一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置及获取方法
【专利摘要】本发明涉及一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置及获取方法，属于激光设备技术领域，所述获取装置包括放大系统和监测设备，沿着激光传输方向，所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二，所述空间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器，所述光束反射器包括入射面、第一反射面和第二反射面，所述入射面与激光光路设置为近垂直结构，所述激光经第一反射面反射至第二反射面形成纵向位移，所述纵向位移等于空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距离，本发明可以避免多程放大激光系统中多级空间滤波小孔阵列对孔像带来的影响，孔像边沿清晰度高，孔像轮廓规整，获得形心位置的精度高。
【专利说明】
-种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置及获取方法
技术领域
[0001] 本发明属于激光设备技术领域，具体地说设及一种多程放大激光系统小孔孔像的 获取装置及获取方法。
【背景技术】
[0002] 高功率多程放大激光器是一类复杂的光学系统，包含大量光学元器件和相应的机 械支撑、调整机构等。对于调整完毕的高功率多程放大激光系统光路而言，元器件位置虽已 固定，但由于工作环境的溫度变化、空调系统气流扰动、机械结构蠕变、地基和支撑架微振 动W及其他随机因素的影响，光束通常会偏离原定光路。因此，每次发射前均需要对系统光 路进行快速的校准。光路的快速校准通常称为自动准直，其基于"两点确定一线"的基本原 贝1J，逐段检测光束位置、方向与基准的偏差，调整光路中的反射镜，使光束恢复到原定光路 上。基准获取是进行光路自动准直的基础，通常分为远场基准和近场基准，远场决定激光束 指向，近场决定激光束的横向偏移。
[0003] 高功率多程放大激光系统通常由放大器、空间滤波器W及反射镜等组成。空间滤 波器由共焦的两个透镜及放置在焦平面的空屯、滤波小孔构成，小孔对焦斑的旁瓣进行阻挡 并抑制，实现激光束空间频率的低通滤波，控制激光束高频成分的非线性增长，同时完成激 光束的像传递和扩束等功能。由于空间滤波器小孔位置的激光功率密度极高，该位置的光 束偏移将导致激光与滤波小孔直接作用，损坏滤波小孔，并由于等离子堵孔效应等产生有 害的反向激光束。因此，通常将能量最大的末程空间滤波器小孔中屯、作为多程放大激光系 统的远场基准，通过前级滤波器小孔与后级滤波器小孔的共屯、禪合，并控制激光束在小孔 位置的偏差，保证激光束顺利通过各级空间滤波小孔阵列。
[0004] 为了实现多程放大激光系统的自动准直，必须首先获取末程大能量空间滤波器小 孔的中屯、，并W此作为远场基准。目前，有两种方法来获得空间滤波小孔阵列的孔像:一是 在空间滤波小孔阵列前架设准直光源，并使光源传输至小孔位置时的光斑能覆盖整个小 孔，然后通过光束照明小孔，并采用共辆成像方式获取小孔孔像，该方法直接、准确，但是需 要外接光源，同时对光源接口配置也有相应的技术要求，成本高且结构复杂。二是利用注入 多程放大激光系统的前级重频光源，首先对光源进行发散，使光斑能覆盖空间滤波器小孔， 通过共辆成像获取小孔轮廓，不过由于前级注入光将通过多级滤波孔到达光学传感器，携 带了光束与多级滤波小孔相互作用的信息，运种方式要求末程滤波小孔衍射极限倍数小于 或等于前级滤波孔，否则无法获得末程空间滤波小孔阵列的孔像，另外，该方式还需要先完 成各级滤波小孔的禪合，再进行孔像获取，否则获得的孔像将为各级小孔孔像的相交，无法 提供准确的远场基准，通过图像处理获得的孔像形屯、与孔实际中屯、的偏差增大。
【发明内容】
[0005] 针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种多程放大激光系统小 孔孔像的获取装置及获取方法。
[0006] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
