一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，WiFi型端盖包括圆形端面和下腔体，圆形端面和下腔体之间固定连接；圆形端面的中心设有中心圆，中心圆的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔，同一圈上的小圆孔直径大小均相同，最外圈的小圆孔向外扩散有两列相互对称的圆弧槽，每列圆弧槽成WiFi型排布；下腔体的中心设有抽气孔，抽气孔外围设有若干圈挡胶板，每圈挡胶板上设有两个位置相对的挡胶板。本发明通过旋转托盘端盖，利用挡胶板遮住圆弧槽的范围的不同，可实现调节基片所受真空吸附力的大小，因此可适应不同厚度基片的旋涂要求，在满足其旋涂性能要求的同时，减小基片形变量。
【专利说明】
一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的w i FI型端盖
技术领域
[0001]本发明属于匀胶机设备的技术领域，具体涉及一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖。
【背景技术】
[0002]现有的光刻胶匀胶台采用真空吸片的方式吸住硅片，但现有的硅片承片台无法有效的阻挡光刻胶在甩动过程中渗入真空吸片口中，原因在于:现有的技术中，硅片与真空吸片口直接接触，匀胶机在高速旋转过程中，光刻胶受旋转离心力和表面张力的联合作用，被展开成一层薄膜，其中甩动过程中被甩出至硅片边缘的胶滴，由于硅片边缘与承片台吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用，部分硅片边缘的胶滴会沿着硅片的背面被吸入真空吸片口中，从而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，从而造成光刻胶薄膜的均匀性变差，同时会对匀胶台造成损伤。
[0003]在专利号为:ZL201310686050.5、发明专利名称为:匀胶机托盘结构的专利中，虽然通过在硅片承片台的中间开设储胶槽，使光刻胶在甩动过程中被甩出至硅片背面的胶水在重力的作用下首先流入到储胶槽中，从而阻挡光刻胶被吸入真空吸片口内，解决真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞的问题。但是，在实践过程中，由于真空吸口片与硅片承载平面间会有一段空间距离，因此，硅片会在真空吸片口处承受较大的向下作用的吸力，而在中空的储胶槽的上方却没有向上的支撑力支撑，导致整个硅片的受力不均匀，从而会有硅片向下凹陷变形的情况出现，使得加工后的硅片不符合产品的要求。
[0004]并且，上述专利在实践过程中，并没有完全解决真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞的问题，原因在于:位于真空吸片口的正上方的硅片的背面的部分胶滴会处在真空吸片口的正上方，可以直接滴落至真空吸片口中，或者是通过真空吸片口的吸力直接吸入真空吸片口中，从而堵塞真空吸片口。
[0005]在旋涂工艺过程中，不同厚度的基片所需真空吸附力不同，当基片所受真空吸力过大时其形变量会增大，因此影响旋涂工艺性能指标;而当基片所受真空吸附力不足时，其将发生“飞片”现象。而现有托盘为满足不同厚度的基片的吸附要求，需要更换不同样式的托盘，从而增加了企业的生产成本。
[0006]此外，专利号为:ZL201310685767.8、发明专利名称为:防止胶吸入的匀胶机托盘;专利号为:ZL 201310685554.5、发明专利名称为:带保护结构的匀胶机托盘;两篇专利中，也会有上述的2个问题存在。
【发明内容】
[0007]发明目的:为了解决现有技术存在的不足，本发明提供了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖。
[0008]技术方案:一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，所述的WiFi型端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，所述WiFi型端盖包括圆形端面和与所述圆形端面相匹配的下腔体；
[0009]所述圆形端面的中心设有中心圆，所述中心圆的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔，同一圈上的小圆孔直径大小均相同，最外圈的小圆孔向外扩散有两列相互对称的圆弧槽，所述每列圆弧槽成WiFi型排布；
[0010]所述下腔体的中心设有抽气孔，所述抽气孔呈圆台状，所述抽气孔外围设有若干圈挡胶板，每圈挡胶板上设有两个位置相对的挡胶板，相邻两圈的挡胶板互相之间均呈90°交错排布；
[0011]所述圆形端面和下腔体之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板对应在圆弧槽正下方，挡胶板的宽度大于圆弧槽1_，通过旋转圆形端面调节腔体内的通气量的大小。
[0012]作为优化:所述中心圆的直径大小为6mm-10mm。
[0013]作为优化:所述小圆孔的圈数为3-5个，每个小圆孔的直径大小为0.75mm_l.5mm。
[0014]作为优化:所述每列圆弧槽中相邻的两个圆弧槽之间的间距为5mm-7mm。
[0015]作为优化:所述抽气孔具体的结构尺寸为:高度低于承片台2-3mm、坡度为90°至130。。
[0016]有益效果:本发明通过旋转托盘端盖，利用挡胶板遮住圆弧槽的范围的不同，可实现调节基片所受真空吸附力的大小，因此可适应不同厚度基片的旋涂要求，在满足其旋涂性能要求的同时，减小基片形变量。
