用相同的照明拍摄图像，便于操作且 有利于检测标准的统一。
[0105] 在一个示例性的实施例中，待检测样品可以为用于液晶显示器的彩膜基板、薄膜 晶体管(TFT)阵列基板、或印刷电路板(PCB)。
[0106] 在产品的制作过程中，可以针对产品的每个形成工艺，使用本文描述的实施例提 供的方法来确定用于检测的光照强度，然后采用该光照强度对该工艺形成的元素是否存在 缺陷进行检测，以便及时修复缺陷。例如，当待检测对象为显示器的彩膜基板时，在彩膜基 板制作过程中，在形成黑矩阵后，可以使用本文中描述的实施例提供的方法确定用于检测 黑矩阵的光照强度，然后使用该确定的光照强度对彩膜基板上的黑矩阵中是否存在缺陷进 行检测，以便及时修复黑矩阵的缺陷;在彩膜基板上形成彩色滤光片后，使用本文中描述的 实施例提供的方法确定用于检测彩色滤光片的光照强度，然后使用该确定的光照强度对彩 色滤光片中是否存在缺陷进行检测，以便及时修复彩色滤光片的缺陷。按照相同的方法，可 以依次在各个元素(如保护层和柱状隔垫物等)形成后进行缺陷检测，以便当存在缺陷时及 时进行修复。
[0107] 在本文中描述的示例性的实施例中，根据图像的灰度标准差来确定用于检测的光 照强度，如上所示，由于图像的灰度标准差越大，表明图像包含的细节信息越多，越利于待 检测样品的缺陷的检测，通过使用上述实施例描述的方法确定的光照强度对待检测对象进 tx检测，能够提尚检测的准确性。
[0108] 图7示意性示出根据一个实施例的光学检测方法的流程图。如图7所示，光照强度 检测方法包括：
[0109] 从多个待检测对象中选择至少一个待检测对象作为待检测样品的步骤71;
[0110] 使用所述待检测样品确定用于检测的光照强度的步骤72;
[0111] 使用确定的光照强度对待检测对象进行光学检测的步骤73。
[0112] 在步骤72中，为了实现对待检测对象的检测，可以首先从待检测对象中选择一个 作为待检测样品，然后对待检测样品实施图4-图6中示出的方法来确定用于检测的光照强 度，以便使用该确定的光照强度对待检测对象进行批量光学检测。
[0113] 在步骤72中，由于采用与上述实施例描述的以及图4-图6中示出的方法相同的方 法来确定用于检测的光照强度，因此，在上述实施例中参照图4-图6对确定用于检测的光照 强度的方法及其产生的优点的解释、说明同样适于本实施例。
[0114] 如上所示，由于采用本文中描述的实施例提供的方法确定的光照强度对待检测对 象进彳丁检测，可以提尚检测的准确度。
[0115] 本公开中描绘的流程图仅仅是一个例子。在不脱离本公开精神的情况下，可以存 在该流程图或其中描述的步骤的很多变型。例如，所述步骤可以以不同的顺序进行，或者可 以添加、删除或者修改步骤。例如，可以省略归一化步骤431，直接绘制灰度标准差-光照强 度曲线;还可以用灰度标准差-光照强度的对应表来替代灰度标准差-光照强度曲线，这些 变型都被认为是所要求保护的方面的一部分。
[0116] 图8示意性示出根据一个实施例的确定用于检测的光照强度的装置的结构框图。 如图8所示，确定用于检测的光照强度的装置80包括至少一个成像元件81、图像获取单元 82、计算单元83以及光照强度确定单元84。
[0117] 至少一个成像元件81可以用于对待检测样品拍摄图像，具体地，该至少一个成像 元件可以用于对待检测样品的不同区域拍摄图像。
[0118] 图像获取单元82用于获取每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的 图像。
[0119] 计算单元83用于对于每个成像元件计算在多个光照强度下获取的图像中的每幅 图像的灰度标准差；
[0120] 光照强度确定单元84用于根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检 测的光照强度。
[0121] 在一个示例性实施例中，光照强度单元84还可以包括归一化单元、优选光照强度 范围确定单元、交集获取单元以及光照强度确定子单元，其中，归一化单元，用于对于每个 成像元件归一化所述灰度标准差;优选光照强度范围确定单元，用于根据归一化的灰度标 准差及其与多个光照强度之间的对应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围；交集 获取单元，用于获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集;光照强度确 定子单元，用于根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。
[0122] 在一个示例性实施例中，优选光照强度范围确定单元还用于:将等于预定值的归 一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像元件的优选光照强度范 围。
[0123] 在一个示例性实施例中，所述交集获取单元还用于：判断各个成像元件的所述优 选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述至少一个成像元件的优选光照强 度范围之间的交集;否则，逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的优选光照强度 范围之间存在交集。
[0124] 在一个示例性实施例中，预定值取值为大于或等于0.8。
[0125] 在一个示例性实施例中，光照强度确定子单元还用于:将所述交集中的中间值确 定为每个成像元件的用于检测的光照强度。