[0007] -种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，包括放大系统和监测设备，沿着激 光传输方向，所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二，所述空 间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器，所述光束反射器包括入射面、第一反射面和第二 反射面，所述入射面与激光光路设置为近垂直结构，所述激光经第一反射面反射至第二反 射面形成纵向位移，所述纵向位移与空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔的纵向距 离匹配。
[000引进一步，所述入射面与垂直方向的夹角为1.4°~5.1°或-5.1°~-1.4°。
[0009] 进一步，所述光束反射器设置为等腰直角棱镜，其斜边作为入射面，其两条直角边 分别作为第一反射面和第二反射面。
[0010] 进一步，所述空间滤波小孔阵列一处设置焦距为fo的注入透镜，注入激光光束口 径为Do,且所述空间滤波小孔阵列一的初程小孔位于注入透镜的焦点处，所述空间滤波小 孔阵列一、空间滤波小孔阵列二之间依次设置焦距为fi的透镜一和焦距为f2的透镜二，则空 间滤波小孔阵列一中末程小孔处的光斑尺寸为化，且马，其中，5为激光由空间滤波 /〇 小孔阵列一的初程小孔折返至末程小孔的等效传输距离，所述空间滤波小孔阵列一切换为 大孔状态时，其直径为山1，所述空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态时，其直径为山2，且 山2<〇1。
[0011]进一步，所述入射面至空间滤波小孔阵列一的间距为L，空间滤波小孔阵列一中初 程小孔至末程小孔的纵向距离为a,第一反射面和第二反射面的长度均为6，且@；^，所述 纵向位移为c，i
其中，α为激光入射到第一反射面的入射角，β为第一 反射面对激光的折射角，且
3等于入射面与垂直方向的夹角，η为等腰直 角棱镜介质材料对激光的折射率。
[0012]进一步
[0013] 进一步，所述空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态时，所述空间滤波小孔阵列二 中末程小孔处的光斑尺寸为化，且化=^。:，所述空间滤波小孔阵列二切换为大孔状态 时，其直径为cbi，所述空间滤波小孔阵列二切换为滤波孔状态时，其直径为cb2，且cb2<D2，
[0014] 另，本发明还提供一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置的获取方法，包括 如下步骤：
[0015] (1)将空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为大 孔状态；
[0016] (2)向放大系统注入激光，激光穿过空间滤波小孔阵列一的初程小孔入射至等腰 直角棱镜，并经第二反射面出射后，依次穿过空间滤波小孔阵列一的末程小孔、空间滤波小 孔阵列二，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像一；
[0017] (3)将空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为滤波 孔状态；
[0018] (4)重复步骤(2)，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像二；
[0019] (5)对采集的孔像一和孔像二进行处理并分别确定形屯、，作为空间滤波小孔阵列 一、空间滤波小孔阵列二的末程小孔的基准中屯、。
[0020] 进一步，在步骤（1)之前还包括:根据cb2的尺寸，依次确定化和化，最终确定入射面 至空间滤波小孔阵列一的间距L。
[0021] 本发明的有益效果是：
[0022] 1、本发明可W直接对单个末程小孔进行孔像获取，避免多程放大激光系统中多级 空间滤波小孔阵列对孔像带来的影响，孔像边沿清晰度高，孔像轮廓规整，获得形屯、位置的 精度高，同时，本发明对各级空间滤波小孔阵列的衍射极限倍数是否一致不作要求，可W获 取任意尺寸配置的小孔孔像，实用性强。