[0017]本发明能够同时解决胶滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷变形的2个问题，不仅延长了真空吸片口的使用寿命，而且加工后的硅片不会出现废料，从而大大节省了企业的经济成本。
【附图说明】
[0018]图1是本发明的整体结构示意图；
[0019]图2是本发明的圆形端面的结构示意图；
[0020]图3是本发明的下腔体的结构示意图；
[0021 ]图4是本发明的腔内真空度分布情况示意图；
[0022]图5是本发明中无托盘端盖与WiFi型端盖的基片形变对比示意图；
[0023]图6是本发明中WiFi型端盖的基片形变示意图。
【具体实施方式】
[0024]下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
[0025]实施例
[0026]如图1-3所示，一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，所述的WiFi型端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，所述WiFi型端盖包括圆形端面I和与所述圆形端面I相匹配的下腔体2。
[0027]所述圆形端面I的中心设有中心圆11，所述中心圆11的直径大小为6mm_I Omm。所述中心圆11的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔12，同一圈上的小圆孔12直径大小均相同，具体地，所述小圆孔12的圈数可为3-5个，每个小圆孔12的直径大小可为0.75mm-1.5mm。最外圈的小圆孔12向外扩散有两列相互对称的圆弧槽13，所述每列圆弧槽13成WiF i型排布，所述每列圆弧槽13中相邻的两个圆弧槽13之间的间距为5_-7_。
[0028]所述下腔体2的中心设有抽气孔21，所述抽气孔21呈圆台状，所述抽气孔21具体的结构尺寸为:高度低于承片台2-3_、坡度为90°至130°。所述抽气孔21外围设有若干圈挡胶板22，每圈挡胶板22上设有两个位置相对的挡胶板22，相邻两圈的挡胶板22互相之间均呈90°交错排布。
[0029]所述圆形端面I和下腔体2之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板22对应在圆弧槽13正下方，挡胶板22的宽度大于圆弧槽13的1_，通过旋转圆形端面I调节腔体内的通气量的大小。
[0030]如图4所示，本发明的腔内真空度分布情况如下:从图中可知，腔内真空负压分布均匀，所以可避免被吸入的胶体在压强差的作用下被吸入真空抽气室。
[0031]如图5-6所示，从无托盘端盖与WiFi型端盖的基片形变对比得出，形变量从65μπι降低至0.33ym，WiFi型端盖的使用大大减小了基片的形变量，从而可提高旋涂工艺性能指标。
[0032]本发明通过旋转托盘端盖，利用挡胶板遮住圆弧槽的范围的不同，可实现调节基片所受真空吸附力的大小，因此可适应不同厚度基片的旋涂要求，在满足其旋涂性能要求的同时，减小基片形变量。
[0033]本发明能够同时解决胶滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷变形的2个问题，不仅延长了真空吸片口的使用寿命，而且加工后的硅片不会出现废料，从而大大节省了企业的经济成本。
[0034]本发明不局限于上述最佳实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，所述的WiFi型端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，其特征在于:所述WiFi型端盖包括圆形端面(I)和与所述圆形端面(I)相匹配的下腔体(2); 所述圆形端面(I)的中心设有中心圆(11)，所述中心圆(11)的四周向外扩散均匀排布有若干圈小圆孔(12)，同一圈上的小圆孔(12)直径大小均相同，最外圈的小圆孔(12)向外扩散有两列相互对称的圆弧槽(13)，所述每列圆弧槽(13)成WiFi型排布； 所述下腔体(2)的中心设有抽气孔(21)，所述抽气孔(21)呈圆台状，所述抽气孔(21)外围设有若干圈挡胶板(22)，每圈挡胶板(22)上设有两个位置相对的挡胶板(22)，相邻两圈的挡胶板(22)互相之间均呈90°交错排布； 所述圆形端面(I)和下腔体(2)之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板(22)对应在圆弧槽(13)正下方，挡胶板(22)的宽度大于圆弧槽(13)lmm，通过旋转圆形端面(I)调节腔体内的通气量的大小。2.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，其特征在于:所述中心圆(11)的直径大小为6mm-10mm。3.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，其特征在于:所述小圆孔(12)的圈数为3-5个，每个小圆孔(12)的直径大小为0.75mm-1.5mm。4.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，其特征在于:所述每列圆弧槽(13)中相邻的两个圆弧槽(13)之间的间距为5_-7_。5.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的WiFi型端盖，其特征在于:所述抽气孔(21)具体的结构尺寸为:高度低于承片台2-3mm、坡度为90°至130°。
【文档编号】G03F7/16GK105954975SQ201610495940
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年6月29日
【发明人】魏存露, 王强, 花国然, 黄倩露
【申请人】南通大学