[0126] 光照强度确定单元84还用于:对于每个成像元件，将灰度标准差中最大的灰度标 准差对应的光照强度确定为每个成像元件的用于检测的光照强度。
[0127] 通过本文描述的实施例提供的确定用于检测的光照强度的装置，可以确定用于检 测的光照强度。具体地，采用与上述实施例描述的和图4-图6示出的确定用于检测的光照强 度的方法来确定光照强度。因此，在上述实施例中参照图4-图6对确定用于检测的光照强度 的方法及其产生的优点的解释、说明同样适于本实施例。
[0128] 在进一步的实施例中，还提供一种光学检测装置，其用于对待检测对象进行自动 光学检测。该光学检测装置包括前述实施例提供的确定用于检测的光照强度的装置。
[0129] 由于该光学检测装置包括前述实施例提供的确定用于检测的光照强度的装置，在 前述实施例中对确定用于检测的光照强度的装置的解释、说明同样适于该实施例。
[0130] ^Ij
[0131] 为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面通过具体的示例详细说明本 公开实施例提供的确定用于检测的光照强度的方法。
[0132]在该实例中，通过一台具有19个反射式摄像机(Reflective Camera)的自动光学 检测装置对彩膜基板上的保护层进行检测，以确定用于检测的光照强度。进一步地，可以使 用该确定的光照强度对彩膜基板上的保护层进行批量检测。
[0133] 图9示意性示出在一个实例中的确定用于检测的光照强度的方法的流程图。在该 实例中，将光照强度的设定为从10开始以10为间隔逐渐增加到250,在该情况下，每个摄像 机可以在25个不同光照强度下拍摄25张图像。如图9所示，确定用于检测的光照强度的方法 包括以下步骤：
[0134] 步骤91:采集19个摄像机在不同反射光照强度下对待检测样品拍摄的图像；
[0135] 步骤92:对于每个摄像机，通过图像处理软件计算每张图像的灰度标准差；
[0136] 步骤93:对于每个摄像机，绘制灰度标准差-光照强度曲线；
[0137] 在该步骤93中，可以对灰度标准差作归一化处理，在这种情况下，可以绘制归一化 的灰度标准差_光照强度曲线(〇-1曲线）。图10中示出了对应于摄像机1/3/7/11/15/19的 〇_ I曲线，在图10中，纵坐标为归一化的灰度标准差，横坐标为光照强度；
[0138] 步骤94:设定a = 1，判断当〇 = a时各个摄像机的相应光照强度是否相同，若是，贝1J 将该光照强度确定为用于检测的光照强度;否则，执行步骤95;
[0139] 步骤95:以0.02为间隔减小a的取值；
[0140] 步骤96:判断a是否小于预定阈值(如0.8)，若是，则调试设备，然后返回步骤91;若 否，执行步骤97;
[0141] 步骤97:获取〇 = a所对应的两个光照强度I#PI2之间的光照强度范围作为优选光 照强度范围，并判断获取的各个摄像机的优选光照强度范围是否存在交集，若是，则将交集 的中间值确定为用于检测的光照强度;否则，返回步骤95;
[0142] 在步骤96中，如果a小于预定阈值时，依然没有找到交集，则说明设备存在问题，可 以对设备进行调试，例如调节摄像机镜头的焦点位置、调节摄像机增益等。
[0143] 在该实例中，当〇 = a = 0.94时，各个摄像机的光照强度范围具有交集[148，168]， 因此该自动光学检测装置的优选光照强度范围为[148,168]，将该优选光照强度范围的中 间值158设定为用于检测的光照强度。使用该光照强度对待检测对象进行自动光学检测可 以提尚检测的准确性。
[0144] 除非上下文中另外明确地指出，否则在本文和所附权利要求中所使用的词语的单 数形式包括复数，反之亦然。因而，当提及单数时，通常包括相应术语的复数。相似地，措辞 "包含"和"包括"将解释为包含在内而不是独占性地。同样地，术语"包括"和"或"应当解释 为包括在内的，除非本文中明确禁止这样的解释。在本文中使用术语"实例"之处，特别是当 其位于一组术语之后时，所述"实例"仅仅是示例性的和阐述性的，且不应当被认为是独占 性的或广泛性的。
[0145] 以上为了说明和描述的目的提供了实施例的前述描述。其并不旨在是穷举的或者 限制本申请。特定实施例的各个元件或特征通常不限于特定的实施例，但是，在合适的情况 下，这些元件和特征是可互换的并且可用在所选择的实施例中，即使没有具体示出或描述。 同样也可以以许多方式来改变。这种改变不能被认为脱离了本申请，并且所有这些修改都 包含在本申请的范围内。
【主权项】
1. 一种确定用于检测的光照强度的方法，其特征在于，所述方法包括： 获取至少一个成像元件中的每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图 像； 对于每个成像元件，计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图像的灰度标准 差； 根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个成像元件中的每个成像元件 被配置为对所述待检测样品的不同区域拍摄图像。3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述灰度标准差确定每个成像元件的 所述用于检测的光照强度包括： 对于每个成像元件，归一化所述灰度标准差； 根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度之间的对应关系，确定每个成像元 件的优选光照强度范围； 获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集； 根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强度。