[0023] 2、本发明只需在光路中配置一个等腰直角棱镜，即可完成小孔孔像的获取操作， 配置简单，造价便宜，操作方便，特别适合用于高功率多程放大激光系统的小孔孔像获取。
[0024] 3、本发明通过对入射面与激光光路的夹角进行优选，既不影响激光光路的基本方 向及传输效率，又能避免入射面处的剩余返回激光形成鬼光束，从而避免鬼光束对各元件 的损坏。
[0025] 4、本发明根据cb2的尺寸，依次确定化和化，最终确定入射面至空间滤波小孔阵列 一的间距L，既能保证激光光束完全覆盖滤波孔，对滤波孔直接进行照明，又能保证激光光 束直接穿过大孔不被阻挡，提高小孔形屯、位置的测量精度。
【附图说明】
[0026] 图1是本发明的整体结构示意图；
[0027] 图2是本发明的激光光路示意图；
[0028] 图3(a)是采用本发明采集的空间滤波小孔阵列二的末程小孔孔像；
[0029] (b)是采用【背景技术】中第二种孔像获取方法采集的空间滤波小孔阵列二的末程小 孔孔像；
[0030] 图4(a)是图3(a)的孔像轮廓图；
[0031 ] (b)是图3(b)的孔像轮廓图；
[0032] 图5(a)是采用本发明采集的空间滤波小孔阵列一的末程小孔孔像；
[0033] (b)是采用【背景技术】中第二种孔像获取方法采集的空间滤波小孔阵列一的末程小 孔孔像；
[0034] 图6(a)是图5(a)的孔像轮廓图；
[0035] (b)是图5(b)的孔像轮廓图。
[0036] 附图中：第一级放大器1、第二级放大器2、空间滤波小孔阵列一3、空间滤波小孔阵 列二4、透镜一 5、透镜二6、光束反射器7、入射面71、第一反射面72、第二反射面73、注入透镜 8、透镜Ξ9、透镜四10、腔镜11、监测设备12、激光13、注入反射镜14;
[0037] 图2中，箭头方向表示激光13的传输方向，di、d2、d3分别表示激光13由入射面71至 第一反射面72、第一反射面72至第二反射面73、第二反射面73至入射面71的等效传输距离， a表示空间滤波小孔阵列一 3中初程小孔至末程小孔的纵向距离，b表示第一反射面72和第 二反射面73的长度，L表示入射面71至空间滤波小孔阵列一 3的间距，α为激光13入射到第一 反射面72的入射角，β为第一反射面72对激光13的折射角。
【具体实施方式】
[0038] 为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合本发明的附图，对 本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在 没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0039] 实施例一；
[0040] 如图1-2所示，一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，包括放大系统和监测 设备12,监测设备12位于放大系统的输出端，用于采集小孔孔像，沿着激光13传输方向，所 述放大系统依次包括腔镜11、第一级放大器1、空间滤波器一、第二级放大器2、空间滤波器 二和反转器（图中未示出），所述空间滤波器一依次包括透镜Ξ9、空间滤波小孔阵列一 3和 透镜一 5,所述空间滤波器二依次包括透镜二6、空间滤波小孔阵列二4和透镜四10。
[0041] 激光13在放大系统内的常规传输光路为:激光13从空间滤波器一的远场注入，经 过空间滤波小孔阵列一 3的初程小孔后，传输至第一级放大器1 一次放大后传输到腔镜11， 由腔镜11反射经第一级放大器1二次放大，通过空间滤波小孔阵列一 3的二程小孔到第二级 放大器2-次放大，继续传输到空间滤波小孔阵列二4的二程小孔，经过反转器再注入空间 滤波小孔阵列二4的Ξ程小孔，经过第二级放大器2二次放大后，通过空间滤波小孔阵列一 3 的Ξ程小孔到第一级放大器1再进行Ξ、四次放大，再经过空间滤波小孔阵列一 3的末程小 孔传输到第二级放大器2Ξ次放大，最后经空间滤波小孔阵列二4的末程小孔输出。
[0042] 所述空间滤波小孔阵列一 3处设置焦距为fo的注入透镜8,注入激光13光束口径为 Do,且所述空间滤波小孔阵列一 3的初程小孔位于注入透镜8的焦点处，呈发散状态的激光 13由注入反射镜14导入到放大系统中，所述空间滤波小孔阵列一3处设置有光束反射器7， 所述光束反射器7包括入射面71、第一反射面72和第二反射面73,激光13通过空间滤波小孔 阵列一 3的初程小孔入射至入射面71处，所述入射面71与激光光路设置为近垂直结构，所述 入射面71与垂直方向的夹角为1.4°~5.1°或-5.1°~-1.4°，即所述入射面71与激光光路的 夹角为91.4°~95.1°或84.9°~88.6°，既不影响激光光路的基本方向及传输效率，又能避 免入射面71处的剩余返回激光形成鬼光束，从而避免鬼光束对各元件的损坏，同时，还可保 证第一反射面72和第二反射面73对激光13进行全发射，提高反射率，所述激光13经入射面 71传输至第一反射面72处，后经第一反射面72反射至第二反射面73,并形成纵向位移C，所 述纵向位移C与空间滤波小孔阵列一 3中初程小孔至末程小孔的纵向距离匹配，通过光束反 射器7反射后的激光13将改变原有传输路径，使激光13依次通过空间滤波小孔阵列一 3的末 程小孔、空间滤波小孔阵列二4传输至输出端，不经过放大系统内的多程折返，避免多程放 大激光系统中多级空间滤波小孔阵列对孔像带来的影响，同时，激光13通过光束反射器7反 射后光束将继续发散，再次到达空间滤波小孔阵列一 3时，光束为较大尺寸的光斑。
[0043] 所述空间滤波小孔阵列一 3、空间滤波小孔阵列二4之间依次设置焦距为fi的透镜 一5和焦距为f2的透镜二6,本实施例中，所述光束反射器7设置为等腰直角棱镜，其斜边作 为入射面71，其两条直角边分别作为第一反射面72和第二反射面73,所述入射面71至空间 滤波小孔阵列一 3的间距为L，空间滤波小孔阵列一 3中初程小孔至末程小孔的纵向距离为 a，第一反射面72和第二反射面73的长度均为b，且
，且C
其中，α为激光 13入射到第一反射面72的入射角，β为第一反射面7 2对激光13的折射角，且
，口等于入射面71与垂直方向的夹角，η为等腰直角棱镜介质材料对激光13 的折射率，激光13由空间滤波小孔阵列一 3的初程小孔折返至末程小孔的等效传输距离为 S，则
[0044] 空间滤波小孔阵列一3中末程小孔处的光斑尺寸为化，且
，所述空间滤 波小孔阵列一 3切换为大孔状态时，其直径为山1，所述空间滤波小孔阵列一 3切换为滤波孔 状态时，其直径为山2,且山2<化，所述空间滤波小孔阵列一3切换为大孔状态时，所述空间滤 波小孔阵列二4中末程小孔处的光斑尺寸为化，占
所述空间滤波小孔阵列二4切 换为大孔状态时，其直径为cbi，所述空间滤波小孔阵列二4切换为滤波孔状态时，其直径为 d22，i
辰据d22的尺寸，依次确定化和化，最终确定入射面71 至空间滤波小孔阵列一 3的间距L，既能保证激光13完全覆盖滤波孔，对滤波孔直接进行照 明，又能保证激光13直接穿过大孔不被阻挡，提高小孔形屯、位置的测量精度。
[0045] 所述一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置的获取方法，包括如下步骤：
[0046] (1)根据cb2的尺寸，依次确定化和化，最终确定入射面71至空间滤波小孔阵列一 3 的间距L，并将空间滤波小孔阵列一 3切换为滤波孔状态，将空间滤波小孔阵列二4切换为大 孔状态；
[0047] (2)向放大系统注入激光13,激光13穿过空间滤波小孔阵列一 3的初程小孔入射至 等腰直角棱镜，并经第二反射面73出射后，激光13完全覆盖空间滤波小孔阵列一 3的末程小 孔，之后，激光13穿过空间滤波小孔阵列二4,由3
，保证空间滤波小孔阵列二4不 会阻挡激光13,所述监测设备12在放大系统输出端采集孔像一；
[004引（3)将空间滤波小孔阵列一 3切换为大孔状态，将空间滤波小孔阵列二4切换为滤 波孔状态；
[0049] (4)重复步骤(2)，由于(122<化且
段证穿过空间滤波小孔阵列一3的激光 13完全覆盖空间滤波小孔阵列二4的末程小孔，所述监测设备12在放大系统输出端采集孔 像二；
[0050] (5)对采集的孔像一和孔像二进行处理并分别确定形屯、，作为空间滤波小孔阵列 一 3、空间滤波小孔阵列二4的末程小孔的基准中屯、。
[0051] 本发明可W直接对单个末程小孔进行孔像获取，避免多程放大激光系统中多级空 间滤波小孔阵列对孔像带来的影响，孔像边沿清晰度高，孔像轮廓规整，获得形屯、位置的精 度高，同时，本发明对各级空间滤波小孔阵列的衍射极限倍数是否一致不作要求，可W获取 任意尺寸配置的小孔孔像，实用性强，同时，只需在光路中配置一个等腰直角棱镜，即可完 成小孔孔像的获取操作，配置简单，造价便宜，操作方便，特别适合用于高功率多程放大激 光系统的小孔孔像获取。