4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，确定每个成像元件的所述优选光照强度范 围包括： 将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像 元件的所述优选光照强度范围。5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，获取所述至少一个成像元件的优选光照强 度范围之间的交集包括： 判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述 交集;否则， 逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存在交 集，并获取所述交集。6. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预定值不小于0.8。7. 根据权利要求3至6中任一项所述的方法，其特征在于，根据所述交集确定每个成像 元件的所述用于检测的光照强度包括： 将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。8. 根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，根据所述灰度标准差确定每个成像元 件的所述用于检测的光照强度包括： 对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定为每 个成像元件的所述用于检测的光照强度。9. 根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，所述待检测样品为用于液晶 显示器的彩膜基板、薄膜晶体管阵列基板、或印刷电路板。10. -种光学检测方法，其特征在于，所述方法包括： 从多个待检测对象中选择至少一个待检测对象作为待检测样品； 使用所述待检测样品，根据权利要求1-9中任一项所述的方法确定至少一个成像元件 中的每个成像元件的用于检测的光照强度； 使用所确定的光照强度对所述多个待检测对象进行光学检测。11. 一种确定用于检测的光照强度的装置，其特征在于，包括： 至少一个成像元件，用于对待检测样品拍摄图像； 图像获取单元，用于获取每个成像元件在多个光照强度下对待检测样品拍摄的图像； 计算单元，用于对于每个成像元件计算在所述多个光照强度下获取的图像中的每幅图 像的灰度标准差； 光照强度确定单元，用于根据所述灰度标准差确定每个成像元件的所述用于检测的光 照强度。12. 根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述至少一个成像元件中的每个成像元 件用于对所述待检测样品的不同区域拍摄图像。13. 根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述光照强度确定单元包括： 归一化单元，用于对于每个成像元件归一化所述灰度标准差； 优选光照强度范围确定单元，用于根据归一化的灰度标准差及其与所述多个光照强度 之间的对应关系，确定每个成像元件的优选光照强度范围； 交集获取单元，用于获取所述至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集； 光照强度确定子单元，用于根据所述交集确定每个成像元件的所述用于检测的光照强 度。14. 根据权利要求13所述的装置，其特征在于，所述优选光照强度范围确定单元还用 于： 将等于预定值的归一化的灰度标准差所对应的光照强度之间的范围确定为每个成像 元件的所述优选光照强度范围。15. 根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述交集获取单元还用于： 判断各个成像元件的所述优选光照强度范围之间是否存在交集，若存在，则获取所述 至少一个成像元件的优选光照强度范围之间的交集;否则， 逐渐减小所述预定值，直到获取的各个成像元件的所述优选光照强度范围之间存在交 集。16. 根据权利要求15所述的装置，其特征在于，所述预定值为大于或等于0.8。17. 根据权利要求13至16中任一项所述的装置，其特征在于，所述光照强度确定子单元 还用于： 将所述交集中的中间值确定为每个成像元件的所述用于检测的光照强度。18. 根据权利要求11或12所述的装置，其特征在于，所述光照强度确定单元还用于： 对于每个成像元件，将所述灰度标准差中最大的灰度标准差对应的光照强度确定为每 个成像元件的所述用于检测的光照强度。19. 一种光学检测装置，其特征在于，包括权利要求11至18中任一项所述的确定用于检 测的光照强度的装置。
【文档编号】G01J1/00GK105911724SQ201610342920
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年5月23日
【发明人】王旭, 刘超强, 习征东, 刘洋
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 重庆京东方光电科技有限公司