[0052] 实施例二：
[0053] 本实施例与实施例一相同的部分不再寶述，不同的是：
[0054] D〇 = 46mmX 46mm，时=2007mm，fi = 13500mm，f2 = 31250mm，等腰直角棱镜的入射面 71与激光光路的夹角可W为91.4°、94°、95.1°、84.9°、86°或88.6°，本实施例中，所述入射 面71与激光光路的夹角为94°，即α = 4°，根据a = 21.6mm，优选b = 40mm，dii = 8mm，di2 = 2.08111111，(121 = 20111111，(122 = 4.8讓，激光13的波长为1053皿，等腰直角棱镜介质材料选用册1(7， η二 1 ·506〇
[00对根据cb2<D2，选取化=22mm X 22mm，激光13可W完全覆盖空间滤波小孔阵列二4的 末程小孔，对空间滤波小孔阵列二4的末程小孔直接进行照明，由
，得出Di = 9.5臟><9.5臟，且01〉山2，根据，得出8 = 414.5111111，1^=197.17臟，根据1^调整等腰直
角棱镜的位置，将空间滤波小孔阵列一 3切换为大孔状态，将空间滤波小孔阵列二4切换为 滤波孔状态，监测设备12在放大系统输出端采集孔像，获得空间滤波小孔阵列二4的末程小 孔孔像，如图3(a)所示，采用本发明【背景技术】中第二种孔像获取方法，来获取本实施例中空 间滤波小孔阵列二4的末程小孔孔像，如图3(b)所示。
[0056] 从图3中可W看出，针对相同的空间滤波小孔阵列二4的末程小孔，采用不同方法 获取的孔像存在明显差异。图3(a)中孔像边沿清晰度高，图3(b)中孔像经多程传输后失真 较大，且边缘不够清晰。
[0057] 对图3(a)、（b)分别进行图像处理，识别图像的边沿轮廓，处理后的图像分别如图4 (a)、（b)所示。图4(a)中小孔孔像轮廓为正圆形状，与空间滤波小孔阵列二4的末程小孔的 形状相符，而图4(b)中小孔孔像轮廓变形，对比图4中的（a)和(b)，本发明获取的空间滤波 小孔阵列二4的末程小孔的基准中屯、更接近小孔的实际中屯、。
[005引将空间滤波小孔阵列一 3切换为滤波孔状态，将空间滤波小孔阵列二4切换为大孔 状态，此时，Di = 9.5mmX9.5mm，且Di〉di2,激光13可W完全覆盖空间滤波小孔阵列一 3的末 程小孔，同时，由3
空间滤波小孔阵列二4不会阻挡激光13,监测设备12在放大 系统输出端采集孔像，获得空间滤波小孔阵列一 3的末程小孔孔像，如图5(a)所示，采用本 发明【背景技术】中第二种孔像获取方法，来获取本实施例中空间滤波小孔阵列一 3的末程小 孔孔像，如图5(b)所示。
[0059] 从图5中可W看出，针对相同的空间滤波小孔阵列一3的末程小孔，采用不同方法 获取的孔像存在明显差异。图5(a)中孔像边沿清晰度高，图5(b)中孔像经多程传输后失真 较大，且边缘不够清晰。
[0060] 对图5(a)、（b)分别进行图像处理，识别图像的边沿轮廓，处理后的图像分别如图6 (a)、（b)所示。图6(a)中小孔孔像轮廓为正圆形状，与空间滤波小孔阵列一3的末程小孔的 形状相符，而图6(b)中小孔孔像轮廓变形，对比图4中的（a)和(b)，本发明获取的空间滤波 小孔阵列一 3的末程小孔的基准中屯、更接近小孔的实际中屯、。
[0061] W上已将本发明做一详细说明，W上所述，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能 限定本发明实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖范围 内。
【主权项】
1. 一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，包括放大系统和监测设备，沿着激光 传输方向，所述放大系统依次包括空间滤波小孔阵列一和空间滤波小孔阵列二，其特征在 于:所述空间滤波小孔阵列一处设置有光束反射器，所述光束反射器包括入射面、第一反射 面和第二反射面，所述入射面与激光光路设置为近垂直结构，所述激光经第一反射面反射 至第二反射面形成纵向位移，所述纵向位移与空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔 的纵向距离匹配。2. 根据权利要求1所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于:所 述入射面与垂直方向的夹角为1.4°~5.1°或-5.1°~-1.4°。3. 根据权利要求2所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于:所 述光束反射器设置为等腰直角棱镜，其斜边作为入射面，其两条直角边分别作为第一反射 面和第二反射面。4. 根据权利要求3所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于:所 述空间滤波小孔阵列一处设置焦距为时的注入透镜，注入激光光束口径为Do,且所述空间滤 波小孔阵列一的初程小孔位于注入透镜的焦点处，所述空间滤波小孔阵列一、空间滤波小 孔阵列二之间依次设置焦距为fi的透镜一和焦距为f2的透镜二，则空间滤波小孔阵列一中 末程小孔处的光斑尺寸为化，且^，其中，S为激光由空间滤波小孔阵列一的初程小 孔折返至末程小孔的等效传输距离，所述空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态时，其直径 为山1，所述空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态时，其直径为山2，且di2<Di。5. 根据权利要求4所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于:所 述入射面至空间滤波小孔阵列一的间距为L，空间滤波小孔阵列一中初程小孔至末程小孔 的纵向距离为a,第一反射面和第二反射面的长度均为b，且6〉；^，所述纵向位移为C，且，其中，a为激光入射到第一反射面的入射角，0为第一反射面对激光 的折射角，且.，a等于入射面与垂直方向的夹角，n为等腰直角棱镜介质材 料对激光的折射率。6. 根据权利要求5所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于：7. 根据权利要求6所述的一种多程放大激光系统小孔孔像的获取装置，其特征在于:所 述空间滤波小孔降列一切换为大孔状态时，所述空间滤波小孔阵列二中末程小孔处的光斑 尺寸为化，主 ，所述空间滤波小孔阵列二切换为大孔状态时，其直径为cbi，所述空 间滤波小化件yu ^切换为滤波孔状态时，其直径为d 2 2，且d 2 2 < D 2，8. -种采用权利要求7所述的多程放大激光系统小孔孔像的获取装置的获取方法，其 特征在于，包括如下步骤： (1) 将空间滤波小孔阵列一切换为滤波孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为大孔状 态； (2) 向放大系统注入激光，激光穿过空间滤波小孔阵列一的初程小孔入射至等腰直角 棱镜，并经第二反射面出射后，依次穿过空间滤波小孔阵列一的末程小孔、空间滤波小孔阵 列二，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像一； (3) 将空间滤波小孔阵列一切换为大孔状态，将空间滤波小孔阵列二切换为滤波孔状 态； (4) 重复步骤(2)，所述监测设备在放大系统输出端采集孔像二； (5) 对采集的孔像一和孔像二进行处理并分别确定形屯、，作为空间滤波小孔阵列一、空 间滤波小孔阵列二的末程小孔的基准中屯、。9. 根据权利要求8所述的一种获取方法，其特征在于:在步骤（1)之前还包括:根据Cb2的 尺寸，依次确定化和化，最终确定入射面至空间滤波小孔阵列一的间距L。
【文档编号】G02B27/00GK105988216SQ201610513151
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年7月1日
【发明人】袁强, 张鑫, 王德恩, 代万俊, 杨英, 胡东霞, 周维, 赵军普, 张晓璐, 薛峤, 曾发
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心